JP2006241587A - 導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料に関するもので、少なくとも銅(Cu)、ニッケル(Ni)、亜鉛(Zn)を含み、それぞれの含有量を銅(Cu)50〜80重量百分率、ニッケル(Ni)5〜20重量百分率、亜鉛(Zn)15〜30重量百分率とし、合金ターゲット材料の総重量百分率は100%とするものである。
【選択図】なし
Description
ステップ(A):まず、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、亜鉛(Zn)を適切な比率で混ぜ合わせておく。次に精錬し、インゴットを製作する。そのうち、銅(Cu)の含有量は50〜80重量百分率、ニッケル(Ni)の含有量は5〜20重量百分率、亜鉛(Zn)の含有量は15〜30重量百分率とし、合金ターゲット材料の総重量百分率は100%とする。
精錬方法は大気熔煉法、真空熔煉法、真空精錬法があり、そのうち、真空熔煉の真空度は約10-1 〜10-3 トルとする。
ステップ(B):インゴットを使って、鋳造、ホットローラー及び熱処理などの加工を施し、合金ターゲット材料に仕上げる。
請求項2の発明は、請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、銅(Cu)の最良含有量を60〜70重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項3の発明は、請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、ニッケル(Ni)の最良含有量を10〜15重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項4の発明は、請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、亜鉛(Zn)の最良含有量を20〜25重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項5の発明は、請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、プラチナ(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)のうち少なくとも一つを含む貴金属を含むことを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項6の発明は、請求項5記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、その貴金属の含有量を0.1〜5.0重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項7の発明は、請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、少なくともチタン(Ti)、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、クロム(Cr)、その混合物のいずれか一つを含む耐蝕性金属を含むことを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項8の発明は、請求項10記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、その耐食性金属の含有量を0.1〜5.0重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項9の発明は、請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、半導体及びフラットパネルのパネル及び基板に応用され、リード線、電極及び補助電極の上で保護層を形成することを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料としている。
請求項10の発明は、請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料のその製造方法において、次のステップが含まれ、
(A)銅(Cu)、ニッケル(Ni)、亜鉛(Zn)はプラチナ(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)のうち少なくともいずれ一つを含む貴金属及びチタン(Ti)、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、クロム(Cr)、その混合物のいずれか一つを含む耐蝕性金属を含み、適切な比率でそれら材料を混ぜたものを真空下に置き、精錬しインゴットを製作し、 (B)インゴットをホットマシーンで加工して、合金ターゲット材料に仕上げることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料のその製造方法としている。
銅(Cu)45kg、ニッケル(Ni)11.25kg、亜鉛(Zn)18.75kgとパラジウム(Pd)750gを混ぜ合わせた材料を真空度10-1 〜10-3 トルの真空熔炉の中に入れ、1100〜1300℃の高温の下で3〜5時間加熱し、すべての材料が完全に溶けるのを待って、金属溶液を金型に流し込む。冷めて固化した後、金型の中から合金インゴットを取り出す。その中から必要なターゲット材料の寸法を600〜800トンの力をかけて鍛造する方式と80馬力の力をかけてホットローラーでローリングし、その結晶方向が優先する方向がないようにコントロールし、さらに熱処理を加えてミクロ組織の結晶の粒を20〜50ミクロンに整え、合金ターゲット材料として仕上げる。
実施例1で製造した合金ターゲット材料をスタッパリング室に入れ、フラットパネルの基板もスタッパリング室に入れる。基板にはすでにリード線模様をつけておき、そのあと20sccmのアルゴンガスを流入し、200wの直流電気出力でスタッパリング室を5mトルの真空度に保ち、1.5分間スタッパリングし、リード線の模様の上に1300Åの厚さの保護層を作る。保護層はO2プラズマ試験により良好な抗酸化性を得られ、85℃/RH85%の高温高湿実験の後、テープで剥離試験(peeling test)を行なって良好な粘着性を得たことを検証する。
実施例1で製造した合金ターゲット材料をスタッパリング室に入れ、フラットパネルの基板もスタッパリング室に入れる。そこに20sccmのアルゴンガスを流入し、100wの直流電気出力でスタッパリング室を5mトルの真空度に保ち、1分間スタッパリングし、基板に1100Åの厚さの保護層を作る。リード線の模様はO2プラズマ試験により良好な抗酸化性を得られ、85℃/RH85%の高温高湿実験の後、テープで剥離試験(peeling test)を行なって良好な粘着性を得たことを検証する。
本発明は銅(Cu)、ニッケル(Ni)、亜鉛(Zn)合金を応用して合金ターゲット材料を作り、それにより作られた保護層は良好な抗酸化性と高い粘着性を持つことを特長とし、それにより作られたリード線、電極及び補助電極は高い抗酸化性・粘着性、低い電気抵抗値、良好な導電性という特性があり、現有の銅合金の蝕刻液とあわせて、半導体真フラットパネルのパネル及び基板に導電模様及びその保護層を形成することができる。
Claims (10)
- 導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、少なくとも銅(Cu)、ニッケル(Ni)、亜鉛(Zn)を含み、それぞれの含有量は銅(Cu)50〜80重量百分率、ニッケル(Ni)5〜20重量百分率、亜鉛(Zn)15〜30重量百分率とし、合金ターゲット材料の総重量百分率は100%とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、銅(Cu)の最良含有量を60〜70重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、ニッケル(Ni))の最良含有量を10〜15重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、亜鉛(Zn)の最良含有量を20〜25重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、プラチナ(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)のうち少なくとも一つを含む貴金属を含むことを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項5記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、その貴金属の含有量を0.1〜5.0重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、少なくともチタン(Ti)、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、クロム(Cr)、その混合物のいずれか一つを含む耐蝕性金属を含むことを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項10記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、その耐食性金属の含有量を0.1〜5.0重量百分率とすることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法において、半導体及びフラットパネルのパネル及び基板に応用され、リード線、電極及び補助電極の上で保護層を形成することを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料。
- 請求項1記載の導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料のその製造方法において、次のステップが含まれ、
(A)銅(Cu)、ニッケル(Ni)、亜鉛(Zn)はプラチナ(Pt)、金(Au)、パラジウム(Pd)のうち少なくともいずれ一つを含む貴金属及びチタン(Ti)、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、クロム(Cr)、その混合物のいずれか一つを含む耐蝕性金属を含み、適切な比率でそれら材料を混ぜたものを真空下に置き、精錬しインゴットを製作し、 (B)インゴットをホットマシーンで加工して、合金ターゲット材料に仕上げることを特徴とする、導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料のその製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW094106124 | 2005-03-01 | ||
TW094106124A TWI254747B (en) | 2005-03-01 | 2005-03-01 | Alloy target for conductive film or its protection layer and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006241587A true JP2006241587A (ja) | 2006-09-14 |
JP4815194B2 JP4815194B2 (ja) | 2011-11-16 |
Family
ID=37048276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005331888A Expired - Fee Related JP4815194B2 (ja) | 2005-03-01 | 2005-11-16 | 導電薄膜及びその保護層用の合金ターゲット材料及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4815194B2 (ja) |
KR (1) | KR100726872B1 (ja) |
TW (1) | TWI254747B (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007039781A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-02-15 | Idemitsu Kosan Co Ltd | スパッタリングターゲット、その製造方法、反射膜、及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2011052304A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Daido Steel Co Ltd | Cu電極保護膜用NiCu合金ターゲット材 |
JP2014114481A (ja) * | 2012-12-10 | 2014-06-26 | Mitsubishi Materials Corp | 保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび積層配線膜 |
JP2014214318A (ja) * | 2013-04-22 | 2014-11-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび積層配線膜 |
JP2015089954A (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび積層配線膜 |
JP2015131996A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 株式会社Shカッパープロダクツ | スパッタリングターゲット材及び配線積層体 |
CN105525262A (zh) * | 2014-10-20 | 2016-04-27 | 三菱综合材料株式会社 | 溅射靶及层叠膜 |
US9543128B2 (en) | 2013-02-14 | 2017-01-10 | Mitsubishi Materials Corporation | Sputtering target for forming protective film and laminated wiring film |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002265942A (ja) * | 2001-03-15 | 2002-09-18 | Sony Corp | 蛍光体粉末及びその製造方法、表示用パネル、並びに、平面型表示装置 |
-
2005
- 2005-03-01 TW TW094106124A patent/TWI254747B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-11-16 JP JP2005331888A patent/JP4815194B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-02-14 KR KR1020060014271A patent/KR100726872B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007039781A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-02-15 | Idemitsu Kosan Co Ltd | スパッタリングターゲット、その製造方法、反射膜、及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2011052304A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Daido Steel Co Ltd | Cu電極保護膜用NiCu合金ターゲット材 |
JP2014114481A (ja) * | 2012-12-10 | 2014-06-26 | Mitsubishi Materials Corp | 保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび積層配線膜 |
US9543128B2 (en) | 2013-02-14 | 2017-01-10 | Mitsubishi Materials Corporation | Sputtering target for forming protective film and laminated wiring film |
JP2014214318A (ja) * | 2013-04-22 | 2014-11-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび積層配線膜 |
US10538059B2 (en) | 2013-04-22 | 2020-01-21 | Mitsubishi Materials Corporation | Sputtering target for forming protective film, and laminated wiring film |
WO2015068527A1 (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-14 | 三菱マテリアル株式会社 | 保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび積層配線膜 |
KR20160032276A (ko) * | 2013-11-06 | 2016-03-23 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 보호막 형성용 스퍼터링 타깃 및 적층 배선막 |
JP2015089954A (ja) * | 2013-11-06 | 2015-05-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 保護膜形成用スパッタリングターゲットおよび積層配線膜 |
KR101885443B1 (ko) | 2013-11-06 | 2018-08-03 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 보호막 형성용 스퍼터링 타깃 및 적층 배선막 |
US10443113B2 (en) | 2013-11-06 | 2019-10-15 | Mitsubishi Materials Corporation | Sputtering target for forming protective film and multilayer wiring film |
JP2015131996A (ja) * | 2014-01-14 | 2015-07-23 | 株式会社Shカッパープロダクツ | スパッタリングターゲット材及び配線積層体 |
CN105525262A (zh) * | 2014-10-20 | 2016-04-27 | 三菱综合材料株式会社 | 溅射靶及层叠膜 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20060096890A (ko) | 2006-09-13 |
TW200632115A (en) | 2006-09-16 |
KR100726872B1 (ko) | 2007-06-14 |
TWI254747B (en) | 2006-05-11 |
JP4815194B2 (ja) | 2011-11-16 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090427 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091005 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091109 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20091204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110714 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140902 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |