JP2006211664A - フィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタ製造方法は、基板上にメンブレイン層を形成する段階と、メンブレイン層の上面に複数の共振器を形成する段階と、基板の下面にマスク層を蒸着した後複数個のメインウィンドウ及びサブウィンドウをパターニングする段階と、メインウィンドウ及びサブウィンドウに沿って基板にキャビティを形成すると共にキャビティ領域にメンブレイン層から所定間隔離れてサブウォールを乾式エッチングにより形成する段階とを含む。
【選択図】図5
Description
図1に示すように、デュプレックスフィルタ1は基板3、基板3上に形成された送信側フィルムバルクアコースティックフィルタ5及び受信側フィルムバルクアコースティックフィルタ7よりなる。
図2は図1のI-I’線に沿った断面図であって、図面では相異なるキャビティを有するフ
ィルタの構成を示した図である。
図3aないし図3cは従来の技術に係るフィルムバルクアコースティック共振器を有するデュプレックスフィルタの製造過程を示す図であり、図4a及び図4bは従来の技術に係る乾式エッチング工程時発生するローティング効果及びノッチ現象が発生した例を示した図である。
図3bに示すように、基板3のマスク層9を塗布した後キャビティ3a、3b、3cが形成される領域が露出されるようにウィンドウ9a、9b、9cを形成する。
図3cに示すように、乾式エッチング装備、例えばICP(Inductively Coupled Plasma)装備を用いてキャビティ3a、3b、3cをエッチングする。この際、キャビティ3a、3b、3cの間にはウォール3dが形成される。
ここで、ローティング効果とは、キャビティ3a、3b、3cの角部が中央部より食刻率(etching rate)に劣り、図4aの符号Lで示すように、キャビティ3a、3b、3cの角部がエッチングされない現象を指す。
次いで、ノッチ現象(Notch effect)とは、図4bに示したように、エッチング動作を行なう間に発生したイオンが、誘電体となるメンブレイン層4に当接して反射されるが、その際に反射されるイオンがウォール3d部分にぶつかってこのウォール3dをエッチングする現象(N表示部)を指す。
本発明の他の目的は、前述したフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタを製造する方法を提供するところにある。
前記乾式エッチングにより発生されたイオンが、誘電体であるメンブレイン層から反射されサブウォールをエッチングする現象(ノッチ現象)を用いて、前記サブウォールが前記メンブレイン層から所定間隔離れて形成するように構成できる。
前記メンブレイン層は前記乾式エッチングによりエッチングされない保護材質で形成されることが望ましく、例えば前記メンブレイン層は酸化膜またはメタル層で形成されうる。
前記マスク層はフォトレジストまたは酸化膜にし、前記酸化膜は熱処理によるか薄膜蒸着により形成し、前記フォトレジストはスピンコーティングにより蒸着できる。
また、ノッチ現象が発生する領域を小さくすることによって各キャビティ間の間隔を縮めることができ、全体サイズを縮小すると同時に、各共振器を接続する配線長さを縮小できるという利点がある。
図5は本発明の一実施例によるフィルムバルク共振器が適用された帯域フィルタの一部を切断して示した断面図である。
図5に示すように、フィルムバルクアコースティック共振器110を用いた帯域フィルタ100は大きく基板101、メンブレイン層103、共振器110で構成される。
メンブレイン層103は、共振器110が振動可能となるように支持する層であって、キャビティ101aをエッチングする過程においてキャビティ101aのエッチング深さを定義する役割も共に行なう。
キャビティ101aの内部領域には網状のサブウォール101bが形成される。この際、サブウォール101bの上端側は、メンブレイン層103から所定間隔離れて形成され、共振器110が振動できるエアギャップ(G)を形成する。ここで、サブウォール101bは、キャビティ101aの側壁を構成するメインウォール101dに支持されており、メンブレイン層103から所定間隔離れて形成されうる。前述したサブウォール101bは補強の役割を果たす。
図6a〜図6dは本発明に係るフィルムアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造過程を示した図であり、図7a〜図7cは本発明に適用されるマスク層を示した平面図であって、サブウィンドウの色々の実施例を示す図である。
図6dに示すように、乾式エッチング装備、例えば誘導結合型プラズマエッチング(ICP)装置により、基板101を前述したマスクパターによってエッチングしてキャビティ101aを形成し、キャビティ101aの内部領域には網状のサブウォール101bを形成する。この際、サブウォール101bはノッチ現象によってその上側がエッチングされメンブレイン層103から所定間隔離れて形成されエアギャップ(G)をなす。ノッチ現象は前述したことと同じ意味であるが、それについてはさらに詳しく説明すれば次の通りである。
101 : 基板
101a : キャビティ
101b : サブウォール
G : エアギャップ
103 : メンブレイン層
107 : マスク層
107a : メインウィンドウ
107b : サブウィンドウ
110 : 共振器
Claims (12)
- 基板と、
前記基板の上面に形成されたメンブレイン層と、
前記メンブレイン層の上面に形成された複数個の共振器と、
前記共振器に対応する位置にして前記基板上に形成された複数個のキャビティと、
前記キャビティの内部領域に網状に形成され、前記メンブレイン層と所定間隔離れて形成されたサブウォールと、
を含むことを特徴とするFBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)を用いた帯域フィルタ。 - 基板上にメンブレイン層を形成する段階と、
前記メンブレイン層の上面に複数の共振器を形成する段階と、
前記基板の下面にマスク層を蒸着した後複数個のメインウィンドウ及びサブウィンドウをパターニングする段階と、
前記メインウィンドウ及びサブウィンドウに沿って前記基板にキャビティを形成すると共に、前記キャビティ領域に前記メンブレイン層から所定間隔離れてサブウォールを乾式エッチングにより形成する段階と、
を含むことを特徴とするフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。 - 前記サブウィンドウは四角形、円形、四角形の角部がラウンド処理された形態のうちいずれか1つで形成されることを特徴とする請求項2に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記メインウィンドウは相異なるサイズで形成され、前記サブウィンドウは同サイズで形成されることを特徴とする請求項2に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記乾式エッチングにより発生したイオンが誘電体であるメンブレイン層から反射されサブウォールがエッチングされる現象(ノッチ現象)を用いて、前記サブウォールを前記メンブレイン層から所定間隔離れて形成することを特徴とする請求項2に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記サブウォールの厚さは前記メンブレイン層から反射されるイオンによりエッチングされる量を考慮して、前記メンブレイン層から分離可能な厚さを有するように形成されることを特徴とする請求項5に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記メンブレイン層は、前記乾式エッチングによりエッチングされない保護材質で形成されることを特徴とする請求項2に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記メンブレイン層は酸化膜またはメタル層で形成されることを特徴とする請求項7に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記基板はシリコン基板であることを特徴とする請求項2に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記マスク層はフォトレジストまたは酸化膜よりなることを特徴とする請求項2に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記酸化膜は高温酸化処理によるか薄膜蒸着により形成されることを特徴とする請求項10に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
- 前記フォトレジストはスピンコーティングにより蒸着されることを特徴とする請求項10に記載のフィルムバルクアコースティック共振器を用いた帯域フィルタの製造方法。
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