JP2006156415A - 真空装置の監視装置および監視方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのON/OFFタイミング、Open/Closeタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う。
【選択図】図11
Description
指定すると、該位置に対応した前記構成部の運転状況を合わせて表示し、かつ契約ごとに前記同時進行のタイムチャートと前記運転状況の報告を行う真空装置の監視方法が提供される。あるいは、真空を生成する真空系および電子光学の操作を行う弁系を具えた遠隔に置かれた真空装置の監視方法において、契約によって予め定められた真空装置の前記真空系および電子光学系からの運転情報信号を、通信網を介してデータ入力し、画面表示処理を行い、前記真空系および電子光学系を構成する構成部の基本監視データおよび運転履歴データを記憶し、前記真空装置について順次前記画面表示装置の画面に、前記構成部を表示し、および前記構成部の基本監視データと運転履歴データとを同時刻進行のタイムチャートとして比較して表示し、かつ前記タイムチャート上に真空系および電子光学系の構成部に跨って同一時刻位置を指定すると、該位置に対応した前記構成部の運転状況を合わせて表示し、かつ契約ごとに前記同時進行のタイムチャートから基本監視データと運転履歴データとの乖離の状況から予め定めた乖離に至る時期を予測し、次に点検時期の報告を行う。
(1)工場出検査時に、採取したデータと設計値テンプレートを比較し装置の状態を把握する。このデータから異常と判断された装置は不良と判断される。
(2)(1)の比較結果から正常と判断された装置は、工場出荷時に採取したデータをその装置のリファレンスデータとしてデータベースに登録される。
(3)顧客据付時に据付時のリファレンスデータを採取,登録
(顧客先でのリファレンスデータ採取登録は、据付環境により真空排気速度が変化するため採取する。)
(4)据付後の装置状態の確認
(2)と(3)のデータを比較することにより、装置の据付時での状態を把握する。この比較データから据付後の装置の状態が正常であるか異常であるか判断する。
(5)判断方法
据付先設置状況で変化する装置状態は、主に真空排気速度の変化が考えられる。これは、据付先での真空ポンプと装置間の配管の長さ,配管径やポンプの排気速度(真空排気能力)に左右されるからである。
据付環境での排気能力 :Pi
工場環境での真空ゲージの推移 :Gf
据付環境での真空ゲージの推移 :Gi
工場環境での試料の搬入速度 :Lf
据付環境での試料の搬入速度 :Li
判定閾値 :S(%)
補正率 :Co=Pf/Pi
判定用データ算出
真空ゲージ(RefG)=Co×Gf 搬入速度(RefL)=Co×Lf
据付時の真空ゲージ推移判定
S>|Gi/RefG×100−100|
据付時の試料搬入速度
S>|Li/RefL×100−100|
(6)据付環境に合わせたリファレンステンプレートの作成
RefGとRefLを据付環境に合わせた状態テンプレートとしてデータベースに登録する。但し、その他のテンプレートは設計値を使用する。
(1)装置状態データの採取は、予め決められたシーケンスで試料の搬入,測定、搬出を行う。
(2)データ採取スケジュールは、顧客毎に設定可能である。データ取得タイミングは、装置が使用されていない時間に行う。但し、予め設定されている時間から1時間以上待っても装置が使用されている場合は、取得スケジュールはキャンセルされる。また、顧客が手動でデータ採取シーケンスを起動する事も可能である。
(3)自動的に採取された装置状態データは、予め登録されている装置状態テンプレートと比較される。その比較したデータが設定されている閾値を超えた場合は、装置データベースに情報を登録する。また設定により顧客あるいはサービスヘレポート(報告)する。この機能により予防保全効果、及び装置保守時期の把握が可能となる。
(1)エラートラップ機能により、エラー発生時の装置状態を採取する。その時同時に、装置内部通信の内容を保存する。
(2)エラー発生時の装置状態と据付時のリファレンスデータを比較して、装置不具合原因特定する。この機能により装置不具合発生時の対策が可能となる。
判定閾値>|採取データ/テンプレートデータ×100−100|
によって行う。
(1)装置の状態を定期的に採取し装置状態データベースが構築される。
(2)採取したデータは、データベースに登録したデータと比較することが可能。
(3)エラートラップ機能により装置に異常が発生した時の状態を再生することが可能。異常状態と正常時のデータを比較することにより、不具合原因の特定が飛躍的に向上する。
(4)設計値の各センサON/OFFタイミングや機構系動作スピードをテンプレート化して、採取データと比較可能とする。また、テンプレート比較時に採取データとの差を自動的に算出し、予め設定した閾値を超えた場合にはデータベースに情報を保存する。この機能付加により定期保守や予防保全に対応する。
以上のことが可能になる。
Claims (12)
- 真空中において加速電子線を応用する計測装置に関する保守および不具合の監視・診断支援の方法であって、前記計測装置の始動過程,計測過程における動作監視用センサからのデータをリアルタイムに同期的に記録保存し、初期または正常時のデータと重ねてタイミングや動作レベルを比較再生し、保守を要するかまたは不具合と診断すべき差異をデータ上に検知したとき、予め蓄積しておいた異常とその対策に関する選択肢項目の中から可能性のある不具合原因項目を選出するとともに、さらに不具合原因を特定するために予め用意しておいた確認事項を実施した結果を入カし、さらに原因を特定するように構成し、前記計測装置の保守・診断を支援することを特徴とする監視方法。
- 前記計測装置は測長SEMであって、該測長SEMの電子レンズ・ウェーハ駆動部・給排気部に位置・真空度センサを設けて、保守および不具合の監視・診断支援を行うことを特徴とする請求項1に記載の監視方法。
- 前記計測装置の初期または正常時の装置動作データとリアルタイムに比較し、保守または不具合と診断すべき差異を検知したとき、これを保存することを特徴とする請求項1に記載の監視方法。
- 前記計測装置の動作状態を遠隔装置で監視するとともに、差異検知タイミングを遠隔装置で警報することを特徴とする請求項1に記載の監視方法。
- 前記計測装置は、真空中において加速電子線を応用する装置であって、測長SEM(走査形電子顕徴鏡)・SEM・TEM(透過形電子顕微鏡)・質量分析計のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の監視方法。
- 真空中において加速電子線を応用する計測装置に関する保守および不具合の監視を行うことを特徴とする請求項1に記載の監視方法。
- 真空中において加速電子線を応用する計測装置に関する保守および不具合の監視・診断支援のためのシステムであって、前記計測装置の始動過程,計測過程における動作監視用センサからのデータをリアルタイムに同期的に記録保存する記録手段と、初期または正常時のデータと重ねてタイミングや動作レベルを比較再生し、保守を要するかまたは不具合と診断すべき差異をデータ上に検知したとき・予め蓄積しておいた異常とその対策に関する選択肢項目の中から可能性のある不具合原因項目を選出するとともに、さらに不具合原因を特定するために予め用意しておいた確認事項を実施した結果を入カし、原因を特定するCPUとを有することを特徴とする監視システム。
- 前記計測装置は測長SEMであって、該測長SEMの電子レンズ・ウェーハ駆動部・給排気部に位置・真空度センサを設けて、保守および不具合の監視・診断支援を行うことを特徴とする請求項7に記載の監視システム。
- 前記CPUは、前記計測装置の初期または正常時の装置動作データとリアルタイムに比較し、保守または不具合と診断すべき差異を検知したとき、これを保存することを特徴とする請求項7に記載の監視システム。
- 前記CPUは、前記計測装置の動作状態を遠隔装置で監視するとともに、差異検知タイミングを遠隔装置で警報することを特徴とする請求項7に記載の監視システム。
- 前記計測装置は、真空中において加速電子線を応用する装置であって、測長SEM(走査形電子顕微鏡)・SEM・TEM(透過形電子顕微鏡)・質量分析計のいずれかであることを特徴とする請求項7に記載の監視システム。
- 真空中において加速電子線を応用する計測装置に関する保守および不具合の監視を行うことを特徴とする請求項7に記載の監視システム。
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JP2001303484A Division JP3793707B2 (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | 真空装置の監視装置および監視方法 |
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JP2021065343A (ja) * | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 株式会社Tree Field | 飲料製造装置 |
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2006
- 2006-02-17 JP JP2006040190A patent/JP3992066B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP2021065343A (ja) * | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 株式会社Tree Field | 飲料製造装置 |
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