JP2006167664A - 排ガスの水洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 縦型容器１内の上部に排ガス導入管路から導入した排ガスを，当該縦型容器内において水と直接接触したのち，その下部から排出するようにした水洗浄装置において，排ガス中に含まれている粉末状固形物及び水との接触で発生する粉末状固形物によって詰まりが発生することを低減する。
【解決手段】 前記排ガス導入管路を，下端にノズル部３ａを備えた複数本の小径のガス導入ノズル管３に構成して，この各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部を，前記縦型容器１内に，下向きに突出する一方，前記縦型容器に，前記各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部３ａに向かって水を噴出するようにした水噴出ノズル７を設ける。
【選択図】 図１

Description

本発明は，半導体製造プロセス等から排出される排ガスを，当該排ガスに含まれる粉塵等の粉末状の固形物及び一部のガスを除去するために，水で洗浄するための装置に関するものである。

従来，この種の排ガスに対する水洗浄装置は，例えば，特許文献１等に記載されているように，排ガスを，縦型容器内に，その頂部から導入して，下部から排出するようにする一方，前記縦型容器の内壁面に，水膜を，上から下向きに流れるように形成し，この水膜に，前記排ガスを直接接触し，次いで，この排ガスにスプレーノズルから水を噴霧することによって，水洗浄するという構成にしている。
特開２０００−２７１４２１号公報

しかし，この従来の水洗浄装置において，前記縦型容器内への排ガス導入管路の内径が，前記縦型容器の内径とを略同様に可成り大きいことにより，この排ガス導入管路における内壁面が，縦型容器内と同様に水分を多く含む雰囲気になっているから，排ガスが，塵埃等の粉末状固形物を含んでいる場合とか，或いは，水との接触によって粉末状固形物が析出する物質を含んでいる場合において，前記排ガス導入管路における内壁面に，前記粉末状固形物が付着・堆積して，当該排ガス導入管等を詰めることになる。

従って，従来の水洗浄装置においては，前記のように付着・堆積した粉末状固形物を除去するための清掃作業を，短い時間間隔で頻繁に行わなければならないから，これに多大の手数を必要するとするばかりか，稼働率が低いという問題があった。

本発明は，この問題を解消した水洗浄装置を提供することを技術的課題とするものである。

この技術的課題を達成するため本発明の請求項１は，
「縦型容器内の上部に排ガス導入管路から導入した排ガスを，当該縦型容器内において水との直接接触にて洗浄したのち，その下部のガス出口から排出するようにした水洗浄装置において，
前記排ガス導入管路を，下端にノズル部を備えた複数本の小径のガス導入ノズル管に構成して，この各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部を，前記縦型容器内に，下向きに突出する一方，前記縦型容器に，前記各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部に向かって水を噴出するようにした水噴出ノズルを設ける。」
ことを特徴としている。

また，本発明の請求項２は，
「前記請求項１の記載において，前記各ガス導入ノズル管に，当該ガス導入ノズル管の内部を通って，その下端のノズル部内に水又は空気を噴出するようにしたノズルを設ける。」
ことを特徴としている。

縦型容器の上部における排ガス導入管路を，下端にノズル部を備えた複数本の小径のガス導入ノズル管に構成して，この各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部を，前記縦型容器内に，下向きに突出することにより，前記各ガス導入ノズル管の内部が，縦型容器内と同じように水分の多い雰囲気になることを，当該ガス導入ノズル管内における排ガスの流れ速度が早くなることと，ノズル部を縦型容器内に突出したこととによって回避できるから，この各ガス導入ノズル管内に粉末状固形物にて詰まりが発生することを確実に低減できる。

これに加えて，前記各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部には，水噴出ノズルから噴出する水が吹き付けられていることにより，この各ガス導入ノズル管におけるノズル部に，粉末状固形物が付着・堆積することを確実に低減できる。

従って，本発明によると，付着・堆積した粉末状固形物を除去するための清掃作業を行う時間間隔を大幅に長くできるから，水洗浄における稼働率を向上できる。

また，請求項２に記載した構成によると，前記各排ガス導入管路の内部及びその下端のノズル部内に粉末状固形物による詰まりが発生しても，この詰まりを，ノズルからの水又は空気の噴出によって解消することができるから，清掃作業を行う間隔を，更に延長できるとともに，前記各ガス導入ノズル管の内部における清掃作業を簡単且つ迅速化できる利点がある。

以下，本発明の実施の形態を，図１の図面について説明する。

この図１において，符号１は，縦型容器を示し，その上部における天井板２には，上下に延びる小径のガス導入ノズル管３の複数本が，その下端におけるノズル部３ａを当該縦型容器１内に突出するようにして固着され，この各ガス導入ノズル管３の上部には，当該ガス導入ノズル管３内への排ガス導入口４が接続されているほか，前記各ガス導入ノズル管３の上端には，空気又は水を当該ガス導入ノズル管３の内部を通って前記ノズル部３ａの内部に噴出するようにしたノズル５が設けられている。

一方，前記縦型容器１の下部には，ガス出口６が設けられており，更に，この縦型容器１には，前記各ガス導入ノズル管３の下端におけるノズル部３ａに対して水を噴出するようにした水噴出ノズル７が設けられているほか，当該縦型容器１内の全域にわたって水を噴霧するようにしたスプレーノズル８の多数個が設けられている。

この構成において，排ガスは，小径の各ガス導入ノズル管３内に，排ガス導入口４が流入し，その下端におけるノズル部３ａから縦型容器１内に噴出し，この縦型容器１内において，各水噴出ノズル７及び各スプレーノズル８から噴出される水と直接接触することにより洗浄されたのち，ガス出口６から排出される。

この場合において，前記ガス導入ノズル管３は，複数本の小径であることにより，その下端のノズル部３ａにおける排ガスの流れ速度を，圧力損失の大幅な増大を招来することなく早くでき，しかも，このノズル部３ａが，縦型容器１内に下向きに突出していることにより，前記各ガス導入ノズル管３の内部が，縦型容器１と同様に水分を多く含む雰囲気になることを回避できるから，この各ガス導入ノズル管３内に粉末状固形物にて詰まりが発生することを確実に低減できる。

また，前記各ガス導入ノズル管３の下端におけるノズル部３ａには，水噴出ノズル７から水が吹き付けられていることにより，このノズル部３ａの外側に，粉末状固形物が付着・堆積することを阻止できる。

そして，前記各ガス導入ノズル管３の内部に，粉末状固形物による詰まりが発生した場合には，その上端におけるノズル５から空気又は水を高い圧力で噴射することにより，内部に付着・堆積した粉末状固形物を容易に除去することができる。

この場合，前記ノズル５からの空気又は水の噴射は，詰まり発生したときに行うに限らず，適宜時間ごとの間隔で，一定の時間の間のだけ行うように構成しても良いのである。

本発明の実施の形態を示す縦断正面図である。

符号の説明

１ 縦型容器
３ ガス導入ノズル管
３ａ ノズル部
４ 排ガス導入口
５ ノズル
６ ガス出口
７ 水噴出ノズル
８ スプレーノズル

Claims (2)

1. 縦型容器内の上部に排ガス導入管路から導入した排ガスを，当該縦型容器内において水との直接接触にて洗浄したのち，その下部のガス出口から排出するようにした水洗浄装置において，
   前記排ガス導入管路を，下端にノズル部を備えた複数本の小径のガス導入ノズル管に構成して，この各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部を，前記縦型容器内に，下向きに突出する一方，前記縦型容器に，前記各ガス導入ノズル管の下端におけるノズル部に向かって水を噴出するようにした水噴出ノズルを設けることを特徴とする排ガスの水洗浄装置。
2. 前記請求項１の記載において，前記各ガス導入ノズル管に，当該ガス導入ノズル管の内部を通って，その下端のノズル部内に水又は空気を噴出するようにしたノズルを設けることを特徴とする排ガスの水洗浄装置。

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