JP2007292357A - ファンフィルターユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】フィルター通過後の風速分布の均一化と、モーターサポートのねじれを抑制して、ファンフィルターユニットの振動を軽減することを目的とする。
【解決手段】箱型状のチャンバー5上部に吸込口1を有し、ターボファン2とモーター3からなるファンユニット4をチャンバー5内部に有し、このファンユニット4の吹出側にフィルター6を設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンユニット4をチャンバー5に固定するモーターサポート7が、ファンユニット4の吹き出し側に取り付けられ、ファンユニット4の略全周を覆い、かつ開口部8があけられている構造体としたことにより、吹出風速分布の均一性を高め、ファンフィルターユニットの振動を軽減させることができる。
【選択図】図1
【解決手段】箱型状のチャンバー5上部に吸込口1を有し、ターボファン2とモーター3からなるファンユニット4をチャンバー5内部に有し、このファンユニット4の吹出側にフィルター6を設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンユニット4をチャンバー5に固定するモーターサポート7が、ファンユニット4の吹き出し側に取り付けられ、ファンユニット4の略全周を覆い、かつ開口部8があけられている構造体としたことにより、吹出風速分布の均一性を高め、ファンフィルターユニットの振動を軽減させることができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体や液晶、およびプラズマディスプレイ製造工程において、清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
従来、この種のファンフィルターユニットは、フィルターに送風するチャンバーを取り付けてそのチャンバーにファンとモーターを内蔵したものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
以下、そのファンフィルターユニットについて図9を参照しながら説明する。
従来のファンフィルターユニットは、チャンバー101に空気を送り込むためのファン102とモーター103、ファン102とモーター103を覆うケーシング104が配置されており、空気を清浄化するフィルター105で構成されている。ファン102には、ターボファンを用いることが多い。
そして、ファン102とモーター103より送り込まれた空気が、フィルター105を通過して清浄空気となって吹き出されていた。
また従来、モーターとチャンバーを固定させる構造体として図8のようなモーターサポートを用いることが知られている。
特開平9−310896号公報
このような従来のファンフィルターユニットでは、ターボファンを用いているため、ファンの回転軸と直交方向に空気が吹き出す。そのため、チャンバーの周辺部の圧力が高く、中心部では圧力が低くなる。すなわち、ファンから吹き出した空気がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きくなり、風速分布が均一にならないという課題があった。
また、ファンユニットをチャンバーへ固定する手段は、通常図8に示すモーターサポートと呼ばれる構造体にて取り付けるのが一般的であるが、この構造体だとモーターが駆動している時に、モーターサポートにねじれが発生しやすく、ファンフィルターユニットの振動が大きくなるという課題があった。
また、固定手段であるモーターサポートと、風速分布を均一にするための拡散手段である拡散板と呼ばれる構造体は別々の構造体であるため、それぞれの構造体に対し取付工数がかかっていた。
本発明は、このような課題を解決するもので、フィルター通過後の風速分布の均一化と、モーターサポートのねじれやひずみを抑制して、ファンフィルターユニットの振動を軽減することを目的とする。
また、本発明はモーターサポートと拡散板の機能をひとつの構造体にて行なうことで、取付工数の削減を図ることを目的とする。
本発明のファンフィルターユニットは上記の目的を達成するために、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットをチャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、ファンユニットをチャンバーに固定するモーターサポートが、ファンユニットの吹き出し側に取り付けられ、ファンユニットの略全周を覆う構造体としたものである。
この手段により、モーターサポートの補強をはかることができ、モーター駆動時に発生するモーターサポートのねじれに対する強度を上げることができ、ファンユニットの振動を軽減できるという効果が得られる。
また他の手段は、モーターサポートが椀状であり、開口部を備えた構成としたものである。
また他の手段は、モーターサポートの開口部が、均一な形状または配列にあけられたものである。
また他の手段は、モーターサポートの開口部が、大きさまたは数量を部分的に変化させた状態であけられたものである。
また他の手段は、モーターサポート周辺部の開口面積が少なく、中心に近い部分の開口面積が大きくなるようにあけられたものである。
これらの手段により、フィルターから吹き出す空気の風速分布の均一性を高めたファンフィルターユニットが得られる。
本発明によれば均一な風速の空気を送風できる効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
また、本発明によればモーターサポートと拡散板の機能がひとつの構造体であることによる取付工数削減の効果が得られる。
また、本発明によればモーターサポートのねじれに対する強度を上げる効果が得られる。
また、本発明によればファンフィルターユニットの振動を軽減する効果が得られる。
また、本発明によれば駆動中のモーターを冷却させる効果が得られる。
本発明の請求項1記載の発明は、箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、前記ファンユニットをチャンバーに固定するモーターサポートを有し、そのモーターサポートは、ファンユニットの吹き出し側に取り付けられ、ファンユニットの略全周を覆う形状を備えたものであり、固定手段であるモーターサポートのねじれに対する強度が向上するという作用を有する。
本発明の請求項2記載の発明は、モーターサポートは、椀状の形状で開口部を備えたものであり、モーターサポートに開口穴をもうけることで、風速の整流化を図ることができるという作用を有する。
本発明の請求項3記載の発明は、モーターサポートの開口部は、均一な形状または配列にてあけられたものであり、モーターサポートの周辺部に円などの形の開口穴を均等に割付けることで、吸込まれた空気が、チャンバー内に均等に広がり、吹出風速分布の均一化が図れるという作用を有する。
本発明の請求項4記載の発明は、モーターサポートの開口部は、大きさまたは数量を部分的に変化させた状態であけられたものであり、モーターサポートの周辺部に円や四角など異なる形の開口穴を、疎密な状態で割付けることで、吸込まれた空気を、意図的に変化のさせた状態でフィルターから供給することができるという作用を有する。
本発明の請求項5記載の発明は、モーターサポートの開口部は、周辺部の開口面積が少なく、中心部の開口面積が大きくなるようにあけられたものであり、モーターサポートの中央に位置するモーター直下部は風速が遅いとされるため、モーター直下部に近い部分の開口面積を大きくすることで、中心部により多くの空気を送り込むことができるという作用を有する。
本発明の請求項6記載の発明は、モーターサポートの開口部は、三角形もしくは四角形で、ひとつの辺がモーターサポートと一体の切り起こし形状にてあけられたものであり、モーターサポートの周辺部に切り起こし形状で穴をあけて、切り起こしの角度によって、開口穴を通過する空気の吹出方向や吹出量を調整することができるという作用を有する。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1に示すように、第1の実施形態のファンフィルターユニットは、ターボファン2とモーター3からなるファンユニット4を箱状のチャンバー5に内蔵して構成されている。吹出側となるチャンバー5の下方にはフィルター6を設ける。ファンユニット4は、モーターサポート7により固定する。モーターサポート7は図2に示すように、モーター3の略全周を覆う椀状の形状で、開口部8を有している。このモーターサポート7は、中心部にモーター3を設置し、周辺部をチャンバー5の天面裏に固定する。
図1に示すように、第1の実施形態のファンフィルターユニットは、ターボファン2とモーター3からなるファンユニット4を箱状のチャンバー5に内蔵して構成されている。吹出側となるチャンバー5の下方にはフィルター6を設ける。ファンユニット4は、モーターサポート7により固定する。モーターサポート7は図2に示すように、モーター3の略全周を覆う椀状の形状で、開口部8を有している。このモーターサポート7は、中心部にモーター3を設置し、周辺部をチャンバー5の天面裏に固定する。
上記の構成において、ファンユニット4を運転させることによって、吸込口1より空気が吸込まれる。そのファンユニット4から吹き出された空気はモーターサポート7の開口部8を通過することで整流されチャンバー5に吹き込み、フィルター6から清浄空気を送風することができる。
モーターサポート7の形状を椀状にすることで、ファンユニット4を運転させることによって発生するモーターサポート7のねじれに対する強度を上げることができ、ファンフィルターユニットの振動を低減させることができる。
モーターサポート7は、図3に示すように、開口部8をモーターサポート7の全面に均等に分布させることによって、モーターサポート7からチャンバー内に吹き出す空気の整流が可能となる。
また、図4のモーターサポート7は、開口部8の分布を変化させ、風量が必要な箇所の開口面積を大きくとることによって風速分布を変化させることができる。
また、図5のモーターサポート7は、中心部の開口面積を大きくとってある。ターボファン2は周辺部に吹き出すため、モーターサポート7の周辺部の開口面積を少なく、中心部の開口面積を大きくとることによってモーター直下部に強制的に空気を送り込み、フィルター6を通過して吹き出す風速分布の均一化をすることが可能となる。さらにこの場合には、中心方向へ空気が送られることから、モーターに風を吹きつけて冷却効果を高めることができる。
また、図6のモーターサポート7は、切り起こし9を設けて、かつ図7に示すように、切り起こし9の角度10を任意で調節することで、空気の吹き出し方向を最適な方向へ変更することができるため、風速分布の均一化を図ることができる。
なお、図6モーターサポート7の切り起こし9の形状は、三角形、四角形としたが、五角形以上の多角形やかまぼこ状の形状でも、風速分布の均一化の効果に差異はない。
ファンフィルターユニットから吹き出される風速分布を均一化することができ、少しの風速変化に対して影響を受けやすい超精密部品の製造や、微妙な風味が問題となる食品工場などの用途に適用できる。
1 吸込口
2 ターボファン
3 モーター
4 ファンユニット
5 チャンバー
6 フィルター
7 モーターサポート
8 開口部
9 切り起こし
10 角度
2 ターボファン
3 モーター
4 ファンユニット
5 チャンバー
6 フィルター
7 モーターサポート
8 開口部
9 切り起こし
10 角度
Claims (6)
- 箱型状のチャンバー上部に吸込部を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバー内部に有し、このファンユニットの吹出側にフィルターを設けたファンフィルターユニットにおいて、前記ファンユニットをチャンバーに固定するモーターサポートを有し、そのモーターサポートは、ファンユニットの吹き出し側に取り付けられ、ファンユニットの略全周を覆う形状であることを特徴とするファンフィルターユニット。
- モーターサポートは、椀状の形状で開口部を有する請求項1記載のファンフィルターユニット。
- モーターサポートの開口部は、均一な形状または配列にてあけられた請求項2記載のファンフィルターユニット。
- モーターサポートの開口部は、大きさまたは数量を部分的に変化させた状態であけられた請求項2記載のファンフィルターユニット。
- モーターサポートの開口部は、周辺部の開口面積が少なく、中心部の開口面積が大きくなるようにあけられた請求項4記載のファンフィルターユニット。
- モーターサポートの開口部は、三角形もしくは四角形で、ひとつの辺がモーターサポートと一体の切り起こし形状にてあけられた請求項2記載のファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006118912A JP2007292357A (ja) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006118912A JP2007292357A (ja) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | ファンフィルターユニット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007292357A true JP2007292357A (ja) | 2007-11-08 |
Family
ID=38763132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006118912A Pending JP2007292357A (ja) | 2006-04-24 | 2006-04-24 | ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007292357A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012247147A (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-13 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 空気清浄機、及び空気清浄機に用いられるフィルタ |
JP2014066459A (ja) * | 2012-09-26 | 2014-04-17 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | 空気清浄機 |
CN109368766A (zh) * | 2018-11-25 | 2019-02-22 | 张思枚 | 一种具有强化分流装置的污水处理臭氧发生器 |
KR102310792B1 (ko) * | 2021-01-06 | 2021-10-08 | 이현옥 | 반도체 제조를 위한 클린에어 균일 공급장치 |
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2006
- 2006-04-24 JP JP2006118912A patent/JP2007292357A/ja active Pending
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KR102310792B1 (ko) * | 2021-01-06 | 2021-10-08 | 이현옥 | 반도체 제조를 위한 클린에어 균일 공급장치 |
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