JP2807630B2 - 研磨テープ - Google Patents
研磨テープInfo
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- JP2807630B2 JP2807630B2 JP6053024A JP5302494A JP2807630B2 JP 2807630 B2 JP2807630 B2 JP 2807630B2 JP 6053024 A JP6053024 A JP 6053024A JP 5302494 A JP5302494 A JP 5302494A JP 2807630 B2 JP2807630 B2 JP 2807630B2
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- JP
- Japan
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- polishing
- abrasive
- base material
- polishing tape
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- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、研磨加工に用いられ
る研磨テープに関する。
る研磨テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近のシリコンウエハやハードディスク
をはじめとする電子あるいは光学部品の研磨加工に要求
される精度は高く、そのために研磨テープが用いられる
ようになった。代表的な研磨テープとしては、基材とし
てポリエステルフィルムを用い、この基材上に各種砥粒
を接着剤で塗布したものがあり、ラッピングフィルムと
呼ばれている。従来のラッピングフィルムは、フレキシ
ビリティに富み、しかも曲面に対してもよくなじむが、
ガラスやプラスチックレンズの研磨加工や複雑な曲面研
磨加工などに対するフィット性に問題点を生じている。
そこで、不織布に砥粒をコーティングしたものが開発さ
れ、フレキシビリティを増し、フィット性を向上させ
た。
をはじめとする電子あるいは光学部品の研磨加工に要求
される精度は高く、そのために研磨テープが用いられる
ようになった。代表的な研磨テープとしては、基材とし
てポリエステルフィルムを用い、この基材上に各種砥粒
を接着剤で塗布したものがあり、ラッピングフィルムと
呼ばれている。従来のラッピングフィルムは、フレキシ
ビリティに富み、しかも曲面に対してもよくなじむが、
ガラスやプラスチックレンズの研磨加工や複雑な曲面研
磨加工などに対するフィット性に問題点を生じている。
そこで、不織布に砥粒をコーティングしたものが開発さ
れ、フレキシビリティを増し、フィット性を向上させ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】フロッピーディスクの
テクスチャリングとして不織布に研磨材を斜線縞模様状
に塗布したものは、金属平面の鏡面研磨加工の精度が今
一歩であった。
テクスチャリングとして不織布に研磨材を斜線縞模様状
に塗布したものは、金属平面の鏡面研磨加工の精度が今
一歩であった。
【０００４】そこで、この発明は研磨加工の精度を向上
させた研磨テープを提供することを目的とする。
させた研磨テープを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、この発明は、テトロン長繊維を平織りにしたテトロ
ンタフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有
する基材上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分
なフレキシビリティを有する研磨材層を形成するととも
に、基材の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつ
クッション性を失わないようにゴムコーティング処理を
施し又は発泡層を形成して弾性層を設けたものである。
め、この発明は、テトロン長繊維を平織りにしたテトロ
ンタフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有
する基材上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分
なフレキシビリティを有する研磨材層を形成するととも
に、基材の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつ
クッション性を失わないようにゴムコーティング処理を
施し又は発泡層を形成して弾性層を設けたものである。
【０００６】
【作用】この発明の研磨テープでステンレス鋼平板を研
磨した場合に、従来の研磨テープでは得ることのできな
かった鏡面を比較的容易に得ることができた。
磨した場合に、従来の研磨テープでは得ることのできな
かった鏡面を比較的容易に得ることができた。
【０００７】
【実施例】以下にこの発明の好適な実施例を図面を参照
にして説明する。
にして説明する。
【０００８】図１に示す実施例は、基材１にテトロンタ
フタを用い、基材１上、すなわち基材１の表面に研磨材
層２を形成し、基材１の裏面に弾性層３を成形したもの
である。テトロンタフタは、テトロン長繊維を平織りに
したものであり、６０〜７５デニールのテトロン長繊維
を使用した。研磨材層２は、各種砥粒を接着剤で基材１
上にコーティングして形成される。砥粒材質としては、
ダイヤモンド，酸化クロム，酸化鉄，酸化アルミナ，炭
化珪素などが用いられ、接着剤としてはアクリル系，エ
ポキシ系，ウレタン系などのものが用いられる。ダイヤ
モンド砥粒（粒度＃200 〜＃10,000）を高強度・耐熱性
樹脂であるポリイミド樹脂と混練したものをローラーコ
ート法により基材１上にコーティングした場合、十分な
フレキシビリティを有し、砥粒保持力がきわめて高く、
大きな研磨負荷にも十分に耐えることができた。また、
炭化珪素（ＳｉＣ）を砥粒材質とし、平均砥粒径２０μ
ｍ，１２μｍ，８．７μｍとした研磨材層２をテトロン
タフタの基材１上にローラーコーティングしたものは、
夫々従来のポリエステル基材よりも柔軟性が一層高く、
しかもクッション性を有していることから被加工物との
接触面積を増加させ、ソフトな研磨を行うことができ
た。
フタを用い、基材１上、すなわち基材１の表面に研磨材
層２を形成し、基材１の裏面に弾性層３を成形したもの
である。テトロンタフタは、テトロン長繊維を平織りに
したものであり、６０〜７５デニールのテトロン長繊維
を使用した。研磨材層２は、各種砥粒を接着剤で基材１
上にコーティングして形成される。砥粒材質としては、
ダイヤモンド，酸化クロム，酸化鉄，酸化アルミナ，炭
化珪素などが用いられ、接着剤としてはアクリル系，エ
ポキシ系，ウレタン系などのものが用いられる。ダイヤ
モンド砥粒（粒度＃200 〜＃10,000）を高強度・耐熱性
樹脂であるポリイミド樹脂と混練したものをローラーコ
ート法により基材１上にコーティングした場合、十分な
フレキシビリティを有し、砥粒保持力がきわめて高く、
大きな研磨負荷にも十分に耐えることができた。また、
炭化珪素（ＳｉＣ）を砥粒材質とし、平均砥粒径２０μ
ｍ，１２μｍ，８．７μｍとした研磨材層２をテトロン
タフタの基材１上にローラーコーティングしたものは、
夫々従来のポリエステル基材よりも柔軟性が一層高く、
しかもクッション性を有していることから被加工物との
接触面積を増加させ、ソフトな研磨を行うことができ
た。
【０００９】 前記弾性層３は、ゴムコーティング処理あ
るいは発泡層を形成することにより設けられる。 テトロ
ンタフタの基材１上に平均砥粒径１２μｍのＳｉＣをコ
ーティングして研磨材層２を形成し、基材１の裏面にゴ
ムコーティング処理して弾性層３を設けたものと、ポリ
エステル基材上に平均砥粒径８．７μｍのＳｉＣをコー
ティングしたものとでアルミニウム合金を研磨した結
果、両方の研磨テープとも前加工面Ｒｚ＝１．９μｍ及
びＲｚ＝０．８５μｍの両者ともに約１０秒の研磨時間
で最終到達粗さに達した。しかしながら、前加工面Ｒｚ
＝０．３μｍの場合、この発明の研磨テープでは約１
分、ポリエステルフィルム基材では約２分で最終到達粗
さに達した。また、上述のテトロンタフタ基材を用いた
研磨テープ（平均砥粒径１２μｍ）において裏面にゴム
コーティングしていないもの（符号Ｃ）は、前加工面Ｒ
ｚ＝０．６μｍの場合、ゴムコーティングしたもの（符
号Ｄ）より最終到達粗さに達するまでの研磨時間が増加
している（図２のグラフ参照）。
るいは発泡層を形成することにより設けられる。 テトロ
ンタフタの基材１上に平均砥粒径１２μｍのＳｉＣをコ
ーティングして研磨材層２を形成し、基材１の裏面にゴ
ムコーティング処理して弾性層３を設けたものと、ポリ
エステル基材上に平均砥粒径８．７μｍのＳｉＣをコー
ティングしたものとでアルミニウム合金を研磨した結
果、両方の研磨テープとも前加工面Ｒｚ＝１．９μｍ及
びＲｚ＝０．８５μｍの両者ともに約１０秒の研磨時間
で最終到達粗さに達した。しかしながら、前加工面Ｒｚ
＝０．３μｍの場合、この発明の研磨テープでは約１
分、ポリエステルフィルム基材では約２分で最終到達粗
さに達した。また、上述のテトロンタフタ基材を用いた
研磨テープ（平均砥粒径１２μｍ）において裏面にゴム
コーティングしていないもの（符号Ｃ）は、前加工面Ｒ
ｚ＝０．６μｍの場合、ゴムコーティングしたもの（符
号Ｄ）より最終到達粗さに達するまでの研磨時間が増加
している（図２のグラフ参照）。
【００１０】 弾性層３を発泡層とした３層構造の研磨テ
ープは、この発泡層によって研磨力に対するクッション
性を備えており、被加工物表面をソフトにかつ確実にと
らえて研磨することができる。この研磨テープの重量を
１平方メートル当り９８．７ｇ、研磨材層２の膜厚を１
２９μｍとしたとき、引張強度は９．６kgf/m であり、
伸び率３７％であった。
ープは、この発泡層によって研磨力に対するクッション
性を備えており、被加工物表面をソフトにかつ確実にと
らえて研磨することができる。この研磨テープの重量を
１平方メートル当り９８．７ｇ、研磨材層２の膜厚を１
２９μｍとしたとき、引張強度は９．６kgf/m であり、
伸び率３７％であった。
【００１１】 従来のポリエステルフィルムを基材１とし
たものは、ポリエステルフィルムの厚さの均一性を利用
して研磨面を平滑に研磨することを第一義としている
が、テトロンタフタを基材１としたものは、規則的な凹
凸の配列を利用して研磨による切屑を凹部に効果的に集
積するという表面構造を持っている。ポリエステルフィ
ルム基材とテトロンタフタ基材との被加工物に対する接
触面積を増大させかつ同一面積の場合、ポリエステルフ
ィルム基材は切屑が接触面間から排出されにくくなり、
作業面上に目づまりを起こす。
たものは、ポリエステルフィルムの厚さの均一性を利用
して研磨面を平滑に研磨することを第一義としている
が、テトロンタフタを基材１としたものは、規則的な凹
凸の配列を利用して研磨による切屑を凹部に効果的に集
積するという表面構造を持っている。ポリエステルフィ
ルム基材とテトロンタフタ基材との被加工物に対する接
触面積を増大させかつ同一面積の場合、ポリエステルフ
ィルム基材は切屑が接触面間から排出されにくくなり、
作業面上に目づまりを起こす。
【００１２】 図３は、研磨テープでステンレス鋼円管
（ＳＵＳ３０４）研磨する装置を示し、研磨テープを符
号１０で示し、機械用液体ノズル１１から作業面に流体
を供給し、研磨テープ１０はモータ１２で回転させら
れ、作業面の個所にはコンタクトロール１３が設けてあ
る。また、回転方向に直交する方向に振動を発生させる
ため振動発生用モータ１４を設けてある。このような実
験装置に使用する研磨テープ１０としては、基材材質と
してポリエステルフィルム，テトロンタフタ（裏面にゴ
ムをコーティングしたものとしないもの）を用い、砥粒
材質としてはＳｉＣ（平均砥粒径１２μｍ，８．７μｍ
の２種類）を用いて、被加工物とテープとの接触面積、
仕上面粗さ時間的推移及びコンタクトロール１３の硬度
（ゴム硬度）との関連性について検討した。研磨条件は
表１に示す通りである。
（ＳＵＳ３０４）研磨する装置を示し、研磨テープを符
号１０で示し、機械用液体ノズル１１から作業面に流体
を供給し、研磨テープ１０はモータ１２で回転させら
れ、作業面の個所にはコンタクトロール１３が設けてあ
る。また、回転方向に直交する方向に振動を発生させる
ため振動発生用モータ１４を設けてある。このような実
験装置に使用する研磨テープ１０としては、基材材質と
してポリエステルフィルム，テトロンタフタ（裏面にゴ
ムをコーティングしたものとしないもの）を用い、砥粒
材質としてはＳｉＣ（平均砥粒径１２μｍ，８．７μｍ
の２種類）を用いて、被加工物とテープとの接触面積、
仕上面粗さ時間的推移及びコンタクトロール１３の硬度
（ゴム硬度）との関連性について検討した。研磨条件は
表１に示す通りである。
【００１３】
【表１】
【００１４】図４は、平均砥粒径１２μｍの研磨テープ
１０を用いて押付圧を０．３〜０．５ＭPaまで変化させ
たときの被加工物と研磨テープ１０の接触面積の関係を
示す。図中符号１０Ａはテトロンタフタ基材を使用した
もの、１０Ｂはテトロンタフタ基材の裏面にゴムをコー
ティングしたもの、１０Ｃはポリエステルフィルム基材
を使用したものである。コンタクトロール１３の硬度は
Ｈｓ７０とした。このグラフから明らかなように、接触
面積は１０Ｂ→１０Ａ→１０Ｃの順で大きい。
１０を用いて押付圧を０．３〜０．５ＭPaまで変化させ
たときの被加工物と研磨テープ１０の接触面積の関係を
示す。図中符号１０Ａはテトロンタフタ基材を使用した
もの、１０Ｂはテトロンタフタ基材の裏面にゴムをコー
ティングしたもの、１０Ｃはポリエステルフィルム基材
を使用したものである。コンタクトロール１３の硬度は
Ｈｓ７０とした。このグラフから明らかなように、接触
面積は１０Ｂ→１０Ａ→１０Ｃの順で大きい。
【００１５】 図５は、平均砥粒径８．７μｍの研磨テー
プ１０Ａ〜１０Ｃを用いてコンタクトロール１３の硬度
Ｈｓ５０、押付圧０．４ＭPaで研磨したときの仕上面粗
さの時間的推移を示したものであり、最終到達粗さはゴ
ムコーティングを施した研磨テープ１０Ｂが若干良くな
っていることがわかる。研磨テープ１０Ｃは、被加工物
との接触面積が小さくなるため、単位面積当たりの押付
力が増大して砥粒切込み深さが増大するので、最終到達
粗さが劣る。
プ１０Ａ〜１０Ｃを用いてコンタクトロール１３の硬度
Ｈｓ５０、押付圧０．４ＭPaで研磨したときの仕上面粗
さの時間的推移を示したものであり、最終到達粗さはゴ
ムコーティングを施した研磨テープ１０Ｂが若干良くな
っていることがわかる。研磨テープ１０Ｃは、被加工物
との接触面積が小さくなるため、単位面積当たりの押付
力が増大して砥粒切込み深さが増大するので、最終到達
粗さが劣る。
【００１６】 図６は、平均砥粒径１２μｍの研磨テープ
１０Ａ〜１０Ｃを用い、コンタクトロール１３の硬度と
仕上面粗さの関係を示したものであり、研磨テープ１０
Ａ，１０Ｂの方は、研磨テープ１０Ｃよりも被加工物と
の接触面積が大きく、砥粒切刃当たりの押圧力が減少す
るため、全般的にコンタクトロール１３の硬度の増大に
伴って仕上面粗さが良好になる傾向を示す。
１０Ａ〜１０Ｃを用い、コンタクトロール１３の硬度と
仕上面粗さの関係を示したものであり、研磨テープ１０
Ａ，１０Ｂの方は、研磨テープ１０Ｃよりも被加工物と
の接触面積が大きく、砥粒切刃当たりの押圧力が減少す
るため、全般的にコンタクトロール１３の硬度の増大に
伴って仕上面粗さが良好になる傾向を示す。
【００１７】 研磨テープ１０Ａ，１０Ｂを用いてＲｚ
０．１７μｍ前後の仕上面粗さを得ることができ、研磨
テープ１０Ｃに比べてスクラッチの少ない良好な仕上面
が得られた。
０．１７μｍ前後の仕上面粗さを得ることができ、研磨
テープ１０Ｃに比べてスクラッチの少ない良好な仕上面
が得られた。
【００１８】 なお、テトロンタフタの厚さは１００〜１
１０μｍ程度、使用する長繊維は６０〜７５デニール、
研磨材層２の厚さは３０μｍ±１０μｍ程度、弾性層３
の厚さは７０μｍ程度が好ましい。また、長繊維の太
さ，織り目，組織については、縦糸７５デニール，イン
チ間１２０本程度、横糸７５デニール，インチ間９０本
程度の平織りが好適である。
１０μｍ程度、使用する長繊維は６０〜７５デニール、
研磨材層２の厚さは３０μｍ±１０μｍ程度、弾性層３
の厚さは７０μｍ程度が好ましい。また、長繊維の太
さ，織り目，組織については、縦糸７５デニール，イン
チ間１２０本程度、横糸７５デニール，インチ間９０本
程度の平織りが好適である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のテトロ
ンタフタを基材としたものでは、布の規則的な凹凸の配
列を利用して研磨による切屑を凹部に効果的に集積で
き、精密な研磨が可能となる。また、基材の裏面に弾性
層を設けてあるので、研磨力に対するクッション性が向
上し、被加工物表面をソフトにかつ確実にとらえて研磨
することができる。
ンタフタを基材としたものでは、布の規則的な凹凸の配
列を利用して研磨による切屑を凹部に効果的に集積で
き、精密な研磨が可能となる。また、基材の裏面に弾性
層を設けてあるので、研磨力に対するクッション性が向
上し、被加工物表面をソフトにかつ確実にとらえて研磨
することができる。
【図１】この発明の好適な実施例を示す断面図。
【図２】 研磨時間と表面粗さの関係を示すグラフ。
【図３】 実験装置を示す斜視図。
【図４】 コンタクトロードとコンタクトエリアの関係を
示すグラフ。
示すグラフ。
【図５】 研磨時間と表面粗さの関係を示すグラフ。
【図６】 コンタクトロールの硬さと表面粗さの関係を示
すグラフ。
すグラフ。
１ 基材 ２ 研磨材層 ３ 弾性層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24D 11/00 - 11/02
Claims (1)
- 【請求項１】 テトロン長繊維を平織りにしたテトロン
タフタからなり、柔軟性が高くかつクッション性を有す
る基材上に各種砥粒を接着剤でコーティングし、十分な
フレキシビリティを有する研磨材層を形成するととも
に、 基材の裏面に全体の柔軟性を損なわない程度にかつクッ
ション性を失わないようにゴムコーティング処理を施し
又は発泡層を形成して弾性層を設けた ことを特徴とする
研磨テープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6053024A JP2807630B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 研磨テープ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6053024A JP2807630B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 研磨テープ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07237133A JPH07237133A (ja) | 1995-09-12 |
| JP2807630B2 true JP2807630B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=12931332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6053024A Expired - Lifetime JP2807630B2 (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 研磨テープ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2807630B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006224204A (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-31 | Refuraito Kk | 研磨テープ |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5033754U (ja) * | 1973-07-23 | 1975-04-11 | ||
| JPS547996A (en) * | 1977-06-21 | 1979-01-20 | Japanese National Railways<Jnr> | Paper classifying apparatus |
| JPS6091354U (ja) * | 1983-11-29 | 1985-06-22 | 井戸田 保 | 研削ベルト |
-
1994
- 1994-02-25 JP JP6053024A patent/JP2807630B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07237133A (ja) | 1995-09-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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