JP2006243145A - 垂直積層型導波路デバイス、及びそのポーリング方法、その駆動方法、並びに導波路モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上に、底部電極と、底部クラッド層と、底部コア層と、下部クラッド層と、中間電極と、上部クラッド層と、上部コア層と、最上部クラッド層と、上部電極とがこの順に積層してなり、前記底部クラッド層、前記下部クラッド層、前記上部クラッド層、及び前記最上部クラッド層の屈折率がいずれも前記底部コア層及び前記上部コア層の屈折率以下であり、前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層の厚みが、前記底部コア層と前記上部コア層とが接触しないように設定されていることを特徴とする垂直積層型導波路デバイスである。
【選択図】 図1
Description
本発明の目的は、EO効果の効率が高く、駆動電圧を低減することができる垂直積層型導波路デバイス及びそのポーリング方法、その駆動方法、並びに導波路モジュールを提供することにある。
<1> 基板上に、底部電極と、底部クラッド層と、底部コア層と、下部クラッド層と、中間電極と、上部クラッド層と、上部コア層と、最上部クラッド層と、上部電極とがこの順に積層してなり、
前記底部クラッド層、前記下部クラッド層、前記上部クラッド層、及び前記最上部クラッド層の屈折率がいずれも前記底部コア層及び前記上部コア層の屈折率以下であり、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層の厚みが、前記底部コア層と前記上部コア層とが接触しないように設定されていることを特徴とする垂直積層型導波路デバイスである。
(A)前記底部コア層及び前記上部コア層がいずれも基板とは反対側に凸状部を有する。
(B)前記底部コア層及び前記上部コア層のうちのいずれか一方が基板とは反対側に凸状部を有し、他方が基板側に凸状部を有する。
(C)前記底部コア層及び前記上部コア層がいずれも基板側に凸状部を有する。
また、本発明の垂直積層型導波路デバイスは、別の表現によると、一対の電極の間に導波路構造が挟持された断面構造をなし、該導波路構造が、一方の面側に凸状部を有するコア層と電極とを積層した構造であることを特徴としている。
従来の平面型のように、導波路毎に電圧を印加させていたのとは異なり、本発明においては垂直積層型としたため、上下2つの導波路にそれぞれ別々に光を入光させ、該2つ導波路の上下に電圧を印加することにより駆動電圧を低下させることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳述する。
図2、図3は、本発明の垂直積層型導波路デバイスの図1とは別の例を示し、図2においては、上部コア層8が基板とは反対側面に凸状部を有し、底部コア層が基板側に凸状部を有する。図3においては、底部コア層4及び上部コア層8がいずれも基板側に凸状部を有する。
また、前記電極の厚さとしては、100〜5000nmの範囲が好ましい。
なお、中間電極及び上部電極に関しても前記材料と前記形成手法により形成することができる。
クラッド層の膜厚が厚い場合には、コア層にかかる実効電圧が低くなるため、充分なEO効果が得られず、また、薄い場合には、下部電極による光吸収が増加するため、光損失が大きくなるという問題が生じる場合がある。
ここで、非線形光学ポリマーとは、高分子マトリックス中に非線形光学特性を有する有機化合物を添加した有機非線形光学ポリマーや、高分子の主鎖あるいは側鎖に、非線形光学特性を有する構造(以下、「クロモフォア構造」という場合がある)を導入した主鎖型有機非線形光学ポリマーあるいは側鎖型有機非線形光学ポリマーなどをいう。
図5、図6は、図1の断面図に電界の方向と配向方向などを矢線で示す図である。図5、図6においては、細い矢線は電界の方向を示し、太い矢線は配向方向を示す。図5では、上部電極10に負の電圧を印加し、底部電極2に正の電圧を印加しており、図6はその逆である。そして、図5及び図6はいずれも、中間電極6は接地されている。構成材料がEOポリマーの場合、ガラス転移温度(Tg)に達するまでの間、電圧が印加される。本発明とは異なり、平面型の導波路デバイスの場合は、両極間の非常に大きな電位差に起因する放電と高温のため、本発明のようなポーリング処理は困難である。本発明におけるポーリング処理は、不活性雰囲気下(例えば、窒素雰囲気下)で行うことができる。そして、該不活性雰囲気は化学成分により好条件に設定することが可能である。
図1に示す積層構造の垂直積層型導波路デバイスを作製し、特性を調べた。層厚などの数値を以下に示す。
コア層とクラッド層の材料の屈折率を、それぞれ、1.582、1.471とした。底部クラッド層3の厚みは3.0μmとし、底部コア層4と上部コア層8の厚みは3.7μmとし、下部クラッド層5の厚みと上部クラッド層7の厚みの合計は6μmとなるように形成した。各コア層における凸状部の高さ(厚み)は0.7μmとした。凸状部の幅wは、シングルモードでの動作を確保するため5.0μmとした。また、上部クラッド層9の厚み(上部コア層8の凸状部8Aの上部から上部電極10までの距離)は3.0μmとした。中間電極6の厚みは0.2μmとした。クラッド層材料とコア材料の抵抗率は、それぞれ、5×1014(Ω・m)、1.81×1015(Ω・m)であった。電圧を印加するポーリング処理中において、中間電極6の幅weが5.0μmの場合、電界の70%は底部コア層4及び上部コア層8内に存在した。
なお、中間電極9の幅weを12μmとすると光の電界のオーバーラップを約100%とすることができる。
なお、Y分岐導波路を代わりに、ディレクションカプラーにより均等に分岐する構成としてもよい。ディレクションカプラーは、ハーフトーンマスクパターン(Min-Cheol Oh et al, " Low-Loss Interconnection Between Electrooptic and Passive Polymer Waveguides With a Vertical Taper", IEEE Photon. Technol., 14, pp. 1121-1123 (2002)に記載されている)を用いて作製することができる。
2 底部電極
3 底部クラッド層
4 底部コア層
5 下部クラッド層
6 中間電極
7 上部クラッド層
8 上部コア層
9 最上部クラッド層
10 上部電極
Claims (9)
- 基板上に、底部電極と、底部クラッド層と、底部コア層と、下部クラッド層と、中間電極と、上部クラッド層と、上部コア層と、最上部クラッド層と、上部電極とがこの順に積層してなり、
前記底部クラッド層、前記下部クラッド層、前記上部クラッド層、及び前記最上部クラッド層の屈折率がいずれも前記底部コア層及び前記上部コア層の屈折率以下であり、
前記下部クラッド層及び前記上部クラッド層の厚みが、前記底部コア層と前記上部コア層とが接触しないように設定されていることを特徴とする垂直積層型導波路デバイス。 - 垂直切断面における前記底部コア層と前記上部コア層とが次の(A)〜(C)のうちのいずれかを満たすことを特徴とする請求項1に記載の垂直積層型導波路デバイス。
(A)前記底部コア層及び前記上部コア層がいずれも基板とは反対側に凸状部を有する。
(B)前記底部コア層及び前記上部コア層のうちのいずれか一方が基板とは反対側に凸状部を有し、他方が基板側に凸状部を有する。
(C)前記底部コア層及び前記上部コア層がいずれも基板側に凸状部を有する。 - 一対の電極の間に導波路構造が挟持された断面構造をなし、該導波路構造が、一方の面側に凸状部を有するコア層と、前記一対の電極とは別の電極とを積層した構造であることを特徴とする垂直積層型導波路デバイス。
- 前記中間電極の幅が、前記凸状部の幅の1〜10倍であることを特徴とする請求項2または3に記載の垂直積層型導波路デバイス。
- 前記底部電極が前記基板上にパターン状又は均一に成膜されてなり、前記上部電極が上部クラッド層上にパターン状又は均一に成膜されてなることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の垂直積層型導波路デバイス。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の垂直積層型導波路デバイスのポーリング方法であって、
前記中間電極に印加する電圧を、上部電極に印加する電圧と底部電極に印加する電圧との合計の1/2とすることを特徴とする垂直積層型導波路デバイスのポーリング方法。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の垂直積層型導波路デバイスの駆動方法であって、
プッシュプル駆動モード時において前記上部電極に印加する電圧と前記底部電極に印加する電圧とを等しくすることを特徴とする垂直積層型導波路デバイスの駆動方法。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載の垂直積層型導波路デバイスを3dBカプラーに接続したことを特徴とする導波路モジュール。
- 請求項1から5のいずれか1項に記載の垂直積層型導波路デバイスをY分岐型導波路に接続した導波路モジュールであって、
前記Y分岐導波路の3本の導波路のうちの2本を前記底部コア層と前記上部コア層とに接続してなることを特徴とする導波路モジュール。
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