JP2006238561A - ステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 所定間隔をおいてベース1上に設置された2組のリニアガイド3a、3bと、これらのリニアガイドに移動可能に支持されるガントリー2と、ガントリー2をリニアガイド3a、3bに沿って駆動するX軸リニアモータ7a、7bと、ガントリー2の両端部に装着された軸受ユニット5a、5bとを備え、これらの軸受ユニットは、ガントリー2の両端部を旋回可能に支持するクロスローラ軸受7a、7bを有するとともに、一方の軸受手段5aはガントリー2の長手方向の変位を許容するリニア軸受60aを有しかつ他方の軸受手段5bはガントリー2の端部を拘束している。
【選択図】 図4
Description
ベース1は、高い位置決め精度を実現するために、剛性が高くかつ周囲の温度及び湿度変化に対して影響を受けにくい材料(例えばグラナイトに代表される石材)で形成されると共に、基準面となる表面は、高い面精度と平面度を有するように加工されている。
(実施例)
図1に示すステージ装置100において、ガントリー2を100mm/secの速度で、X軸方向(図中右から左)に900mmだけ移動させた時に、一方のX軸リニアモータ(7a)で得られたエンコーダ信号のパルス数と他方のX軸リニアモータ(7b)で得られたエンコーダ信号のパルス数との差異(ヨーイング誤差)を測定した結果を図12に示す。またこの移動動作中において、駆動回路(不図示)からX軸リニアモータ7a、7bの各3相コイルに供給された駆動電流の波形を測定した結果を図13に示す。図12において、縦軸はパルス数(P)を示し、横軸は走行時間を示す。1Pは0.5μmに相当するとともに、目標指令は0パルス(P)の線である。図13において、縦軸は電圧(1Vは1Aに相当する)を示し、a1が一方のX軸リニアモータ(7a)の駆動電流、a2が他方のX軸リニアモータ(7b)の駆動電流である。
比較のために、軸受ユニット5a、5bを取り外した以外は上記ステージ装置100と同一の構造とした比較例のステージ装置において、ガントリー2を100mm/secの速度で、X軸方向に900mmだけ移動させた時に、一方のX軸リニアモータ(7a)で得られたエンコーダ信号のパルス数と他方のX軸リニアモータ(7b)で得られたエンコーダ信号のパルス数との差異(ヨーイング誤差)を測定した結果を図14に示す。またこの移動動作中において、駆動回路(不図示)からコイルに供給された駆動電流の波形を測定した結果を図15に示す。図14において、縦軸はパルス数(P)を示し、1Pは0.5μmに相当するとともに、目標指令は0パルス(P)の線である。図15において、縦軸は電圧(1Vは1Aに相当する)を示し、b1が一方のX軸リニアモータ(7a)の駆動電流であり、b2が他方のX軸リニアモータ(7b)の駆動電流である。
ガントリーの長手方向の両端部を摺動自在に支持するリニア軸受の変わりに、非接触で支持する流体圧軸受(例えば空気軸受)を使用することができる。
7a、7b:X軸リニアモータ、71a、71b:固定子、72a、72b:ヨーク、73a、73b、74a、74b:永久磁石、75a、75b:可動子、
8:Y軸リニアモータ、80:ベース、81:ケース、82:固定子、83:ヨーク、84、85:永久磁石、86:可動子、87:リニアガイド、88:リニア軸受、89:キャリッジ
Claims (3)
- 所定間隔をおいてベース上に設置されたリニアガイドと、前記リニアガイドに移動可能に支持されるガントリーと、前記ガントリーを前記リニアガイドに沿って駆動する駆動手段と、前記ガントリーの両端部を支持する軸受ユニットとを備え、前記軸受ユニットは、前記ガントリーを旋回可能に支持する旋回軸受を有するとともに、一方の軸受ユニットは前記ガントリーの長手方向の変位を許容する直動軸受を有しかつ他方の前記軸受ユニットは前記ガントリーの端部を拘束していることを特徴とするステージ装置。
- 前記ガントリーは矩形状断面を有するとともに、前記旋回軸受は、内輪と外輪とに各々設けた対向するV字溝の間に複数の円筒コロを軸の向きが交差するように配列されたクロスローラ軸受であることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記駆動手段は、前記ベースに固着された、前記ガントリーの移動方向に沿って正弦波状の磁界分布が現出する磁気空隙を有する固定子と、前記ガントリーに固定され、前記磁気空隙内に配置される多相コイルを含む可動子とを有する可動コイル型リニアモータであることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100914494B1 (ko) | 2007-01-22 | 2009-08-28 | 정훈택 | 이동장치 |
JP2017217736A (ja) * | 2016-06-09 | 2017-12-14 | 大銀微系統股▲分▼有限公司Hiwin Mikrosystem Corp. | フレキシブルメカニズムとそれを有するガントリー装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03243199A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 位置決め装置 |
JP2001069744A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-03-16 | Mirae Corp | Xyガントリーの冷却装置 |
JP2001258289A (ja) * | 2000-03-15 | 2001-09-21 | Canon Inc | リニアモータおよびステージ装置ならびに露光装置とデバイス製造方法 |
JP2002521214A (ja) * | 1998-07-23 | 2002-07-16 | アーツェーテック・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング−アドヴァンスト・キャスティング・テクノロジーズ・ギーセライテヒノロギー | 直線状の直接駆動をもつ平面ガントリシステム |
JP2002300766A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Hitachi Metals Ltd | 揺動モータおよびステージ装置 |
JP2004072960A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータを内蔵したアライメントステージ装置 |
-
2005
- 2005-02-23 JP JP2005047346A patent/JP4756446B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03243199A (ja) * | 1990-02-20 | 1991-10-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 位置決め装置 |
JP2002521214A (ja) * | 1998-07-23 | 2002-07-16 | アーツェーテック・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング−アドヴァンスト・キャスティング・テクノロジーズ・ギーセライテヒノロギー | 直線状の直接駆動をもつ平面ガントリシステム |
JP2001069744A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-03-16 | Mirae Corp | Xyガントリーの冷却装置 |
JP2001258289A (ja) * | 2000-03-15 | 2001-09-21 | Canon Inc | リニアモータおよびステージ装置ならびに露光装置とデバイス製造方法 |
JP2002300766A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Hitachi Metals Ltd | 揺動モータおよびステージ装置 |
JP2004072960A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Nippon Thompson Co Ltd | リニアモータを内蔵したアライメントステージ装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100914494B1 (ko) | 2007-01-22 | 2009-08-28 | 정훈택 | 이동장치 |
JP2017217736A (ja) * | 2016-06-09 | 2017-12-14 | 大銀微系統股▲分▼有限公司Hiwin Mikrosystem Corp. | フレキシブルメカニズムとそれを有するガントリー装置 |
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