JP2006178465A - リソグラフィ装置用投影装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一例では、画像形成ミラー系が二列に配設され、各列は投影装置の走査方向22に対して直角である。各画像形成ミラー系2、4、6、8は関連する画像形成領域14、16、18、20を有する。画像形成ミラー系は走査方向22で隣接する画像形成領域間のギャップを排除する態様で配設される。各画像形成ミラー系2、4、6、8は、凹面鏡10、および凹面鏡と同心に配設された凸面鏡12を含む。凹面鏡10は、独立して動くことのできる第1ミラー部分と第2ミラー部分を有する。一例では、各画像形成ミラー系が関連する位相を有し、一方の列の画像形成ミラー系が他方の列の画像形成ミラー系と位相が180度ずれるように配設される。
【選択図】図2
Description
Claims (17)
- 基板上に放射線を投影するための投影装置において、
少なくとも2つのミラーをそれぞれが含む複数の画像形成ミラー系を有し、各画像形成ミラー系が、関連する画像形成領域に放射線を指向させるように配設されている投影装置。 - 前記画像形成ミラー系の各々が、凹面形ミラーと凸面形ミラーを含むる請求項1に記載された投影装置。
- 前記凸面形ミラーの各々が、その前記凹面形ミラーと同心関係で配設されている請求項2に記載された投影装置。
- 前記凹面形ミラーの各々が、第1ミラー部分と第2ミラー部分を含む請求項2に記載された投影装置。
- 前記画像形成ミラー系の前記凹面形ミラーが、走査方向で隣接する画像形成領域間にギャップ排除する態様で、前記画像形成ミラー系を配設できるような形状になされている請求項2に記載された投影装置。
- 前記画像形成ミラー系が二列で配設され、各列が走査方向に対して直角である請求項1に記載された投影装置。
- 前記画像形成ミラー系の各々が関連する位相を有し、第1列の前記画像形成ミラー系が、第2列の前記画像形成ミラー系との関係で位相が180度ずれて配置されている請求項6に記載された投影装置。
- 前記画像形成ミラー系が、走査方向で隣接する画像形成領域間のギャップを排除する態様で配設されている請求項6に記載された投影装置。
- 前記画像形成ミラー系の各々が、前記凹面形ミラーの方向に入射光を指向させるように配設された第1平面ミラーを更に含む請求項1に記載された投影装置。
- パターン形成手段から前記第1平面ミラーに向けて光を反射するように配設された第2平面ミラーを更に含む請求項9に記載された投影装置。
- 前記第1平面ミラーと前記第2平面ミラーが、パターン形成手段から画像を受け、基板位置での前記画像の方向が、前記画像を作る前記パターン形成手段の対応する部分の方向と同じになるように、前記凹面形ミラーに向けて前記画像を反射させるように配設され、かつ、前記基板位置で全ての前記画像形成ミラー系によって形成された最終画像が全体として前記パターン形成手段と一致している請求項10に記載された投影装置。
- 前記凹面形ミラーから基板に対して光を反射させるように配設された第3平面ミラーを更含む請求項10に記載された投影装置。
- リソグラフィ装置において、
放射線ビームを供給する照明系と、
前記放射線ビームにパターンを付与するパターン形成手段と、
基板を支持する基板テーブルと、
前記基板の目標部分に、前記パターン付与された放射線ビームを投影する投影装置とを含み、該投影装置が複数の画像形成ミラー系を含み、該画像形成ミラー系の各々が、入射する放射線を関連する画像形成領域上に指向させるように配設された少なくとも2つのミラーを含むリソグラフィ装置。 - 前記パターン形成手段がマスクを含む請求項13に記載されたリソグラフィ装置。
- 前記パターン形成手段が、個々に制御可能な光変調素子のアレイを含む請求項13に記載されたリソグラフィ装置。
- デバイス製造方法が、
(1)放射線ビームを放射する段階と、
(2)前記放射線ビームにパターンを付与する段階と、
(3)基板上に前記パターン付与された放射線ビームを投影する段階とを含み、
前記パターン付与された放射線ビームが、複数の画像形成ミラー系を含む投影装置を用いて、前記基板上に投影され、前記画像形成ミラー系の各々が、関連する画像形成領域上に放射線を指向させるように配設された少なくとも2つのミラーを含むデバイス製造方法。 - 請求項16に記載された方法によって製造された基板を含むフラット・パネル・ディスプレイ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/019,672 US7426076B2 (en) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | Projection system for a lithographic apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006178465A true JP2006178465A (ja) | 2006-07-06 |
JP4376227B2 JP4376227B2 (ja) | 2009-12-02 |
Family
ID=36611145
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005367580A Expired - Fee Related JP4376227B2 (ja) | 2004-12-23 | 2005-12-21 | リソグラフィ装置用投影装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7426076B2 (ja) |
JP (1) | JP4376227B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012504320A (ja) * | 2008-09-29 | 2012-02-16 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 2つ以上の動作状態を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7158215B2 (en) * | 2003-06-30 | 2007-01-02 | Asml Holding N.V. | Large field of view protection optical system with aberration correctability for flat panel displays |
CN103226236A (zh) * | 2013-04-19 | 2013-07-31 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大视场球面三反射镜光学系统 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4011011A (en) * | 1973-03-09 | 1977-03-08 | The Perkin-Elmer Corporation | Optical projection apparatus |
US5523193A (en) * | 1988-05-31 | 1996-06-04 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for patterning and imaging member |
DE59105735D1 (de) * | 1990-05-02 | 1995-07-20 | Fraunhofer Ges Forschung | Belichtungsvorrichtung. |
US5229872A (en) * | 1992-01-21 | 1993-07-20 | Hughes Aircraft Company | Exposure device including an electrically aligned electronic mask for micropatterning |
US6219015B1 (en) * | 1992-04-28 | 2001-04-17 | The Board Of Directors Of The Leland Stanford, Junior University | Method and apparatus for using an array of grating light valves to produce multicolor optical images |
JP3224041B2 (ja) * | 1992-07-29 | 2001-10-29 | 株式会社ニコン | 露光方法及び装置 |
US5285236A (en) * | 1992-09-30 | 1994-02-08 | Kanti Jain | Large-area, high-throughput, high-resolution projection imaging system |
US5729331A (en) * | 1993-06-30 | 1998-03-17 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, optical projection apparatus and a method for adjusting the optical projection apparatus |
JP3339149B2 (ja) * | 1993-12-08 | 2002-10-28 | 株式会社ニコン | 走査型露光装置ならびに露光方法 |
US5677703A (en) * | 1995-01-06 | 1997-10-14 | Texas Instruments Incorporated | Data loading circuit for digital micro-mirror device |
US5530482A (en) * | 1995-03-21 | 1996-06-25 | Texas Instruments Incorporated | Pixel data processing for spatial light modulator having staggered pixels |
AU1975197A (en) * | 1996-02-28 | 1997-10-01 | Kenneth C. Johnson | Microlens scanner for microlithography and wide-field confocal microscopy |
JP4126096B2 (ja) | 1997-01-29 | 2008-07-30 | マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット | 感光性被覆を有する基板上に集束レーザ放射により構造物を製作する方法と装置 |
US6177980B1 (en) * | 1997-02-20 | 2001-01-23 | Kenneth C. Johnson | High-throughput, maskless lithography system |
SE509062C2 (sv) | 1997-02-28 | 1998-11-30 | Micronic Laser Systems Ab | Dataomvandlingsmetod för en laserskrivare med flera strålar för mycket komplexa mikrokolitografiska mönster |
US5982553A (en) * | 1997-03-20 | 1999-11-09 | Silicon Light Machines | Display device incorporating one-dimensional grating light-valve array |
US6650421B2 (en) * | 1997-08-26 | 2003-11-18 | Nikon Corporation | Method and apparatus for inspecting optical device |
SE9800665D0 (sv) * | 1998-03-02 | 1998-03-02 | Micronic Laser Systems Ab | Improved method for projection printing using a micromirror SLM |
US6811953B2 (en) * | 2000-05-22 | 2004-11-02 | Nikon Corporation | Exposure apparatus, method for manufacturing therof, method for exposing and method for manufacturing microdevice |
JP3563384B2 (ja) * | 2001-11-08 | 2004-09-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 画像記録装置 |
KR100545297B1 (ko) * | 2002-06-12 | 2006-01-24 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 리소그래피장치 및 디바이스 제조방법 |
US6870554B2 (en) * | 2003-01-07 | 2005-03-22 | Anvik Corporation | Maskless lithography with multiplexed spatial light modulators |
EP1482373A1 (en) * | 2003-05-30 | 2004-12-01 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7158215B2 (en) * | 2003-06-30 | 2007-01-02 | Asml Holding N.V. | Large field of view protection optical system with aberration correctability for flat panel displays |
US7184124B2 (en) * | 2004-10-28 | 2007-02-27 | Asml Holding N.V. | Lithographic apparatus having an adjustable projection system and device manufacturing method |
-
2004
- 2004-12-23 US US11/019,672 patent/US7426076B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-21 JP JP2005367580A patent/JP4376227B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012504320A (ja) * | 2008-09-29 | 2012-02-16 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 2つ以上の動作状態を有するマイクロリソグラフィ投影露光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4376227B2 (ja) | 2009-12-02 |
US7426076B2 (en) | 2008-09-16 |
US20060139745A1 (en) | 2006-06-29 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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