KR102252740B1 - 프로브 스테이션의 예측 정비 방법 및 시스템 - Google Patents

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세메스 주식회사
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    • G—PHYSICS
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Abstract

프로브 스테이션의 예측 정비 방법과 예측 정비 시스템이 개시된다. 상기 예측 정비 시스템은, 프로브 스테이션을 구성하는 유닛들의 건강도를 산출하고 상기 유닛들의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 건강도를 산출하는 건강도 산출부와, 상기 프로브 스테이션의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 정비 시기를 결정하는 예측 정비 판단부를 포함한다. 상기 건강도 산출부는, 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 상기 유닛들의 건강도를 산출하며, 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 기 설정된 가중치들을 각각 적용하고 상기 가중치들이 적용된 건강 지표들을 합산하여 상기 파트들 각각의 건강도를 산출한다.

Description

프로브 스테이션의 예측 정비 방법 및 시스템{METHOD AND SYSTEM FOR PREDICTIVE MAINTENANCE OF PROBE STATION}
본 발명의 실시예들은 프로브 스테이션의 예측 정비 방법 및 시스템에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판 상에 형성된 반도체 소자들에 대한 전기적인 검사를 수행하는 프로브 스테이션의 예측 정비 방법과 이를 수행하는데 적합한 예측 정비 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 제품을 생산하기 위해 사용되는 설비 또는 장치는 사용 시간에 따라 열화 및 성능 저하가 발생될 수 있으며, 이에 따라 불량품 생산 또는 생산 중단 등의 문제점들이 초래될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, RM(Reactive Maintenance), PM(Preventive Maintenance), CBM(Condition-Based Maintenance) 등의 정비 활동이 수행되고 있으나, 설비의 장애 발생 방지의 근본적인 대응책으로는 한계가 있다.
한편, 반도체 장치의 제조 공정에서 프로브 스테이션은 반도체 웨이퍼와 같은 기판 상에 형성된 반도체 소자들을 패키징 공정 이전에 미리 전기적으로 검사함으로써 양품과 불량품을 선별하기 위해 사용될 수 있다. 상기 프로브 스테이션에 의한 검사 공정은 프로브 카드의 탐침들을 상기 반도체 소자들에 접속하여 수행될 수 있으며, 상기 프로브 스테이션의 장애 또는 성능 저하가 발생되는 경우 양품 반도체 소자들이 불량품으로 잘못 판단되는 중대한 문제점을 초래할 수 있다.
상기 문제점을 방지하기 위하여 RM, PM, CBM 등과 같은 통상적인 정비 작업이 수행되고 있으나, 예상치 못한 고장 발생에 의해 상기 프로브 스테이션의 동작이 중지되는 경우 검사 도중의 반도체 소자들이 손상되는 문제점이 발생될 수 있다. 아울러, 상기 프로브 스테이션의 현재 상태를 확인할 수 있는 수단이 부족하기 때문에 예상치 못한 고장 발생에 대응할 수 없는 문제점이 있다.
본 발명의 실시예들은 프로브 스테이션의 현재 상태를 언제든지 확인할 수 있고 아울러 상기 프로브 스테이션의 정비가 필요한 시기를 판단할 수 있는 프로브 스테이션의 예측 정비 방법 및 시스템을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 프로브 스테이션의 예측 정비 방법은, 프로브 스테이션을 구성하는 유닛들의 건강도를 산출하는 단계와, 상기 유닛들의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 건강도를 산출하는 단계와, 상기 프로브 스테이션의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 정비 시기를 결정하는 단계를 포함할 있다. 특히, 상기 유닛들 각각의 건강도는 상기 각각의 유닛들을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 산출되며, 상기 파트들 각각의 건강도는, 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 기 설정된 가중치들을 각각 적용하고, 상기 가중치들이 각각 적용된 건강 지표들을 합산함으로써 산출될 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 건강 지표들은 상기 파트들의 고장 발생 횟수 및 고장 발생 주기로부터 산출되는 알람 지표를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 파트들의 고장 발생 횟수에서 고장이 발생된 파트에 연계된 다른 파트의 고장 발생 횟수는 제외할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 건강 지표들은 상기 파트들의 수명으로부터 산출되는 수명 지표를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 건강 지표들은 센서들에 의해 측정되는 상기 파트들의 동작 성능으로부터 산출되는 부품 이상 지표를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 건강 지표들은 상기 프로브 스테이션의 정비 이전과 이후 각 1매의 웨이퍼 검사 공정에서 수집되는 데이터와 기준 데이터 사이의 비교 결과에 기초하는 매칭률 지표를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프로브 스테이션의 예측 정비 방법은, 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 시각화하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도는 디스플레이 유닛을 통해 그래프 형태로 표시될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템은, 프로브 스테이션을 구성하는 유닛들의 건강도를 산출하고 상기 유닛들의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 건강도를 산출하는 건강도 산출부와, 상기 프로브 스테이션의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 정비 시기를 결정하는 예측 정비 판단부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 건강도 산출부는, 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 상기 유닛들의 건강도를 산출하며, 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 기 설정된 가중치들을 각각 적용하고 상기 가중치들이 적용된 건강 지표들을 합산하여 상기 파트들 각각의 건강도를 산출할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 유닛들은, 웨이퍼를 지지하기 위한 스테이지와, 상기 웨이퍼를 공급하기 위한 로더와, 상기 웨이퍼의 검사를 위한 프로브 카드의 교체를 위한 카드 교체 유닛과, 전원 공급 및 공정 가스 공급을 위한 유틸리티 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 건강 지표들은, 상기 파트들의 고장 발생 횟수 및 고장 발생 주기로부터 산출되는 알람 지표와, 상기 파트들의 수명으로부터 산출되는 수명 지표와, 센서들에 의해 측정되는 상기 파트들의 동작 성능으로부터 산출되는 부품 이상 지표와, 상기 프로브 스테이션의 정비 이전과 이후 각 1매의 웨이퍼 검사 공정에서 수집되는 데이터와 기준 데이터 사이의 비교 결과로부터 산출되는 매칭률 지표를 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템은, 상기 건강 지표들의 생성을 위한 건강 지표 생성부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 건강 지표 생성부는 상기 파트들의 고장 발생 횟수를 카운트하되, 고장이 발생된 파트에 연계된 다른 파트의 고장 발생 횟수는 제외할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템은, 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 시각화하기 위한 디스플레이 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 건강도 산출부는 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 그래프 형태로 상기 디스플레이 유닛을 통해 시각화할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 프로브 스테이션의 건강도는 상기 유닛들의 건강도에 기초하여 산출될 수 있으며, 상기 유닛들의 건강도는 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 산출될 수 있다. 상기 파트들의 건강도는 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 가중치를 적용하여 산출될 수 있다. 상기 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템은 상기와 같은 방법으로 산출된 상기 프로브 스테이션의 건강도에 따라 상기 프로브 스테이션의 정비 시기를 결정할 수 있다. 결과적으로, 상기 프로브 스테이션의 건강도에 기초하여 예측 정비가 가능해지며, 이에 따라 예상치 못한 고장에 의한 문제점들이 크게 감소될 수 있다.
도 1은 반도체 소자들의 전기적인 검사를 위한 프로브 스테이션을 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 스테이션의 예측 정비 방법을 설명하기 위한 블록도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 도 3에 도시된 건강도 산출부에 의해 산출된 프로브 스테이션의 건강도와 각 유닛들의 건강도를 보여주는 디스플레이 유닛을 설명하는 개략도이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.
본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.
본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
도 1은 반도체 소자들의 전기적인 검사를 위한 프로브 스테이션을 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 스테이션의 예측 정비 방법을 설명하기 위한 블록도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 프로브 스테이션(100)은 프로브 카드(110)를 이용하여 웨이퍼(10) 상에 형성된 반도체 소자들을 전기적으로 검사하기 위해 사용될 수 있다. 상기 프로브 스테이션(100)은, 상기 반도체 소자들에 대한 검사 공정이 수행되는 검사 챔버(102)와, 상기 검사 챔버(102) 내에 배치되며 상기 웨이퍼(10)를 지지하기 위한 스테이지(120)와, 상기 웨이퍼(10)를 상기 스테이지(120) 상에 공급하기 위한 로더(130)와, 상기 반도체 소자들의 종류에 따라 상기 프로브 카드(110)를 교체하기 위한 카드 교체 유닛(140)과, 전원 공급 및 공정 가스 공급 등을 위한 유틸리티 유닛(미도시), 등과 같이 상기 프로브 스테이션(100)을 구성하는 유닛들을 포함할 수 있다. 아울러, 상기 유닛들은, 도 2에 도시된 바와 같이, 모터, 실린더(공압 또는 유압), 밸브, 센서, 제어부(온도, 압력, 유량, 등)와 같은 파트들로 구성될 수 있다.
상세히 도시되지는 않았으나, 상기 스테이지(120)는 상기 웨이퍼(10)를 진공 흡착하기 위한 진공척과, 상기 웨이퍼(10)의 온도를 조절하기 위한 히터와 냉각 기구와, 상기 웨이퍼(10)의 위치 조절을 위해 상기 진공척을 수직 및 수평 방향으로 이동시키고 회전시키기 위한 척 구동부 등을 포함할 수 있다. 상기 로더(130)는 상기 웨이퍼(10)의 이송을 위한 웨이퍼 이송 로봇(132)과, 상기 웨이퍼 이송 로봇(132)이 배치되는 웨이퍼 이송 챔버(134)와, 복수의 웨이퍼들이 수납되는 카세트가 놓여지는 로드 포트 등을 포함할 수 있다. 상기 카드 교체 유닛(140)은 상기 프로브 카드(110)를 반출하고 새로운 프로브 카드를 반입하기 위한 카드 이송 기구를 포함할 수 있다. 상기 유틸리티 유닛은 전원 공급을 위한 전원 공급 장치와, 공정 가스, 예를 들면, 결로 방지를 위해 상기 검사 챔버(102) 내부로 공급되는 건조 공기, 온도 조절을 위해 공급되는 냉각 공기 등을 공급하기 위한 가스 공급 장치 등을 포함할 수 있다.
상기한 바에 더하여, 도시되지는 않았으나, 상기 프로브 스테이션(100)은 상기 프로브 카드(110)와 상기 웨이퍼(10) 사이의 정렬을 위한 카메라 유닛들, 상기 카메라 유닛들의 위치 조절을 위한 카메라 구동 기구들, 상기 검사 챔버(102) 상부에 테스터(104)를 도킹하기 위한 기구들, 상기 프로브 카드(110)의 장착 및 수평 조절을 위한 기구들, 등과 같은 다수의 부가 장치들을 구비할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 스테이션(100)의 예측 정비 시스템(200)과 예측 정비 방법은 상기와 같은 프로브 스테이션(100)의 동작 상태와 성능 정도 나타내는 건강도를 산출하고 산출된 건강도에 따라 상기 프로브 스테이션(100)의 정비 시기를 결정하기 위해 사용될 수 있다. 특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 예측 정비 방법 및 시스템(200)은 작업자가 항시 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도를 체크할 수 있도록 하고 또한 정비가 필요한 시기 및 즉시 정비가 필요한 경우 이를 작업자에게 알림으로써 예상치 못한 고장 발생에 의한 문제점들을 사전에 방지할 수 있도록 할 수 있다.
상기 프로브 스테이션(100)의 예측 정비 시스템(200)은, 상기 프로브 스테이션(100)을 구성하는 상기 유닛들의 건강도를 산출하고 상기 유닛들의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도를 산출하는 건강도 산출부(220)와, 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션(100)의 정비 시기를 결정하는 예측 정비 판단부(230)를 포함할 수 있다. 특히, 상기 건강도 산출부(220)는 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 상기 유닛들의 건강도를 산출할 수 있으며, 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 기 설정된 가중치들을 각각 적용하고 상기 가중치들이 적용된 건강 지표들을 합산하여 상기 파트들 각각의 건강도를 산출할 수 있다.
상기 건강 지표들은, 상기 파트들의 고장 발생 횟수 및 고장 발생 주기로부터 산출되는 알람 지표와, 상기 파트들의 수명으로부터 산출되는 수명 지표와, 센서들에 의해 측정되는 상기 파트들의 동작 성능으로부터 산출되는 부품 이상 지표와, 상기 프로브 스테이션(100)의 정비 이전과 이후 각 1매의 웨이퍼 검사 공정에서 수집되는 데이터와 기준 데이터 사이의 비교 결과로부터 산출되는 매칭률 지표를 포함할 수 있다.
상기 프로브 스테이션(100)의 예측 정비 시스템(200)은 상기 파트들의 건강 지표들을 생성하기 위한 건강 지표 생성부(210)를 포함할 수 있다. 상기 알람 지표의 경우 각 파트의 고장 발생 횟수와 고장 발생 주기 등을 수치화함으로써 생성될 수 있으며, 상기 수명 지표의 경우 각 파트의 사용 시간과 잔존 수명, 동작 횟수, 그리스(grease)와 같은 윤활유 주입 횟수 등을 수치화함으로써 생성될 수 있다. 상기 부품 이상 지표의 경우에는 각 파트들의 동작 상태, 예를 들면, 위치, 이동 속도, 온도, 압력, 유량, 전압, 전류 등을 복수 센서들을 이용하여 측정한 값들을 수치화함으로써 생성될 수 있다. 마지막으로, 상기 매칭률 지표는, 웨이퍼 1매의 검사 공정에서 각 파트들의 동작 상태에 대한 기준 데이터를 마련하고, 정비가 이루어지기 이전과 이후 각 1매의 웨이퍼의 검사 공정에서 각각 수집되는 데이터를 상기 기준 데이터와 비교하며, 상기 비교 결과에 기초하여 산출될 수 있다.
상기와 같은 방법으로 상기 건강 지표 생성부(210)에 의해 상기 파트들 각각에 대한 건강 지표들이 생성된 후, 상기 건강도 산출부(220)는, 상기 건강 지표들에 각각 가중치들을 적용하고, 상기 가중치들이 적용된 건강 지표들을 합산함으로써 상기 파트들 각각의 건강도를 수치화할 수 있다.
한편, 상기 알람 지표의 경우 특정 파트에서 고장이 발생될 경우 상기 고장이 발생된 파트와 연계된 다른 파트의 고장은 고장 회수로 카운트하지 않을 수 있다. 일 예로서, 공압 실린더 파트에 공급되는 공기 압력이 기 설정된 범위 보다 낮은 경우 공기압 센서는 알람 신호를 발생시킬 수 있으며, 이 경우 상기 공압 실린더 파트에 의해 구동되는 다른 파트가 기 설정된 위치에 도달되지 않거나 정지될 수 있고, 이 경우 상기 다른 파트의 위치를 검출하기 위한 정위치 센서가 상기 공기압 센서의 알람 신호에 연계하여 정위치 불량을 알리는 제2 알람 신호를 발생시킬 수 있다. 상기와 같은 경우, 상기 정위치 센서의 알람 신호에 대하여는 별다른 조치를 취할 필요가 없으므로, 상기 건강 지표 생성부(210)는 상기 연계된 제2 알람 신호는 별도로 카운트하지 않을 수 있다. 즉, 상기 건강 지표 생성부(210)는 상기 파트들의 고장 발생 횟수를 카운트하되, 고장이 발생된 파트에 연계된 다른 파트의 고장 발생 횟수는 카운트에서 제외할 수 있다.
상기 건강도 산출부(220)는, 상기 파트들의 건강도를 산출한 후, 상기 각 유닛들을 구성하는 파트들의 건강도를 평균하여 상기 유닛들 각각의 건강도를 산출할 수 있다. 상기와 다르게, 상기 건강도 산출부(220)는 상기 파트들의 건강도 산출 방법과 유사하게, 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 건강도에 각각 기 설정된 가중치들을 적용한 후, 이들을 합산함으로써 상기 유닛들의 건강도를 산출할 수도 있다.
또한, 상기 건강도 산출부(220)는, 상기 유닛들의 건강도를 산출한 후, 상기 유닛들의 건강도를 평균하여 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도를 산출할 수 있다. 상기와 다르게, 상기 건강도 산출부(220)는 상기 파트들의 건강도 산출 방법과 유사하게, 상기 유닛들의 건강도에 각각 기 설정된 가중치들을 적용한 후, 이들을 합산함으로써 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도를 산출할 수도 있다.
상기 예측 정비 판단부(230)는 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도 산출 결과에 기초하여 상기 프로브 스테이션(100)의 정비 시기를 판단할 수 있다. 예를 들면, 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도가 90 이상인 경우 상기 프로브 스테이션(100)의 현재 건강도가 양호한 상태(Good)인 것으로 판단하고, 75 이상 90 미만인 경우 근시일 내에 정비가 필요한 경고 상태(Warning)인 것으로 판단하여 해당 수치에 따라 정비 일자를 예측하여 결정할 수 있다. 아울러, 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도가 75 미만인 경우 상기 예측 정비 판단부(230)는 상기 프로브 스테이션(100)의 즉시 정비가 필요한 위험 상태(Danger)인 것으로 판단하여 이를 작업자에게 알릴 수 있다. 특히, 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도가 위험 상태인 경우 상기 예측 정비 판단부(230)는 상기 프로브 스테이션(100)의 동작을 정지시킬 수 있으며 경보 램프, 부저(buzzer) 등을 통해 작업자에게 위험 상태를 알릴 수 있다.
또한, 상기 예측 정비 판단부(230)는 상기 유닛들 중 적어도 하나의 건강도가 위험 상태인 경우 전체 설비에 대한 영향을 고려하여 나머지 유닛들이 양호한 상태라 하더라도 상기 프로브 스테이션(100) 전체에 대하여 즉시 정비가 필요한 것으로 판단할 수 있다. 이와 다르게, 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 경우 건강도가 위험 상태인 파트에 대하여만 정비가 필요한 것으로 판단할 수 있다. 특히, 각 유닛들을 구성하는 파트들 중 어느 하나의 건강도가 위험 상태인 것으로 산출되고, 이에 의해 상기 위험 상태인 파트를 포함하는 유닛의 건강도가 크게 낮아지더라도 해당 파트만을 정비하도록 판단함으로써 전체 프로브 스테이션(100)의 가동률 저하를 방지할 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 건강도 산출부에 의해 산출된 프로브 스테이션의 건강도와 각 유닛들의 건강도를 보여주는 디스플레이 유닛을 설명하는 개략도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 프로브 스테이션(100)의 예측 정비 시스템(200)은 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 시각화하기 위한 디스플레이 유닛(240)을 구비할 수 있다. 일 예로서, 상기 건강도 산출부(220)는 상기 디스플레이 유닛(240)을 통해 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 그래프 형태, 예를 들면, 막대 그래프 형태로 시각화할 수 있다. 이때, 상기 프로브 스테이션(100)과 상기 유닛들의 건강도는 막대 그래프의 높이로 표시될 수 있으며, 아울러 작업자가 보다 용이하게 인지할 수 있도록 색상으로 건강도를 표시할 수 있다. 예를 들면, 건강도가 양호 상태인 경우 그래프가 녹색으로 표시될 수 있고, 경고 상태인 경우 황색 그리고 위험 상태인 경우 적색으로 표시될 수 있다.
또한, 상기 디스플레이 유닛(240)은 각 파트들의 수치화된 건강도를 표시할 수 있다. 예를 들면, 도시된 바와 같이 각 유닛들을 구성하는 파트들의 건강도는 각 유닛들의 건강도를 나타내는 그래프의 하단에 표시될 수 있다. 아울러, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 파트들의 건강도는 양호와 경고 및 위험 상태들에 따라 각각 파트들의 명칭과 건강도 수치가 색상으로, 예를 들면, 녹색과 황색 및 적색으로 표시될 수 있다. 아울러, 도시되지는 않았으나, 상기 디스플레이 유닛(240)은 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도가 경고 상태인 경우 건강도 수치에 따라 상기 예측 정비 판단부(230)에 의해 결정된 정비 예정 시기를 표시할 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도는 상기 유닛들의 건강도에 기초하여 산출될 수 있으며, 상기 유닛들의 건강도는 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 산출될 수 있다. 상기 파트들의 건강도는 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 가중치를 적용하여 산출될 수 있다. 상기 프로브 스테이션(100)의 예측 정비 시스템(200)은 상기와 같은 방법으로 산출된 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도에 따라 상기 프로브 스테이션(100)의 정비 시기를 결정할 수 있다. 결과적으로, 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도에 기초하여 예측 정비가 가능해지며, 이에 따라 예상치 못한 고장에 의한 문제점들이 크게 감소될 수 있다.
또한, 상기 프로브 스테이션(100)의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 디스플레이 유닛(240)을 통해 시각화함으로써 작업자들이 상기 프로브 스테이션(100)의 현재 상태를 보다 정확하게 인지할 수 있도록 하며, 이를 통해 상기 프로브 스테이션(100)의 정비 시기를 놓치지 않도록 할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 웨이퍼 100 : 프로브 스테이션
102 : 검사 챔버 110 : 프로브 카드
120 : 스테이지 130 : 로더
140 : 카드 교체 유닛 200 : 예측 정비 시스템
210 : 건강 지표 생성부 220 : 건강도 산출부
230 : 예측 정비 판단부 240 : 디스플레이 유닛

Claims (15)

  1. 프로브 스테이션을 구성하는 유닛들의 건강도를 산출하는 단계;
    상기 유닛들의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 건강도를 산출하는 단계; 및
    상기 프로브 스테이션의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 정비 시기를 결정하는 단계를 포함하되,
    상기 유닛들 각각의 건강도는 상기 각각의 유닛들을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 산출되고,
    상기 파트들 각각의 건강도는, 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 기 설정된 가중치들을 각각 적용하고, 상기 가중치들이 각각 적용된 건강 지표들을 합산함으로써 산출되며,
    상기 건강 지표들은 상기 프로브 스테이션의 정비 이전과 이후 각 1매의 웨이퍼 검사 공정에서 수집되는 데이터와 기준 데이터 사이의 비교 결과에 기초하는 매칭률 지표를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 건강 지표들은 상기 파트들의 고장 발생 횟수 및 고장 발생 주기로부터 산출되는 알람 지표를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 파트들의 고장 발생 횟수에서 고장이 발생된 파트에 연계된 다른 파트의 고장 발생 횟수는 제외하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 건강 지표들은 상기 파트들의 수명으로부터 산출되는 수명 지표를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 건강 지표들은 센서들에 의해 측정되는 상기 파트들의 동작 성능으로부터 산출되는 부품 이상 지표를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 방법.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서, 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 시각화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션 예측 정비 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도는 디스플레이 유닛을 통해 그래프 형태로 표시되는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션 예측 정비 방법.
  9. 프로브 스테이션을 구성하는 유닛들의 건강도를 산출하고 상기 유닛들의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 건강도를 산출하는 건강도 산출부; 및
    상기 프로브 스테이션의 건강도에 기초하여 상기 프로브 스테이션의 정비 시기를 결정하는 예측 정비 판단부를 포함하되,
    상기 건강도 산출부는, 상기 유닛들 각각을 구성하는 파트들의 건강도에 기초하여 상기 유닛들의 건강도를 산출하며, 상기 파트들 각각의 건강 지표들에 기 설정된 가중치들을 각각 적용하고 상기 가중치들이 적용된 건강 지표들을 합산하여 상기 파트들 각각의 건강도를 산출하며,
    상기 건강 지표들은, 상기 프로브 스테이션의 정비 이전과 이후 각 1매의 웨이퍼 검사 공정에서 수집되는 데이터와 기준 데이터 사이의 비교 결과로부터 산출되는 매칭률 지표를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 상기 유닛들은, 웨이퍼를 지지하기 위한 스테이지와, 상기 웨이퍼를 공급하기 위한 로더와, 상기 웨이퍼의 검사를 위한 프로브 카드의 교체를 위한 카드 교체 유닛과, 전원 공급 및 공정 가스 공급을 위한 유틸리티 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템.
  11. 제9항에 있어서, 상기 건강 지표들은,
    상기 파트들의 고장 발생 횟수 및 고장 발생 주기로부터 산출되는 알람 지표와,
    상기 파트들의 수명으로부터 산출되는 수명 지표와,
    센서들에 의해 측정되는 상기 파트들의 동작 성능으로부터 산출되는 부품 이상 지표를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템.
  12. 제11항에 있어서, 상기 건강 지표들의 생성을 위한 건강 지표 생성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템.
  13. 제12항에 있어서, 상기 건강 지표 생성부는 상기 파트들의 고장 발생 횟수를 카운트하되, 고장이 발생된 파트에 연계된 다른 파트의 고장 발생 횟수는 제외하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템.
  14. 제9항에 있어서, 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 시각화하기 위한 디스플레이 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템.
  15. 제14항에 있어서, 상기 건강도 산출부는 상기 프로브 스테이션의 건강도와 상기 유닛들의 건강도를 그래프 형태로 상기 디스플레이 유닛을 통해 시각화하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션의 예측 정비 시스템.
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