JP2006224204A

JP2006224204A - 研磨テープ

Info

Publication number: JP2006224204A
Application number: JP2005037936A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Tottori; 高明鳥取
Original assignee: REFURAITO KK
Current assignee: REFURAITO KK
Priority date: 2005-02-15
Filing date: 2005-02-15
Publication date: 2006-08-31

Abstract

【課題】基材のホツレを防止する。
【解決手段】テトロン長繊維を平織りにしたテトロンタフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有する基材１上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分なフレキシビリティを有する研磨材層２を形成するとともに基材１の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつクッション性を失わないようにした弾性層３を設けた研磨テープにおいて、弾性層３を、ポリエステル系樹脂又はウレタン系樹脂にガラスカレットと炭酸カルシウムを溶剤にて混練させた塗液を塗布して形成した。
【選択図】図１

Description

本発明は、研磨加工に用いられる研磨テープに関する。

最近のシリコンウエハやハードディスクをはじめとする電子あるいは光学部品の研磨加工に要求される精度は高く、そのために研磨テープが用いられるようになった。代表的な研磨テープとしては、基材としてポリエステルフィルムを用い、この基材上に各種砥粒を接着剤で塗布したものがあり、ラッピングフィルムと呼ばれている。従来のラッピングフィルムは、フレキシビリティに富み、しかも曲面に対してもよくなじむが、ガラスやプラスチックレンズの研磨加工や複雑な曲面研磨加工などに対するフィット性に問題点を生じている。そこで、不織布に砥粒をコーティングしたものが開発され、フレキシビリティを増し、フィット性を向上させた。

フロッピーディスクのテクスチャリングとして不織布に研磨材を斜線縞模様状に塗布したものは、金属平面の鏡面研磨加工の精度が今一歩であった。そこで、研磨加工の精度を向上させるために、テトロン長繊維を平織りにしたテトロンタフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有する基材上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分なフレキシビリティを有する研磨材層を形成するとともに基材の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつクッション性を失わないようにゴムコーティング処理を施し又は発泡層を形成して弾性層を設けたものが開発された（特許文献１参照）。
特許第２８０７６３０号公報（第２頁、図１）

従来例のものは、テトロンタフタの裏面にゴムコーティング処理あるいは発泡層を設けただけであるため、研磨作業中に織物（テトロンタフタ）特有の繊維のホツレが生じ、このホツレ部分の表面に付着していた研磨材の一部が被加工物に作用してその加工面を荒らすことがあった。

そこで、テトロンタフタから成る基材のホツレを防止するとともに、研磨力に対するクッション性を向上させ、被加工物の表面に優しくかつ均一に接触して精密な研磨を可能にした研磨テープを提供することを目的とする。

上述の目的を達成するため、本発明は、テトロン長繊維を平織りにしたテトロンタフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有する基材上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分なフレキシビリティを有する研磨材層を形成するとともに基材の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつクッション性を失わないようにした弾性層を設けた研磨テープにおいて、前記弾性層を、ポリエステル系樹脂又はウレタン系樹脂にガラスカレットと炭酸カルシウムを溶剤にて混練させた塗液を塗布して形成したものである。

本発明は、テトロン長繊維を平織りにしたテトロンタフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有する基材上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分なフレキシビリティを有する研磨材層を形成するとともに基材の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつクッション性を失わないようにした弾性層を設けた研磨テープにおいて、前記弾性層を、ポリエステル系樹脂又はウレタン系樹脂にガラスカレットと炭酸カルシウムを溶剤にて混練させた塗液を塗布して形成したので、この弾性層が基材へ浸透して両者が強固に接着し、基材のホツレを防止することができる。また、ポリエステル系樹脂やウレタン系樹脂が弾力性を付与し、ガラスカレットと炭酸カルシウムが、寸法安定性と強度の向上を図っている。

また、基材と弾性層との間にポリエチレンテレフタレートフィルムを設けたものでは、より一層の強度が得られ、寸法安定性も向上した。

以下に本発明の実施形態を図面を参照にして説明する。

図１において、基材１としてテトロンタフタを用い、基材１上、すなわち基材１の表面に研磨材層２を形成し、基材１の裏面に弾性層３を成形したものである。テトロンタフタは、テトロン長繊維を平織りにしたものであり、６０〜７５デニールのテトロン長繊維を使用した。研磨材層２は、各種砥粒を接着剤で基材１上にコーティングして形成される。研磨材質としては、ダイヤモンド，酸化クロム，酸化鉄，酸化アルミナ，炭化珪素などが用いられ、接着剤としてはアクリル系，エポキシ系，ウレタン系などのものが用いられる。ダイヤモンド砥粒（粒度♯２００〜♯１０，０００）を高強度・耐熱性樹脂であるポリイミド樹脂と混練したものをローラーコート法により基材１上にコーティングした場合、十分なフレキシビリティを有し、砥粒保持力がきわめて高く、大きな研磨負荷にも十分に耐えることができた。また、炭化珪素（ＳｉＣ）を砥粒材質とし、平均砥粒径２０μｍ，１２μｍ，８．７μｍとした研磨材層２をテトロンタフタの基材１上にローラーコーティングしたものは、夫々従来のポリエステル基材よりも柔軟性が一層高く、しかもクッション性を有していることから被加工物との接触面積を増加させ、ソフトな研磨を行うことができた。

前記弾性層３は、ポリエステル系樹脂又はウレタン系樹脂にガラスカレットと炭酸カルシウムを溶剤にて混練させた塗液を塗布して形成される。ポリエステル系樹脂としては、飽和ポリエステル系樹脂をベースにイソシアネート系架橋剤を加えた接着剤が好適に用いられ、ウレタン系樹脂としては柔軟で接着温度の高い熱硬化性接着剤が好適に用いられる。また、この樹脂１００部に対し、ガラスカレット及び炭酸カルシウムを１００部、溶剤１００部の割合の塗液を用いた。塗液の塗布手段としては、ボトム型リバースドクター・ロールコーターを用いた。ガラスカレットと炭酸カルシウムの割合は、１０〜２０：９０〜８０の範囲が好適であった。ガラスカレットの割合が１０未満であると強度面で問題が生じ、２０を超えると弾力性の面で問題が生じた。また、このガラスカレットの粒径は、１０〜３０μｍが好ましく、大きすぎると弾力性に問題が生じる。炭酸カルシウムは、ガラスカレットの隙間を充填する作用もあり、弾性層３の内部に空気を含ませないようにすることができ、強度低下を防ぐ。

ポリエステル系樹脂１００部
ガラスカレット１０％，炭酸カルシウム９０％１００部
溶剤（酢酸エチル＋トルエン）１００部
これらを混練させた塗液を基材１の裏面に塗布し、膜厚３０μｍになるように弾性層３を形成した。

ウレタン系樹脂１００部
ガラスカレット１３％，炭酸カルシウム８７％１００部
溶剤（酢酸エチル＋トルエン）１００部
これらを混練させた塗液を基材１の裏面に塗布し、膜厚５０μｍになるように弾性層３を形成した。

〔比較例１〕
ポリエステル系樹脂１００部
溶剤（トルエン）５０部
この塗液を基材１の裏面に塗布した。

〔比較例２〕
ウレタン系樹脂１００部
ガラスカレット２０部
溶剤（トルエン）６０部
この塗液を基材１の裏面に塗布した。

上記比較例１，２では、被加工物を加工すると基材１のホツレが観察されたが、実施例１，２では加工中にホツレが全くなく、適度のクッション性も保持されていた。粒径１０〜３０μｍのガラスカレットと炭酸カルシウムの合計を１００部とし、内訳は、ガラスカレット１０〜２０％、炭酸カルシウム８０〜９０％であるのが、効果的であった。

図２に示す実施形態は、厚さ７５〜１２５μｍのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）のフィルム４の片面に前記弾性層３を形成し、フィルム４の他の片面を基材１の裏面に接着したものである。この実施形態のものでは、フィルム４がテープ全体の寸法安定性を向上させ、かつ強度を高める。

なお、テトロンタフタの厚さは１００〜１１０μｍ程度、使用する長繊維は６０〜７５デニール、研磨材層２の厚さは３０μｍ±１０μｍ程度、弾性層３の厚さは７０μｍ程度が好ましい。また、長繊維の太さ，織り目，組織については、縦糸７５デニール，インチ間１２０本程度、横糸７５デニール，インチ間９０本程度の平織りが好適である。

次に、テトロンタフタを基材として研磨テープを（Ａ）、図１に示す実施形態の研磨テープを（Ｂ）、図２に示す実施形態の研磨テープを（Ｃ）としたとき、それぞれの引張強度（Ｎ／ｃｍ，ｎ＝３）と伸張率（％）を計測した。その結果は表１に示す通りであった。

図３に示すように回転ローラ１０，１１に巻き付けた研磨テープの表面側の研磨材層２に被研磨物を当てがうが、このとき引張強度が大きく伸張率が高いものほど、耐久性に優れ、クッション性も高い。

本発明の実施形態を示す断面図。本発明の他の実施形態を示す断面図。研磨テープをローラに巻回した図。

符号の説明

１基材
２研磨材層
３弾性層
４フィルム

Claims

テトロン長繊維を平織りにしたテトロンタフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有する基材上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分なフレキシビリティを有する研磨材層を形成するとともに基材の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつクッション性を失わないようにした弾性層を設けた研磨テープにおいて、
前記弾性層を、ポリエステル系樹脂又はウレタン系樹脂にガラスカレットと炭酸カルシウムを溶剤にて混練させた塗液を塗布して形成したことを特徴とする研磨テープ。
前記ガラスカレットと炭酸カルシウムの割合は、１０〜２０：９０〜８０としたことを特徴とする請求項１に記載の研磨テープ。
前記弾性層の厚みを２０〜７０μｍとしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨テープ。
前記ガラスカレットはその粒径を１０〜３０μｍとしたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の研磨テープ。
前記基材と弾性層との間にポリエチレンテレフタレートフィルムを設けたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の研磨テープ。
前記フィルムの厚さを７５〜１２５μｍとしたことを特徴とする請求項５に記載の研磨テープ。
前記フィルムの基材接着面に滑り止め加工を施したことを特徴とする請求項５又は６に記載の研磨テープ。