JP2006207845A - ファンフィルターユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットにおいて、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化し、且つ薄型のファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、空気を清浄化するフィルター5と、前記フィルター5に隣接し空気を供給するチャンバー1と、前記チャンバー1内部に設けられたファン2と前記ファン2の駆動用のモーター3と、圧力損失を抑制し、且つフィルター下流の風速分布を均一化できるように、拡散板4を吹出口の少なくとも一部の周囲に備えたものである。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、空気を清浄化するフィルター5と、前記フィルター5に隣接し空気を供給するチャンバー1と、前記チャンバー1内部に設けられたファン2と前記ファン2の駆動用のモーター3と、圧力損失を抑制し、且つフィルター下流の風速分布を均一化できるように、拡散板4を吹出口の少なくとも一部の周囲に備えたものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
従来、この種のファンフィルターユニットは、図11に示すように、チャンバー101に空気を送り込むための送風機102と、この送風機102を覆うケーシング103が配置されており、空気を濾過浄化するフィルター104を備え、送風機102より送り込まれた空気が、フィルター104を通過して清浄空気となって吹き出すものが一般的であった。
特開2001−116310号公報
このような従来のファンフィルターユニットでは、ファンから吹き出した空気がフィルターに関して不均一に拡散し、フィルターから吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きくなり、その風速分布がばらつくことから濾過効率や寿命の低下という課題があった。
また、その課題の克服を目的として拡散板を利用する方法が従来よりなされているが、従来の方法によると圧力損失増加を導いてしまうため、拡散板の有効的な活用方法が要求されている。
また、拡散板は従来ファン下流側に配置されているのだが、薄型化が望まれているファンフィルターユニットにおいて、この配置方法ではチャンバー高さを高くせざるを得ないという課題があった。
本発明は、上記課題を解決するもので、拡散板を用いて圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化し、且つ薄型のファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、空気を清浄化するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するチャンバーと、前記チャンバー内部には送風用のファンと前記ファンの駆動用のモーターと、前記ファンの吹出口の少なくとも一部の周囲を囲うことを特徴とした拡散板を備えたものである。
この手段によれば、拡散板を用いて圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化することができ、また、ファンフィルターユニットの薄型化を図ることができる。
本発明によれば、拡散板を用いて圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
また、薄型のファンフィルターユニットを提供できる。
本発明の請求項1記載の発明は、空気を清浄化するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するチャンバーと、前記チャンバー内部にはファンと、前記ファンの駆動用のモーターと、前記ファン吹出口の少なくとも一部の周囲を囲う形状を特徴とした拡散板を備えたファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化し、且つファンフィルターユニットを薄型化するという作用を有する。
また、本発明の請求項2の発明は、拡散板形状が円筒状であり、前記ファンと同心軸である特徴を有した請求項1に示すファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項3の発明は、拡散板形状が多角筒状であり、その対角線の中点が前記ファンの回転軸上にある特徴を有した請求項1に示すファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項4の発明は、拡散板形状が八角筒状であり、その対角線の中点が前記ファンの回転軸上にある特徴を有した請求項1に示すファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項5の発明は、フィルター下流の風速分布が均一になるように、吹出口の少なくとも一部を囲う拡散板に穴を備えたことを特徴とする請求項2〜4記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項6の発明は、異なる形状の複数の孔を備えたことを特徴とする請求項5記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求7発明は、円形の孔を並べたことを特徴とする請求項6記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項8の発明は、長方形の孔を並べたことを特徴とする請求項6記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項9の発明は、拡散板を無孔としたことを特徴とする請求項6記載のファンフィルターユニットとしたものであり、フィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項10の発明は、拡散板を構成する各面の形状を、フィルター下流の風速分布が均一になるように組み合わせた請求項7〜9記載のいずれかにファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項11の発明は、拡散板において、フィルター側に近い片端に中空の底板をファンの軸方向に向かって取り付けることを特徴とする請求項5〜10のいずれかに記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項12の発明は、中空の底板が、ファンの軸方向から見たときに、ファンと一部重なることを特徴としている請求項11記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項13の発明は、拡散板を無孔としたことを特徴とする請求項11または12記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
また、本発明の請求項14の発明は、拡散板に円形の複数の孔を並べて備えたことを特徴とする請求項11または12記載のファンフィルターユニットとしたものであり、圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという作用を有する。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1に示すファンフィルターユニットの概略図である。
図1は本発明の実施の形態1に示すファンフィルターユニットの概略図である。
図1に示すように、ファンフィルターユニットのチャンバー1には上流から、ターボファン2、駆動用のモーター3と、ファン周囲に多孔板からなる拡散板4を備えている。また、フィルター5はチャンバー1の下部に設置されている。
拡散板4を備えていない状態を考えると、ターボファン2から送られる空気はチャンバー1のコーナー部に集中する傾向にある。つまりファン2下流には空気がほぼ流れていない状態となるわけである。
そこで上記構成において、拡散板4を取り付けることにより、ターボファン2から送られる空気をフィルター5に対して均一に吹き込み、フィルター5の吹き出し面からの風速分布を均一にすることが出来る。
また、上記構成において、拡散板4をターボファン2の吹出口の周囲に取り付けることにより、チャンバー1内部のファン軸方向において、従来のファン2下流側に拡散板を設置する方法に比べると大きなスペースの削減となり、ファンフィルターユニットの薄型化を図ることができる。
また、拡散板4を構成する面の形状が異なれば、流れの方向やその方向への風量も異なる。その性質を組み合わせていくことで、余分に圧力抵抗をかけなくてすむので、必要以上に圧力損失を増加させることなく、風速分布を均一化することができる。
(実施の形態2)
実施の形態1と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図2に示すように、拡散板4をファン2と同心軸であるようにしたものである。この円形の拡散板4は、拡散板4とファン2外径との距離6がどの点に関しても一定であるため、干渉音が極めて小さいことが特徴である。
実施の形態1と同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。図2に示すように、拡散板4をファン2と同心軸であるようにしたものである。この円形の拡散板4は、拡散板4とファン2外径との距離6がどの点に関しても一定であるため、干渉音が極めて小さいことが特徴である。
(実施の形態3)
図3に示すように、拡散板4の形状が八角筒状でありその対角線7の中点がファン2の回転軸8上にあるようにしたものである。
図3に示すように、拡散板4の形状が八角筒状でありその対角線7の中点がファン2の回転軸8上にあるようにしたものである。
(実施の形態4)
図4に示すように、拡散板4に円形の孔9を並べて備えたものである。
図4に示すように、拡散板4に円形の孔9を並べて備えたものである。
(実施の形態5)
図5に示すように、拡散板4に長方形の孔10を並べて備えたものである。
図5に示すように、拡散板4に長方形の孔10を並べて備えたものである。
(実施の形態6)
図6に示すように、拡散板4のフィルター5側に近い片端に中空の底板11をファン2の軸方向に向かって取り付けたものである。
図6に示すように、拡散板4のフィルター5側に近い片端に中空の底板11をファン2の軸方向に向かって取り付けたものである。
(実施の形態7)
図7に示すように、拡散板4のフィルター5側に近い片端に複数の円形の孔9を並べて備えた中空の底板11をファン2の軸方向に向かって取り付けたものである。
図7に示すように、拡散板4のフィルター5側に近い片端に複数の円形の孔9を並べて備えた中空の底板11をファン2の軸方向に向かって取り付けたものである。
(実施の形態8)
図8および図9は、本発明の拡散板の特徴を示す概略図である。
図8および図9は、本発明の拡散板の特徴を示す概略図である。
実施の形態1乃至7のいずれかと同一部分は同一番号を附し、詳細な説明は省略する。
図8に示すのは請求項4記載の八角形の拡散板4において、コーナー部には請求項9記載の無孔である拡散板4を用いて、且つ他の部分には請求項8記載の長方形の孔10を並べたことを特徴とする拡散板4を用いた例である。図1に示すようなチャンバー形状においては、チャンバー1のコーナー部で風量が大きくなる傾向がある。そこで図8に示す構成の拡散板4を用いると、コーナー部に集中しようとしている風量をファン2下流側に向かせることができる。また、ファン2が複数取り付けられている図9のようなファンフィルターユニットに関しては、チャンバー1中央部においては、両ファン2からの流れが集中する部分であるため仕切り板12が取り付けられていることが多い。この仕切り板12が拡散板4と同様の機能を果たすことで、チャンバー1中央部においては十分な風量が得られる。そこで、チャンバー1中央部付近の拡散板4に関しては請求項10記載の何もない状態とすることにより圧力損失を増加させることなく、風速分布の均一化を図れる。
(実施の形態9)
図10は本発明の請求項12における、拡散板4の特徴を示す概略図である。
図10は本発明の請求項12における、拡散板4の特徴を示す概略図である。
図10(a)はファン2と拡散板4の中空の底板11が重なっている様子を示したものである。図10(a)に示すように、ファン2の軸方向からファン2に拡散板4の中空の底板11を投影させてみれば、中空の直径がファン2の外径より小さく、ファン2と拡散板4の一部が重なっていることがわかる。風速分布測定の際に,最も風量が小さくなるのはファン2下流部であり、このファン2下流部の風量をいかにして大きくするかが風速分布均一化に繋がる。ここで図10(b)は中空の底板11を備えた拡散板、図10(c)は中空の底板11がない拡散板に関するそれぞれの空気の流れを、断面図上に表した矢印から見ている。これらより明らかなように、中空の底板11をファン2に重なるように備えることによって、空気の流れをよりファン2の回転軸方向に向けることが可能となる。
本発明にかかるファンフィルターユニットは、拡散板を用いて圧力損失を増加させることなくフィルター通過風速の分布を均一化するという効果のあるファンフィルターユニット、また、薄型のファンフィルターユニットとして有用である。
1 チャンバー
2 ターボファン
3 モーター
4 拡散板
5 フィルター
6 拡散板とファン外径との距離
7 拡散板の対角線
8 ファンの回転軸
9 円形の孔
10 長方形の孔
11 中空の底板
12 仕切り板
101 チャンバー
102 送風機
103 ケーシング
104 フィルター
2 ターボファン
3 モーター
4 拡散板
5 フィルター
6 拡散板とファン外径との距離
7 拡散板の対角線
8 ファンの回転軸
9 円形の孔
10 長方形の孔
11 中空の底板
12 仕切り板
101 チャンバー
102 送風機
103 ケーシング
104 フィルター
Claims (14)
- 空気を清浄化するフィルターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するチャンバーと、前記チャンバー内部に設けられたファンと前記ファンの駆動用のモーターと、前記ファン吹出し口の少なくとも一部の周囲を囲う拡散板を備えたことを特徴としたファンフィルターユニット。
- 拡散板形状が円筒状で、前記ファンと同心軸であることを特徴とした請求項1に記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板形状が多角筒状であり、その対角線の中点が前記ファンの回転軸上にあることを特徴とした請求項1に示すファンフィルターユニット。
- 拡散板形状が八角筒状であり、その対角線の中点が前記ファンの回転軸上にあることを特徴とした請求項3に示すファンフィルターユニット。
- フィルター下流の風速分布が均一になるように、吹出し口の少なくとも一部を囲う拡散板に、孔を備えたことを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板に異なる形状の複数の孔を備えたことを特徴とする請求項5記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板に円形の孔を並べて備えたことを特徴とする請求項6記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板に長方形の孔を並べて備えたことを特徴とする請求項6記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板を無孔としたことを特徴とする請求項6記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板を構成する各面の形状を、フィルター下流の風速分布が均一になるように組み合わせたことを特徴とする請求項7〜9のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板において、フィルター側に近い片端に中空の底板をファンの軸方向に向かって取り付けることを特徴とする請求項5〜10のいずれかに記載のファンフィルターユニット。
- 中空の底板が、ファンの軸方向から見たときに、ファンと一部重なることを特徴とする請求項11記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板を無孔としたことを特徴とする請求項11または12記載のファンフィルターユニット。
- 拡散板に円形の複数の孔を並べて備えたことを特徴とする請求項11または12記載のファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005016471A JP2006207845A (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005016471A JP2006207845A (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | ファンフィルターユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006207845A true JP2006207845A (ja) | 2006-08-10 |
Family
ID=36964916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005016471A Withdrawn JP2006207845A (ja) | 2005-01-25 | 2005-01-25 | ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006207845A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014066459A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 空気清浄機 |
KR20140141450A (ko) * | 2013-05-31 | 2014-12-10 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액처리 장치 |
US11859864B1 (en) * | 2020-05-18 | 2024-01-02 | Wunderlich-Malec Engineering, Inc. | Particulate and virus barrier |
-
2005
- 2005-01-25 JP JP2005016471A patent/JP2006207845A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014066459A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 空気清浄機 |
KR20140141450A (ko) * | 2013-05-31 | 2014-12-10 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액처리 장치 |
JP2014236081A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
KR102147001B1 (ko) | 2013-05-31 | 2020-08-21 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액처리 장치 |
US11859864B1 (en) * | 2020-05-18 | 2024-01-02 | Wunderlich-Malec Engineering, Inc. | Particulate and virus barrier |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20071026 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
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