JP2006210638A - パッケージ構造の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1基板21および第2基板11の一主面上に、回路パターン12a、22aと封止パターン12b、22bとを形成する工程と、第1基板21上に回路パターン22aを介して半導体チップ23を搭載する工程と、第2基板11上の回路パターン12a上および封止パターン12b上にメッキ層13を形成する工程と、メッキ層13を介して、回路パターン12a、22a間を接合させるとともに、封止パターン12b、22b間を接合させる工程とを有し、メッキ層13を形成する工程において、メッキ層13の膜厚が回路パターン12a上と封止パターン12b上とで略同一となるように、回路パターン12a上のメッキ層幅と封止パターン21b上のメッキ層幅を予め設定するパッケージ構造の製造方法である。
【選択図】図2
Description
Claims (7)
- 第1基板および第2基板の一主面上に、回路パターンと当該回路パターンを囲む形状の封止パターンとを形成する工程と、
前記第1基板上に、当該第1基板上の前記回路パターンと接続する状態で、素子チップを搭載する工程と、
前記第1基板および前記第2基板の少なくとも一方における前記回路パターン上および前記封止パターン上に、メッキ層を形成する工程と、
圧着により、前記メッキ層を介して、前記素子チップが搭載された前記第1基板上の前記回路パターンと前記第2基板上の前記回路パターンとを接合させるとともに、前記第1基板上の前記封止パターンと前記第2基板上の前記封止パターンとを接合させる工程とを備えたパッケージ構造の製造方法であって、
前記メッキ層を形成する工程において、形成される当該メッキ層の膜厚が、前記回路パターン上と前記封止パターン上とで略同一となるように、当該回路パターン上のメッキ層幅と当該封止パターン上のメッキ層幅を、当該メッキ層を形成する工程に先立って予め設定する
ことを特徴とするパッケージ構造の製造方法。 - 前記各メッキ層幅を、前記封止パターンの露出幅および前記回路パターンの露出幅により設定する
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造の製造方法。 - 前記メッキ層を形成する工程の前に、当該メッキ層を形成する工程でのメッキ処理条件による前記メッキ層幅と前記メッキ層の膜厚との関係をデータ採取しておき、このデータに基づいて、前記メッキ層の膜厚が前記回路パターン上と前記封止パターン上とで略同一となる範囲で前記各メッキ層幅をそれぞれ設定する
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造の製造方法。 - 前記各メッキ層幅を略同一に設定する
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造の製造方法。 - 前記メッキ層を形成する工程では、
7時間以下のメッキ処理条件で、前記第1基板および前記第2基板の少なくとも一方をメッキ液中に浸漬させて無電解メッキを行う
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造の製造方法。 - 前記メッキ層を形成する工程では、
60℃以上70℃以下のメッキ処理条件で、前記第1基板および前記第2基板の少なくとも一方をメッキ液中に浸漬させて無電解メッキを行う
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造の製造方法。 - 前記メッキ層が金で形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のパッケージ構造の製造方法。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH09260430A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-10-03 | Nitto Denko Corp | プローブの製造方法およびそれに用いられる回路基板 |
JP2004214469A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Hitachi Ltd | 電子デバイスおよびその製造方法 |
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2005
- 2005-01-28 JP JP2005020617A patent/JP2006210638A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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