JP2003185216A - ファンフィルターユニット - Google Patents
ファンフィルターユニットInfo
- Publication number
- JP2003185216A JP2003185216A JP2001389150A JP2001389150A JP2003185216A JP 2003185216 A JP2003185216 A JP 2003185216A JP 2001389150 A JP2001389150 A JP 2001389150A JP 2001389150 A JP2001389150 A JP 2001389150A JP 2003185216 A JP2003185216 A JP 2003185216A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- blower
- chamber
- filter unit
- fan filter
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Air-Flow Control Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チャンバーの高さを低く、吹出空気の風速分
布を均一化することを目的とする。 【解決手段】 空気を清浄化するフィルター７と、フィ
ルター７に隣接し空気を供給するケーシングの機能を有
するチャンバー１と、チャンバー１の吸込側に空気を誘
導するオリフィス５と、チャンバー１内部に送風機２
と、送風機２の駆動用のモーター３とを備え、送風機２
の吹出面６の円周側に風を拡散するための風路調整部４
を設けたことを特徴とする。
布を均一化することを目的とする。 【解決手段】 空気を清浄化するフィルター７と、フィ
ルター７に隣接し空気を供給するケーシングの機能を有
するチャンバー１と、チャンバー１の吸込側に空気を誘
導するオリフィス５と、チャンバー１内部に送風機２
と、送風機２の駆動用のモーター３とを備え、送風機２
の吹出面６の円周側に風を拡散するための風路調整部４
を設けたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、食品
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。
工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用
されるファンフィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のファンフィルターユニッ
トは、特開平６−１５９７５２号公報に記載されたもの
が知られている。
トは、特開平６−１５９７５２号公報に記載されたもの
が知られている。
【０００３】以下、そのファンフィルターユニットにつ
いて図７を参照しながら説明する。
いて図７を参照しながら説明する。
【０００４】図に示すように、下部が開口した空気吹出
用のチャンバー１０１の内部に送風機１０２を取り付
け、下部開口部にフィルター１０３を取り付けたファン
フィルターユニットにおいて、送風機１０２とフィルタ
ー１０３の間に吸音材を貼着した第一遮蔽板１０４を取
り付けると共に、チャンバー１０１の側壁には第一遮蔽
板１０４のフランジに一定の間隔をおいて第二遮蔽板１
０５を配置したものであった。
用のチャンバー１０１の内部に送風機１０２を取り付
け、下部開口部にフィルター１０３を取り付けたファン
フィルターユニットにおいて、送風機１０２とフィルタ
ー１０３の間に吸音材を貼着した第一遮蔽板１０４を取
り付けると共に、チャンバー１０１の側壁には第一遮蔽
板１０４のフランジに一定の間隔をおいて第二遮蔽板１
０５を配置したものであった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のファ
ンフィルターユニットでは、吹出し風速の均一化をはか
るため二つの遮蔽板が必要であり、二つの遮蔽板による
損失抵抗も大きく、位置や間隔の微妙な違いにより風速
の均一化が失われるという課題があり、損失抵抗が少な
くて、部品点数も少なくすることが要求されている。
ンフィルターユニットでは、吹出し風速の均一化をはか
るため二つの遮蔽板が必要であり、二つの遮蔽板による
損失抵抗も大きく、位置や間隔の微妙な違いにより風速
の均一化が失われるという課題があり、損失抵抗が少な
くて、部品点数も少なくすることが要求されている。
【０００６】また、遮蔽板を送風機の下流側に設けるこ
とにより、チャンバーの高さが高くなるという課題があ
り、チャンバーの高さを低くすることが要求されてい
る。
とにより、チャンバーの高さが高くなるという課題があ
り、チャンバーの高さを低くすることが要求されてい
る。
【０００７】本発明は、このような従来の課題を解決す
るものであり、少ない部品点数で容易に吹出し風速の均
一化をはかることができるファンフィルターユニットを
提供することを目的とする。
るものであり、少ない部品点数で容易に吹出し風速の均
一化をはかることができるファンフィルターユニットを
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明の
ファンフィルターユニットは、空気を清浄化するフィル
ターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するケーシ
ングの機能を有するチャンバーと、前記チャンバーの吸
込側に空気を誘導するオリフィスと、前記チャンバー内
部に送風機と、この送風機の駆動用のモーターとを備
え、前記送風機の吹出面の円周側に風を拡散するための
風路調整部を設けたことを特徴とする。
ファンフィルターユニットは、空気を清浄化するフィル
ターと、前記フィルターに隣接し空気を供給するケーシ
ングの機能を有するチャンバーと、前記チャンバーの吸
込側に空気を誘導するオリフィスと、前記チャンバー内
部に送風機と、この送風機の駆動用のモーターとを備
え、前記送風機の吹出面の円周側に風を拡散するための
風路調整部を設けたことを特徴とする。
【０００９】請求項２記載の本発明のファンフィルター
ユニットは、風路調整部に折り曲げ形状の複数の拡散板
を設けたことを特徴とする。
ユニットは、風路調整部に折り曲げ形状の複数の拡散板
を設けたことを特徴とする。
【００１０】請求項３記載の本発明のファンフィルター
ユニットは、風路調整部に穴のあいた複数の拡散板を設
けたことを特徴とする。
ユニットは、風路調整部に穴のあいた複数の拡散板を設
けたことを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態による
ファンフィルターユニットは、送風機の吹出面の円周側
に風路調整部を設けたものであり、風路調整部を有する
ことで送風機から円周方向に吹出された空気の方向をチ
ャンバーの内周面に当てずに、フィルターの方向へ分散
することにより吹出面に対して均一な風速を得られる。
ファンフィルターユニットは、送風機の吹出面の円周側
に風路調整部を設けたものであり、風路調整部を有する
ことで送風機から円周方向に吹出された空気の方向をチ
ャンバーの内周面に当てずに、フィルターの方向へ分散
することにより吹出面に対して均一な風速を得られる。
【００１２】さらに、チャンバー内部の風路調整部が送
風機の円周側にあるため送風機の下流側には風速を均一
にするための遮蔽板を設ける必要がなく、送風機とフィ
ルターの間隔は最小限の間隔で良く、結果としてチャン
バーの高さも低くできる。
風機の円周側にあるため送風機の下流側には風速を均一
にするための遮蔽板を設ける必要がなく、送風機とフィ
ルターの間隔は最小限の間隔で良く、結果としてチャン
バーの高さも低くできる。
【００１３】本発明の第２の実施の形態によるファンフ
ィルターユニットは、風路調整部に折り曲げ形状の複数
の拡散板を設けたものであり、送風機の吹出面から吹き
出された空気は、折り曲げ形状の拡散板で拡散されるた
め、吹出面の風速が均一化される。
ィルターユニットは、風路調整部に折り曲げ形状の複数
の拡散板を設けたものであり、送風機の吹出面から吹き
出された空気は、折り曲げ形状の拡散板で拡散されるた
め、吹出面の風速が均一化される。
【００１４】本発明の第３の実施の形態によるファンフ
ィルターユニットは、風路調整部に穴のあいた複数の拡
散板を設けたものであり、風路調整部の配列が等間隔で
あっても拡散板に穴をあけることにより、吹出面に対す
る平均風速の低下を招くことなく、吹出面に対して均一
な風速が得られる。
ィルターユニットは、風路調整部に穴のあいた複数の拡
散板を設けたものであり、風路調整部の配列が等間隔で
あっても拡散板に穴をあけることにより、吹出面に対す
る平均風速の低下を招くことなく、吹出面に対して均一
な風速が得られる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【００１６】図１は同実施例によるファンフィルターユ
ニットの構成を示す断面図、図２は同ファンフィルター
ユニットの構成を示す斜視図である。
ニットの構成を示す断面図、図２は同ファンフィルター
ユニットの構成を示す斜視図である。
【００１７】まず、図１および図２を用いて、半導体工
場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルー
ムで使用されるファンフィルターユニットの全体構成に
ついて説明する。
場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルー
ムで使用されるファンフィルターユニットの全体構成に
ついて説明する。
【００１８】ケーシングの機能を有するファンフィルタ
ーユニットのチャンバー１に、送風用の送風機２と、送
風機２の駆動用のモーター３と、送風機２の吹出面の円
周側に風路調整部４を備え、チャンバー１の吸込側に
は、空気を誘導するオリフィス５があり、吹出面６には
チャンバー１の下部に空気を清浄化するフィルター７が
設置されている。
ーユニットのチャンバー１に、送風用の送風機２と、送
風機２の駆動用のモーター３と、送風機２の吹出面の円
周側に風路調整部４を備え、チャンバー１の吸込側に
は、空気を誘導するオリフィス５があり、吹出面６には
チャンバー１の下部に空気を清浄化するフィルター７が
設置されている。
【００１９】風路調整部４は、送風機２の吹出面近傍に
円周方向に間隔をおいて複数個配置し、吹出し空気の方
向を拡散させる役割をもたせた部分である。
円周方向に間隔をおいて複数個配置し、吹出し空気の方
向を拡散させる役割をもたせた部分である。
【００２０】以下に上記構成によるファンフィルターユ
ニットから吸い込まれた空気の流れについて説明する。
モーター３および送風機２によりオリフィス５から吸い
込まれた空気は、まず風路調整部４により拡散されチャ
ンバー１の内周面に直接流れることなく送風機２の近傍
に回り込み矢印Ａに示すようにフィルター７を介して吹
出面６より均一化された風速で供給される。
ニットから吸い込まれた空気の流れについて説明する。
モーター３および送風機２によりオリフィス５から吸い
込まれた空気は、まず風路調整部４により拡散されチャ
ンバー１の内周面に直接流れることなく送風機２の近傍
に回り込み矢印Ａに示すようにフィルター７を介して吹
出面６より均一化された風速で供給される。
【００２１】また、チャンバー１の形状が円筒形であれ
ば、風路調整部４を等間隔に複数個配置することにより
風速の均一化をはかることができる。
ば、風路調整部４を等間隔に複数個配置することにより
風速の均一化をはかることができる。
【００２２】なお、本実施では風路調整部４を独立した
構成で説明したが、チャンバー１と一体型としても作
用、効果に差異が無いことは言うまでもない。
構成で説明したが、チャンバー１と一体型としても作
用、効果に差異が無いことは言うまでもない。
【００２３】図３は、他の実施例によるファンフィルタ
ーユニットの断面図、図４は斜視図である。
ーユニットの断面図、図４は斜視図である。
【００２４】同図に示す風路調整部４ａは、折り曲げ形
状の複数の拡散板８を設けた構成としたものである。
状の複数の拡散板８を設けた構成としたものである。
【００２５】上記構成により、送風機２の吹出面から吹
き出された空気は、折り曲げ形状の拡散板８で拡散され
るため、吹出面６の風速が均一化される。
き出された空気は、折り曲げ形状の拡散板８で拡散され
るため、吹出面６の風速が均一化される。
【００２６】なお、チャンバー１の形状により送風機２
の吹出面からチャンバー１の内周面への距離は異なって
くるが、円周面の距離により拡散板８の間隔を変えるこ
とで対応できる。
の吹出面からチャンバー１の内周面への距離は異なって
くるが、円周面の距離により拡散板８の間隔を変えるこ
とで対応できる。
【００２７】たとえば、チャンバー１の形状が四角の場
合は、吹出面６の中央部分と四隅部分では風速が異なる
が、四隅により空気がいくように配列することにより風
速が平均化され、吹出風速のばらつきに改善が得られ
る。
合は、吹出面６の中央部分と四隅部分では風速が異なる
が、四隅により空気がいくように配列することにより風
速が平均化され、吹出風速のばらつきに改善が得られ
る。
【００２８】図５は、他の実施例によるファンフィルタ
ーユニットの断面図、図６は斜視図である。
ーユニットの断面図、図６は斜視図である。
【００２９】同図に示す風路調整部４ｂは、穴のあいた
複数の拡散板９を設けた構成としたものである。
複数の拡散板９を設けた構成としたものである。
【００３０】上記構成により、風路調整部４ｂの配列が
等間隔であっても拡散板９に穴１０をあけることによ
り、吹出面６に対する平均風速の低下を招くことなく、
吹出面６に対して均一な風速が得られる。
等間隔であっても拡散板９に穴１０をあけることによ
り、吹出面６に対する平均風速の低下を招くことなく、
吹出面６に対して均一な風速が得られる。
【００３１】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
によれば、ファンフィルターユニットの送風機におい
て、吹出面近傍の円周側に風路調整部を設けたことで、
吹出空気の風速を均一にすることが可能となり、半導体
工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンル
ームにおいて、均一な風速の環境を提供できるという有
効な効果が得られる。
によれば、ファンフィルターユニットの送風機におい
て、吹出面近傍の円周側に風路調整部を設けたことで、
吹出空気の風速を均一にすることが可能となり、半導体
工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンル
ームにおいて、均一な風速の環境を提供できるという有
効な効果が得られる。
【００３２】また、風路調整部に折り曲げ形状の複数の
拡散板を設けることにより、吹出面の中央部分と四隅部
分の風速が平均化され、吹出風速のばらつきを改善でき
るという有効な効果が得られる。
拡散板を設けることにより、吹出面の中央部分と四隅部
分の風速が平均化され、吹出風速のばらつきを改善でき
るという有効な効果が得られる。
【００３３】また、風路調整部に穴のあいた複数の拡散
板を設けることにより、吹出面に対する平均風速の低下
を招くことなく、吹出面に対して均一な風速が得られる
という有効な効果を有する。
板を設けることにより、吹出面に対する平均風速の低下
を招くことなく、吹出面に対して均一な風速が得られる
という有効な効果を有する。
【００３４】また、本発明によれば、風路調整部を送風
機吹出面近傍の円周側に設けることで、ケーシングを兼
ねたチャンバーの高さを低くできる。
機吹出面近傍の円周側に設けることで、ケーシングを兼
ねたチャンバーの高さを低くできる。
【図１】本発明の一実施例によるファンフィルターユニ
ットの構成を示す断面図
ットの構成を示す断面図
【図２】同ファンフィルターユニットの構成を示す斜視
図
図
【図３】他の実施例によるファンフィルターユニットの
構成を示す断面図
構成を示す断面図
【図４】同ファンフィルターユニットの構成を示す斜視
図
図
【図５】他の実施例によるファンフィルターユニットの
構成を示す断面図
構成を示す断面図
【図６】同ファンフィルターユニットの構成を示す斜視
図
図
【図７】従来のファンフィルターユニットの構成を示す
断面図
断面図
１ チャンバー
２ 送風機
３ モーター
４ 風路調整部
４ａ 風路調整部
４ｂ 風路調整部
５ オリフィス
６ 吹出面
７ フィルター
８ 拡散板
９ 拡散板
１０ 穴
Claims (3)
- 【請求項１】 空気を清浄化するフィルターと、前記フ
ィルターに隣接し空気を供給するケーシングの機能を有
するチャンバーと、前記チャンバーの吸込側に空気を誘
導するオリフィスと、前記チャンバー内部に送風機と、
この送風機の駆動用のモーターとを備え、前記送風機の
吹出面の円周側に風を拡散するための風路調整部を設け
たことを特徴とするファンフィルターユニット。 - 【請求項２】 風路調整部に折り曲げ形状の複数の拡散
板を設けた請求項１記載のファンフィルターユニット。 - 【請求項３】 風路調整部に穴のあいた複数の拡散板を
設けた請求項１記載のファンフィルターユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001389150A JP2003185216A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | ファンフィルターユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001389150A JP2003185216A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | ファンフィルターユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003185216A true JP2003185216A (ja) | 2003-07-03 |
Family
ID=27597454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001389150A Pending JP2003185216A (ja) | 2001-12-21 | 2001-12-21 | ファンフィルターユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003185216A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485000B1 (ko) * | 2005-01-08 | 2005-04-25 | 수공아이엔씨(주) | 청정실 천정 설치용 공조관 연결형 송풍 장치 |
| WO2006078102A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Su Gong Industrial Co., Ltd. | Air duct connection type wind-control device mounted on the roof of clean room |
| CN102254790A (zh) * | 2011-05-31 | 2011-11-23 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 微环境的垂直层流系统 |
| CN106969434A (zh) * | 2017-03-07 | 2017-07-21 | 上海兰舍空气技术有限公司 | 空气管理智能新风系统 |
-
2001
- 2001-12-21 JP JP2001389150A patent/JP2003185216A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100485000B1 (ko) * | 2005-01-08 | 2005-04-25 | 수공아이엔씨(주) | 청정실 천정 설치용 공조관 연결형 송풍 장치 |
| WO2006078102A1 (en) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Su Gong Industrial Co., Ltd. | Air duct connection type wind-control device mounted on the roof of clean room |
| CN102254790A (zh) * | 2011-05-31 | 2011-11-23 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 微环境的垂直层流系统 |
| CN106969434A (zh) * | 2017-03-07 | 2017-07-21 | 上海兰舍空气技术有限公司 | 空气管理智能新风系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041221 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050620 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060905 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061106 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070206 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |