JP2006173515A - ボンディングツール、接続装置、半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 はんだ接続部のフィレットが適正か否か確認し易く、信頼性の高い接続を実現するボンディングツール、接続装置、半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ボンディングツール10は、被接続部14に、はんだ部材15を介してフレキシブル回路基材16の端子群17を一括的に加熱、加圧してボンディングするものである。圧着ヘッド11の先端側に、並行する2つのラウンド形状加圧部12(121,122)が設けられている。ラウンド形状加圧部12(121,122)それぞれは、所定半径Rの円筒の側部部分である。ラウンド形状加圧部121と122の間は溝部13となっている。溝部13は、端子群17の浮き領域171を形成する。浮き領域171には端子群17それぞれの下部に、余ったはんだ部材15が溜まるようになっている。
【選択図】 図1
【解決手段】 ボンディングツール10は、被接続部14に、はんだ部材15を介してフレキシブル回路基材16の端子群17を一括的に加熱、加圧してボンディングするものである。圧着ヘッド11の先端側に、並行する2つのラウンド形状加圧部12(121,122)が設けられている。ラウンド形状加圧部12(121,122)それぞれは、所定半径Rの円筒の側部部分である。ラウンド形状加圧部121と122の間は溝部13となっている。溝部13は、端子群17の浮き領域171を形成する。浮き領域171には端子群17それぞれの下部に、余ったはんだ部材15が溜まるようになっている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置の実装に係り、特にTCP(tape carrier package)製品またはCOF(chip on film)製品の端子群がプリント配線基板側に接続される構成を実現するボンディングツール、接続装置、半導体装置及びその製造方法に関する。
液晶駆動制御装置のフレキシブル回路基材にTCP製品やCOF製品が利用されている。TCP製品やCOF製品における多数のアウターリードは、接続対象のプリント配線基板の端子群にボンディングツールによって一括接続される。ボンディングツールは、熱圧着機等の接続装置に取り付けられている。すなわち、プリント配線基板の端子群に予めはんだが塗布され、TCP製品(またはCOF製品)のアウターリードが位置合わせされる。ボンディングツールは、これらアウターリードを所定温度で加熱、加圧することで、プリント配線基板の端子群にはんだ接続させる。
従来、ボンディングツールの先端形状を円弧状にし、ボンディングツールにおける接合部への位置合わせ範囲を広くとる技術が開示されている(例えば、特許文献1参照)。ボンディングツール本体への接触面積(押圧面積)が狭くなることにより、はんだブリッジの発生がなく、良好なフィレットを形成することができ、信頼性を向上できる。
特開平9−214128号公報(4頁、図3)
環境対策により、鉛フリーはんだが使用されるようになっている。鉛フリーはんだは、鉛を含むはんだに比べて濡れ性が劣る。よって、接続部のフィレットが適正かどうかの確認は重要である。予め塗布するはんだは、接続部のフィレットを確実に形成するために量も多めになりがちである。接続対象の端子数は多くピッチも微細になってきている。はんだを多く盛り過ぎた場合、上記従来技術によるボンディングツールでは、隣接する端子へのショートが懸念される。また、接続部のフィレットの確認がし難い。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたもので、はんだ接続部のフィレットが適正か否か確認し易く、信頼性の高い接続を実現するボンディングツール、接続装置、半導体装置及びその製造方法を提供しようとするものである。
本発明に係るボンディングツールは、被接続部にはんだ部材を介して所定の端子群を一括的に加熱、加圧してボンディングするボンディングツールにおいて、圧着ヘッド先端側に、並行する2つ以上のラウンド形状加圧部が設けられていることを特徴とする。
上記本発明に係るボンディングツールによれば、ラウンド形状加圧部が並行して2つ以上設けられる。端子群それぞれの被接続部との圧着部は2箇所以上設けられることになる。それぞれ圧着部両側の端子下部は、はんだ部材の逃げ場であり、フィレットが形成される箇所が多くなる。
本発明に係るより好ましいボンディングツールは、被接続部にはんだ部材を介して端子群を一括的に加熱、加圧してボンディングするボンディングツールにおいて、圧着ヘッド先端側で並行するように設けられた2つ以上のラウンド形状加圧部と、前記ラウンド形状加圧部の間に設けられた溝部と、を含む。
上記本発明に係るボンディングツールによれば、ラウンド形状加圧部が並行して2つ以上設けられる。端子群それぞれの被接続部との圧着部は2箇所以上設けられることになる。それぞれ圧着部両側の端子下部は、はんだ部材の逃げ場となり、フィレットが形成される箇所が多くなる。押圧力の除かれた溝部により端子群それぞれが浮き、はんだ部材のフィレットが形成され易い。このとき、端子群は予めボンディングツールの形状に合わせ、フォーミングされていてもよい。
なお、上記本発明に係るボンディングツールにおいて、好ましくは次のようないずれかの特徴を有してボンディングの信頼性を高める。
前記溝部は、前記端子群それぞれの下部に余ったはんだ部材が溜まる前記端子群の浮き領域を形成することを特徴とする。
前記前記溝部は、深さの異なるものが2つ以上存在することを特徴とする。
前記溝部は、前記端子群それぞれの下部に余ったはんだ部材が溜まる前記端子群の浮き領域を形成することを特徴とする。
前記前記溝部は、深さの異なるものが2つ以上存在することを特徴とする。
本発明に係る接続装置は、少なくともボンディングツールとステージを備え、前記ステージ上におけるはんだ部材の塗布された被接続部にフレキシブル回路基材の外部端子群が位置合わせされ、前記ボンディングツールの圧着ヘッドによって加熱、加圧接続する接続装置において、前記圧着ヘッドにおいて溝部が設けられ、かつ前記溝部両側に並行するようにラウンド形状加圧部が設けられていることを特徴とする。
上記本発明に係る接続装置によれば、溝部と、その両側に並行するようにラウンド形状加圧部が設けられている圧着ヘッドを有するボンディングツールが用いられる。外部端子群それぞれの被接続部との圧着部は2箇所以上設けられることになる。それぞれ圧着部両側の端子下部は、はんだ部材の逃げ場となり、フィレットが形成される箇所が多くなる。押圧力の除かれた溝部により端子群それぞれが浮き、はんだ部材のフィレットが形成され易い。
本発明に係る半導体装置は、少なくともICが実装され外部端子群を有するフレキシブル回路基材と、前記フレキシブル回路基材の外部端子群と信号の授受を行う所定の接続部を有したプリント配線基板と、前記フレキシブル回路基材の外部端子群と前記プリント配線基板の前記所定の接続部の一対当たり2箇所以上の最接近部分及び最接近部分間の離間部を有して前記外部端子群が起伏形状を呈するはんだ接合領域と、を含む。
上記本発明に係る半導体装置によれば、フレキシブル回路基材の外部端子群とプリント配線基板の所定の接続部との各々のはんだ接合領域は、2箇所以上の最接近部分及び最接近部分間の離間部を有する。これにより、外部端子群が起伏形状を呈する。最接近部分両側の外部端子下部または最接近部分間の離間部における外部端子下部は、はんだ部材の逃げ場であり、フィレットが形成され易い領域となる。すなわち、フィレットの形成領域がより多くできる。
なお、上記本発明に係る半導体装置において、好ましくは次のようないずれかの特徴を有してはんだ接合領域の安定化が図れ、高信頼性の構造を提供する。
前記はんだ接合領域は、前記外部端子群において前記起伏形状の勾配部分の下部に前記はんだ部材のフィレットが形成されていることを特徴とする。
前記はんだ接合領域は、前記外部端子群それぞれの下部において前記所定の接続部との前記最接近部分間の離間部にはんだ部材のフィレットが形成されていることを特徴とする。
前記はんだ接合領域は、前記外部端子群において前記起伏形状の勾配部分の下部に前記はんだ部材のフィレットが形成されていることを特徴とする。
前記はんだ接合領域は、前記外部端子群それぞれの下部において前記所定の接続部との前記最接近部分間の離間部にはんだ部材のフィレットが形成されていることを特徴とする。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、外部端子群を有するフレキシブル回路基材が搬送され、はんだ部材の塗布されたプリント配線基板の所定の接続部と位置合わせされる工程と、
圧着ヘッド先端に溝部及び前記溝部両側に並行するようにラウンド形状加圧部が設けられたボンディングツールによって、前記フレキシブル回路基材の外部端子群と前記プリント配線基板の所定の接続部とを加熱、加圧接続し、前記外部端子群と前記所定の接続部の一対当たり2箇所以上の最接近部分及び最接近部分間の離間部を有して前記外部端子群が起伏形状を呈するはんだ接合領域を形成する工程と、を含む。
圧着ヘッド先端に溝部及び前記溝部両側に並行するようにラウンド形状加圧部が設けられたボンディングツールによって、前記フレキシブル回路基材の外部端子群と前記プリント配線基板の所定の接続部とを加熱、加圧接続し、前記外部端子群と前記所定の接続部の一対当たり2箇所以上の最接近部分及び最接近部分間の離間部を有して前記外部端子群が起伏形状を呈するはんだ接合領域を形成する工程と、を含む。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、フレキシブル回路基材の外部端子群とプリント配線基板の所定の接続部とのはんだ接合領域は、特徴あるボンディングツールによって起伏形状を有するように形成される。すなわち、接続部と外部端子群それぞれは2箇所以上の最接近部分及び最接近部分間の離間部を有する。これにより、最接近部分両側の外部端子下部または最接近部分間の離間部における外部端子下部は、はんだ部材の逃げ場となり、フィレットが形成され易い領域となる。フィレットの形成領域がより多くでき、はんだの塗布量が多過ぎた場合に隣接間ショート防止に寄与する。
なお、上記本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記外部端子群において前記起伏形状の勾配部分の下部にできる前記はんだ部材のフィレットについて外観検査することにより、前記はんだ接合領域の良否を判定することを特徴とする。フィレットの確認がし易く、検査が容易で接合領域の良否を正確に判定できる。
図1は、本発明の第1実施形態に係るボンディングツールの要部構成を示す概観図である。図2は、図1のボンディングツールの使用例を示す断面図である。これらの図を参照して説明する。
ボンディングツール10は、給電により加熱され、接続対象領域に向かって適当な圧力で機械的に加圧されるものである。ボンディングツール10は、被接続部14に、はんだ部材15を介してフレキシブル回路基材16の端子群17を一括的に加熱、加圧してボンディングする。圧着ヘッド11の先端側に、並行する2つのラウンド形状加圧部12(121,122)が設けられている。ラウンド形状加圧部12(121,122)それぞれは、所定半径の円筒の側面部分である。ラウンド形状加圧部121と122の間は溝部13となっている。溝部13は、端子群17の浮き領域171を形成する。浮き領域171には端子群17それぞれの下部に、余ったはんだ部材15が溜まるようになっている。ラウンド形状加圧部12の幅W1と溝部13の幅W2は、W1≦W2が望ましい。また、ラウンド形状加圧部12の円筒形態は限定されない。楕円筒側面でもかまわない。
ボンディングツール10は、給電により加熱され、接続対象領域に向かって適当な圧力で機械的に加圧されるものである。ボンディングツール10は、被接続部14に、はんだ部材15を介してフレキシブル回路基材16の端子群17を一括的に加熱、加圧してボンディングする。圧着ヘッド11の先端側に、並行する2つのラウンド形状加圧部12(121,122)が設けられている。ラウンド形状加圧部12(121,122)それぞれは、所定半径の円筒の側面部分である。ラウンド形状加圧部121と122の間は溝部13となっている。溝部13は、端子群17の浮き領域171を形成する。浮き領域171には端子群17それぞれの下部に、余ったはんだ部材15が溜まるようになっている。ラウンド形状加圧部12の幅W1と溝部13の幅W2は、W1≦W2が望ましい。また、ラウンド形状加圧部12の円筒形態は限定されない。楕円筒側面でもかまわない。
上記実施形態の構成によれば、ラウンド形状加圧部12が並行して2つ設けられる(121,122)。これにより、端子群17それぞれの被接続部14との圧着部は2箇所設けられることになる。それぞれ圧着部両側の端子下部は、はんだ部材15の逃げ場となる。これにより、フィレット151の形成される箇所が多くなる。被接続部14にはんだを多く盛り過ぎた場合でも、フィレット部で吸収でき、隣接する端子へのショートを抑えることができる。
なお、上記実施形態の構成に限らず、ラウンド形状加圧部12が並行して2つ以上設けられればよい。ラウンド形状加圧部12が多い分、フィレット151の形成される箇所もより多くなる。ラウンド形状加圧部12の数、溝部13の深さ、また、円筒状のラウンド形状加圧部12の半径やラウンド形状加圧部12の間隔は、別段限定されない。しかし、端子群17や被接続部14の長さによって適当な値が決まる。
図3(a)〜(c)は、それぞれ第1実施形態の変形例を示すボンディングツールの圧着ヘッド11の部分の断面図である。それぞれ第1実施形態の構成に比べて異なる構成は次のようである。図3(a)は、ラウンド形状加圧部12を121〜124とより多く設けた構成である。溝部13も131〜133の3つになる。その他、図示しないが、ラウンド形状加圧部12が3つの場合も考えられる。図3(b)は、図3(a)においてラウンド形状加圧部12の幅(W11,W12)や溝部13の深さ(D1,D2)を変えた構成である。図3(c)は、ラウンド形状加圧部12の幅W3をより小さく、溝部13の深さD3をより大きくした構成である。
図4は、本発明の第2実施形態に係る接続装置の要部を示す概略構成図である。前記第1実施形態と同様の箇所には同一の符号を付す。接続装置30は、少なくとも前記図1に示すようなボンディングツール10と、X,Y方向さらに回転移動可能なステージ31を備えている。搬送制御部32は、位置決め光学系33と共に、ステージ31上におけるプリント配線基板34にフレキシブル回路基材16を載置する。すなわち、プリント配線基板34における、はんだ部材15の塗布された被接続部14にフレキシブル回路基材16の端子群17を置合わせする。位置合わせ後、ステージ31上の被接続部14と端子群17とは圧着ヘッド11によって加熱、加圧接続される。
上記実施形態の構成によれば、溝部13と、その両側に並行するようにラウンド形状加圧部12が設けられている圧着ヘッド11が用いられる。外部端子群17それぞれの被接続部14との圧着部は2箇所以上設けられることになる。それぞれ圧着部両側の端子17下部は、はんだ部材15の逃げ場となり、フィレットが形成される箇所が多くなる。押圧力の除かれた溝部13により端子群17それぞれが浮く領域ができる。このとき、外部端子群17は予めボンディングツールの形状に合わせ、フォーミングされていてもよい。これにより、はんだ部材15のフィレットが形成され易い。
図5、図6は、本発明の第3実施形態に係る半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。図4も参照しながら説明する。接続装置30にフレキシブル回路基材16が搬送される。位置決め光学系33を利用して、はんだ部材15の塗布されたプリント配線基板34の所定の被接続部14にフレキシブル回路基材16の端子群17を置合わせする。その後、ボンディングツール10は、圧着ヘッド11を端子群17に接触させ、加熱、加圧段階に入る(図5)。ボンディングツール10は、圧着ヘッド11において溝部13が設けられ、溝部13の領域に端子群17の一部領域が入り、起伏形状を作る。
その後、端子群17と被接続部14は、圧着ヘッド11によって、加圧接続される。ボンディングツール10は、圧着ヘッド11において溝部13が設けられ、溝部13両側に並行するようにラウンド形状加圧部12(121,122)が設けられている。これにより、はんだ接合領域として、被接続部14への端子群17は起伏形状を呈するようになる。すなわち、ラウンド形状加圧部12(121,122)によって、端子群17それぞれの被接続部14とは、2箇所の最接近部分17a及び最接近部分間の離間部17s(浮き領域171)を有する(図6)。各最接近部分17a両側の端子下部には、はんだ部材15の逃げ場となるフィレット151が成されている。すなわち、離間部17sの端子下部も同様にフィレット151が形成されている。
上記実施形態の方法によれば、フレキシブル回路基材16の外部端子群17とプリント配線基板34の所定の被接続部14とのはんだ接合領域は、特徴あるボンディングツール10によって起伏形状を有するように構成される。すなわち、外部端子群17それぞれと被接続部14の接続一対当たり2箇所の最接近部分17a及び最接近部分間の離間部17sを有する。これにより、最接近部分17a両側の外部端子17下部または最接近部分間の離間部17sにおける外部端子17下部は、はんだ部材15の押圧時の逃げ場となり、フィレットが形成され易い領域となる。フィレットの形成領域がより多くできるので、はんだの塗布量が多過ぎた場合に吸収可能である。図6では離間部17sの端子下部がフィレット151によって完全に埋まっていない状態を示したが、完全に埋まる可能性もある。これにより、隣接間ショート防止に寄与する。
また、外部端子群17の起伏形状、すなわち最接近部分間の離間部17sの存在により、はんだ部材15のフィレットの形成状況が確認し易い。フィレットについて外観検査することにより、はんだ接合領域の良否を判定する。フィレットの確認がし易いことから、検査が容易で接合領域の良否を正確に判定できる。
図7は、本発明の第4実施形態に係る半導体装置の要部構成を示す概観図である。第3実施形態と同様の箇所には前記図5、図6で表した符号と同一の符号を付して説明する。 フレキシブル回路基材16は、TCP製品またはCOF製品であり、少なくともICが実装され外部端子群17を有する。プリント配線基板34は、フレキシブル回路基材16の外部端子群17と信号の授受を行うための所定の被接続部14を有する。フレキシブル回路基材16の外部端子群17とプリント配線基板34の所定の被接続部14とのはんだ接合領域に特徴があり、次のようである。被接続部14と外部端子群17それぞれは、1対当たり2箇所以上の最接近部分17a及び最接近部分間の離間部17sを有し、外部端子群17が起伏形状を呈する。図では、被接続部14と外部端子群17各々の最接近部分17aは2箇所、最接近部分間の離間部17sは1箇所であるが、これより多く設けてもよい。
上述したように、この実施形態に係る半導体装置は、外部端子群17の起伏形状、すなわち最接近部分間の離間部17sの存在により、はんだ部材15のフィレットの状態が確認し易い。外部端子群17の起伏形状におけるフィレットを外観検査することにより、はんだ接合領域の良否を判定することができる。フィレットの確認がし易いことから、検査が容易で接合領域の良否を正確に判定できる。これにより、高信頼性の接続部が得られる。
以上説明したように、本発明によれば、溝部と、その両側に並行するようにラウンド形状加圧部が設けられている圧着ヘッドを有するボンディングツールが特徴である。このボンディングツールを配備した接続装置により、外部端子群それぞれの被接続部との圧着部が2箇所以上得られるはんだ接合部を形成することができる。圧着部両側の端子下部は、はんだ部材の逃げ場となり、フィレットが形成される箇所が多くなる。押圧力の除かれた溝部により端子群それぞれに浮く部分が形成でき、はんだ部材のフィレットが形成され易い。このような構成により、はんだの塗布量が多過ぎた場合にはんだが吸収され易い。
鉛フリーはんだは濡れ性が劣る。よって、接続部のフィレットが適正かどうかの確認は重要である。予め塗布するはんだは、接続部のフィレットを確実に形成するために量も多めになりがちである。接続対象の端子数は多くピッチも微細になってきている。はんだを多く盛り過ぎた場合、本発明に係るボンディングツールを使用することにより、はんだブリッジを回避し、隣接する端子へのショート防止に寄与する。また、フィレットの確認がし易いことから、検査が容易で接合領域の良否を正確に判定できる。これにより、はんだ接合領域の安定化が図れ、高信頼性の構造を得ることができる。この結果、はんだ接続部のフィレットが適正か否か確認し易く、信頼性の高い接続を実現するボンディングツール、接続装置、半導体装置及びその製造方法を提供することができる。
10…ボンディングツール、11…圧着ヘッド、12,121〜124…ラウンド形状加圧部、13,131〜133…溝部、14…被接続部、15…はんだ部材、151…フィレット、16…フレキシブル回路基材、17…端子群、17a…最接近部分、17s…離間部、171…浮き領域、30…接続装置、31…ステージ、32…搬送制御部、33…位置決め光学系、34…プリント配線基板。
Claims (10)
- 被接続部にはんだ部材を介して所定の端子群を一括的に加熱、加圧してボンディングするボンディングツールにおいて、
圧着ヘッド先端側に、並行する2つ以上のラウンド形状加圧部が設けられていることを特徴とするボンディングツール。 - 被接続部にはんだ部材を介して端子群を一括的に加熱、加圧してボンディングするボンディングツールにおいて、
圧着ヘッド先端側で並行するように設けられた2つ以上のラウンド形状加圧部と、
前記ラウンド形状加圧部の間に設けられた溝部と、
を含むボンディングツール。 - 前記溝部は、前記端子群それぞれの下部に余ったはんだ部材が溜まる前記端子群の浮き領域を形成する請求項2記載のボンディングツール。
- 前記溝部は、深さの異なるものが2つ以上存在する請求項2または3記載のボンディングツール。
- 少なくともボンディングツールとステージを備え、前記ステージ上におけるはんだ部材の塗布された被接続部にフレキシブル回路基材の外部端子群が位置合わせされ、前記ボンディングツールの圧着ヘッドによって加熱、加圧接続する接続装置において、
前記圧着ヘッドにおいて溝部が設けられ、かつ前記溝部両側に並行するようにラウンド形状加圧部が設けられていることを特徴とする接続装置。 - 少なくともICが実装され外部端子群を有するフレキシブル回路基材と、
前記フレキシブル回路基材の外部端子群と信号の授受を行う所定の接続部を有したプリント配線基板と、
前記フレキシブル回路基材の外部端子群と前記プリント配線基板の前記所定の接続部の一対当たり2箇所以上の最接近部分及び最接近部分間の離間部を有して前記外部端子群が起伏形状を呈するはんだ接合領域と、
を含む半導体装置。 - 前記はんだ接合領域は、前記外部端子群において前記起伏形状の勾配部分の下部に前記はんだ部材のフィレットが形成されている請求項6記載の半導体装置。
- 前記はんだ接合領域は、前記外部端子群それぞれの下部において前記所定の接続部との前記最接近部分間の離間部にはんだ部材のフィレットが形成されている請求項6記載の半導体装置。
- 外部端子群を有するフレキシブル回路基材が搬送され、はんだ部材の塗布されたプリント配線基板の所定の接続部と位置合わせされる工程と、
圧着ヘッド先端に溝部及び前記溝部両側に並行するようにラウンド形状加圧部が設けられたボンディングツールによって、前記フレキシブル回路基材の外部端子群と前記プリント配線基板の所定の接続部とを加熱、加圧接続し、前記外部端子群と前記所定の接続部の一対当たり2箇所以上の最接近部分及び最接近部分間の離間部を有して前記外部端子群が起伏形状を呈するはんだ接合領域を形成する工程と、
を含む半導体装置の製造方法。 - 前記外部端子群において前記起伏形状の勾配部分の下部にできる前記はんだ部材のフィレットについて外観検査することにより、前記はんだ接合領域の良否を判定する請求項9記載の半導体装置の製造方法。
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