JP2006222234A - 基板搬送用コンテナ - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板の搬送及びパネルの製造工程において、コンテナ自体を清浄に保ち易く、ガラス基板の取り出しを容易に行うことができる基板搬送用コンテナを提供する。
【解決手段】ガラス基板を収容するための略矩形状の底部とその周囲に形成されたガラス基板の脱落を防止する側部とからなる本体２からなる基板搬送用コンテナであって、底部は、ガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部３が形成されている基板搬送用コンテナ１。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス基板を搬送するのに適した基板搬送用コンテナに関するものであって、特に、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いるガラス基板等の取り出しをリフトアップにより行うことができるガラス基板搬送用コンテナに関するものである。

ＦＰＤ等の表示パネルは、相互に対向して配置された一対のガラス基板からなっており、例えば、液晶表示装置の表示パネルは、通常、相互に対向して配置された一対のガラス基板の間に液晶を封入することにより形成されるものである。

このような表示パネルを製造するためには、その製造に用いる一対のガラス基板がまず生産され、ここで得られたガラス基板は、次に、表示パネルの製造工場に搬送されて、種々製造工程を経て最終的に表示パネルとされる。

このように、一対のガラス基板を表示パネルの製造工場に搬送する場合には、通常、複数枚のガラス基板を収納することができる基板搬送用コンテナが使用されるが、近年、搬送されるガラス基板は、その厚さが０．７ｍｍ以下であったり、一辺が１．３ｍ以上の矩形状であったりする等、パネルの薄型化、大型化が顕著になってきた。

そのため、このような薄くて大きいガラス基板は撓みやすく、搬送時にガラス基板表面に傷をつけたり、ガラス基板自体が破損したりしやすくなったため、搬送用コンテナとしてガラス基板を縦置きにするボックス型の基板搬送用コンテナが用いられていた（例えば、特許文献１参照。）
特開２００３−８１３７９号公報

しかしながら、このような搬送用のコンテナは、ガラス基板の端部を保持するための凹凸を多数設けた形状となっており、その凹凸部分には汚れが溜まりやすく、再利用する場合に洗浄をしても、その形状から洗浄後の水きれが悪いため、汚れやすいものであった。

また、このような搬送用コンテナはガラス基板を縦に置くタイプのものであったため、パネルの製造工場において、ガラス基板をコンテナから取り出して、改めて製造工程の開始地点では横置きに配置することで各製造工程に付していたため、開始地点においてガラス基板を横置きにするためのラックも必要であった。

したがって、パネルの製造工場に搬送されてから製造開始地点へガラス基板を移行させるのに多くの手間がかかり、さらに搬送用ボックスの他に、製造工程開始地点のラック等、用途に合わせたガラス基板の収容、保持を行う冶具が必要となり、装置周辺も非常に繁雑であった。

そこで、本発明は、ガラス基板の搬送及びパネルの製造工程において、コンテナ自体を清浄に保ち易く、ガラス基板の取り出しを容易に行うことができる基板搬送用コンテナを提供することを目的とする。

さらに、工場間の搬送時だけでなく、製造工程開始地点にそのまま配置することで製造工程を開始することができ、工場間の搬送及び工場内での搬送（製造工程）において共用可能であって、パネル製造工場のスペースを有効活用でき、必要な冶具を少なくすることができる基板搬送用コンテナを提供することを目的とする。

本発明の基板搬送用コンテナは、ガラス基板を収容するための略矩形状の底部とその周囲に形成されたガラス基板の脱落を防止する側部とからなる基板搬送用コンテナであって、底部は、ガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が形成されていることを特徴とするものである。

本発明の基板搬送用コンテナによれば、収容したガラス基板を、開口部を通して突き上げ用ピンでリフトアップして、コンテナの上方へ持ち上げることができるため、ＦＰＤの製造工程におけるガラス基板の移行を容易に行うことができる。また、この基板搬送用コンテナを工場間での搬送に用いた場合でも、そのまま製造工程の開始地点にセットして、製造を開始することができるため、専用の冶具の数を減らし、製造工場内の繁雑さを緩和することができる。

さらに、この開口部は、基板搬送用コンテナの洗浄で用いた洗浄水を基板収容部から排水する機能も有し、基板搬送用コンテナのガラス基板収容部を清浄に保つことを容易にするものでもある。

次に、本発明の基板搬送用コンテナについて、実施の形態を例に、図面を参照しながら説明する。

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の基板搬送用コンテナの第１の実施の形態を示した斜視図であり、図２はその平面図、図３は図２における基板搬送用コンテナのＡ−Ａ断面図である。

本発明の基板搬送用コンテナ１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体２とから構成されるものであって、底部には収納したガラス基板を突き上げるためのピンを通過することができる開口部３が複数設けられている。すなわち、この基板搬送用コンテナ１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる、いわゆる上部が開放された箱状の本体２を基本の形状とし、その内部にガラス基板を収容することができる構造となっている。

ここで、この本体２の底部はその平面形状が略矩形状であって、搬送するガラス基板の種類により、ガラス基板に合わせた大きさ、形状とすればよい。ここで、略矩形状とは、長方形以外に正方形を含むものであり、その角部が曲面となっているものも含むものである。

この底部は、例えば、ＴＦＴ液晶用表示パネルのガラス基板としては、Ｇ６が１５００×１８５０ｍｍ、Ｇ７が１８７０×２２００ｍｍ、Ｇ７．５が２１６０×２４００ｍｍ、Ｇ８が２２００×２６００ｍｍのサイズのガラス基板、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用表示パネルのガラス基板としては、Ｇ６が１８００×２０００ｍｍ、Ｇ７が１９００×２０００ｍｍ、Ｇ７．５が２０００×２４００ｍｍのサイズであるため、これらのサイズを収容して搬送できる大きさ、形状とすることが好ましい。

また、この本体２の側部は、略矩形状の底部の四方を囲うように形成され、収容されるガラス基板の脱落を防止する機能を有するものである。この側部は、そのまま底部に対して垂直に立ち上がり、収容するガラス基板を収容部内に保持できるようにしたものである。

このとき、基板搬送用コンテナ１の高さ、すなわち底部の下面から側部の上面までの長さは、ガラス基板を収容することができれば特に限定されないが、３０〜１００ｍｍであることが好ましく、５０〜６０ｍｍであることが特に好ましい。

なお、図１〜２に記載しているように、側部と底部との接合部分及び側部と側部との接合部分が曲面を形成していることが好ましく、このようにした場合、例えば、４つの側部で形成される収容部内面の形状は矩形状の４つの頂点が全て角がとれた略円弧状になる。

このように円弧状となった場合は、矩形状のガラス基板が収容部の形状と異なるため、ぴったり合うことはないが、ガラス基板の一対の辺を一対の側部で保持するようにし、他の一対の辺はガラス基板と側部との間隙に柔軟性を有するクッション部材等を挿入したり、４つの辺の全てについてガラス基板と側部との間隙にクッション部材等を挿入して、ガラス基板がずれないようにすることができる。

また、本実施形態の基板搬送用コンテナ１の底部は、製造工場内でガラス基板をコンテナから取り出す際に用いる突き出し用のピンが通過することができるように複数の開口部３を有しており、この開口部３は、突き出し用ピンに対応した位置に設けられているものである。このとき、突き出し用ピンはガラス基板をリフトアップしたときに、ガラス基板が損傷等しないように十分に支えることができるように配置されたものである。

一方、開口部３を除いた底部は、ガラス基板を収納し、保存、搬送等する際に、ガラス基板を安定して保持することができる形状であればよく、例えば、図２に示したように格子状に形成されたものが挙げられる。

この本体２の素材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ＡＢＳ（アクリル−ブタジエン−スチレン）樹脂、ポリカーボン樹脂等の合成樹脂を用いることができ、廃棄時の処理等、環境保護の観点からポリエチレン、ポリプロピレンであることが好ましい。

また、ここで用いる合成樹脂は導電性を付与したものであってもよく、導電性を付与するには、合成樹脂中にカーボン、銀、金、銅、ニッケル等の導電物質を混合すればよい。このように導電性を付与した場合には、コンテナの帯電を防止して、静電除去の効果を奏することができるため、ＦＰＤ用ガラス基板の電気破壊及び埃の付着を防止することができる。

このように本発明の基板搬送用コンテナは樹脂製であるためコンテナ自体の重量を抑えることができ、搬送、製造工場内での移動、保存等において作業性が良好である。さらに、これを発泡性のものとすればより軽量となり、作業性が良好になるが、この場合には強度を十分保持しなければならないことに注意する必要があり、適宜、金属板、金属柱等の補強部材を用いて補強することで強度を確保することができる。

本実施形態の基板搬送用コンテナ１においては、十分な強度を確保するため、樹脂成形品の内部を金属板、金属柱等の補強部材で骨格を形成しており、例えば、図３に示したように、側部には金属板４、底部には金属柱５で基板搬送用コンテナの骨格を形成し、この金属骨格を樹脂で覆うように成形してガラス基板搬送用のコンテナとしている。この実施の形態においては、底部は格子状の金属柱で骨格が形成され、その骨格を樹脂で被覆したものである。

ここで用いる補強部材は、強度を確保する点から金属製のものであって、かつ、コンテナの質量を軽減することができる点で内部が中空になっていることが好ましい。また、この補強部材としては、その断面形状が、四角形、三角形等の多角形や円形等の種々の形状のものを用いることができる。この補強部材に用いる金属としては、質量と強度との関係から、アルミニウム、チタン及びステンレス鋼（ＳＵＳ）から選ばれた少なくとも１種の金属であることが好ましい。

次に、本発明で言う突き上げ用のピンとは、本発明の基板搬送用コンテナに収容されたガラス基板を取り出す際に用いるものであり、開口部を通して突き上げ用ピンによりガラス基板を突き上げて、収容されていたガラス基板を基板搬送用コンテナの上部へ持ち上げるものである。

この基板搬送用コンテナ１により、製造工場への搬送後、製造工程の開始地点にそのままセットすることで、ガラス基板の取り出しを行うことができるが、このガラス基板の取り出しについて図４を参照しながら説明する。図４ａ〜ｃは、基板搬送用コンテナ１を用いたガラス基板のリフトアップ動作を示した図である。

まず、ガラス基板６を収容する基板搬送用コンテナ１を、その開口部３を突き出し用ピン７が通過できる所定の位置に置く（図４ａ）。突き出し用ピン７を緩やかに上昇させ、突き出し用ピン７がガラス基板を損傷することのないように、突き出し用ピンの先端をガラス基板６に穏やかに接触させる（図４ｂ）。そのまま、突き出し用ピン７をさらに上昇させて、ガラス基板６を基板搬送用コンテナ１の収容部の上方へ持ち上げる（図４ｃ）。

このように持ち上げられたガラス基板６は、吸盤を有するアーム等により上部から一枚ずつ順番に次の工程へ移送されることで、製造工程に付され、フラットパネルが製造されることとなる。

なお、持ち上げの際に用いた突き上げ用ピンは、その配置の位置は問わないが、ガラス基板面に対して４００〜９００ｃｍ^２に一つの割合で配置されていることが好ましく、２０〜３０ｃｍ間隔で格子状に配置されていることが特に好ましい。

また、突き上げ用ピンの太さは、特に制限されず、直径０．５〜２．０ｃｍの円柱状又は円錐状に形成することが好ましく、その先端はガラス基板への負荷が過度とならず、ガラス基板面への接触面積を小さくするような大きさとすることが好ましい。その長さはガラス基板を搬送用コンテナの上部へ十分に突き上げることができるものであればよい。

この開口部３は、このようにガラス基板６を取り出す際に用いる他、基板搬送用コンテナ１を使用した後、洗浄・乾燥する際に、洗浄した水を排出する働きも有するため、コンテナを反転させる等の作業をしなくても容易に乾燥させることができる。

また、本実施の形態の基板搬送用コンテナにおいて、底部上面が開口部３へ向かって下り勾配を有するように傾斜、すなわち、側部から開口部へ向かって及び開口部と開口部との中間部分からそれぞれ開口部へ向かって下り勾配とすれば、コンテナの洗浄・乾燥をする際に、洗浄水が開口部からより排出し易くなり好ましい。

このようにすれば、基板搬送用コンテナの底部には、窪んでいて洗浄水が留まるような箇所がなく、その底部の断面は開口部へ向かって細くなるテーパ状であって、傾斜して下った先には開口部が設けられているため、洗浄水は全て開口部より排出される。この形状を有することで、本実施例の基板搬送用コンテナは、第１の実施の形態と比べて、より洗浄水のきれに優れたものとなっている。

この底部の傾斜は、洗浄時の水きれを改善することができる角度であればよく、例えば、コンテナを水平な台に載置した時に、水平面に対して３〜２０°の傾斜であることが好ましく、５〜１０°の傾斜であることが特に好ましい。

また、本発明の底部の上面と側部の内面との接合部及び側部の内面同士の接合部は、曲面に形成されていることが好ましく、このような曲面を有する場合には、コンテナの洗浄・乾燥時に洗浄水が角に留まることがなく、容易に洗浄水を排除することができる。したがって、洗浄後のコンテナをより清浄に保つことができる。

ここで形成される曲面は、その曲率半径Ｒが、５〜２０ｍｍであることが好ましく、１０〜２０ｍｍであることが特に好ましい。

また、このとき、コンテナの表面に撥水加工を施すことにより、さらに洗浄水を排除する性能に優れたものとすることもできる。

（第２の実施の形態）
図５は、本発明の基板搬送用コンテナの第２の実施の形態に係る平面図、図６は図５における基板搬送用コンテナのＢ−Ｂ断面図である。

本実施の形態における基板搬送用コンテナ１１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体１２とから構成されるものであって、底部には収納したガラス基板を突き上げるためのピンが通過することができる開口部１３が複数設けられている。さらに、格子状に形成された底部上面には、その格子の交点に収容するガラス基板を支持する突起部１４が複数設けられている。また、側部は内部骨格として補強材１５を、底部も内部骨格として補強材１６を有している。

この基板搬送用コンテナ１１は、その基本構成は、第１の実施の形態と同様であり、異なるのは、底部上面に突起部１４が形成されている点であって、この突起部１４について以下説明する。

本発明を構成する突起部１４は、本体１２の底部上面に形成され、収容するガラス基板を水平に保持しつつ、ガラス基板を直接底部に接触させないようにするものである。この突起部１４はガラス基板を支持して中空に浮かせ、コンテナ表面の埃や汚れによりガラス基板を汚染させることなく清浄に保つために形成されており、本体１２の底部に複数形成されるものである。

この突起部１４は、ガラス基板を水平に保持するために、底部の下面に対してその頂点が平行になるように形成されている。したがって、本発明のコンテナを水平な台に載置したとき、突起部１４の頂点も水平面に存在することとなり、このとき収容するガラス基板を水平に安定して保持することができる。

また、この突起部１４は、ガラス基板を底部に接触させないようにする他、ガラス基板が撓むのを防止する効果を有する。ＦＰＤ用のガラス基板は、近年、薄型化、大型化が顕著であるが、ガラス基板が薄くなればなるほど、そして大きくなればなるほど、ガラス基板自体が撓みやすくなり、所定以上の負荷がかかると損傷してしまう。

そこで、本発明を構成する突起部１４は、この撓みを防止し、ガラス基板への負荷をガラス基板全体に分散させる働きを有し、このとき、突起部１４は、負荷を分散させるのに４００〜９００ｃｍ^２に一つの割合で形成されていることが好ましく、２０〜３０ｃｍ間隔で格子状に形成されていることが特に好ましい。このように突起部を配置することで、ガラス基板の運搬時にも安心して運ぶことができ、多少の衝撃であればガラス基板の損傷を免れることができる。

この突起部１４の高さは、任意の高さとすればよいが、底部の上面から２〜１０ｍｍの高さであることが好ましく、この突起部１４にガラス基板を重ねて収容したときに側部の上面と一番上のガラス基板の上面とがほぼ同じ高さとなっていることがさらに好ましい。これは、搬送時に、ガラス基板を固定するために、コンテナ全体を梱包するか又は固定用の紐で括るためである。しかし、側部上面と一番上のガラス基板の高さのずれが大きい時には、ガラス基板の上に適当な厚さの固定用クッションを挿入することにより固定することが好ましい。ここで、ガラス基板を重ねて収容する際にはガラス基板間に保護用のシートを挿入することが好ましい。

また、突起部１４の太さは、ガラス基板を水平に保持することができれば特に制限されないが、直径０．５〜２．０ｃｍの円柱状又は円錐状に形成することが好ましく、その先端はガラス基板への負荷が過度とならず、ガラス基板面への接触面積を小さくするように形成されていることが好ましい。

この突起部１４の素材は、ガラス基板を傷つけないように、そのガラス基板との接触部分は合成樹脂で構成されるものであり、この合成樹脂としては、本体と同一の樹脂でもよいが、ポリエーテルエーテルケトン、ポリプロピレン、超高分子ポリマー（ＵＨＭＷ）、ＰＯＭ（ジュラン）、ニューライト等であることが好ましく、この中でもポリエーテルエーテルケトンは、優れた機械的特性を合わせ持つ熱可塑性の超耐熱高分子樹脂であり、耐疲労性・耐衝撃性・耐クリープ性に優れ、耐薬品性では濃硫酸以外は使用可能であるため、特に好ましい。

（第３の実施の形態）
図７は、本発明の基板搬送用コンテナの第３の実施の形態に係る平面図、図８（ａ）は図７における本発明の基板搬送用コンテナのＣ−Ｃ断面図、図８（ｂ）は図７における基板搬送用コンテナのＤ−Ｄ断面図である。

本発明の基板搬送用コンテナ２１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体と、底部にガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が設けられているものである。

この基板搬送用コンテナ２１の側部２２，２３は、そのうち対向する一対の側部２２が補強部材を有する合成樹脂製の側部であって、他の一対の側部２３が一対の側部２２の対向する面の左右両端をそれぞれ結合するメインフレームで形成されたものである。

また、基板搬送用コンテナ２１の底部は、合成樹脂製の一対の側部２２の対向する面の下端を結合し、他の一対の側部２３であるメインフレームと平行に設けられた複数本からなる第１のサブフレーム２４と、第１のサブフレームと隣接する第１のサブフレーム又はメインフレームとを結合することができる基板支持部材２５と、第１のサブフレームと隣接する第１のサブフレーム又はメインフレームとを結合する第２のサブフレーム２６とから形成されるものである。

本実施の形態における一対の側部２２は、補強部材を有する合成樹脂製のものであって、ここで用いられる補強部材及び合成樹脂は、第１の実施の形態で用いられる補強部材及び本体に用いる合成樹脂と同一のものが挙げられる。また、この一対の側部２２は、第１のサブフレームとの接合部分が容器内側に突き出した櫛型の形状を有する部材であって、これが第１のサブフレーム２４の保持をサポートしている。

次に、他の一対の側部２３は、一対の側部２２の対向する面の左右両端をそれぞれ結合して略矩形状の容器形状を構成し、一対の側部２２と共に容器の側部の骨格を形成するものである。この他の一対の側部２３は、第１の実施形態で用いられている補強部材と同一のものを挙げることができる。

また、第１のサブフレーム２４は、一対の側部２２のそれぞれ対向する面の下端を結合し、メインフレームと平行に設けられたものであり、基板搬送用コンテナ２１の底部として、ガラス基板を収容、保持するために設けられており、この第１のサブフレーム２４は、一対の側部２２を結合することにより基板搬送用コンテナ２１の歪みを防止する機能も併せ持っている。この第１のサブフレーム２４は、基板支持部材２５を有するものであって、ガラス基板に接触して保持するのは基板支持部材２５である。

基板支持部材２５は、第１のサブフレーム２４に保持されるものであるが、これは、第１のサブフレーム２４に固定されていても、第１のサブフレーム２４の長手方向に移動可能なように設けられていてもよい。

基板支持部材２５を移動可能とした場合には、基板支持部材２５のピッチを変更することができる点で好ましい。このピッチは、ガラス基板の支持を実際に行う点で重要であって、ピッチを変更することによって、ガラス基板の撓みを防止し、ガラス基板自体の質量負荷のガラス基板全体への分散度合いを調整することができる。

また、第２のサブフレーム２６は、第１のサブフレーム２４が有する基板支持部材２５と隣接する第１のサブフレーム２４又はメインフレームが有する基板支持部材２５と結合し、第１のサブフレーム同士又は第１のサブフレームとメインフレームとを連結するものである。

この第２のサブフレーム２６で第１のサブフレーム２４を結合して、基板搬送用コンテナの底部は格子状にサブフレームが連結されたものとなり、その格子状の底部の交点には基板支持部材２５を有するため、収容するガラス基板を安定して保持することができる。

なお、図８（ａ）には、図７に示した基板搬送用コンテナのＣ−Ｃ断面図を、図８（ｂ）には、図７に示した基板搬送用コンテナのＤ−Ｄ断面図を示した。

図８（ａ）では、基板搬送用コンテナの一対の側部２２は、その内部に補強部材２７を有し、この補強部材２７に接するように他の一対の側部２３であるメインフレームが一対の側部２２と結合していることを示している。また、図８（ｂ）では、第１のサブフレーム２４、第２のサブフレーム２６及び基板支持部材２５が、それぞれどのような構成となっているかを示したものである。

ここで、他の一対の側部２３は一対の側部２２の補強部材と結合していることが好ましく、結合の方法としては、溶接、リベット等による固定、ネジ、嵌め込み等の組みたて式の固定等の方法が挙げられる。

組みたて式とした場合には、例えば、一対の側部２２、他の一対の側部２３、第１のサブフレーム２４、基板支持部材２５、第２のサブフレーム２６をそれぞれ部品として運び、使用場所において組み立てを行うことができ、ガラス基板の搬送に用いない場合のコンテナ移動時に省スペース化を図ることができる。

また、このようにすれば、基板搬送用コンテナの一部が破損した場合にも、その破損した部品を取り替えることで基板搬送用コンテナとして使用を継続することができ、基板搬送用コンテナを効率的に使用することができる。

例えば、この組み立ては、まず、一対の側部２２と他の一対の側部２３及び第１のサブフレームとを結合して基板搬送用コンテナの大枠を形成することが考えられるが、これは、一対の側部２２の樹脂部分を加熱しながら他の一対の側部２３及び第１のサブフレーム２４を圧入して、結合させることができる。

また、あらかじめ一対の側部２２の樹脂部分を他の一対の側部２３と第１のサブフレーム２４をはめ込むことができるように成形しておいてもよい。はめ込みで行う場合には、ガラス基板の収容によりフレームの脱落が起こらないようにしておかなければならず、例えば、荷重方向に対して直行又は対向する方向にはめ込みのスペースを設けておくのがよい。

次に、上下２つの部品に分かれている基板支持部材２５を、第１のサブフレーム２５を挟み込んではめ込み、第１のサブフレーム２５に基板支持部材２５を保持させる。このとき、同時に第２のフレームも挟むようにして格子状のサブフレームを形成することができる。

なお、ここで用いた基板支持部材２５について、図９（ａ）にその側面図を、図９（ｂ）に図９（ａ）におけるＥ−Ｅ断面図を示した。この基板支持部材２５は、第１のサブフレーム２４を貫通して保持する第１のサブフレーム保持部２５ａと第２のサブフレーム２６を保持する第２のサブフレーム保持部２５ｂとを有するように構成され、平面上、十字に形成されたものである。

また、図１０は、第３の実施の形態における基板搬送用コンテナ２１のメインフレーム（２３）に樹脂製のメインフレームカバー２８を設けたものであるが、この樹脂製のカバーに第２のサブフレーム保持部を設けておけば、さらに底部の強度を高めることができ好ましい。

さらに、このメインフレームカバー２８の下面は、一対の側部２２の下面と同じ高さとなっているものである。基板搬送用コンテナ２１は、工場内での製造工程における移動の際に、コンテナの下面をローラーが接するようにして配置し、ローラーを回転させることでコンテナを移動することがあり、メインフレームカバーにより側部の下面を同じ高さとして段差が生じないようにすれば、ローラーの配置に対して一対の側部２２がローラーと接するように載置するだけでなく、他の一対の側部２３に設けたメインフレームカバー２８がローラーと接するように載置することもでき、どちらの方向にも移動可能とすることで移動をスムーズに行うことができる。

（第４の実施の形態）
図１１は、第４の実施の形態に係る本発明の基板搬送用コンテナの平面図である。

本発明の基板搬送用コンテナ３１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体と、底部にガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が設けられているものである。

この基板搬送用コンテナ３１は、その一対の側部３２と他の一対の側部３３からなる側部と、第１のサブフレーム３４と基板支持部材３５と第２のサブフレーム３６とからなる底部とで本体が構成されるものであり、その基本構成は第３の実施の形態と同様である。

ただし、本実施の形態における基板支持部材３５及び一対の側部３２は、第３の実施の形態とは構成が異なり、この基板支持部材３５は、そのガラス基板収納面にガラス基板を支持する突起部３７を有し、一対の側部３２もガラス基板を支持する突起部３８を有するものである。したがって、収容されるガラス基板は第３の実施の形態では基板支持部材の上面に接するように収容されていたが、本実施の形態では突起部３７，３８の上面に接し、突起部３７，３８でガラス基板が支えられているものである。この突起部３７及び３８について以下説明する。

本発明を構成する突起部３７，３８は、収容するガラス基板を水平に保持しつつ、ガラス基板を直接底部に接触させないようにするものである。この突起部３７，３８はガラス基板を支持して中空に浮かせ、コンテナ表面の埃や汚れによりガラス基板を汚染させることなく清浄に保つために形成されているものである。

基板支持部材３５のそれぞれに突起部３７が、一対の側部３２の第１のサブフレームと接合する櫛状部のそれぞれに突起部３８が形成されており、コンテナの底部に複数形成されているものである。

そして、この突起部３７，３８は、その他の構成、機能、材料等は第２の実施の形態に記載した突起部１４と同一である。このときの突起部３７を有する基板支持部材３５の側断面図を図１２に示した。

なお、第１のサブフレーム３４と一対の側部３２の接合部の強度をさらに高めるために補強リブ３９を形成することが好ましく、その他の各部に同様に補強リブを形成して強度を高めるようにしても良い。

また、基板支持部材が有する突起部を着脱式にすることもでき、着脱式とした場合には、製造工場内及び製造工場間での搬送に共用することができる。この着脱式の突起部を有する基板支持部材を図１３に示した。

この基板支持部材４５は着脱式の突起部４７を有し、この基板支持部材４５を用いれば、製造工場内での基板搬送には、ガラス基板を１又は２枚程度を収容するものであり、突起部４７を装着した状態で使用して、ガラス基板と基板搬送用コンテナとの接触を極力少なくすることで、よりガラス基板の汚損等に慎重に対処することができ、製造工場間の搬送では、ガラス基板を複数枚重ねて、例えば、２０枚程度を収容するもので、突起部４７を外して、ガラス基板を基板支持部材４５の上面全体で保持し、より負荷を分散させるようにすることでガラス基板の損傷等を生じないようにすることができる。

さらに、突起部４７を着脱自在に設けることによって、突起部４７を入れ替え可能とすることができる。例えば、突起部として高さの異なるものや太さや形状の異なるものを複数種類用意しておけば、収容するガラス基板の厚さや枚数に応じて適した高さの調節を行ったり、ガラス基板への負荷を調節したりすることができる。高さの調節は、運搬時にコンテナの側部の上面と収容されるガラス基板の一番上のガラス基板との高さを合わせる際に極めて有効である。

なお、図１３に示した着脱自在の突起部４７の基板支持面は、より安定して基板の支持を行うことができるように水平面に切断したものである。

（第５の実施の形態）
図１４は、第５の実施の形態における本発明の基板搬送用コンテナの平面図であり、図１５は、その側断面図、図１６は、基板搬送用コンテナを重ねておいたときの側断面図の概略図である。

本発明の基板搬送用コンテナ５１は、底部とその周囲を囲んだ側部とからなる本体５２とから構成されるものであって、底部には収納したガラス基板を突き上げるためのピンを通過することができる開口部５３が複数設けられている。また、側部の上面には凸部５４が、それに対応する側部の下面には凹部５５が設けられており、この凸部５４及び凹部５５は側部に沿って形成されている。さらに、側部の基板収容部の反対の面の下端には、基板搬送用コンテナをリフトアップできるようにサーキットフレーム５６が設けられている。

この基板搬送用コンテナ５１は、その基本構成は、第１の実施の形態と同様であり、異なるのは、側部の上面に凸部５４、その対応する底部に凹部５５が設けられており、さらに側部の外周下部にサーキットフレーム５６が設けられている点である。したがって、以下、第１の実施形態と相違する点のみについて説明する。

まず、凸部５４及び凹部５５について説明するが、側部上面の凸部５４と側部下面の凹部５５とは、それぞれが対応した位置に形成されており、基板搬送用コンテナ５１を複数個重ねて保管、搬送等をする際に、あるコンテナの凸部とそのコンテナの上に重ねて置かれるコンテナの凹部とが合致するように形成されているものである。この形状は重ねて置くことができれば特に制限はなく、凸部の断面が台形、矩形、三角形、半円形等の様々な形状を用いることができる。

このようにすることで、コンテナを所定の配置で重ねることができ、重ねるコンテナの数が増えても同様に重ねて置くことができるため、搬送等においても省スペースに載置することができる点で好ましい。また、このように凹凸を設けておけば、重ねた場合に上下のコンテナ同士がずれることを防止することができ、安定して運搬、保存等を行うことができる。

次に、サーキットフレーム５６は、基板搬送用コンテナ自体をリフトアップさせるためにコンテナの側部の外周に設けられたものである。これはコンテナをリフトアップすることができれば、外周の下部に限定されるものではなく、外周のいずれの位置に設けてもよい。また、本実施の形態では側部の外周に突き出した形状を例示したが、コンテナ自体をリフトアップできるものであれば側部の外周面の一部を基板収容部側へ凹ませた形状のものやその他の形状のものでもよい。

例えば、図１６で、一番上の基板搬送用コンテナ６１を移動させるときには、図示しないリフトアップ用のアームをサーキットフレーム６６の下面に接するようにし、そのまま持ち上げることで基板搬送用コンテナ６６を移動させることができる。

また、図１６で、一番下の基板搬送用コンテナ８１を移動させるときには、図示しないリフトアップ用のアームをサーキットフレーム７６の下面に接するようにし、そのまま持ち上げることで基板搬送用コンテナ６６及び７６を持ち上げ、ついで、基板搬送用コンテナ８１の側部下面に接するように配置されている図示しないローラーを回転させることで基板搬送用コンテナ８１を移動させることができる。

また、本発明の実施の形態１〜５で記載した基板搬送用コンテナは、ガラス基板の収容枚数をコンテナ１つに対して１枚とし、コンテナにＩＣタグを装着することで、ガラス基板の搬送状況、製造工程への移送状況等の状態管理をコンテナ毎に行うこともできる。

本発明の第１の実施形態である基板搬送用コンテナの斜視図 図１に示した基板搬送用コンテナの平面図 図２に示した基板搬送用コンテナのＡ−Ａ断面図 第１の実施形態の基板搬送用コンテナからガラス基板を取り出す際のコンテナと突き出し用ピンの位置関係を示した図 第１の実施形態の基板搬送用コンテナからガラス基板を取り出す際の突き出し用ピンをガラス基板に接触させた図 第１の実施形態の基板搬送用コンテナからガラス基板を取り出す際のガラス基板が突き出し用ピンにリフトアップされた図 本発明の第２の実施形態である基板搬送用コンテナの平面図 図５に示した基板搬送用コンテナのＢ−Ｂ断面図 本発明の第３の実施形態である基板搬送用コンテナの平面図 図７に示した基板搬送用コンテナのＣ−Ｃ断面図 図７に示した基板搬送用コンテナのＤ−Ｄ断面図 第３の実施の形態で用いている基板支持部材の側面図 図９ａに示した基板支持部材のＥ−Ｅ断面図 図７に示した基板搬送用コンテナにメインフレームカバーを装着した図 本発明の第４の実施形態である基板搬送用コンテナの平面図 第４の実施の形態で用いている基板支持部材の側断面図 突起部を着脱自在とした基板支持部材の側断面図 本発明の第５の実施形態である基板搬送用コンテナの平面図 図１４に示した基板搬送用コンテナの側断面図 図１４に示した基板搬送用コンテナを重ねたときの側断面図

符号の説明

１，１１…基板搬送用コンテナ、２，１２…本体、３，１３…開口部、４…補強材、５…補強材、６…ガラス基板、７…突き上げ用ピン、１４…突起部、２１，３１…基板搬送用コンテナ、２２，３２…一対の側部、２３，３３…他の一対の側部、２４，３４…第１のサブフレーム、２５，３５…基板支持部材、２６，３６…第２のサブフレーム、２７…補強材、２８…メインフレームカバー、３７，３８…突起部、５１…基板搬送用コンテナ、５２…本体、５３…開口部、５４…凸部、５５…凹部、５６…サーキットフレーム

Claims (13)

1. ガラス基板を収容するための略矩形状の底部とその周囲に形成された前記ガラス基板の脱落を防止する側部とからなる基板搬送用コンテナであって、
   前記底部は、前記ガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部が形成されていることを特徴とする基板搬送用コンテナ。
2. 前記底部及び側部は、補強部材を内部骨格として有する合成樹脂による樹脂成形品であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送用コンテナ。
3. 前記側部から前記開口部へ向かって及び前記開口部と開口部との中間部分から前記開口部へ向かって、前記底部の上面が下り勾配となるように形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の基板搬送用コンテナ。
4. 前記側部は、そのうち対向する一対の側部が補強部材を内部骨格として有する合成樹脂による樹脂成形品で、他の一対の側部が前記一対の側部の対向する面の左右両端をそれぞれ結合するメインフレームで形成され、
   前記底部は、樹脂成形品である前記一対の側部の対向する面の下端を結合し、前記メインフレームと平行に設けられた複数本の第１のサブフレームで形成され、
   前記第１のサブフレームは、収容するガラス基板を支持する基板支持部材を有することを特徴とする請求項１記載の基板搬送用コンテナ。
5. 前記基板支持部材は、前記第１のサブフレームと直行する方向に第２のサブフレームを結合可能であり、この基板支持部材が、隣接する第１のサブフレーム又はメインフレームの基板支持部材と第２のサブフレームで結合されていることを特徴とする請求項４記載の基板搬送用コンテナ。
6. 前記基板支持部材は、前記第１のサブフレームの長手方向に移動可能であることを特徴とする請求項５記載の基板搬送用コンテナ。
7. 前記メインフレームは合成樹脂製のメインフレームカバーを有し、該メインフレームカバーの下面が、樹脂成形品である前記一対の側部の下面と同じ高さになっていることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項記載の基板搬送用コンテナ。
8. 前記底部には、収容するガラス基板を支持する突起部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の基板搬送用コンテナ。
9. 前記突起部が、脱着可能であることを特徴とする請求項８記載の基板搬送用コンテナ。
10. 前記突起部は、格子状に２００〜３００ｍｍ間隔で形成されていることを特徴とする請求項８又は９記載の基板搬送用コンテナ。
11. 前記合成樹脂が、ポリエチレン又はポリプロピレンであることを特徴とする請求項２乃至１０のいずれか１項記載の基板搬送用コンテナ。
12. 前記合成樹脂が、導電性樹脂であることを特徴とする請求項１１記載の基板搬送用コンテナ。
13. 前記補強部材、メインフレーム及びサブフレームが、アルミニウム、チタン及びステンレス鋼から選ばれる少なくとも１種の金属で形成されていることを特徴とする請求項２乃至１２のいずれか１項記載の基板搬送用コンテナ。

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