JP2006185866A - X線源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 このX線源は、カソードからの収束電極を経てX線発生用のターゲット体に至る電子線を偏向する偏向手段とを備えたX線源において、収束電極とターゲット体との間の主管電圧VTとし、カソードと収束電極との間のフォーカス電圧Vk、偏向手段による電子線偏向量を決定する偏向パラメータIc、及び、電子線の電流Ikを制御する。この制御装置はフォーカス電圧Vkと偏向パラメータIcを連動させて制御する。
【選択図】 図1
Description
(1)第1条件
但し、
A>B
Vt:電圧指示パラメータ
β:主管電圧VTとは独立でIcに連動するパラメータ。
(2)第2条件
但し、
IK:電子線の電流Ikの指示パラメータ、
M:係数。
(3)第3条件
但し、
α:電子線のスポット径に対応する変数。
(4)第4条件
δ:係数、
ΔL:電子線の焦点変位量の指示パラメータ
γ:係数。
ビームスポットは好ましくは円形状であるが、楕円形状であってもよい。この場合、スポット径値は“楕円の長軸長さ(X)と短軸の長さ(Y)の中間値((X+Y)/2)”とし、偏向した場合にはその値が偏向前と同じになるように設定することができる。また、ビームスポットは略四角形状(多角形状)であってもよく、その場合も同様の制御を行うことができる。
(1)・・・VT=A×Vt
(2)・・・Vk=B×Vt×(1+β)
(3)・・・VG=FB(IK−Ik)
(4)・・・Ic=δ×(Vt)1/2×ΔL
(5)・・・β=γ×abs(ΔL)
(2*)・・・Vk=B×Vt×(1+β+M×IK)
(2**)・・・Vk=B×Vt×(1+α+β)
すなわち、中央演算処理部204には、実際の管電流Ik、管電流Ikの指示パラメータIK、フォーカス電圧Vkの指示パラメータVt、電子線偏向制御用の電圧値V’ΔLが入力される。
中央演算処理部204は、ヘッド基板200内に予め記憶されたプログラムに従って、カソードと収束電極FGの間に与えるフォーカス電圧Vk、グリッド電圧VGに対応する電圧を算出し、これらをDA変換器501によってアナログ値に変換し、電圧制御回路502に伝送する。電圧制御回路502は、受け取ったアナログ電圧を基に、各電圧Vk,VGを出力する。
中央演算処理部103は、プログラム用のROM105a内に予め記憶されたプログラムに従って、フォーカス電圧Vkとグリッド電圧VGに対応する電圧を算出し、これらをデジタル出力部104’を介してDA変換器501に入力し、DA変換器501によってアナログ値に変換し、電圧制御回路502に伝送する。電圧制御回路502は、受け取ったアナログ電圧を基に、各電圧Vk,VGを出力する。
なお、この場合も、VtとVkは上述の関係、Vk=B×Vt×(1+β)、又はVk=B×Vt×(1+β+M×IK)、又はVk=B×Vt×(1+α+β)を満たすこととする。IcはVtを介してVkに連動することとなる。なお、数値Nを変位量ΔLとして取り扱い、係数C=δとしてIcを求めてもよい。
Claims (5)
- カソードから収束電極を経てX線発生用のターゲット体に至る電子線を偏向する偏向手段を備え、前記収束電極と前記ターゲット体との間に主管電圧VTが印加されるX線源において、
前記カソードと前記収束電極との間のフォーカス電圧Vk、
前記偏向手段による電子線偏向量を決定する偏向パラメータIc、及び、
前記電子線の電流Ik、
を制御する制御装置を備え、
前記制御装置は、
偏向パラメータIcとフォーカス電圧Vkを連動させて制御することを特徴とするX線源。 - 前記制御装置は、
電圧指示パラメータをVt、
主管電圧VTとは独立でIcに連動するパラメータをβ、
とした場合、
A>B、
VT=A×Vt、
Vk=B×Vt×(1+β)、
に設定することを特徴とする請求項1に記載のX線源。 - 前記制御装置は、
電圧指示パラメータをVt、
主管電圧VTとは独立でIcに連動するパラメータをβ、
電子線の電流Ikの指示パラメータをIK、
係数をM、
とした場合、
A>B、
VT=A×Vt、
Vk=B×Vt×(1+β+M×IK)、
に設定することを特徴とする請求項1に記載のX線源。 - 前記制御装置は、
A>B、
電圧指示パラメータをVt、
主管電圧VTとは独立でIcに連動するパラメータをβ、
電子線のスポット径に対応する変数をα、
とした場合、
VT=A×Vt、
Vk=B×Vt×(1+α+β)、
に設定することを特徴とする請求項1に記載のX線源。 - 前記制御装置は、
係数をγ、
前記電子線の焦点変位量の指示パラメータをΔL、
係数をδとした場合、
Ic=δ×(Vt)1/2×ΔL、
β=γ×ΔL、
に設定することを特徴とする請求項2〜4のいずれか一項に記載のX線源。
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