JP2006186358A - センサ装置 - Google Patents
センサ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006186358A JP2006186358A JP2005365733A JP2005365733A JP2006186358A JP 2006186358 A JP2006186358 A JP 2006186358A JP 2005365733 A JP2005365733 A JP 2005365733A JP 2005365733 A JP2005365733 A JP 2005365733A JP 2006186358 A JP2006186358 A JP 2006186358A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing body
- sensor
- sensor device
- wiring pattern
- upper sealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】センサ装置10は、シリコンを基材とするセンサ本体部1と、同じくシリコンを基材とする上部封止体2及び下部封止体3とを備えている。センサ装置10を駆動する集積回路は、センサ本体部1を駆動するための回路と配線パターン60とを備えて構成され、上部封止体2に形成される。センサ装置10を実装するための実装用電極5は、部封止体2の接合面を這うように形成される配線パターン60に形成され、センサ本体部1は、配線パターン60に電気的に接続されている。
【選択図】図1
Description
2 上部封止体
3 下部封止体
4 貫通電路
5 実装用電極
10 センサ装置
41 絶縁膜
42 貫通孔
43、44 導電体
60 配線パターン
65 メッキ下地層
67 配線パターン
81 チップ本体(集積回路基板)
101 センサシステム
Claims (2)
- 一つのウェハから形成される下部封止体と、
前記一つのウェハとは別のウェハから形成されるセンサ本体部と、
前記一つのウェハ及び前記別のウェハとは更に別のウェハから形成される上部封止体とを備え、前記3枚のウェハを接合した後に個々に切り出されることによって得られたセンサ装置であって、
前記下部封止体、前記センサ本体部及び前記上部封止体は、同一の材料であり、
前記上部封止体と前記下部封止体との一方又は双方が、前記センサ本体部を駆動するための回路が形成された集積回路基板であること
を特徴とするセンサ装置。 - 前記材料が半導体であること
を特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005365733A JP2006186358A (ja) | 2003-10-03 | 2005-12-20 | センサ装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003346304 | 2003-10-03 | ||
JP2005365733A JP2006186358A (ja) | 2003-10-03 | 2005-12-20 | センサ装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004127134A Division JP4539155B2 (ja) | 2003-10-03 | 2004-04-22 | センサシステムの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186358A true JP2006186358A (ja) | 2006-07-13 |
Family
ID=36739192
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005365733A Pending JP2006186358A (ja) | 2003-10-03 | 2005-12-20 | センサ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006186358A (ja) |
-
2005
- 2005-12-20 JP JP2005365733A patent/JP2006186358A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100907514B1 (ko) | 센서 장치, 센서 시스템 및 그것의 제조 방법 | |
JP4539155B2 (ja) | センサシステムの製造方法 | |
JP5026038B2 (ja) | 電子部品装置 | |
JP5643880B2 (ja) | Memsデバイスおよびその製造方法 | |
US7026223B2 (en) | Hermetic electric component package | |
JP2002043463A (ja) | 電子及びmems素子の表面実装型チップスケールパッケージング方法 | |
US7351641B2 (en) | Structure and method of forming capped chips | |
US20090260228A1 (en) | Process for the vertical interconnection of 3d electronic modules by vias | |
US20070298542A1 (en) | Multiple internal seal ring micro-electro-mechanical system vacuum packaging method | |
JP2006270098A (ja) | 集積回路用ウエハレベルパッケージ | |
JP2006247833A (ja) | Mems素子パッケージ及びその製造方法 | |
JP2010017805A (ja) | 機能デバイス及びその製造方法 | |
KR20090115191A (ko) | 기능성 소자 패키지 및 그 제조 방법 | |
JP2009004461A (ja) | 電子部品パッケージおよびその製造方法 | |
US7262498B2 (en) | Assembly with a ring and bonding pads formed of a same material on a substrate | |
JP2006186357A (ja) | センサ装置及びその製造方法 | |
KR100826393B1 (ko) | 전도성 패턴을 갖는 실링 라인으로 구비된 웨이퍼 레벨디바이스 패키지 및 그 패키징 방법 | |
JP2006201158A (ja) | センサ装置 | |
JP2005262382A (ja) | 電子装置およびその製造方法 | |
JP2011218463A (ja) | 電子装置の製造方法 | |
JP2005072419A (ja) | 電子部品封止用基板およびそれを用いた電子装置の製造方法 | |
KR100705007B1 (ko) | 마이크로 센서 및 그 제조방법 | |
JP2011177824A (ja) | 電子装置の製造方法 | |
JP2011182210A (ja) | 電子装置 | |
JP2006126212A (ja) | センサ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061024 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070405 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070522 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070718 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070815 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20070907 |