JP2006216840A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数の配線層11〜14、15Aで構成されたパッドと、電源用のパッドを介して供給される電源を内部回路に供給するためのリング状に形成された電源リングR1とを備え、電源リングの上方及び下方にそれぞれ設けたビアVIAにより電源用のパッドと電源リングとを接続することで、パッド幅が狭くなっても、電源用パッドと電源リングとを接続するためのビアを少なくとも従来の2倍配置可能にし、電源リングに対して供給可能な電流量を増大させる。
【選択図】 図2
Description
上記構成によれば、電源リングの上方及び下方にそれぞれビアを設けることにより、電源用パッドと電源リングとを接続するために配置可能なビアの数を少なくとも従来の2倍に増加させることができる。
図1(A)、(B)は、本発明の実施形態による半導体装置の全体構成例を示す図である。図1(A)は、本実施形態による半導体装置を上面側から模式的に示している。
本発明の第1の実施形態について説明する。
図2(A)〜(G)は、第1の実施形態におけるI/O上パッドの構造を示した図である。図2(A)〜(E)は、パッドを構成する各配線層の配線を模式的に示しており、図2(F)及び(G)は、図2(A)〜(E)に示した配線を順次積層し構成されるパッドのI−I間の断面、及びII−II間の断面をそれぞれ模式的に示している。この図2において、図5に示した構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付している。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図3(A)〜(F)は、第2の実施形態におけるI/O上パッドの構造を示した図である。図3(A)〜(D)は、パッドを構成する各配線層の配線を模式的に示しており、図3(E)及び(F)は、図3(A)〜(D)に示した配線を順次積層し構成されるパッドのI−I間の断面、及びII−II間の断面をそれぞれ模式的に示している。この図3において、図2に示した構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。以下に説明する第3の実施形態は、上述した第1の実施形態及び第2の実施形態の双方を適用したものである。
また、上述した第1〜第3の実施形態においては、電源リングR1、R2、R3が第4配線層に形成される場合を一例として示しているが、電源リングが形成される配線層は最上の配線層とは異なる配線層であれば任意である。
本発明の諸態様を付記として以下に示す。
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、当該内部回路が形成された回路領域を囲むように形成されたリング状の電源リングとを備え、
上記電源用パッドと上記電源リングとが、当該電源リングの上方及び下方にそれぞれ設けたビアで接続されていることを特徴とする半導体装置。
(付記2)上記電源用パッドに接続するための上記電源リングの下方に設けたビアは、基板法線方向から見て上記電源用パッドと上記電源リングとが重なり合う領域に任意に配置されていることを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記3)上記電源用パッドに接続するための上記電源リングの下方に設けたビアが、上記電源リングの下層の配線層を介して当該電源用パッドのボンディング領域に接続されていることを特徴とする付記2記載の半導体装置。
(付記4)上記電源用パッドに接続するための上記電源リングの上方に設けたビアは、当該パッドの針当て試験領域に対応する領域を除いた領域に配置されていることを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記5)上記電源用パッドは針当て試験領域とボンディング領域とを含み、
上記電源用パッドに接続するための上記電源リングの上方に設けたビアは、当該電源用パッドの上記針当て試験領域を囲む領域と接続され、上記電源用パッドに接続するための上記電源リングの下方に設けたビアは、上記電源リングの下層の配線層を介して当該電源用パッドの上記ボンディング領域と接続されていることを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記6)基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域を広くするように、当該重なり合う領域にて上記電源リングが一部拡張されていることを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記7)基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域での上記電源リングの幅が、当該重なり合う領域とは異なる領域での上記電源リングの幅より広いことを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記8)基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域のうち当該パッドの針当て試験領域を除く領域のみ上記電源リングの幅が、上記重なり合う領域とは異なる領域での上記電源リングの幅より広いことを特徴とする付記7記載の半導体装置。
(付記9)上記パッドは、入出力回路の上方に配置されていることを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記10)m層の配線層(mは4以上の自然数)で構成されたパッドと、
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、基板法線方向から見て当該電源用パッドと交差し、かつ当該内部回路が形成された回路領域を囲むように、上記m層の配線層における上方側からn番目の配線層(nは3以上かつ(m−1)以下)に形成されたリング状の電源リングとを備え、
上記電源リングが、当該電源リングの上方及び下方に設けたビアにより、上記電源用パッドの(n−1)番目の配線層及び(n+1)番目の配線層にそれぞれ接続されていることを特徴とする半導体装置。
(付記11)上記電源用パッドの(n−1)番目の配線層と当該パッドの針当て試験領域に対応する上記電源リングとの間には絶縁膜のみが存在することを特徴とする付記10記載の半導体装置。
(付記12)上記パッドは、入出力回路の上方に配置されていることを特徴とする付記10記載の半導体装置。
(付記13)複数の配線層で構成されたパッドと、
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、当該内部回路が形成された回路領域を囲むように形成されたリング状の電源リングとを備え、
基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域を広くするように、当該領域にて上記電源リングが一部拡張され、当該領域に設けたビアにより上記電源用パッドと上記電源リングとが接続されていることを特徴とする半導体装置。
(付記14)複数の配線層で構成されたパッドと、
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、当該内部回路が形成された回路領域を囲むように形成されたリング状の電源リングとを備え、
基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域での上記電源リングの幅が、当該重なり合う領域とは異なる領域での上記電源リングの幅より広いとともに、上記重なり合う領域に設けたビアにより上記電源用パッドと上記電源リングとが接続されていることを特徴とする半導体装置。
(付記15)基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域のうち当該パッドの針当て試験領域を除く領域のみ上記電源リングの幅が、上記重なり合う領域とは異なる領域での上記電源リングの幅より広いことを特徴とする付記14記載の半導体装置。
(付記16)上記パッドは、入出力回路の上方に配置されていることを特徴とする付記14記載の半導体装置。
2 回路領域
3 内部回路
4 入出力回路(I/O)
5 パッド
8 電源リング
9 カバー膜
PP プロービング部
WB ボンディング部
11〜14、15A、15B 配線層
R1、R2、R3 電源リング
VIA ビア
Claims (10)
- 複数の配線層で構成されたパッドと、
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、当該内部回路が形成された回路領域を囲むように形成されたリング状の電源リングとを備え、
上記電源用パッドと上記電源リングとが、当該電源リングの上方及び下方にそれぞれ設けたビアで接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 上記電源用パッドに接続するための上記電源リングの下方に設けたビアは、基板法線方向から見て上記電源用パッドと上記電源リングとが重なり合う領域に任意に配置されていることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 上記電源用パッドに接続するための上記電源リングの上方に設けたビアは、当該パッドの針当て試験領域に対応する領域を除いた領域に配置されていることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置。
- 基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域を広くするように、当該重なり合う領域にて上記電源リングが一部拡張されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体装置。
- 基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域での上記電源リングの幅が、当該重なり合う領域とは異なる領域での上記電源リングの幅より広いことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体装置。
- m層の配線層(mは4以上の自然数)で構成されたパッドと、
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、基板法線方向から見て当該電源用パッドと交差し、かつ当該内部回路が形成された回路領域を囲むように、上記m層の配線層における上方側からn番目の配線層(nは3以上かつ(m−1)以下)に形成されたリング状の電源リングとを備え、
上記電源リングが、当該電源リングの上方及び下方に設けたビアにより、上記電源用パッドの(n−1)番目の配線層及び(n+1)番目の配線層にそれぞれ接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 複数の配線層で構成されたパッドと、
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、当該内部回路が形成された回路領域を囲むように形成されたリング状の電源リングとを備え、
基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域を広くするように、当該領域にて上記電源リングが一部拡張され、当該領域に設けたビアにより上記電源用パッドと上記電源リングとが接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 複数の配線層で構成されたパッドと、
電源用の上記パッドを介して供給される電源を内部回路に供給するために、当該内部回路が形成された回路領域を囲むように形成されたリング状の電源リングとを備え、
基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域での上記電源リングの幅が、当該重なり合う領域とは異なる領域での上記電源リングの幅より広いとともに、上記重なり合う領域に設けたビアにより上記電源用パッドと上記電源リングとが接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 基板法線方向から見て上記電源用パッドと重なり合う領域のうち当該パッドの針当て試験領域を除く領域のみ上記電源リングの幅が、上記重なり合う領域とは異なる領域での上記電源リングの幅より広いことを特徴とする請求項8記載の半導体装置。
- 上記パッドは、入出力回路の上方に配置されていることを特徴とする請求項1〜9の何れか1項に記載の半導体装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005029142A JP4343124B2 (ja) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | 半導体装置 |
TW094122075A TWI256671B (en) | 2005-02-04 | 2005-06-30 | Semiconductor device |
US11/183,844 US7375423B2 (en) | 2005-02-04 | 2005-07-19 | Semiconductor device |
CNB2005100849584A CN100521186C (zh) | 2005-02-04 | 2005-07-22 | 半导体器件 |
KR1020050068231A KR100785838B1 (ko) | 2005-02-04 | 2005-07-27 | 반도체 장치 |
KR1020070086460A KR100784878B1 (ko) | 2005-02-04 | 2007-08-28 | 반도체 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005029142A JP4343124B2 (ja) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006216840A true JP2006216840A (ja) | 2006-08-17 |
JP4343124B2 JP4343124B2 (ja) | 2009-10-14 |
Family
ID=36779121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005029142A Expired - Fee Related JP4343124B2 (ja) | 2005-02-04 | 2005-02-04 | 半導体装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7375423B2 (ja) |
JP (1) | JP4343124B2 (ja) |
KR (2) | KR100785838B1 (ja) |
CN (1) | CN100521186C (ja) |
TW (1) | TWI256671B (ja) |
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US20150221570A1 (en) * | 2014-02-04 | 2015-08-06 | Amkor Technology, Inc. | Thin sandwich embedded package |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3376953B2 (ja) | 1999-04-20 | 2003-02-17 | 日本電気株式会社 | 半導体集積回路装置 |
EP1071130A3 (en) * | 1999-07-14 | 2005-09-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor device interconnection structure comprising additional capacitors |
JP2003264253A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-19 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2005
- 2005-02-04 JP JP2005029142A patent/JP4343124B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-06-30 TW TW094122075A patent/TWI256671B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-07-19 US US11/183,844 patent/US7375423B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-22 CN CNB2005100849584A patent/CN100521186C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-27 KR KR1020050068231A patent/KR100785838B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-08-28 KR KR1020070086460A patent/KR100784878B1/ko not_active IP Right Cessation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021034507A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP7200066B2 (ja) | 2019-08-22 | 2023-01-06 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4343124B2 (ja) | 2009-10-14 |
TW200629346A (en) | 2006-08-16 |
CN1901184A (zh) | 2007-01-24 |
KR100785838B1 (ko) | 2007-12-13 |
KR100784878B1 (ko) | 2007-12-14 |
US7375423B2 (en) | 2008-05-20 |
KR20070093382A (ko) | 2007-09-18 |
KR20060089605A (ko) | 2006-08-09 |
TWI256671B (en) | 2006-06-11 |
CN100521186C (zh) | 2009-07-29 |
US20060175698A1 (en) | 2006-08-10 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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S533 | Written request for registration of change of name |
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R371 | Transfer withdrawn |
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