JP2006224008A - 微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 微細化多孔性材料を密閉容器中に入れ、温度と圧力を制御と調節し、高圧流体の高密度、高拡散性、低粘度、低誘電率及び極めて低い表面張力の溶剤特性を利用し、高圧流体を微細化多孔性材料の外層より微細化多孔構造を通して内層に進入させ、並びに加工過程或いは使用後に残留した汚染物或いは不純物を溶解させ、流体の流動により汚染物或いは不純物を内層より微細化多孔性材料を通して釈放させ、微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を洗浄除去する目的を達成し、加工、洗浄用水を節約し、廃水処理と汚染排出問題を減らし、操作時間を短縮し、汚染物或いは不純物の除去と分離収集を一度に完成でき、大量の電力を消耗して微細化多孔性材料を乾燥させる必要がないことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
1.大量の酸液、アルカリ液或いは水を使用し、時間とエネルギーを消耗する。
2.水の表面張力は大きく、即時に材料外層から内層に浸透せず、空気圧等の外力を組合せなければ浸透しない。
3.洗浄時に、水が外層より内装に送られて微細化多孔性構造中に吸着しやすく、別に乾燥処理のための空気を送り込むか、加熱乾燥させる必要がある。
1.不良な生理作用がない。即ち二酸化炭素は炭酸水と人体代謝中のいずれにもあり、一般に公認された安全物質であり、使用が認められている。
2.環境に対して無害で、不燃性で、爆発性がなく、腐食性がなく、化学性が安定し、純度が高く、無毒である。
3.安価で大量取得可能で、石化工業の影響を受けず、並びに液体形式で大量に保存できる。
4.相当な揮発性を具え、ゆえに非常に容易に且つ安全に溶質と分離し、即ち溶質と溶剤の回収が容易で残留問題がなく、低温下で反応が行なえ、サーモセンシティブの物質を破壊することがない。
5.液態二酸化炭素溶剤性質は炭化水素溶剤に近い。
請求項2の発明は前記流体保存タンクがスチール製のガスボンベとされたことを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
請求項3の発明は前記反応タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブを利用して分離タンクに接続されたことを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
請求項4の発明は前記反応タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブを利用して分離タンクに接続され、分離タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブで流体回収ポンプに接続され、流体回収ポンプが高圧管アクセサリと高圧バルブで流体保存タンクに接続され、こうして主回路が形成され、分離タンクと流体保存タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブを利用して接続されて副回路が形成されたことを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
請求項5の発明は前記流体保存タンク、反応タンク、分離タンクの上方及び下方にそれぞれ圧力メータと高圧バルブが設けられ、流体が高圧管アクセサリを通り排出回収され、汚染物或いは不純物が下部に堆積させられて高圧バルブの開放動作により収集されることを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
請求項6の発明は前記流体保存タンク、反応タンク、分離タンクの外部に温度制御装置が設けられたことを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
請求項7の発明は操作温度が微細化多孔性材料の特性により決定され、摂氏4〜120±1度とされることを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
請求項8の発明は操作圧力が微細化多孔性材料の特性により決定され、10〜300kg/cm2 とされることを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
請求項9の発明は流体が、二酸化炭素、プロパン、キセノン、亜酸化窒素、水素、窒素とされることを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法としている。
1.ウォームアップ。即ち流体保存タンク10の温度を摂氏2〜4度に、反応タンク30の温度を摂氏40〜80±1度に、分離タンク40の温度を摂氏4〜80±1度に制御する。
2.微細化多孔性材料、例えば軸受を検査して異常がないことが確認されて既に温度が設定値摂氏40〜80±1度に達した反応タンク30内に置く。
3.反応タンク30の蓋31を閉じ、高圧バルブV2とV3を開き、二酸化炭素ガスで加圧の動作を行ない、圧力メータP2の圧力値が200kg/cm2 に達した時、高圧バルブV2とV3を閉じ、並びに5〜20分間の計時を開始する。
4.操作時間が終了した時、高圧バルブV5、V7、V8及びV9を開き、汚染物或いは不純物と気体を分離すると共に、気体の第1段階の回収循環使用の動作を行なう。
5.圧力メータP2とP3の圧力値が下がらなくなるのを待って、高圧バルブV8を閉じ、流体回収ポンプ50を開いて第2段階の気体回収の動作を行なう。
6.圧力メータP1とP2の圧力値が10kg/cm2 より小さくなった時、高圧バルブV5、V7、V9を閉じ、並びに高圧バルブV4を開いて反応タンク30中に残留する気体を排出し、圧力メータP2の圧力値が0kg/cm2 となった時に反応タンク30の蓋31を開き、軸受サンプルを取り出し、以上で一次の高圧流体による汚染物或いは不純物の洗浄動作を完成する。
2 高圧管アクセサリ
10 流体保存タンク
10’ スチールボンベ
11 温度制御装置
20 高圧ポンプ
30 反応タンク
31 蓋
32 高圧タンク
33 温度制御装置
40 分離タンク
41 蓋
42 高圧タンク
43 温度制御装置
50 流体回収ポンプ
V1〜V9 高圧バルブ
P1〜P3 圧力メータ
Claims (9)
- 微細化多孔性材料を密閉容器の反応タンク中に置き、高圧ポンプと高圧管アクセサリを利用して流体保存タンク中の流体を反応タンク中に導入すると共に、温度と圧力の制御と調節により、高密度、高拡散性、低粘度、低誘電率と極めて低い表面張力を有する気態或いは液態の流体により、微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を除去することを特徴とする、微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 前記流体保存タンクがスチール製のガスボンベとされたことを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 前記反応タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブを利用して分離タンクに接続されたことを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 前記反応タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブを利用して分離タンクに接続され、分離タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブで流体回収ポンプに接続され、流体回収ポンプが高圧管アクセサリと高圧バルブで流体保存タンクに接続され、こうして主回路が形成され、分離タンクと流体保存タンクが高圧管アクセサリと高圧バルブを利用して接続されて副回路が形成されたことを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 前記流体保存タンク、反応タンク、分離タンクの上方及び下方にそれぞれ圧力メータと高圧バルブが設けられ、流体が高圧管アクセサリを通り排出回収され、汚染物或いは不純物が下部に堆積させられて高圧バルブの開放動作により収集されることを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 前記流体保存タンク、反応タンク、分離タンクの外部に温度制御装置が設けられたことを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 操作温度が微細化多孔性材料の特性により決定され、摂氏4〜120±1度とされることを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 操作圧力が微細化多孔性材料の特性により決定され、10〜300kg/cm2 とされることを特徴とする、請求項1、請求項3、請求項4のいずれかに記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
- 流体が、二酸化炭素、プロパン、キセノン、亜酸化窒素、水素、窒素とされることを特徴とする、請求項1記載の微細化多孔性材料の汚染物或いは不純物を密閉容器中で高圧流体により洗浄除去する方法。
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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