JP2006170770A - 試料分析装置 - Google Patents
試料分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006170770A JP2006170770A JP2004362884A JP2004362884A JP2006170770A JP 2006170770 A JP2006170770 A JP 2006170770A JP 2004362884 A JP2004362884 A JP 2004362884A JP 2004362884 A JP2004362884 A JP 2004362884A JP 2006170770 A JP2006170770 A JP 2006170770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- measuring means
- image
- coordinates
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【解決手段】試料を置載し、試料座標の基準点を有する試料ホルダと、前記試料の第1の像を読み取り、その座標を設定する第1の測定手段と、前記試料の第2の像を読み取り、その座標を設定する第2の測定手段と、前記第1の測定手段と前記第2の測定手段とに接続し、試料の像及び座標情報を処理する情報処理手段と、を備えた試料分析装置において、前記試料ホルダを前記第1の測定手段と第2の測定手段との間で付け替えて分析し、前記第2の測定手段で得た試料部位の位置を前記第1の測定手段で得た像に追加記録する試料分析装置。
【選択図】 図2
Description
2 試料
3 試料ステージ
4 試料ステージ位置調整機構
5 試料ステージ制御装置
6 光学顕微鏡
8 照明装置
9 X線管
10 入射レンズユニット
11 エネルギーアナライザ
12 検出器
13 エネルギーアナライザ駆動電源ユニット
14 エネルギーアナライザ制御ユニット
15 モニタ
16 コンピュータ
17 CCDカメラ
18 位置読み取り機構付き光学顕微鏡
19 光学顕微鏡
20 XYテーブル
21 基準点
22 試料ホルダ
23 分析目標位置
24 分析目標位置
25 分析目標位置
26 追加分析位置
27 ベクトル値
Claims (4)
- 試料を置載し、試料座標の基準点を有する試料ホルダと、
前記試料の第1の像を読み取り、その座標を設定する第1の測定手段と、
前記試料の第2の像を読み取り、その座標を設定する第2の測定手段と、
前記第1の測定手段と前記第2の測定手段とに接続し、試料の像及び座標情報を処理する情報処理手段と、
を備えた試料分析装置において、
前記試料ホルダを前記第1の測定手段と第2の測定手段との間で付け替えて分析し、
前記第2の測定手段で得た試料部位の位置を前記第1の測定手段で得た像に追加記録する試料分析装置。 - 前記第1の測定手段がCCDカメラを有する位置読み取り光学顕微鏡であり、
前記第2の測定手段が1次ビーム源と、前記1次ビーム源より照射された1次ビームにより前記試料から発生した2次ビームを分光するエネルギーアナライザと、を有する試料表面分析装置であることを特徴とした請求項1に記載した試料分析装置。 - 前記1次ビームが電子線であり、前記2次ビームがオージェ電子線であることを特徴とした請求項2に記載した試料分析装置。
- 前記1次ビームがX線であり、前記2次ビームが光電子線であることを特徴とした請求項2に記載した試料分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004362884A JP4616631B2 (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 試料分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004362884A JP4616631B2 (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 試料分析装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006170770A true JP2006170770A (ja) | 2006-06-29 |
JP4616631B2 JP4616631B2 (ja) | 2011-01-19 |
Family
ID=36671692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004362884A Active JP4616631B2 (ja) | 2004-12-15 | 2004-12-15 | 試料分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4616631B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009300232A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Shimadzu Corp | マッピング分析装置 |
JP2012103232A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-31 | Riken Keiki Co Ltd | 分析システム |
US9581799B2 (en) | 2009-05-11 | 2017-02-28 | Carl Zeiss Ag | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05107207A (ja) * | 1991-10-15 | 1993-04-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微小部分析装置の分析点の確認方法および微小部分析装置 |
JP2001349854A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Jeol Ltd | 電子分光装置における分析位置設定方法 |
JP2002310954A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Shimadzu Corp | 試料解析装置 |
-
2004
- 2004-12-15 JP JP2004362884A patent/JP4616631B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05107207A (ja) * | 1991-10-15 | 1993-04-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微小部分析装置の分析点の確認方法および微小部分析装置 |
JP2001349854A (ja) * | 2000-06-06 | 2001-12-21 | Jeol Ltd | 電子分光装置における分析位置設定方法 |
JP2002310954A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Shimadzu Corp | 試料解析装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009300232A (ja) * | 2008-06-12 | 2009-12-24 | Shimadzu Corp | マッピング分析装置 |
US9581799B2 (en) | 2009-05-11 | 2017-02-28 | Carl Zeiss Ag | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
US10473907B2 (en) | 2009-05-11 | 2019-11-12 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
US11454797B2 (en) | 2009-05-11 | 2022-09-27 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
JP2012103232A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-05-31 | Riken Keiki Co Ltd | 分析システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4616631B2 (ja) | 2011-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2896061B1 (en) | Integrated optical and charged particle inspection apparatus | |
US9074992B2 (en) | X-ray diffraction apparatus and X-ray diffraction measurement method | |
KR19980070850A (ko) | 시료 분석 장치 | |
JP4650330B2 (ja) | 光学顕微鏡とx線分析装置の複合装置 | |
NL1039512C2 (en) | Integrated optical and charged particle inspection apparatus. | |
JP5075393B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JP2010048727A (ja) | X線分析装置及びx線分析方法 | |
JP6549313B2 (ja) | 荷電粒子線装置および試料ホルダ | |
JP5235447B2 (ja) | X線分析装置及びx線分析方法 | |
JP2002310954A (ja) | 試料解析装置 | |
JP2010080144A (ja) | 複合型顕微鏡装置及び試料観察方法 | |
JP2010164442A (ja) | エネルギー分散型x線分光器による分析方法及びx線分析装置 | |
JP4616631B2 (ja) | 試料分析装置 | |
JP4985090B2 (ja) | 蛍光x線分析装置、蛍光x線分析方法及びプログラム | |
JP7287957B2 (ja) | 放射線検出装置、コンピュータプログラム及び位置決め方法 | |
JP6405271B2 (ja) | 電子分光装置および測定方法 | |
JP3936873B2 (ja) | 欠陥撮像装置及び撮像方法 | |
CN108231513B (zh) | 用于操作显微镜的方法 | |
JP2005235782A (ja) | 電子線分析方法 | |
JP4596881B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡装置 | |
JP2010071762A (ja) | 粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラム | |
JP2006331852A (ja) | 表面観察分析装置 | |
JP2023054559A (ja) | 画像表示方法、分析システムおよびプログラム | |
JP2007128807A (ja) | 電子顕微鏡の露光時間及び照射条件の設定方法 | |
JP2913807B2 (ja) | 電子線照射型分析装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071010 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100629 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101019 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101022 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4616631 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131029 Year of fee payment: 3 |