JP2006210821A - 配線パターン形成方法および、この方法に用いられるマスク - Google Patents
配線パターン形成方法および、この方法に用いられるマスク Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 第1回目露光用マスクとして、ガラス基板上に形成されたクロム膜3100上に、マクロパターンブロック幅3101を7μmとしマクロパターンブロック高さ3102を500μmとした長方形の領域が所定のピッチで形成される(図(a))。この領域内には、プロセス評価の対象となる0.1μm以下の微細配線の束が存在する。
【選択図】 図7
Description
福田 宏,"超解像露光技術の現状と課題",「応用物理」,第69巻,第09号,p.1060−1066(2000)
前記パターン群のうち前記微細配線を除いた前記微細配線より大きい寸法のパターンのデータが配置された第2マスクを用いて、第2のリソグラフィーパターニングを実施する段階とを有することを特徴とする。
第1の実施形態としてプロセス評価用TEG(Test Element Group)の実施例を説明する。
次に、一般的なCPUロジック回路における実施形態について述べる。製品ではIOブロックとRAM部、ロジック部とPLLの4つのマクロ機能からなる。図12に概要を示す。
102 マスクサイズ縦幅
103 サブチップ
1201 ビアチェーン
1202 リーク特性測定パターン
1203 EM評価パターン
2101 シリコン基板
2102 第1層間絶縁膜
2103 F2波長フォトリソグラフィー用レジスト
2104 0.1μm以下の第1配線用溝
2105 ArF波長フォトリソグラフィー用レジスト
2106 0.1μmより大きい第2配線用溝
2107 導体膜
2108 0.1μm以下の第1配線
2109 0.1μmより大きい第2配線
3100 クロム膜
3101 マクロパターンブロック幅
3102 マクロパターンブロック高さ
3103 マクロパターンブロックの間隔
3104 ダミー配線
3105 パッド
4101 IOブロック
4102 RAMブロック
4103 ロジックブロック
4104 PLLブロック
4201 ブロック内信号線
4202 ブロック間信号線
4203 マクロパターンブロック
4204 マクロパターンブロック間
4301 電源線
4302 GND線
4303 ダミー配線
Claims (9)
- 半導体基板上に、幅0.1μm以下の微細配線とこれより大きい寸法のパターンからなるパターン群を少なくとも2枚のマスクを用いて形成する配線パターン形成方法であって、
前記パターン群のうちの前記微細配線のデータだけで占めるデータブロックが同一矩形形状で複数配置されるとともに各データブロックの周囲にデータが全く存在しない第1マスクを用いて、第1のリソグラフィーパターニングを実施する段階と、
前記パターン群のうち前記微細配線を除いた前記微細配線より大きい寸法のパターンのデータが配置された第2マスクを用いて、第2のリソグラフィーパターニングを実施する段階とを有する配線パターン形成方法。 - 前記第1マスクとして、前記データブロックの周囲30μm以上の範囲で、データが全く存在しないマスクを用いた、請求項1に記載の配線パターン形成方法。
- 前記第1マスクとして、前記データブロックの短辺が10μm以下であるマスクを用いた、請求項1または2に記載の配線パターン形成方法。
- 前記第1マスクとして、前記データブロックの短辺に対する長辺の比が50以上であるマスクを用いた、請求項1から3のいずれかに記載の配線パターン形成方法。
- 前記第1マスクの前記微細配線のデータは信号線であり、前記第2マスクの前記パターンデータは電源線もしくは接地線もしくはダミー配線である、請求項1から4のいずれかに記載の配線パターン形成方法。
- 半導体基板上に、幅0.1μm以下の微細配線とこれより大きい寸法のパターンからなるパターン群を少なくとも2回の露光で形成する際に用いられる第1回目露光用のマスクであって、
前記パターン群のうちの前記微細配線のデータだけで占めるデータブロックが同一矩形形状で複数配置されるとともに各データブロックの周囲にデータが全く存在しないマスク。 - 前記データブロックの周囲30μm以上の範囲で、データが全く存在しない、請求項6に記載のマスク。
- 前記データブロックの短辺が10μm以下である、請求項6または7に記載のマスク。
- 前記データブロックの短辺に対する長辺の比が50以上である、請求項6から8のいずれかに記載のマスク。
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