JP2006226861A - 熱式流量計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 流体の流れにより生じる温度差を検出して流路を流れる流体の流量を測定する熱式流量計において、流路となる溝部が形成された第1のガラス基板と、この第1のガラス基板と接合され管状の流路を形成する第2のガラス基板と、この第2のガラス基板の表面において前記流路内に相当する位置に形成された流量計測部と、この流量計測部を覆うように形成された保護膜とを具備したことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
さらに詳しくは、耐腐食性が高く、広い流量範囲を測定することができるとともに、応答性の良い熱式流量計に関するものである。
また、演算制御手段により、温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、この規格化された温度差に基づき流量を求めるようにすると、流量増加に伴う検出温度差の低下を補償して、広い流量範囲を測定することが可能となる。
さらに、流量計測部を流路内に配置することができるので、第1及び第2のガラス基板の厚さを同程度とすることができ、ガラス基板の接合、すなわち、流路の形成が容易となる。
図1は本発明の熱式流量計の一実施例を示す構成図である。図において、(a)は平面図、(b)はそのA−A断面図である。11は第1のガラス基板、12は第1のガラス基板11表面に形成された、流路となる溝部である。溝部12はエッチングやサンドブラストなどの方法により形成される。13は第1のガラス基板11と接合され、溝部12とともに管状の流路を形成する第2のガラス基板である。ガラス基板同士の接合には、フッ酸や水ガラスなどを使用する方法や、熱融着(熱圧着)による方法などが考えられる。
2、8、14 伝熱手段
3、4、15、16 温度検出手段
5、18 演算制御手段
6、11、13 ガラス基板
7、9 シリコン基板
12 溝部
17 保護膜
Claims (7)
- 流体の流れにより生じる温度差を検出して流路を流れる流体の流量を測定する熱式流量計において、流路となる溝部が形成された第1のガラス基板と、この第1のガラス基板と接合され管状の流路を形成する第2のガラス基板と、この第2のガラス基板の表面において前記流路内に相当する位置に形成された流量計測部と、この流量計測部を覆うように形成された保護膜とを具備したことを特徴とする熱式流量計。
- 前記流量計測部は、流路内の流体に熱を伝える伝熱手段と、この流路上であって伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側及び下流側の温度検出手段とよりなることを特徴とする請求項1に記載の熱式流量計。
- 前記流路を流れる流体の温度を前記伝熱手段により制御するとともに、前記上流側及び下流側の温度検出手段で検出された温度の温度差を温度和で除算した規格化された温度差を求め、この規格化された温度差に基づき流量を求める演算制御手段を備えたことを特徴とする請求項2に記載の熱式流量計。
- 前記第1のガラス基板と第2のガラス基板とは、同程度の厚みを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱式流量計。
- 前記第2のガラス基板表面に形成される流量計測部および保護膜は、半導体技術により形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の熱式流量計。
- 前記保護膜は、パッシベーション膜であることを特徴とする請求項5に記載の熱式流量計。
- 前記パッシベーション膜は、シリコン酸化膜であることを特徴とする請求項6に記載の熱式流量計。
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---|---|---|---|---|
JPH02120621A (ja) * | 1988-10-31 | 1990-05-08 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 流量測定回路 |
JP2003532099A (ja) * | 2000-05-04 | 2003-10-28 | ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト | 液体用のフローセンサ |
US6794981B2 (en) * | 1998-12-07 | 2004-09-21 | Honeywell International Inc. | Integratable-fluid flow and property microsensor assembly |
-
2005
- 2005-02-18 JP JP2005041560A patent/JP4811636B2/ja active Active
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