JP2006228893A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 配線及びパターンの特定箇所を選択的に細らせて配線間隔を広げ、カバレッジの良い成膜条件でもエアギャップを形成することができ、所望の配線間の静電容量を低減することができる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 隣接するフローティングゲート電極層について互いの距離が上層から下地基板面までの間で徐々に離れるように上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせ、互いの距離が離れたフローティングゲート電極層の間にエアギャップを有する層間絶縁膜を備える。
【選択図】 図5
【解決手段】 隣接するフローティングゲート電極層について互いの距離が上層から下地基板面までの間で徐々に離れるように上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせ、互いの距離が離れたフローティングゲート電極層の間にエアギャップを有する層間絶縁膜を備える。
【選択図】 図5
Description
この発明は、半導体装置及びその製造方法に係り、特に不揮発性メモリを有する半導体装置及びその製造方法に関するものである。
不揮発性メモリセルは、半導体基板上に平行に並んで配置される平面帯状のアシストゲート電極と、アシストゲート電極に直交するように配置されるコントロールゲート電極と、帯状のアシストゲート電極とコントロールゲート電極からなる格子の各交点に隣接して配置されるフローティングゲート電極とを有している。また、アシストゲート電極の帯状に沿って隣り合うフローティングゲート電極間には、層間絶縁膜が設けられて電気的な絶縁が確保されている。
上述したような不揮発性メモリにおいて、メモリセルの微細化が進むと、アシストゲート電極の帯状に沿って隣り合うフローティングゲート電極の間隔が狭くなり、その間に寄生する静電容量が大きくなる。このようなフローティングゲート電極間の静電容量が大きくなり、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極の間に寄生する静電容量との容量比が小さくなると、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比を劣化させる。
これにより、コントロールゲート電極によるフローティングゲート電極の電圧制御の制御性が低下する。例えば、低電圧で十分なメモリの書き込み及び消去の速度が得られず、安定して動作させることができる制御電圧のマージンが少ないメモリとなってしまう。
このような不具合を解決するものとして、例えば特許文献1に開示される半導体装置の製造方法が提案されている。特許文献1では、隣接する2つの配線層間の距離である配線間隔が所定位置を超えない部分に対して前記配線層の高さに達しない位置にエアギャップを設けて配線層間の静電容量を低減する。
つまり、上述した不揮発性メモリでは、アシストゲート電極の帯状に沿って隣り合うフローティングゲート電極間に介在する層間絶縁膜にエアギャップを設ける。これにより、フローティングゲート電極間の静電容量が小さくなり、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比を向上させることができる。
特許文献1に開示される従来の技術では、隣り合う配線層間の距離が小さい箇所のみにエアギャップを形成するための特殊な成膜条件を適切に制御しなければならず、製造工程の煩雑化を招くという課題があった。
例えば、前記成膜条件でエアギャップが形成される配線間隔であってもエアギャップが形成されてはならないような周辺回路部が存在する場合、エアギャップを形成すべき箇所ではカバレッジの悪い前記成膜条件を用い、前記周辺回路部ではカバレッジの良い成膜条件を用いるなど、異なる成膜条件での製造処理を使い分けなければならない。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、隣接する配線層及び/又は孤立パターン層の層形状の特定箇所を選択的に細らせて配線層及び/又は孤立パターン層間の距離を広げ、これら層間をカバレッジの良い成膜条件で絶縁膜を積層してもエアギャップを有する層間絶縁膜を形成することができ、所望の配線層及び/又は孤立パターン層間の静電容量を低減できる半導体装置及びその製造方法を得ることを目的とする。
この発明に係る半導体装置は、隣接する配線層及び/又は孤立パターン層について互いの距離が上層から下地基板面までの間で離れるように上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせ、互いの距離が離れた配線層及び/又は孤立パターン層の間にエアギャップを有する層間絶縁膜を備えるものである。
この発明によれば、隣接する配線層及び/又は孤立パターン層について互いの距離が上層から下地基板面までの間で離れるように上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせ、互いの距離が離れた配線層及び/又は孤立パターン層の間にエアギャップを有する層間絶縁膜を備えるので、配線層及び/又は孤立パターン層間の静電容量を低減させることができるという効果がある。
実施の形態1.
図1〜4は、この発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法の各工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図1に示す製造工程から図4に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図1〜4は、この発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法の各工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図1に示す製造工程から図4に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図1に示す工程では、フローティングゲート電極となるポリシリコン膜層のシリコン基板に近い下部に不純物を注入する。
シリコン基板1上に酸化シリコンなどからなる酸化膜2を形成した後、不純物ドープなどで低抵抗化したポリシリコンなどから、アシストゲート電極として機能する導体膜3を形成する。導体膜3は、図1(a)に示すA−A線に沿った帯状を有しており、複数の導体膜3がB−B線に沿って平行に並んで配置される。
シリコン基板1上に酸化シリコンなどからなる酸化膜2を形成した後、不純物ドープなどで低抵抗化したポリシリコンなどから、アシストゲート電極として機能する導体膜3を形成する。導体膜3は、図1(a)に示すA−A線に沿った帯状を有しており、複数の導体膜3がB−B線に沿って平行に並んで配置される。
次に、導体膜3上を覆うように、例えば窒化シリコン(Si3N4など)からなるゲート上窒化膜4を形成する。この後、図1(c)に示すように、各導体膜3に沿って、導体膜3の側面、ゲート上窒化膜4の上面及び側面を覆うように、酸化シリコンなどからなる酸化膜層5を成膜する。
上述した構成を形成した後、図1(b)や図1(c)に示すように、フローティングゲート電極部となるポリシリコン層6をCVD(Chemical Vapor Deposition)法などにより成膜する。続いて、図1(b)や図1(c)中に矢印で示すように、ポリシリコン層6のシリコン基板1表面に近い下部7に対して、通常のイオン注入法などにより高エネルギーでヒ素(As)やボロン(B)などの不純物を注入する。これにより、下部7における当該不純物濃度を高くする。例えば、ヒ素(As)やボロン(B)、BF2+イオンなどを1E15以上注入すると、下部7と他のポリシリコン層6部分との間でエッチングレートに差が生じる。ここまでの処理により図1に示す構成が形成される。
次に、図2に示す工程では、コントロールゲート電極を形成する。
図1に示す工程の後、ドライエッチングにより酸化膜層5に隣接するポリシリコンを残して他の部分のポリシリコンを除去し、その上層にONO(酸化膜、窒化膜、酸化膜)絶縁膜8を成膜する。この後、ポリシリコン層9をCVD法などによりONO絶縁膜8上に積層する。その上層に低抵抗化したポリシリコンなどからなる導体膜10を形成する。さらに、その上層に酸化膜11を形成し、コントロールゲート電極のパターンにエッチングする。これにより、図2(b)や図2(c)に示すような構成が形成される。
図1に示す工程の後、ドライエッチングにより酸化膜層5に隣接するポリシリコンを残して他の部分のポリシリコンを除去し、その上層にONO(酸化膜、窒化膜、酸化膜)絶縁膜8を成膜する。この後、ポリシリコン層9をCVD法などによりONO絶縁膜8上に積層する。その上層に低抵抗化したポリシリコンなどからなる導体膜10を形成する。さらに、その上層に酸化膜11を形成し、コントロールゲート電極のパターンにエッチングする。これにより、図2(b)や図2(c)に示すような構成が形成される。
続いて、図3に示す工程では、フローティングゲート電極部となるポリシリコン膜層のシリコン基板に近い下部を選択的にエッチングする。
先ず、図2の工程で露出したポリシリコン層6の不純物濃度の高い下部7を、ウエットエッチングにより選択的にエッチングする。例えば、フッ化アンモニウムとフッ酸の混合液を用いることにより、エッチングレート比が3:1となる。このエッチングレート差により、図3(b)に示すように下部7のみが細くなる。
先ず、図2の工程で露出したポリシリコン層6の不純物濃度の高い下部7を、ウエットエッチングにより選択的にエッチングする。例えば、フッ化アンモニウムとフッ酸の混合液を用いることにより、エッチングレート比が3:1となる。このエッチングレート差により、図3(b)に示すように下部7のみが細くなる。
この後、図4に示す工程で層間絶縁膜12を形成する。このとき、下部7が逆テーパ形状になって下部7間の距離が離れているので、従来の技術と異なってCVD法などのカバレッジの良い成膜条件で層間絶縁膜12を形成しても、図4(b)に示すように、下部7間にエアギャップ13が形成される。また、図4(c)中に丸で囲んだ部分が、フローティングゲート電極FGとなる。
なお、ポリシリコン層6とその下部7の適切な寸法関係としては、図5(a)に示すように、ポリシリコン層6及び下部7の幅をそれぞれA,B、酸化膜2からの下部7の高さをC、下部7からのポリシリコン層6の高さをDとすると、A:B=10.8:10.4程度となるように逆テーパ形状の下部7を形成する。また、このとき、図5(a)、(b)に示すように、下部7より上方のポリシリコン層6部分、即ちONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分は、シリコン基板1に対して垂直な層形状が崩れて接触面積が減少しないようにウエットエッチング処理を制御する。
このような寸法関係にすることで、ONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分との間に寄生する静電容量の大きさは維持しつつ、部分7間、即ちフローティングゲート電極間に寄生した静電容量を減少させることができる。これにより、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極の間に寄生する静電容量との容量比が大きくなるので、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比を向上させることができる。
以上のように、この実施の形態1によれば、隣接するフローティングゲート電極層を形成し、これら隣接するフローティングゲート電極層間の上層から下地基板面までの間にエッチングを促進させる不純物としてヒ素やボロンを注入し、エッチングにより隣接するフローティングゲート電極層の上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせるので、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比が向上し、コントロールゲート電極によるフローティングゲート電極の電圧制御の制御性を向上させることができる。これにより、例えば低電圧でも十分なメモリの書き込み及び消去の速度を得ることができるなど、安定して動作する制御電圧のマージンが多いメモリを得ることができる。
実施の形態2.
図6〜8は、この発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法の各工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図6に示す製造工程から図8に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図6〜8は、この発明の実施の形態2による半導体装置の製造方法の各工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図6に示す製造工程から図8に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図6に示す工程では、フローティングゲート電極となるポリシリコン膜層のシリコン基板に近い下部以外に窒素や酸素などを注入する。
上記実施の形態1と同様に、シリコン基板1上に酸化シリコンなどからなる酸化膜2を形成した後、不純物ドープなどで低抵抗化したポリシリコンなどからアシストゲート電極として機能する導体膜3を形成する。導体膜3は、図6(a)に示すA−A線に沿った帯状を有しており、複数の導体膜3がB−B線に沿って平行に並んで配置される。
上記実施の形態1と同様に、シリコン基板1上に酸化シリコンなどからなる酸化膜2を形成した後、不純物ドープなどで低抵抗化したポリシリコンなどからアシストゲート電極として機能する導体膜3を形成する。導体膜3は、図6(a)に示すA−A線に沿った帯状を有しており、複数の導体膜3がB−B線に沿って平行に並んで配置される。
次に、導体膜3上を覆うように、例えば窒化シリコン(Si3N4など)からなるゲート上窒化膜4を形成する。この後、図6(c)に示すように、各導体膜3に沿って、導体膜3の側面、ゲート上窒化膜4の上面及び側面を覆うように、酸化シリコンなどからなる酸化膜層5を成膜する。続いて、図6(b)や図6(c)に示すように、フローティングゲート電極部となるポリシリコン層6をCVD(Chemical Vapor Deposition)法などにより成膜する。
上述した構成を形成した後、ドライエッチングにより酸化膜層5に隣接するポリシリコンを残して他の部分のポリシリコンを除去し、その上層にONO(酸化膜、窒化膜、酸化膜)絶縁膜8を成膜する。この後、ポリシリコン層9をCVD法などによりONO絶縁膜8上に積層する。その上層に低抵抗化したポリシリコンなどからなる導体膜10を形成する。さらに、その上層に酸化膜11を形成し、コントロールゲート電極のパターンにエッチングする。
このあと、シリコン基板1上でフローティングゲート電極の下部が露出した状態で斜めからアルゴンや窒素、酸素などを注入する。このとき、注入角度を調整することにより、ポリシリコン層6のうち、ウエットエッチングのエッチングレートを遅くしたい、ONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分にのみ注入を行い、アモルファス化したシリコン部分14を形成する。これにより、図6(b)や図6(c)に示すような構成が形成される。
続いて、図7に示す工程では、フローティングゲート電極となるポリシリコン膜層のシリコン基板に近い下部を選択的にエッチングする。
先ず、図6の工程でアルゴンや窒素、酸素などが注入されず、アモルファス化されなかったポリシリコン層部分を選択的にエッチングする。例えば、フッ化アンモニウムとフッ酸の混合液を用いることにより、エッチングレート比が2:1となる。これにより、図7(b)に示すように、アモルファス化したポリシリコン層部分14の形状は維持され、下方のポリシリコン層6部分のみが細くなる。
先ず、図6の工程でアルゴンや窒素、酸素などが注入されず、アモルファス化されなかったポリシリコン層部分を選択的にエッチングする。例えば、フッ化アンモニウムとフッ酸の混合液を用いることにより、エッチングレート比が2:1となる。これにより、図7(b)に示すように、アモルファス化したポリシリコン層部分14の形状は維持され、下方のポリシリコン層6部分のみが細くなる。
この後、図8に示す工程で層間絶縁膜12を形成する。このとき、下方のポリシリコン層6部分が逆テーパ形状になって、これらの距離が離れているので、従来の技術と異なってCVD法などのカバレッジの良い成膜条件で層間絶縁膜12を形成しても、図8(b)に示すようにエアギャップ13が形成される。
なお、図6に示したアルゴンや窒素、酸素の注入処理では、シャドウイングを利用して所望の箇所のみに注入する。具体的に説明すると、図9に示すように、ポリシリコン層6のうち、ONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分より下方の部分の高さをC、この部分より上方の高さをE、ポリシリコン層6を含む配線層間の距離をFとすると、注入角度θをθ=tan(E/F)とする。
これにより、図9(a)、(b)に示すように、アルゴンや窒素、酸素の注入でアモルファス化したシリコン部分14、即ちONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分は、シリコン基板1に対して垂直な形状が維持され、部分14より下方のポリシリコン層6部分のみが細くなる。
このようにすることで、ONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分との間に寄生する静電容量の大きさは維持しつつ、フローティングゲート電極間に寄生した静電容量を減少させることができる。これにより、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極の間に寄生する静電容量との容量比が大きくなるので、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比を向上させることができる。
以上のように、この実施の形態2によれば、隣接するフローティングゲート電極層を形成し、これら隣接するフローティングゲート電極層について互いの層形状を細らせたくないさらに上層部分にエッチングを遅延させる窒素や酸素などの不純物を注入してアモルファス化し、エッチングにより隣接するフローティングゲート電極層の上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせるので、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比が向上し、コントロールゲート電極によるフローティングゲート電極の電圧制御の制御性を向上させることができる。これにより、例えば低電圧でも十分なメモリの書き込み及び消去の速度を得ることができるなど、安定して動作する制御電圧のマージンが多いメモリを得ることができる。
実施の形態3.
実施の形態3は、上記実施の形態1及び2を組み合わせた処理を施すことで、選択的にエッチングしたい部分のエッチングレート比を向上させた例を示す。
実施の形態3は、上記実施の形態1及び2を組み合わせた処理を施すことで、選択的にエッチングしたい部分のエッチングレート比を向上させた例を示す。
先ず、上記実施の形態1で示した図1と同様に、シリコン基板1上に酸化シリコンなどからなる酸化膜2を形成した後、不純物ドープなどで低抵抗化したポリシリコンなどからアシストゲート電極として機能する導体膜3を形成する。次に、導体膜3上を覆うように、例えば窒化シリコン(Si3N4など)からなるゲート上窒化膜4を形成する。この後、図1(c)に示すように、各導体膜3に沿って、導体膜3の側面、ゲート上窒化膜4の上面及び側面を覆うように、酸化シリコンなどからなる酸化膜層5を成膜する。
続いて、上述した構成を形成した後、図1(b)や図1(c)に示すように、フローティングゲート電極となるポリシリコン層6をCVD(Chemical Vapor Deposition)法などにより成膜する。次に、上記実施の形態1と同様に、ポリシリコン層6のシリコン基板1表面に近い下部に対して、通常のイオン注入法などにより高エネルギーでヒ素(As)やボロン(B)などの不純物を注入する。これにより、当該部分における当該不純物濃度を高くする。例えば、ヒ素(As)やボロン(B)、BF2+イオンなどを1E15以上注入すると、他のポリシリコン層部分との間でエッチングレートに差が生じる。
このあと、上記実施の形態1で示した図2と同様に、前述した工程の後、ドライエッチングにより酸化膜層5に隣接するポリシリコンを残して他の部分のポリシリコンを除去し、その上層にONO(酸化膜、窒化膜、酸化膜)絶縁膜8を成膜する。この後、ポリシリコン層9をCVD法などによりONO絶縁膜8上に積層する。その上層に低抵抗化したポリシリコンなどからなる導体膜10を形成する。さらに、その上層に酸化膜11を形成し、コントロールゲート電極のパターンにエッチングする。
次に、上記実施の形態2で示した図6と同様に、シリコン基板1上でフローティングゲート電極の下部が露出した状態で斜めからアルゴンや窒素、酸素などを注入する。このとき、注入角度を調整することにより、ポリシリコン層6のうち、ウエットエッチングのエッチングレートを遅くしたい、ONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分に注入を行い、アモルファス化したシリコン部分を形成する。
以上の処理によって、ポリシリコン層6のシリコン基板1表面に近い部分には、ヒ素(As)やボロン(B)、BF2+イオンなどの不純物が注入され、この部分より上方のONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分に相当する箇所には、アルゴンや窒素、酸素などが注入されてアモルファス化される。
続いて、ウエットエッチングにより、ポリシリコン層6のうち、アルゴンや窒素、酸素などが注入されず、アモルファス化されなかった部分であって、ヒ素(As)やボロン(B)、BF2+イオンなどの不純物が注入されて拡散層となった部分を選択的にエッチングする。例えば、フッ化アンモニウムとフッ酸の混合液を用いることにより、エッチングレート比が6:1となる。これにより、図3(b)や図7(b)に示すように、アモルファス化したポリシリコン層部分の形状は維持され、下方のポリシリコン層6部分のみが細くなる。
この後、上記実施の形態1で示した図4や上記実施の形態2で示した図8のように層間絶縁膜12を形成する。このとき、下方のポリシリコン層6部分が逆テーパ形状になって、これらの距離が離れているので、従来の技術と異なってCVD法などのカバレッジの良い成膜条件で層間絶縁膜12を形成してもエアギャップが形成される。
以上のように、この実施の形態3によれば、隣接するフローティングゲート電極層を形成し、これら隣接するフローティングゲート電極層間の上層から下地基板面までの間にエッチングを促進させる不純物としてヒ素やボロンを注入し、互いの層形状を細らせたくないさらに上層部分にエッチングを遅延させる不純物として窒素や酸素を注入してアモルファス化し、エッチングにより隣接するフローティングゲート電極層の上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせるので、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比が向上し、コントロールゲート電極によるフローティングゲート電極の電圧制御の制御性を向上させることができる。これにより、例えば低電圧でも十分なメモリの書き込み及び消去の速度を得ることができるなど、安定して動作する制御電圧のマージンが多いメモリを得ることができる。
実施の形態4.
図10〜12は、この発明の実施の形態4による半導体装置の製造方法の一工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図10に示す製造工程から図12に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図10〜12は、この発明の実施の形態4による半導体装置の製造方法の一工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図10に示す製造工程から図12に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図10に示す工程では、シリコン基板1上に酸化シリコンなどからなる酸化膜2を形成した後、不純物ドープなどで低抵抗化したポリシリコンなどからアシストゲート電極として機能する導体膜3を形成する。導体膜3は、図10(a)に示すA−A線に沿った帯状を有しており、図10(c)に示すように複数の導体膜3がB−B線に沿って平行に並んで配置される。
次に、導体膜3上を覆うように、例えば窒化シリコン(Si3N4など)からなるゲート上窒化膜4を形成する。この後、図10(c)に示すように、各導体膜3に沿って、導体膜3の側面、ゲート上窒化膜4の上面及び側面を覆うように、酸化シリコンなどからなる酸化膜層5を成膜する。続いて、図10(b)や図10(c)に示すように、フローティングゲート電極部となるポリシリコン層6をCVD(Chemical Vapor Deposition)法などにより成膜する。
上述した構成を形成した後、ドライエッチングにより酸化膜層5に隣接するポリシリコンを残して他の部分のポリシリコンを除去し、その上層にONO(酸化膜、窒化膜、酸化膜)絶縁膜8を成膜する。この後、ポリシリコン層9をCVD法などによりONO絶縁膜8上に積層する。その上層に低抵抗化したポリシリコンなどからなる導体膜10を形成する。さらに、その上層に酸化膜11を形成し、コントロールゲート電極のパターンにエッチングする。これにより、図10(b)に示すように、シリコン基板1上でフローティングゲート電極部となるポリシリコン層6が露出した状態が形成される。
続いて、図11に示す工程では、シリコン基板1上でフローティングゲート電極部が露出した状態でウエットエッチングを実行する。例えば、フッ酸などを用いることにより、他の膜材料とのウエットエッチングのエッチングレート差からポリシリコン層6,9が選択的にエッチングされる。これにより、図11(b)に示すように、フローティングゲート電極部となるポリシリコン層6及びコントロールゲート電極部となるポリシリコン層9部分の層形状が細くなる。一方、ポリシリコンよりエッチングされにくいONO絶縁膜8は、図11(b)に示すように、その層形状が維持されて下層のポリシリコン層6を上方から隠すような庇(ひさし)形状となる。
この後、図12に示す工程で層間絶縁膜12を形成する。このとき、ONO絶縁膜8が下層のポリシリコン層6を上方から隠す庇形状となっているので、従来の技術と異なってCVD法などのカバレッジの良い成膜条件で層間絶縁膜12を形成しても、図12(b)に示すようにエアギャップ13が形成される。
以上のように、この実施の形態4によれば、フローティングゲート電極部を構成するポリシリコン層6よりエッチングレートが小さいONO絶縁膜8をポリシリコン層6の上層に形成し、これらのエッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、ポリシリコン層6の層形状を選択的に細らせ、このウエットエッチングにおいて層形状が維持されたONO絶縁膜8を庇として絶縁膜を積層することによりフローティングゲート電極部となるポリシリコン層6間にエアギャップを有する層間絶縁膜12を形成するので、ONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分との間に寄生する静電容量の大きさは維持しつつ、フローティングゲート電極間に寄生した静電容量を減少させることができる。これにより、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極の間に寄生する静電容量との容量比が大きくなるので、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比を向上させることができる。
実施の形態5.
図13〜18は、この発明の実施の形態5による半導体装置の製造方法の一工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図13に示す製造工程から図18に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図13〜18は、この発明の実施の形態5による半導体装置の製造方法の一工程における構成を示す図であり、半導体装置として不揮発性メモリを例に挙げ、図13に示す製造工程から図18に示す製造工程のへ進むものとする。また、各図において、(a)は半導体装置のレイアウトを示す上面図、(b)は(a)中のA−A線での断面図、(c)は(a)中のB−B線での断面図を示している。
図13に示す工程では、シリコン基板1上に酸化シリコンなどからなる酸化膜2を形成した後、不純物ドープなどで低抵抗化したポリシリコンなどからアシストゲート電極として機能する導体膜3を形成する。導体膜3は、図13(a)に示すA−A線に沿った帯状を有しており、図13(c)に示すように複数の導体膜3がB−B線に沿って平行に並んで配置される。
次に、導体膜3上を覆うように、例えば窒化シリコン(Si3N4など)からなるゲート上窒化膜4を形成する。この後、図13(c)に示すように、各導体膜3に沿って、導体膜3の側面、ゲート上窒化膜4の上面及び側面を覆うように、酸化シリコンなどからなる酸化膜層5を成膜する。続いて、フローティングゲート電極部となるポリシリコン層6をCVD(Chemical Vapor Deposition)法などにより成膜する。
上述した構成を形成した後、ドライエッチングにより酸化膜層5に隣接するポリシリコンを残して他の部分のポリシリコンを除去し、その上層にONO(酸化膜、窒化膜、酸化膜)絶縁膜8を成膜する。この後、ポリシリコン層9をCVD法などによりONO絶縁膜8上に積層する。その上層に低抵抗化したポリシリコンなどからなる導体膜10を形成する。
さらに、その上層に酸化膜11を形成し、コントロールゲート電極のパターンにエッチングする。ここで、本実施の形態では、図13(b)に示すように、当該エッチングをONO絶縁膜8でストップする。
次に、図14に示す工程で、ONO絶縁膜8の上層部を覆うように保護膜15を形成する。例えば、シリコン窒化膜をCVD法などにより成膜することで、図14(b)及び図14(c)に示すように、ONO絶縁膜8上のポリシリコン層9、導体膜10及び酸化膜11からなる層部分をシリコン窒化膜の保護膜15で被覆する。
続いて、図15に示す工程で、保護膜15をエッチバックすることにより、ONO絶縁膜8上のポリシリコン層9、導体膜10及び酸化膜11からなる層部分の側壁にのみ保護膜15を残す(図15(b)参照)。
この後、図16に示す工程で、ONO絶縁膜8上のポリシリコン層9、導体膜10及び酸化膜11からなる層部分の側壁にのみ保護膜15を有する構成に対して、コントロールゲート電極のパターンにエッチングする。これにより、図16(b)に示すように、シリコン基板1上でフローティングゲート電極部となるポリシリコン層6が露出した状態が形成される。
続く図17に示す工程では、シリコン基板1上でフローティングゲート電極部が露出した状態でウエットエッチングを実行する。例えば、フッ酸などを用いることにより、保護膜15とポリシリコン層6とのウエットエッチングのエッチングレート差からポリシリコン層6が選択的にエッチングされる。これにより、図17(b)に示すように、フローティングゲート電極部となるポリシリコン層6部分の層形状が細くなる。
一方、ポリシリコンよりエッチングされにくい保護膜15で被覆されたONO絶縁膜8の上層の構成層は、図17(b)に示すように、その層形状が維持されて下層のポリシリコン層6を上方から隠すような庇(ひさし)形状となる。このとき、酸化膜11は完全に除去される(図17(c)参照)。
この後、図18に示す工程で、層間絶縁膜12を形成する。このとき、保護膜15で被覆されたONO絶縁膜8の上層の構成層が下層のポリシリコン層6を上方から隠す庇形状となっているので、従来の技術と異なってCVD法などのカバレッジの良い成膜条件で層間絶縁膜12を形成しても、図18(b)に示すようにエアギャップ13が形成される。
以上のように、この実施の形態5によれば、層形状を細らせたくないONO絶縁膜8より上層部分にウエットエッチングを遅延させる保護膜15を形成し、当該保護膜15とフローティングゲート電極部を構成するポリシリコン層6とのエッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、ポリシリコン層6の層形状を選択的に細らせ、このウエットエッチングにおいて層形状が維持された保護膜15で被覆されたONO絶縁膜8の上層の構成層を庇として絶縁膜を積層することによりフローティングゲート電極部となるポリシリコン層6間にエアギャップを有する層間絶縁膜12を形成するので、ONO絶縁膜8とフローティングゲート電極が接する部分との間に寄生する静電容量の大きさは維持しつつ、フローティングゲート電極間に寄生した静電容量を減少させることができる。これにより、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極の間に寄生する静電容量との容量比が大きくなるので、コントロールゲート電極とフローティングゲート電極とのカップリング比を向上させることができる。
なお、上記実施の形態1〜5では、フローティングゲート電極層間の距離を広げてエアギャップを形成する例を示したが、本発明はこれらに限定させるものではない。つまり、配線層及び/又は孤立パターン層の間で静電寄生容量を低減したい箇所があれば、本発明を適用して配線層及び/又は孤立パターン層自体を細くすることで隣接するもの同士の間隔を広げることで、これらの間の静電寄生容量を低減することができる。
1 シリコン基板、2 酸化膜、3,10 導体膜、4 ゲート上窒化膜、5 酸化膜層、6 ポリシリコン層、7 下部、8 ONO絶縁膜、9 ポリシリコン層、11 酸化膜、12 層間絶縁膜、13 エアギャップ、14 アモルファス化したシリコン部分、15 保護膜。
Claims (12)
- 隣接する配線層及び/又は孤立パターン層について互いの距離が上層から下地基板面までの間で離れるように前記上層から前記下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせ、互いの距離が離れた前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の間にエアギャップを有する層間絶縁膜を備えた半導体装置。
- 半導体基板上に複数の電荷蓄積用のフローティングゲート電極を構成する配線層を備えた不揮発性メモリ構造を有し、隣接する前記フローティングゲート電極を構成する配線層について上層から下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせ、互いの距離が離れた前記配線層間にエアギャップを有する層間絶縁膜を備えたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 層間絶縁膜は、隣接する配線層のフローティングゲート電極部間にエアギャップを有することを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 半導体基板上に形成した隣接する配線層及び/又は孤立パターン層間にエアギャップを有する層間絶縁膜を備えた半導体装置の製造方法において、
エッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層について互いの距離が上層から下地基板面までの間で離れるように前記上層から前記下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせるステップと、
互いの距離が離れた前記配線層及び/又は前記孤立パターン層間に絶縁膜を積層して前記配線層及び/又は前記孤立パターン層間に前記エアギャップを有する層間絶縁膜を形成するステップとを備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体装置は、半導体基板上に複数の電荷蓄積用のフローティングゲート電極を構成する配線層を備えた不揮発性メモリ構造を有し、
エッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、隣接する前記フローティングゲート電極を構成する配線層について互いの距離が上層から下地基板面までの間で離れるように前記上層から前記下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせ、
互いの距離が離れた前記配線層間に絶縁膜を積層して前記配線層間にエアギャップを有する層間絶縁膜を形成することを特徴とする請求項4記載の半導体装置の製造方法。 - 隣接する配線層及び/又は孤立パターン層の間の上層から下地基板面までの間にウエットエッチングを促進させる不純物を注入し、当該不純物注入により生じるエッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の前記上層から前記下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- 隣接する配線層及び/又は孤立パターン層について互いの層形状を細らせたくないさらに上層部分にウエットエッチングを遅延させる不純物を注入し、当該不純物注入により生じたエッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の前記上層から前記下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の半導体装置の製造方法。
- 隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の間の上層から下地基板面までの間にエッチングを促進させる不純物を注入するステップと、
隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層について互いの層形状を細らせたくないさらに上層部分にエッチングを遅延させる不純物を注入するステップと、
前記不純物注入により生じたエッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の前記上層から前記下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせるステップとを備えたことを特徴とする請求項4又は請求項5記載の半導体装置の製造方法。 - 配線層及び/又は孤立パターン層は、下地基板面から上層までの部分がポリシリコンで形成されており、ウエットエッチングを促進させる不純物としてヒ素、リン、ボロン及びBF2+のうちの少なくとも1つを前記部分に注入することを特徴とする請求項6又は請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 配線層及び/又は孤立パターン層は、上層部分がポリシリコンで形成されており、ウエットエッチングを遅延させる不純物としてアルゴン、窒素及び酸素のうちの少なくとも1つを前記部分に注入し、アモルファス化してエッチングを遅延させることを特徴とする請求項7又は請求項8記載の半導体装置の製造方法。
- 隣接する配線層及び/又は孤立パターン層において、層形状を細らせたい構成層よりエッチングレートが小さい構成層を前記層形状を細らせたい構成層の上層に形成し、
隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の構成層のエッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の互いの前記細らせたい構成層の層形状を選択的に細らせ、
前記ウエットエッチングにおいて層形状が維持された前記細らせたい構成層の上層に形成した構成層を庇として前記配線層及び/又は前記孤立パターン層間に絶縁膜を積層することにより前記配線層及び/又は前記孤立パターン層間に前記エアギャップを有する層間絶縁膜を形成することを特徴とする請求項4又は請求項5記載の半導体装置の製造方法。 - 隣接する配線層及び/又は孤立パターン層について互いの層形状を細らせたくないさらに上層部分にウエットエッチングを遅延させる保護膜を形成し、当該保護膜による他の部分とのエッチングレート差を用いたウエットエッチングにより、隣接する前記配線層及び/又は前記孤立パターン層の前記上層から前記下地基板面へ向けて互いの層形状を選択的に細らせることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の半導体装置の製造方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008153501A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2010027922A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
US7795092B2 (en) | 2007-06-27 | 2010-09-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
US8513809B2 (en) | 2010-05-12 | 2013-08-20 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor device |
US9219066B2 (en) | 2012-03-23 | 2015-12-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing semiconductor storage device and semiconductor storage device |
Families Citing this family (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4731262B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2011-07-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置および、不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
JP2008283095A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-11-20 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP4729060B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2011-07-20 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置の製造方法 |
JP2009212218A (ja) * | 2008-03-03 | 2009-09-17 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
US7919387B2 (en) * | 2008-03-17 | 2011-04-05 | International Business Machines Corporation | Structure and method for manufacturing memory |
US8546239B2 (en) | 2010-06-11 | 2013-10-01 | Sandisk Technologies Inc. | Methods of fabricating non-volatile memory with air gaps |
US8946048B2 (en) | 2010-06-19 | 2015-02-03 | Sandisk Technologies Inc. | Method of fabricating non-volatile memory with flat cell structures and air gap isolation |
US8603890B2 (en) | 2010-06-19 | 2013-12-10 | Sandisk Technologies Inc. | Air gap isolation in non-volatile memory |
US8492224B2 (en) | 2010-06-20 | 2013-07-23 | Sandisk Technologies Inc. | Metal control gate structures and air gap isolation in non-volatile memory |
JP5570953B2 (ja) | 2010-11-18 | 2014-08-13 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置および不揮発性半導体記憶装置の製造方法 |
SG10201408390TA (en) * | 2010-11-18 | 2015-01-29 | Toshiba Kk | Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method of nonvolatile semiconductor memory device |
US8778749B2 (en) | 2011-01-12 | 2014-07-15 | Sandisk Technologies Inc. | Air isolation in high density non-volatile memory |
JP2013021102A (ja) * | 2011-07-11 | 2013-01-31 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置 |
US9123714B2 (en) | 2012-02-16 | 2015-09-01 | Sandisk Technologies Inc. | Metal layer air gap formation |
KR102031174B1 (ko) | 2012-11-16 | 2019-10-11 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자, 반도체 소자의 제조 방법 및 기판 가공 장치 |
KR102046976B1 (ko) | 2012-12-04 | 2019-12-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 그 제조 방법 |
US9123577B2 (en) | 2012-12-12 | 2015-09-01 | Sandisk Technologies Inc. | Air gap isolation in non-volatile memory using sacrificial films |
US9349740B2 (en) | 2014-01-24 | 2016-05-24 | Sandisk Technologies Inc. | Non-volatile storage element with suspended charge storage region |
US9177853B1 (en) | 2014-05-14 | 2015-11-03 | Sandisk Technologies Inc. | Barrier layer stack for bit line air gap formation |
US9478461B2 (en) | 2014-09-24 | 2016-10-25 | Sandisk Technologies Llc | Conductive line structure with openings |
US9524904B2 (en) | 2014-10-21 | 2016-12-20 | Sandisk Technologies Llc | Early bit line air gap formation |
US9401305B2 (en) | 2014-11-05 | 2016-07-26 | Sandisk Technologies Llc | Air gaps structures for damascene metal patterning |
US9847249B2 (en) | 2014-11-05 | 2017-12-19 | Sandisk Technologies Llc | Buried etch stop layer for damascene bit line formation |
US9524973B1 (en) | 2015-06-30 | 2016-12-20 | Sandisk Technologies Llc | Shallow trench air gaps and their formation |
US9524974B1 (en) | 2015-07-22 | 2016-12-20 | Sandisk Technologies Llc | Alternating sidewall assisted patterning |
US9607997B1 (en) | 2015-09-08 | 2017-03-28 | Sandisk Technologies Inc. | Metal line with increased inter-metal breakdown voltage |
US9391081B1 (en) | 2015-09-08 | 2016-07-12 | Sandisk Technologies Llc | Metal indentation to increase inter-metal breakdown voltage |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09139495A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-05-27 | Nippon Steel Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2773729B2 (ja) * | 1996-02-29 | 1998-07-09 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US5759913A (en) * | 1996-06-05 | 1998-06-02 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of formation of an air gap within a semiconductor dielectric by solvent desorption |
US5814555A (en) * | 1996-06-05 | 1998-09-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | Interlevel dielectric with air gaps to lessen capacitive coupling |
US6355567B1 (en) * | 1999-06-30 | 2002-03-12 | International Business Machines Corporation | Retrograde openings in thin films |
US6214719B1 (en) * | 1999-09-30 | 2001-04-10 | Novellus Systems, Inc. | Method of implementing air-gap technology for low capacitance ILD in the damascene scheme |
US6894341B2 (en) * | 2001-12-25 | 2005-05-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and manufacturing method |
US6531376B1 (en) * | 2002-04-17 | 2003-03-11 | Semiconductor Components Industries Llc | Method of making a semiconductor device with a low permittivity region |
US7045849B2 (en) * | 2003-05-21 | 2006-05-16 | Sandisk Corporation | Use of voids between elements in semiconductor structures for isolation |
JP2005039216A (ja) * | 2003-06-23 | 2005-02-10 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
US6881668B2 (en) * | 2003-09-05 | 2005-04-19 | Mosel Vitel, Inc. | Control of air gap position in a dielectric layer |
KR100553839B1 (ko) * | 2003-11-27 | 2006-02-24 | 삼성전자주식회사 | 캐패시터와 그 제조 방법, 이를 포함하는 반도체 장치 및그 제조 방법 |
-
2005
- 2005-02-16 JP JP2005039429A patent/JP2006228893A/ja not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-02-10 TW TW095104521A patent/TW200634981A/zh unknown
- 2006-02-13 KR KR1020060013448A patent/KR20060092072A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-02-16 US US11/355,177 patent/US20060194390A1/en not_active Abandoned
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008153501A (ja) * | 2006-12-19 | 2008-07-03 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
US7795092B2 (en) | 2007-06-27 | 2010-09-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2010027922A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Toshiba Corp | 半導体記憶装置及びその製造方法 |
US8158479B2 (en) | 2008-07-22 | 2012-04-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device and manufacturing method thereof |
US8581325B2 (en) | 2008-07-22 | 2013-11-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor memory device and manufacturing method thereof |
US8513809B2 (en) | 2010-05-12 | 2013-08-20 | Elpida Memory, Inc. | Semiconductor device |
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