JP2008211396A - 圧電性薄膜の製造方法、共振装置およびそれを用いたuwb用フィルタ - Google Patents
圧電性薄膜の製造方法、共振装置およびそれを用いたuwb用フィルタ Download PDFInfo
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Abstract
【課題】自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を製造することが可能な圧電性薄膜の製造方法、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を圧電変換部として備えた共振装置およびそれを用いたUWB用フィルタを提供する。
【解決手段】下部電極31と圧電変換部32と上部電極33とからなる共振子3を備える共振装置の圧電変換部32の形成にあたっては、ベース基板1の一表面側にPZTの前駆体からなるPZT前駆体部28aと高熱膨張率材料からなる熱膨張部29とがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層27を形成し、続いて、複合層27をアニールすることでPZTからなる圧電性結晶部30aと高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部30bとがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜30を形成し、圧電性薄膜30をパターニングすることで圧電変換部32を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】下部電極31と圧電変換部32と上部電極33とからなる共振子3を備える共振装置の圧電変換部32の形成にあたっては、ベース基板1の一表面側にPZTの前駆体からなるPZT前駆体部28aと高熱膨張率材料からなる熱膨張部29とがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層27を形成し、続いて、複合層27をアニールすることでPZTからなる圧電性結晶部30aと高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部30bとがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜30を形成し、圧電性薄膜30をパターニングすることで圧電変換部32を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電性薄膜の製造方法、圧電性薄膜の厚み方向の縦振動モードを利用する共振装置およびそれを用いたUWB(Ultra Wide Band)用フィルタに関するものである。
従来から、携帯電話機などの移動体通信機器の分野において、3GHz以上の高周波帯で利用する高周波フィルタに適用可能な共振装置として、ベース基板の一表面側に下部電極と圧電性薄膜(圧電変換部)と上部電極とからなる共振子を備え、圧電性薄膜の材料としてAlNを採用したBAW共振器が提案されている(例えば、特許文献1参照)。なお、上記特許文献1には、BAW共振器としてFBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)が記載されているが、BAW共振器としては、近年、FBARの他にSMR(Solidly Mounted Resonator)が注目されている。なお、BAW共振器では、共振周波数が圧電性薄膜の膜厚に反比例し、圧電性薄膜の膜厚を薄くするほど共振周波数を高くすることができる。
ところで、本願発明者は、上述の共振装置を、より広帯域の高周波フィルタ、例えばUWB用フィルタに適用することを考えた。そこで、圧電性薄膜の材料として、帯域幅が中心周波数に対して4〜5%しか広帯域化できないAlNに比べて中心周波数に対して10%程度の帯域幅を得ることが可能なPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)に着目した。しかしながら、例えば(111)配向のPZT薄膜をスパッタ法やCVD法を利用して形成した場合には、自発分極の方向がPZT薄膜の厚み方向に沿っている180°ドメインと、自発分極の方向がPZT薄膜の厚み方向に直交する面に沿っている90°ドメインとが混在しており分極率が低いので、このようなPZT薄膜を圧電性薄膜として備えた共振装置では、90°ドメインの横振動モードの振動が発生してしまい、フィルタのカットオフ特性の急峻さ(共振特性の立ち上がりおよび立ち下がりの急峻さ)を示す指標であるQ値、電気エネルギを機械的エネルギに変換する効率を表す電気機械結合係数が低いという問題があった。
これに対し、例えば、シリコン基板などからなるベース基板の一表面側に分極率の高いPZT薄膜を形成するPZT薄膜の製造方法として、ゾルゲル法を利用したPZT薄膜の製造方法が提案されている(例えば、特許文献2)。
しかしながら、上記特許文献2に開示されたPZT薄膜の製造方法においても、ベース基板とPZT薄膜との熱膨張率差に起因して90°ドメインが生じ、圧電性が低くなってしまうという問題があった。
これに対して、ベース基板の一表面側に圧電性薄膜の前駆体膜を形成した後の結晶化工程において、結晶化温度から室温までの冷却中に圧電性薄膜に対して機械的に圧縮応力を印加することでPZT薄膜の分極方向を揃えるようにしたPZT薄膜の製造方法が提案されている(例えば、特許文献3)
特開2002−140075号公報
特開平10−126204号公報
特開2005−119223号公報
しかしながら、上記特許文献3に記載されたPZT薄膜の製造方法では、結晶化工程においてPZT薄膜に機械的に圧縮応力を印加するので、PZT薄膜全体に均一な圧縮応力を印加することができず配向性が低くなってしまうという問題や、ベース基板として、PZT薄膜に圧縮応力を印加可能とするように3次元加工されたものしか用いることができないという問題や、PZT薄膜などがベース基板から剥離してしまうという問題があった。
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を製造することが可能な圧電性薄膜の製造方法、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を圧電変換部として備えた共振装置およびそれを用いたUWB用フィルタを提供することにある。
請求項1の発明は、ゾルゲル法を用いた圧電性薄膜の製造方法であって、ベース基板の一表面側にPZTの前駆体からなるPZT前駆体部とPZTよりも熱膨張率の高い高熱膨張率材料からなる熱膨張部とがベース基板の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層を形成する複合層形成工程と、複合層をアニールすることでPZTからなる圧電性結晶部と前記高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部とがベース基板の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜を形成する結晶化工程とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、結晶化工程では、PZTの前駆体からなるPZT前駆体部とPZTよりも熱膨張率の高い高熱膨張率材料からなる熱膨張部とがベース基板の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層をアニールすることで、PZTからなる圧電性結晶部と前記高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部とがベース基板の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜を形成するので、機械的に圧縮応力を印加することなしに、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を製造することが可能となる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、前記複合層形成工程では、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において、前記熱膨張部と前記PZT前駆体部とが一方向に沿って交互に並ぶように前記複合層を形成することを特徴とする。
この発明によれば、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において前記PZT前駆体部に前記PZT前駆体部の両側の前記熱膨張部から圧縮応力が印加されるので、前記圧電性薄膜の配向性を高めることができる。
請求項3の発明は、請求項1の発明において、前記複合層形成工程では、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において、前記熱膨張部の形状が網目状であり、且つ、前記PZT前駆体部の形状が前記網目状の網目の形状となるように前記複合層を形成することを特徴とする。
この発明によれば、前記結晶化工程で前記PZT前駆体部にかかる圧縮応力の方向依存性を少なくすることができ、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において前記PZT前駆体部に全方向から略均一に圧縮応力が印加されるので、前記圧電性薄膜の配向性をより一層高めることができる。
請求項4の発明は、請求項1の発明において、前記複合層形成工程では、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において、前記熱膨張部の形状が円環状であり、且つ、前記PZT前駆体部の形状が円形状となるように前記複合層を形成することを特徴とする。
この発明によれば、前記結晶化工程で前記PZT前駆体部にかかる圧縮応力の方向依存性を少なくすることができ、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において前記PZT前駆体部に全方向から略均一に圧縮応力が印加されるので、前記圧電性薄膜の配向性をより一層高めることができる。
請求項5の発明は、請求項1ないし請求項4の発明において、前記複合層形成工程は、PZTの成分元素を含む金属アルコキシドを溶媒に溶かした溶液を前記ベース基板の前記一表面側に塗布する塗布工程と、塗布工程の後で前記溶媒を除去することによりPZTの前駆体膜を形成する仮焼成工程と、仮焼成工程の後に前駆体膜をパターニングすることで前駆体膜の一部からなる前記PZT前駆体部を形成するPZT前駆体部形成工程と、PZT前駆体部形成工程の後に前記ベース基板の前記一表面側に前記熱膨張部を形成する熱膨張部形成工程とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、前記熱膨張部を形成した後に前記PZT前駆体部を形成する場合に比べて、前記圧電性薄膜における前記圧電性結晶部の結晶性を向上できる。
請求項6の発明は、ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成された下部電極と、下部電極におけるベース基板側とは反対側に形成された圧電変換部と、圧電変換部における下部電極側とは反対側に形成された上部電極とを備えた共振装置であって、圧電変換部は、請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の圧電性薄膜の製造方法により製造された圧電性薄膜からなることを特徴とする。
この発明によれば、圧電変換部が、請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の圧電性薄膜の製造方法により製造された圧電性薄膜からなるので、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を圧電変換部として備えた共振装置を提供することができる。
請求項7の発明は、請求項6記載の共振装置を用いたことを特徴とする。
この発明によれば、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を圧電変換部として備えた共振装置を用いたUWB用フィルタを提供することができる。
請求項1の発明では、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を製造することが可能になるという効果がある。
請求項6の発明では、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を圧電変換部として備えた共振装置を提供することができるという効果がある。
請求項7の発明では、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜を圧電変換部として備えた共振装置を用いたUWB用フィルタを提供することができるという効果がある。
(実施形態1)
本実施形態の共振装置は、図1(f)に示すように、ベース基板1と、ベース基板1の一表面側に形成された共振子3とを備えたBAW共振器であり、共振子3が、ベース基板1の上記一表面側に形成された下部電極31と、下部電極31におけるベース基板1側とは反対側に形成された圧電変換部32と、圧電変換部32における下部電極31側とは反対側に形成された上部電極33とで構成されている。
本実施形態の共振装置は、図1(f)に示すように、ベース基板1と、ベース基板1の一表面側に形成された共振子3とを備えたBAW共振器であり、共振子3が、ベース基板1の上記一表面側に形成された下部電極31と、下部電極31におけるベース基板1側とは反対側に形成された圧電変換部32と、圧電変換部32における下部電極31側とは反対側に形成された上部電極33とで構成されている。
ここにおいて、本実施形態の共振装置は、ベース基板1を、主表面が(100)面の単結晶のシリコン基板からなる支持基板11と、支持基板11の主表面上に形成され圧電性薄膜32で発生したバルク弾性波を反射させる音響ミラー(音響多層膜)12とで構成してある。
音響ミラー12は、相対的に音響インピーダンスの低い材料からなる低音響インピーダンス層12aと相対的に音響インピーダンスの高い材料からなる高音響インピーダンス層12bとが交互に積層されており、上述の下部電極31は、最上層の低音響インピーダンス層12a上に形成されている。なお、低音響インピーダンス層12aおよび高音響インピーダンス層12bの膜厚は、圧電性薄膜32の共振周波数の弾性波(バルク弾性波)の波長の4分の1の値に設定すればよい。
本実施形態では、ベース基板1において、低音響インピーダンス層12aの材料としてSiO2、高音響インピーダンス層12bの材料としてWを採用しているが、これらの材料は特に限定するものではなく、低音響インピーダンス層12aの材料としては、例えば、Si,poly−Si,Al,ポリマーなどを採用してもよく、高音響インピーダンス層12bの材料としては、例えば、Au,Mo,AlN,ZnO,ダイヤモンドライクカーボン、ダイヤモンド、アモルファスライクカーボン、グラファイト、グラファイトライクカーボンなどを採用してもよい。また、ベース基板1における支持基板11として、シリコン基板の代わりに、主表面が(100)面のMgO基板や、主表面が(100)面のSTO(SrTiO3)基板などを用いてもよい。
また、共振子3は、下部電極31の材料としてPtを採用し、上部電極33の材料としてAlを採用しているが、下部電極31および上部電極33それぞれの材料は特に限定するものではなく、下部電極31の材料としては、Irなどを採用してもよく、上部電極33の材料としては、例えば、Mo,Ptなどを採用してもよい。また、下部電極31および上部電極33は単層構造に限らず多層構造でもよい。
なお、本実施形態の共振装置では、共振子3の共振周波数を4GHzに設定してあり、下部電極31の厚みを100nm、圧電変換部32の厚みを300nm、上部電極33の厚みを100nm、SiO2層からなる低音響インピーダンス層12aの厚みを373nm、W層からなる高音響インピーダンス層12bの厚みを327nmに設定してあるが、これらの数値は一例であって特に限定するものではない。また、共振周波数を3GHz〜5GHzの範囲で設計する場合には、圧電変換部32の厚みは200nm〜600nmの範囲で、SiO2層からなる低音響インピーダンス層12aの厚みは250nm〜550nmの範囲で、W層からなる高音響インピーダンス層12bの厚みは200nm〜450nmの範囲で、それぞれ適宜設定すればよい。
ところで、本実施形態の共振装置における圧電変換部32は、自発分極の方向が圧電変換部32の厚み方向(つまり、ベース基板1の厚み方向)に揃ったPZTからなる圧電性結晶部30aと、PZTに比べて熱膨張率の高い高熱膨張率材料(例えば、V2O5、Ta2O5、Nb2O5など)からなる高熱膨張率材料部30bとがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜30(図1(d),(e)および図2(b)参照)により構成されている。
ここにおいて、圧電性薄膜30は、図2(b)に示すように、ベース基板1の厚み方向に直交する断面が網目状に形成された高熱膨張率材料部30bと、上記網目状の網目の形状となるように形成された複数の柱状の圧電性結晶部30aとで構成されている。さらに説明すれば、圧電性薄膜30は、上記網目状の網目の形状が円形状であり、網目の中に円柱状の圧電性結晶部30aが満たされている。また、各圧電性結晶部30aは、ベース基板1の厚み方向に直交する面内における単位格子が正三角形の仮想的な2次元三角格子の各格子点に対応する各部位に形成されているが、単位格子は正三角形に限らず、例えば正方形でもよく、この場合には単位格子が正方形の仮想的な2次元正方格子の各格子点に対応する部位に圧電性結晶部30aを形成すればよい。なお、圧電性薄膜30全体の体積に対する高熱膨張率材料部30bの体積は、0.01〜0.1%程度が望ましい。
以下、本実施形態の共振装置の製造方法について図1(a)〜(f)を参照しながら説明する。
まず、主表面が(100)面の単結晶のシリコン基板からなる支持基板10の主表面(一表面)側の全面に、SiO2膜からなる低音響インピーダンス層12aとW膜からなる高音響インピーダンス層12bとを例えばスパッタ法やCVD法などにより交互に成膜することで音響ミラー12を形成する音響ミラー形成工程を行い、その後、支持基板11と音響ミラー12とからなるベース基板1の一表面側の全面に、共振子3の下部電極31の基礎となる第1の導電性層31aを例えばスパッタ法や蒸着法などにより形成する第1導電性層形成工程を行い、次に、PZTの成分元素を含む金属アルコキシドを溶媒(例えば、メタノール、デカノール、テトラデカンなど)に溶かした溶液をベース基板1の上記一表面側の全面(ここでは、第1の導電性層31aの表面)に例えばスピンコート法により塗布する塗布工程を行い、続いて、例えば大気中で所定の焼成温度(例えば、300℃〜350℃程度)、所定の焼成時間(例えば、30秒〜10分程度)において上記溶媒を蒸発させて除去することによりPZTの前駆体膜28を形成する仮焼成工程を行うことによって、図1(a)に示す構造を得る。
上述の仮焼成工程の後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して前駆体膜28をパターニングすることで前駆体膜28の一部からなる複数の柱状(本実施形態では、円柱状)のPZT前駆体部28aを形成するPZT前駆体部形成工程を行うことによって、図1(b)に示す構造を得る。
PZT前駆体部形成工程の後に、ベース基板1の上記一表面側に、例えばゾルゲル法により、上述の高熱膨張率材料(例えば、V2O5、Ta2O5、Nb2O5など)からなり高熱膨張率材料部30bの基礎となる熱膨張部29を形成する熱膨張部形成工程を行うことによって、図1(c)および図2(a)に示す構造を得る。ここにおいて、熱膨張部形成工程では、高熱膨張率材料のゾルゲル溶液をベース基板1の上記一表面側にスピンコート法により塗布し、続いて、ゾルゲル溶液の溶媒を蒸発させて除去することにより熱膨張部29を形成するので、熱膨張部29は、各PZT前駆体部28aの周囲を囲む形で形成され、ベース基板1の厚み方向に直交する断面の形状が、図2(a)に示すように、各PZT前駆体部28aを囲む網目状の形状となる。なお、本実施形態では、上述の塗布工程と仮焼成工程と前駆体部形成工程と熱膨張部形成工程とで、ベース基板1の上記一表面側にPZTの前駆体からなるPZT前駆体部28aとPZTよりも熱膨張率の高い高熱膨張率材料からなる熱膨張部29とがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層27を形成する複合層形成工程を構成しており、本実施形態の複合層形成工程では、ベース基板1の厚み方向に直交する面内において、熱膨張部29の形状が網目状であり、且つ、PZT前駆体部28aの形状が上記網目状の網目の形状となるように複合層27を形成する。
上述の複合層形成工程の後、複合層27を酸素雰囲気中で所定の焼結温度にてアニールすることでPZTからなる圧電性結晶部30aと高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部30bとがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜30を形成する結晶化工程(焼結工程)を行うことによって、図1(d)に示す構造を得る。この結晶化工程では、アニール時に熱膨張部32bが膨張してPZT前駆体部32aに圧縮応力が印加されるので、当該PZT前駆体部32aが結晶化することで形成される圧電性結晶部30aの自発分極の方向が複合層32の厚み方向(つまり、ベース基板1の厚み方向)に揃いやすくなり、分極率を高めることができる。要するに、自発分極の方向が圧電性薄膜30の厚み方向に揃った配向性の高い圧電性結晶部30aを形成することができる。
上述の結晶化工程の後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して圧電性薄膜30を所望の平面形状(例えば、矩形状)にパターニングすることで圧電性薄膜30の一部からなる圧電変換部32を形成する圧電変換部パターニング工程を行い、続いて、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して第1の導電性層31aを所望の平面形状にパターニングすることで第1の導電性層31aの一部からなる下部電極31を形成する下部電極パターニング工程を行うことによって、図1(e)に示す構造を得る。
その後、圧電変換部32の表面側に上部電極33を形成する上部電極形成工程を行うことによって、図1(f)に示す構造の共振装置を得る。ここにおいて、上部電極形成工程では、ベース基板1の上記一表面側の全面に、上部電極33の基礎となる第2の導電性層をスパッタ法や蒸着法などによって形成し、続いて、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して第2の導電性層を所望の平面形状にパターニングすることで第2の導電性層の一部からなる上部電極33を形成する。
上述の共振装置の製造にあたっては、上述の支持基板1としてウェハ(例えば、シリコンウェハ)を用いてウェハレベルで多数の共振装置を形成した後、ダイシング工程で個々の共振装置に分割すればよい。
上述した本実施形態の共振装置の製造方法では、圧電性薄膜30の製造にあたって、結晶化工程にて、PZTの前駆体からなるPZT前駆体部28aとPZTよりも熱膨張率の高い高熱膨張率材料からなる熱膨張部29とがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層27をアニールすることで、PZTからなる圧電性結晶部30aと上記高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部30bとがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜30を形成するので、機械的に圧縮応力を印加することなしに、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜30を製造することが可能となる。また、上述の製造方法では、複合層形成工程にて形成した複合層27の熱膨張部29が網目状に形成され且つ各PZT前駆体部28aが円柱状の形状に形成されているので、結晶化工程でPZT前駆体部28aにかかる圧縮応力の方向依存性を少なくすることができ、ベース基板1の厚み方向に直交する面内においてPZT前駆体部28aに全方向から略均一に圧縮応力が印加されるので、圧電性薄膜30の配向性をより一層高めることができる。
以上説明した本実施形態の共振装置は、圧電変換部32が、上述の圧電性薄膜30の一部により構成されているので、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜30を圧電変換部32として備えている。
ところで、上述の共振装置を、3GHz以上の高周波帯においてカットオフ特性が急峻で且つ帯域幅の広い高周波フィルタ、例えば、UWB用フィルタとして応用する場合には、図3に示すように、下部電極31と圧電性薄膜32と上部電極33とで構成される共振子3を同一のベース基板1上に複数個形成するようにし(図3には2個しか記載されていないが、例えば、8個形成するようにし)、これらの共振子3を図示しない配線(例えば、金属配線、第1の導電性層の一部、第2の導電性層の一部など)によって図4に示すようなラダー型フィルタを構成するように接続すれば、UWB用フィルタの低コスト化および小型化を図れる。なお、同一ベース基板1上に複数個の共振子3を形成する構成において、上述のように音響ミラー12の低音響インピーダンス層12aの材料として絶縁材料であるSiO2、高音響インピーダンス層12bの材料として金属材料であるWを採用している場合には、隣り合う共振子3間で高音響インピーダンス層12bを介したクロストークが発生するのを防止するために、例えば、高音響インピーダンス層12bを共振子3ごとに分離したパターンとなるように製造時に適宜パターニングすればよい。ここで、高音響インピーダンス層12bの材料として、AlN,ZnO,ダイヤモンドライクカーボン、ダイヤモンド、アモルファスライクカーボン、グラファイト、グラファイトライクカーボンなどの絶縁材料を採用する場合には、高音響インピーダンス層12bのパターニングは不要となるが、Wを採用する場合に比べて、高音響インピーダンス層12bの材料と低音響インピーダンス層12aの材料との音響インピーダンス比が小さくなるので、低音響インピーダンス層12aと高音響インピーダンス層12bとの積層数が増加する。
(実施形態2)
図5(f)に示す本実施形態の共振装置の基本構成は実施形態1と略同じであり、ベース基板1として、主表面が(100)面の単結晶のシリコン基板の主表面上にシリコン酸化膜を形成したものを用いており(つまり、シリコン基板の主表面側である一表面側にシリコン酸化膜を形成したものを用いており)、ベース基板1に、下部電極31における圧電変換部32側とは反対側の表面を露出させる開孔部13が形成されている点が実施形態1とは相違する。要するに、実施形態1の共振装置は、SMRを構成していたのに対して、本実施形態の共振装置は、下部電極31と下部電極31直下の媒質との音響インピーダンス比を大きくすることによりベース基板1側への弾性波エネルギの伝搬を抑制するようにしたFBARを構成している。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図5(f)に示す本実施形態の共振装置の基本構成は実施形態1と略同じであり、ベース基板1として、主表面が(100)面の単結晶のシリコン基板の主表面上にシリコン酸化膜を形成したものを用いており(つまり、シリコン基板の主表面側である一表面側にシリコン酸化膜を形成したものを用いており)、ベース基板1に、下部電極31における圧電変換部32側とは反対側の表面を露出させる開孔部13が形成されている点が実施形態1とは相違する。要するに、実施形態1の共振装置は、SMRを構成していたのに対して、本実施形態の共振装置は、下部電極31と下部電極31直下の媒質との音響インピーダンス比を大きくすることによりベース基板1側への弾性波エネルギの伝搬を抑制するようにしたFBARを構成している。なお、実施形態1と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
以下、本実施形態の共振装置の製造方法について図5を参照しながら説明するが、実施形態1にて説明した共振装置の製造方法と同様の工程については簡単に説明する。
まず、ベース基板1の一表面側(図5(a)における上面側)の全面に、共振子3の下部電極31の基礎となる第1の導電性層31aを形成する第1の導電性層形成工程を行うことによって、図5(a)に示す構造を得る。
その後、実施形態1と同様に、ベース基板1の上記一表面側にPZTの前駆体からなるPZT前駆体部28aとPZTよりも熱膨張率の高い高熱膨張率材料からなる熱膨張部29とがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層27を形成する複合層形成工程を行うことによって、図5(b)に示す構造を得る。
上述の複合層形成工程の後、実施形態1と同様に、複合層27を酸素雰囲気中で所定の焼結温度にてアニールすることでPZTからなる圧電性結晶部30aと高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部30bとがベース基板1の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜30を形成する結晶化工程(焼結工程)を行うことによって、図5(c)に示す構造を得る。
その後、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して圧電性薄膜30を所望の平面形状(例えば、矩形状)にパターニングすることで圧電性薄膜30の一部からなる圧電変換部32を形成する圧電変換部パターニング工程を行い、続いて、フォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を利用して第1の導電性層31aを所望の平面形状にパターニングすることで第1の導電性層31aの一部からなる下部電極31を形成する下部電極パターニング工程を行うことによって、図5(d)に示す構造を得る。
その後、圧電変換部32の表面側に上部電極33を形成する上部電極形成工程を行うことによって、図5(e)に示す構造を得る。
次に、ベース基板1の他表面側に上述の開孔部13形成用にパターニングされたマスク層(例えば、レジスト層、SiO2膜)を形成するマスク層形成工程を行ってから、当該マスク層をマスクとしてアルカリ系溶液(例えば、KOH、TMAH、NaOHなどの水溶液)を用いた異方性エッチングや、誘導結合プラズマ型のエッチング装置を用いたドライエッチングによるエッチングを上記シリコン酸化膜をエッチングストッパ層として行ってから上記シリコン酸化膜のうち開孔部13に対応する部分をエッチング除去することにより開孔部13を形成する開孔部形成工程を行い、続いて、上記マスク層を除去するマスク層除去工程を行うことによって、図5(f)に示す構造の共振装置を得る。なお、シリコン基板において開孔部13に対応する部分をアルカリ系溶液を用いた異方性エッチングによりエッチングする場合、上部電極33の材料がPtであればベース基板1の上記一表面側にマスクを設ける必要はないが、上部電極33の材料がAlの場合にはベース基板1の上記一表面側に上部電極33を保護するマスクを設ける必要がある。
本実施形態の共振装置の製造にあたっては、上述のベース基板1としてウェハ(例えば、シリコン酸化膜を形成したシリコンウェハ)を用いてウェハレベルで多数の共振装置を形成した後、ダイシング工程で個々の共振装置に分割すればよい。
以上説明した本実施形態の共振装置の製造方法においても、実施形態1における共振装置の製造方法と同様に、機械的に圧縮応力を印加することなしに、自発分極の方向が厚み方向に揃って配向性が高い圧電性薄膜30を製造することが可能となる。また、本実施形態の共振装置も実施形態1と同様にUWB用フィルタに応用できる。
ところで、上記各実施形態の共振装置の製造方法では、複合層形成工程において、上述の図2(a)に示した断面形状の複合層27を形成しているが、複合層形成工程にて形成する複合層27の断面形状は図2(a)の断面形状に限らず、例えば、ベース基板1の厚み方向に直交する面内において、図6に示すように熱膨張部29とPZT前駆体部28aとが一方向(図6の左右方向)に沿って交互に並ぶように複合層27を形成するようにしてもよく、この場合には、ベース基板1の厚み方向に直交する面内においてPZT前駆体部28aにPZT前駆体部28aの両側の熱膨張部29から圧縮応力が印加されるので、圧電性薄膜30の配向性を高めることができる。また、ベース基板1の厚み方向に直交する面内において、図7に示すように熱膨張部29の形状が円環状であり、且つ、PZT前駆体部28aの形状が円形状となるように複合層27を形成するようにしてもよく、この場合には、結晶化工程でPZT前駆体部28aにかかる圧縮応力の方向依存性を少なくすることができ、ベース基板1の厚み方向に直交する面内においてPZT前駆体部28aに全方向から略均一に圧縮応力が印加されるので、圧電性薄膜30の配向性をより一層高めることができる。
1 ベース基板
3 共振子
27 複合層
28a PZT前駆体部
29 熱膨張部
30 圧電性薄膜
30a 圧電性結晶部
30b 高熱膨張率材料部
31 下部電極
32 圧電変換部
33 上部電極
3 共振子
27 複合層
28a PZT前駆体部
29 熱膨張部
30 圧電性薄膜
30a 圧電性結晶部
30b 高熱膨張率材料部
31 下部電極
32 圧電変換部
33 上部電極
Claims (7)
- ゾルゲル法を用いた圧電性薄膜の製造方法であって、ベース基板の一表面側にPZTの前駆体からなるPZT前駆体部とPZTよりも熱膨張率の高い高熱膨張率材料からなる熱膨張部とがベース基板の厚み方向に直交する面内で混在し且つ密着した複合層を形成する複合層形成工程と、複合層をアニールすることでPZTからなる圧電性結晶部と前記高熱膨張率材料からなる高熱膨張率材料部とがベース基板の厚み方向に直交する面内で混在する圧電性薄膜を形成する結晶化工程とを備えることを特徴とする圧電性薄膜の製造方法。
- 前記複合層形成工程では、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において、前記熱膨張部と前記PZT前駆体部とが一方向に沿って交互に並ぶように前記複合層を形成することを特徴とする請求項1記載の圧電性薄膜の製造方法。
- 前記複合層形成工程では、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において、前記熱膨張部の形状が網目状であり、且つ、前記PZT前駆体部の形状が前記網目状の網目の形状となるように前記複合層を形成することを特徴とする請求項1記載の圧電性薄膜の製造方法。
- 前記複合層形成工程では、前記ベース基板の厚み方向に直交する面内において、前記熱膨張部の形状が円環状であり、且つ、前記PZT前駆体部の形状が円形状となるように前記複合層を形成することを特徴とする請求項3記載の圧電性薄膜の製造方法。
- 前記複合層形成工程は、PZTの成分元素を含む金属アルコキシドを溶媒に溶かした溶液を前記ベース基板の前記一表面側に塗布する塗布工程と、塗布工程の後で前記溶媒を除去することによりPZTの前駆体膜を形成する仮焼成工程と、仮焼成工程の後に前駆体膜をパターニングすることで前駆体膜の一部からなる前記PZT前駆体部を形成するPZT前駆体部形成工程と、PZT前駆体部形成工程の後に前記ベース基板の前記一表面側に前記熱膨張部を形成する熱膨張部形成工程とを備えることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の圧電性薄膜の製造方法。
- ベース基板と、ベース基板の一表面側に形成された下部電極と、下部電極におけるベース基板側とは反対側に形成された圧電変換部と、圧電変換部における下部電極側とは反対側に形成された上部電極とを備えた共振装置であって、圧電変換部は、請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の圧電性薄膜の製造方法により製造された圧電性薄膜からなることを特徴とする共振装置。
- 請求項6記載の共振装置を用いたことを特徴とするUWB用フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007044628A JP2008211396A (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電性薄膜の製造方法、共振装置およびそれを用いたuwb用フィルタ |
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JP2007044628A Withdrawn JP2008211396A (ja) | 2007-02-23 | 2007-02-23 | 圧電性薄膜の製造方法、共振装置およびそれを用いたuwb用フィルタ |
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JP (1) | JP2008211396A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9525365B2 (en) | 2012-11-19 | 2016-12-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Power-generating device with vibration plate that applies compressive stress to the piezoelectric layer when the vibration plate does not vibrate |
CN111817679A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-10-23 | 杭州见闻录科技有限公司 | 一种薄膜体声波谐振器及其制作工艺 |
WO2023189103A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 日本碍子株式会社 | 複合基板、弾性表面波素子および複合基板の製造方法 |
-
2007
- 2007-02-23 JP JP2007044628A patent/JP2008211396A/ja not_active Withdrawn
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