JP2006243633A - 反射防止構造体を有する部材の製造方法 - Google Patents
反射防止構造体を有する部材の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006243633A JP2006243633A JP2005062474A JP2005062474A JP2006243633A JP 2006243633 A JP2006243633 A JP 2006243633A JP 2005062474 A JP2005062474 A JP 2005062474A JP 2005062474 A JP2005062474 A JP 2005062474A JP 2006243633 A JP2006243633 A JP 2006243633A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- exposure
- manufacturing
- antireflection structure
- antireflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005062474A JP2006243633A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005062474A JP2006243633A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006243633A true JP2006243633A (ja) | 2006-09-14 |
| JP2006243633A5 JP2006243633A5 (enExample) | 2007-12-27 |
Family
ID=37050067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005062474A Pending JP2006243633A (ja) | 2005-03-07 | 2005-03-07 | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006243633A (enExample) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009186227A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Seiko Epson Corp | 透光性部材、時計、および透光性部材の製造方法 |
| US8226837B2 (en) | 2006-11-15 | 2012-07-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Mold for optical device with anti-reflection structure, method for producing the same, and optical device |
| WO2013084899A1 (ja) * | 2011-12-08 | 2013-06-13 | 旭硝子株式会社 | 反射防止構造体、及び反射防止構造体の製造方法 |
| CN105789485A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-07-20 | 淮阴工学院 | 一种全息散斑结构有机发光二极管制作方法 |
| WO2021125207A1 (ja) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 反射防止構造体、及びその製造方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09260255A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-10-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 投影露光方法 |
| JP2001272505A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Japan Science & Technology Corp | 表面処理方法 |
| JP2004205990A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 反射防止性能を有する微細凹凸パターンの作製方法及び反射防止物品 |
| JP2004268331A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Minolta Co Ltd | 光学素子用金型およびその金型製造方法 |
| JP2004317922A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Minolta Co Ltd | 表面加工方法ならびに光学素子およびその金型 |
-
2005
- 2005-03-07 JP JP2005062474A patent/JP2006243633A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09260255A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-10-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 投影露光方法 |
| JP2001272505A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Japan Science & Technology Corp | 表面処理方法 |
| JP2004205990A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 反射防止性能を有する微細凹凸パターンの作製方法及び反射防止物品 |
| JP2004268331A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Minolta Co Ltd | 光学素子用金型およびその金型製造方法 |
| JP2004317922A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Minolta Co Ltd | 表面加工方法ならびに光学素子およびその金型 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8226837B2 (en) | 2006-11-15 | 2012-07-24 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Mold for optical device with anti-reflection structure, method for producing the same, and optical device |
| JP2009186227A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Seiko Epson Corp | 透光性部材、時計、および透光性部材の製造方法 |
| WO2013084899A1 (ja) * | 2011-12-08 | 2013-06-13 | 旭硝子株式会社 | 反射防止構造体、及び反射防止構造体の製造方法 |
| CN105789485A (zh) * | 2016-03-14 | 2016-07-20 | 淮阴工学院 | 一种全息散斑结构有机发光二极管制作方法 |
| WO2021125207A1 (ja) | 2019-12-17 | 2021-06-24 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 反射防止構造体、及びその製造方法 |
| US12352927B2 (en) | 2019-12-17 | 2025-07-08 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Antireflection structure and manufacturing method thereof |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101268012B (zh) | 微小构造体及其制造方法 | |
| TW544673B (en) | Micro lens and method and apparatus for fabricating | |
| KR100415714B1 (ko) | 마이크로릴리프엘리먼트및그제조방법 | |
| JP6677174B2 (ja) | 反射防止膜の製造方法 | |
| CN101424751A (zh) | 光学元件以及光学元件生产用的原盘的制造方法 | |
| WO2001074560A2 (en) | Technique for microstructuring replication moulds | |
| CN117795426A (zh) | 钟表部件的制造方法 | |
| JP2009128539A (ja) | 反射防止構造体の製造方法 | |
| JP2006243633A (ja) | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 | |
| JP2006171229A (ja) | 無反射構造及び無反射構造を有する光学素子、ならびにその製造方法及びその製造方法に用いるマスク | |
| JP2006251318A (ja) | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 | |
| JP2006317807A (ja) | 反射防止構造体を備える部材およびその部材の製造方法 | |
| JPH11160510A (ja) | 多段階段状素子の作製方法又は該素子作製用モールド型の作製方法 | |
| JP4820871B2 (ja) | 反射防止構造体及びその製造方法 | |
| JP2020024243A (ja) | 反射防止構造体付き光学素子、その製造方法、製造用金型の製造方法及び撮像装置 | |
| JP2009128541A (ja) | 反射防止構造体の製造方法 | |
| JP2004268331A (ja) | 光学素子用金型およびその金型製造方法 | |
| JP2008299208A (ja) | 厚膜レジスト立体パターンの製造方法 | |
| JP2006235195A (ja) | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 | |
| JP4594745B2 (ja) | 反射防止構造体を有する部材の製造方法 | |
| JP2009128540A (ja) | 反射防止構造体の製造方法 | |
| JP4296277B2 (ja) | 傾斜構造体の製造方法およびこの方法で製造される金型用母型 | |
| JP2023039111A (ja) | 回折光学素子、その製造方法および型の製造方法 | |
| JP4814938B2 (ja) | 反射防止構造体及びその製造方法 | |
| JP4463775B2 (ja) | X線リソグラフィー用マスク、その製造方法、それを用いた光反射防止構造体の製造方法、光反射防止構造を有する光学素子を製造するための成形型の製造方法、並びに光反射防止構造を有するガラス被成形物若しくは樹脂被成形物の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071109 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071109 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100603 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100607 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101013 |