JP2006153140A

JP2006153140A - 微小流量制御装置

Info

Publication number: JP2006153140A
Application number: JP2004344434A
Authority: JP
Inventors: Kotohiko Sekoguchi; 言彦世古口
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2004-11-29
Filing date: 2004-11-29
Publication date: 2006-06-15

Abstract

【目的】直線状又は略直線状の絞り溝を用いてマイクロサイズの反応器やナノサイズの反応器などの超微細技術に活用できる、流体の微小流量を正確に制御できる微小流量制御装置を開発する。
【構成】本発明に係る微小流量制御装置は、流体の微小流量を制御する絞り溝２４が直線状又は略直線状に形成され、しかもその断面が流体の流動方向に減少するように形成されているので、流体の微小流量を正確に制御することができる。絞り溝が直線状又は略直線状であるから、絞り溝の加工が容易になり、しかも流量調整部材により絞り溝の任意断面を調整し易く、微小流量制御を容易且つ正確に行える。
【選択図】図１

Description

本発明は、液体や気体の流量を制御する流量制御装置に関し、更に詳細には、マイクロサイズ等の極微小サイズの流路・流体動作環境・反応器等における流体（液体や気体）の微小流量を制御する微小流量制御装置に関する。

近年、半導体技術やナノ技術等に代表される超微細技術が新しい技術として注目されている。こうした技術動向の中で、反応容積がナノリッターからマイクロリッターの微細空間における化学反応、いわゆるマイクロリアクタを対象として反応収率の向上、反応時間の短縮、環境負荷の軽減などを目的とした新しい研究開発が推進されようとしている。このような微細空間に供給する液体あるいは気体については、既存の技術にはない微小かつ正確な流量制御が不可欠とされている。

従来、流体の微小流量調整に使用される弁の形式としては、通常、ニードル弁タイプが用いられる。ニードル弁は、弁の開放後に流量が急激に増大するため、前記した微細空間に供給される流量、例えば、液体については最大流量が１０ｍｌ／ｍ〜１ｍｌ／ｍ、気体については１〜０．０１ｓｃｃｍの微小流量を調整する手段として使用することは困難であり、従ってこのような目的に適した新しい微小流量制御技術の開発が必要となっている。

ニードル弁タイプとは異なる方式の微小流量制御弁の先行技術として、特開２００１−１８７９７７号（特許文献１）及び特開２００３−２７８９３４号（特許文献２）が公表されている。この先行技術のいずれもが絞り溝を円弧状に配置した形状を特徴としている。
特開２００１−１８７９７７号公報特開２００３−２７８９３４号公報

図１２は特許文献１に記載されている従来の電動流量制御弁の縦断面図である。電動流量制御弁２００はステップロータを駆動源として、ロータ組立体２０１と弁本体組立体２０２とロータ組立体２０１の外周に配置されたコイル組立体２０６から構成されている。弁本体組立体２０２は筒状の弁室２０７を備え、その軸線方向直下に出口継手２１２が設けられ、弁室２０７と入口継手２１４の境界部に弁座２０８が形成されている。弁座２０８に隣接して弁体２１０が密接回動可能に配置され、弁室２０７の側部に形成された入口継手２１４から流入した流体の流量を制御する。

図１３は、図１２の電動流量制御弁における弁本体の組立分解斜視図である。弁本体は中心軸Ｚを中心として弁座２０８と弁体２１０から構成され、弁座２０８と弁体２１０との間には絞り溝２２４を形成した金属弁２２２が配置されている。弁座２０８には出口流路２０８ａが設けられ、弁体２１０には入口流路用溝部２１０ｃが形成されている。入口継手２１４から流入した流体は、弁体２１０に形成された入口流路用溝部２１０ｃを経て、金属弁２２２に形成された絞り溝２２４に導かれ、弁座２０８にある出口流路２０８ａの軸Ｚを中心とする回転角度により流量を制御され、弁座２０８に形成されたＬ字状の出口流路２０８ａから出口継手２１２へ導かれる。この弁座２０８の回転は上部に配置されたステップモータにより行われる。

図１４は、図１２の電動流量制御弁における弁本体の金属弁２２２に形成された絞り溝２２４の平面図である。Ｚ軸を中心として半径Ｒの円弧上に絞り溝２２４が形成され、深さは一定で、幅は先端部が最大で後端部に向かって次第に狭くなる形状を有している。絞り溝２２４の始端２２４ａには、入口流路用溝部２１０ｃに連通する貫通孔２０９が形成されている。この貫通孔２０９から導入された流体の流量は、弁座２０８に形成されたＬ字状の出口流路２０８ａのＺ軸を中心とする回転角度により制御される。即ち、流体の流量は、出口流路２０８ａにより形成される絞り溝２２４の断面積（幅×深さ）及び貫通孔２０９から出口流路２０８ａまでの、通過する絞り溝の長さによって受ける流動抵抗に影響される。

従って、流体流量を微小に調整するためには、弁座２０８を微小回転することが重要になる。しかし、回転による円周変位量は円半径と回転角度の積に比例するので、円半径が大きい場合には回転角度量は相対的に小さくなる。一般に、ニードル弁に限らず、図１２の電動流量制御弁の場合にも、開弁直後の流量の急増が起こりやすい。このため、開弁直後の極めて僅かな円周変位量を精細に調整するには、回転角度もまた精細に制御する必要があるが、円半径が大きい場合には回転角度の調整を一層微細としなければならなくなり、それだけ微小流量制御が難しくなることを意味している。他方、円半径が小さい場合には、そのような円弧状絞り溝を正確に刻設することが逆に困難になる。従って、円弧状絞り溝では、円半径が必然的に大きくなり、微小角度制御の困難性が出現する。

一方、特開２００３−２７８９３４号（特許文献２）に記載されている電動流量制御弁は上部弁と下部弁から構成され、上部弁の開閉により流体圧力を下部弁に付加して弁の密閉性を高めている。しかし、特許文献１に記載の電動流量制御弁と機構的に同様であるから、上記と同様の問題点を有している。本発明者等は、この様な問題を解決すべく鋭意研究した結果、上記従来技術を根本的に見直し、単純な機構及び構造を有する微小流量制御弁に着目して、本発明を完成させたものである。

従って、本発明の目的は、加工が簡単な直線状又は略直線状の絞り溝を用いて、微小流量を正確に制御することができる微小流量制御装置を開発し、マイクロサイズの反応器やナノサイズの反応器等の超微細技術を初め、微小流量を必要とする全ての技術に対して活用できる微小流量制御装置を提供することである。

本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、本発明の第１の形態は、流体を導入する流入路と、この流入路から導入された流体を流動させる絞り溝と、この絞り溝は直線状又は略直線状に形成され、しかもその断面は流体の流動方向に断面が減少するように形成され、前記絞り溝を所望の位置まで密閉できる流量調整部材と、この流量調整部材により形成される前記絞り溝の所望断面である流体流出口と、この流体流出口から流出する流体を導出する流出路から構成される微小流量制御装置である。

本発明の第２の形態は、絞り溝が弁体の平面に形成され、流量調整部材が前記平面上を摺接する流量調整スライダであり、弁体と流量調整スライダを相対移動自在に設けた微小流量制御装置である。

本発明の第３の形態は、絞り溝が軸状部材の外周面に軸方向に形成され、流量調整部材が前記軸状部材の外周面に摺接する流路部材であり、軸状部材と流路部材を軸方向に相対移動自在に設けた微小流量制御装置である。

本発明の第４の形態は、絞り溝の断面形状が半円形、三角形、矩形又は台形である微小流量制御装置である。

本発明の第５の形態は、流量調整スライダに加圧装置が付設され、流量調整スライダと弁体平面との接触圧を調節できる微小流量制御装置である。

本発明の第１の形態によれば、流体の微小流量を制御する絞り溝が直線状又は略直線状に形成され、しかもその断面が流体の流動方向に減少するように形成されているので、比較的に加工が簡単である。直線加工や略直線加工は、半導体加工技術や放電加工技術・エッチング加工技術により高精度に実現でき、円弧状加工に比べて加工精度を格段に向上させることが可能である。例えば、絞り溝の長さがミリオーダー・ミクロンオーダーであり、溝幅がミクロンオーダーの微小サイズであっても、絞り溝を設計通りに正確に加工することが可能である。また、直線・略直線状の絞り溝に対し流量調整部材を進退制御するだけで、絞り溝の所望断面を流体流出孔に設定でき、且つ流体流出孔までの長さを設定することによって、流体が絞り溝を通過する時に受ける流動抵抗を調整することができるから、流量調整が簡単且つ正確に実現できる。従来のように、回転制御では各部材の軸を一致させて回転制御する必要があったが、本発明の進退制御では、流量調整部材の幅方向制御は不要になり、前後方向への進退制御だけで済み、制御系の簡素化が可能になる。また直線・略直線状の絞り溝は、円弧状絞り溝と比較して、制御装置の構造が比較的簡単になるから、メンテナンスや耐久性の観点からも優れている。なお、高精度な加工が可能であるなら、上記以外の加工技術を用いても良いことは勿論である。

本発明の第２の形態によれば、流体の微小流量を制御する絞り溝が弁体の平面に形成され、この絞り溝が形成された弁体の平面に流量調整部材である流量調整スライダが摺接され、弁体と流量調整スライダが相対移動自在に設けられているので、流量調整スライダの位置を微小に変化させるだけで、流体の微小流量制御が容易になる。流体の漏洩防止のために前記流量調整スライダは前記弁体平面に密着摺接してもよいし、スライダと弁体平面間にパッキング等の漏洩防止用の中間部材を介装してもよい。絞り溝が直線状又は略直線状に形成され、その断面が絞り溝の始端から終端に向かって減少し、流動抵抗を生じる溝の長さは流量調整スライダを絞り溝の始端から終端に向かって移動させるにつれて増加するので、流量調整スライダを絞り溝の直線方向に微小変位させることにより、絞り溝の任意の断面積と長さとを正確に選択でき、微小流量の高精度制御を実現できる。

本発明の第３の形態によれば、流体の微小流量を制御する絞り溝が軸状部材の外周面に軸方向に形成され、流量調整部材が前記軸状部材の外周面に摺接する流路部材で構成されているので、前記絞り溝と流量調整部材との密着度は高く、流体の漏流が発生することがない。従って、流体の微小流量を高精度に制御することができるだけでなく、絞り溝と流量調整部材との密着度を高める為の圧接装置が不要になり、制御装置を安価に製作することができる。また、機構が簡単なので耐久性やメンテナンスにおいても利点がある。

本発明の第４の形態によれば、流体の微小流量を制御する絞り溝の断面形状は特定の形状とすることなく、半円形、三角形、矩形又は台形等の各種に形成することができるので、加工方法に適した断面形状を選択できる。半円形の場合には、角部が無いため付着物を生じにくい利点がある。

本発明の第５の形態によれば、流量調整スライダに加圧装置が付設でき、流量調整スライダと弁体平面との接触圧を調節することができる。その結果、流体の流入口と流出口との圧力差に応じて流量調整スライダと弁体平面との接触圧を調節し、流量調整スライダと弁体平面との高密着度を維持することができる。流体の漏流が発生しないので精度の高い流量制御が可能となり、流体の種類や制御条件に応じて流量調整スライダと弁体との接触圧を調整できるので、流体の微小流量を正確に制御することができる。

以下に、本発明に係る微小流量制御装置の実施形態を図面に従って詳細に説明する。

図１は本発明に係る微小流量制御装置の概略説明図である。この微小流量制御装置の基本構造は、弁体２３とその上面をスライドする流量調整スライダ１２から構成されている。弁体２３には流体の流量を制御する絞り溝（バルブチャンネル）２４が流量調整スライダ１２と摺接する面に形成され、流体の流入口２６と流出口２８が設けられている。この絞り溝２４はバルブチャンネルとも呼ばれる。絞り溝２４は始点２４ａから終点２４ｂに向かって細く絞られた溝で、その断面積が減少するように形成されている。

図２は本発明に係る微小流量制御装置の概略説明図の横断面図である。流体は弁体２３に設けられた流入口２６から流入し、絞り溝２４へ導入され、流量調整スライダ１２の水平移動により形成される絞り溝２４の開口部断面２５と流体の流路長Ｌｑにより可変的に制御される。流量調整スライダ１２が絞り溝２４の始端点２４ａ方向に水平移動すると流体の流量は増加し、逆に、絞り溝２４の終端２４ｂ方向に水平移動すると減少する。制御された流体は弁体２３に設けられた流出口２８から流出される。

図３は軸状部材と流路部材により構成された本発明に係るニードル弁型微小流量制御装置の概略拡大説明図である。（３Ａ）は停止状態におけるニードル弁型微小流量制御装置の縦断面図である。ニードル弁型微小流量制御装置１１０は、軸状部材から形成された軸状弁体１２３とこの軸状部材の外周面に密着状に摺接する流路部材から形成された流量調整スライダ１１２から構成されている。軸状弁体１２３には軸状絞り溝１２４が設けられ、流体の微小流量を制御するために、軸状弁体１２３の始端１２３ａから終端１２３ｂに向かって断面積が減少するように形成されている。（３Ｂ）は停止状態におけるニードル弁型微小流量制御装置のａａ’線における断面図である。軸状弁体１２３に形成された軸状絞り溝１２４が密着状に摺接する流量調整スライダにより密閉されている。（３Ｃ）は開放状態におけるニードル弁型微小流量制御装置の縦断面図である。軸状弁体１２３を上方に摺動させてその始端１２３ａから導入され流体を、流量調整スライダ１１２の外縁部１１２ａにより形成される軸状絞り溝１２４の開口部断面１２５まで流通させ、その間の溝の断面積と長さとを調整することによって微小流量の制御を行なう。

図４は本発明に係る微小流量制御装置の弁体２３に形成された絞り溝２４の簡略斜視図である。（４Ａ）は絞り溝２４の断面の形状が半円形である絞り溝２４の簡略斜視図である。絞り溝２４の形状は、始端２４ａの断面が最大で終端２４ｂに行くほど小さくなるよう絞られている。始端２４ａと終端２４ｂとの距離をＬ_０とし、流量調整スライダ１２の水平移動により形成される開口部断面２５と終点２４ｂとの距離はＬとし、開口部断面２５の直径はＤとする。（４Ｂ）は絞り溝２４の断面の形状がＶ字型である絞り溝２４の簡略斜視図である。（４Ｃ）は絞り溝２４の断面の形状が矩形である絞り溝２４の簡略斜視図である。（４Ｄ）は絞り溝２４の断面の形状が逆台形型である絞り溝２４の簡略斜視図である。上記絞り溝２４の断面形状の中で本実施例では半円形を使用しているが、上記以外の断面形状も適宜選択することができる。

実施例として、本発明に係る微小流量制御装置の駆動体に圧電体を用いた場合と、ステップモータを用いた場合を挙げた。これらの微小流量制御装置の弁本体は全く同構造である。

図５は実施例１における圧電体の駆動による微小流量制御装置の縦断面図である。微小流量制御装置２は弁本体１０とそれを作動させる駆動体３０から構成され、駆動体３０は弁本体１０にボルトなど公知の方法で固着されている。例えば、接着法、融着法、圧着法などが利用できる。

弁本体１０はブロックＡとブロックＢから形成され、ブロックＡには流量調整スライダ１２が配置され、ブロックＢは弁体２３を構成し流量調整スライダ１２との摺接面に絞り溝２４が形成されている。流量調整スライダ１２にはコイルバネ１６が配置され、圧力板１４を介して流量調整スライダ１２に鉛直方向の分力を付与している。圧力板１４と流量調整スライダ１２との間には緩衝材２２が設けられ、流量調整スライダ１２の水平方向運動の円滑性と鉛直方向の分力の調整を図っている。弁体２３には流入口２６と流出口２８が配置され、流入口２６は絞り溝２４の始端２４ａと連通している。流入口２６から導入された流体は、終端２４ｂが絞られた絞り溝２４を通過して、流量調整スライダ１２により形成された絞り溝２４の断面積と長さとで構成される流動抵抗の大きさの調整により制御され、流量調整スライダ１２に形成された凹部１８を経て流出口２８から流出する。

弁本体１０を作動させる駆動体３０は、円筒状部材３１から構成され内部に弁棒３２が配置されている。円筒状部材３１と弁棒３２との間には押圧バネ３４が設けられ、ロッド２０を介して基準位置である流量停止位置に流量調整スライダ１２を移動している。積層圧電体３６に電圧を印加すると積層圧電体３６の長さが伸び、弁本体１０に固定された固定部３８を基準面とし、弁棒３２が矢印方向に移動して、ロッド２０を介して流量調整スライダ１２を同方向に摺動させる。

図６は実施例１における微小流量制御装置の流量停止位置を表した弁本体の拡大縦断面図である。調整スライダ１２に形成された凹部１８の外縁部１８ａにより絞り溝２４は遮蔽されるので、流入口２６は密閉され導入された流体は停止する。弁体２３と流量調整スライダ１２の密着度はコイルバネ１６により圧力板１４を介して形成される。圧力板１４と流量調整スライダ１２との間には緩衝材２２が設けられ、コイルバネ１６の圧力を適度に調整している。流量調整スライダ１２は圧電体の水平方向の移動により、ロッド２０を介して水平方向に摺動する。

図７は実施例１における微小流量制御装置の流量制御位置を表した弁本体の拡大縦断面図である。弁体２３に摺接する流量調整スライダ１２をロッド２０により矢印の方向へ摺動して、流量調整スライダ１２に形成された凹部１８を介して流入口２６と流出口２８は連通し、流入口２６から導入された流体の流量は流量調整スライダ１２に設けられた凹部１８の外縁部１８ａにより形成された絞り溝２４の開口部断面２５の大きさにより制御され、凹部１８を経て流出口２８から流出する。

本実施例においては、密閉性及び磨耗性の観点から弁体２３には耐食性を有する金属を使用し、流量調整スライダ１２には軟質性の弾力性に富む合成樹脂を使用したが、密閉性及び耐磨耗性を有するならばその材質は問わない。緩衝材２２の材質は流量調整スライダ１２の水平方向運動の円滑性と鉛直方向の分力の調整を確保できる、弾力性に富む合成樹脂が好ましい。圧力板１４の材質についても緩衝材２２と同様である。

図８は実施例２に係るステップモータの駆動による微小流量制御装置の縦断面図である。ステップモータによる微小流量制御装置６０は、弁本体７０と弁本体７０を制御する回転駆動体８０と回転駆動体８０を外包するケース９０の外周に配置された電動コイル１００から構成されている。弁本体７０の構造は前記本実例１と同様であるので、以下の記述において弁本体については、本実施例１と同じ番号を使用する。

回転駆動体８０はマグネット８２と一体的に形成されたロータ８４と、ロータ８４の回転運動を上下運動に変換するマイクロネジ８６から構成されており、ロータ８４は合成樹脂製で軽量に形成され、ケース９０の軸受け９２とマイクロネジ８６の上端部により支持され、水平方向に回転する構造になっている。マイクロネジ８６は軸受け台８７にベアリング８８により固定され、ロータ８４の回転運動を鉛直方向の運動に微小変換でき、ロッド２０を介して弁本体の流量調整スライダを微小摺動させることができる。この実施例ではロータ８４の回転範囲を制限するためにストッパー８９を設けている。しかし、制限範囲を設けることは必ずしも必要ではなく、与えられた条件を満足するようにストッパーを設けたり、設けなかったりすることが適宜選択できる。この実施例では、ストッパー８９を調整することによりロッド２０の上下移動範囲を１０ｍｍ以上に設計しているが、所望の流量を調節するために、移動範囲は適宜設計できるものである。

図９は実施例２に係るステップモータの駆動による微小流量制御装置の弁本体の拡大縦断面図である。弁本体７０の構造は実施例１と同様であるが、ロッド２０を鉛直軸方向に配置できるので、流入口２６及び流出口２８を水平方向に配置できる。

図１０は本実施例２に係るステップモータの駆動による微小流量制御装置の弁本体の拡大斜視図である。弁本体１０の構造は本実施例１と同様であり、ブロックＡとブロックＢから構成され、ブロックＡには流量調整スライダ１２が配置され、ロッド２０を介して鉛直方向に移動する構造になっている。ブロックＢは弁本体１０のベースとなる弁体２３を構成し、流入口２６と流出口２８が設けられている。絞り溝２４は流量調整スライダ１２に摺接するよう形成され、絞り溝２４の始端２４ａで流入口２６と連通している。流入口２６から導入された流体は、絞り溝２４の始端２４ａから終端２４ｂに導かれ、流量調整スライダ１２により形成された絞り溝２４の開口部断面２５の大小により微小流量に制御される。弁本体１０のブロックＡとブロックＢはボルトなどで接合され、弁本体１０の気密性はＯリング等により保持されている。

図１１は本実施例１における微小流量制御装置の弁本体の概略説明図である。Ｌ_０は絞り溝２４の全長を示し、リフトＬは絞り溝２４の終端２４ｂと流量調整スライダ１２の末端１２ａとの距離を示す。Ｄは絞り溝２４の半円形断面の直径を示す。流量調整スライダ１２を矢印方向に移動することによりリフトＬ及び絞り溝２４の直径Ｄは増加する。

全ての実施例において、液漏れ又はガス漏れを防止するために、前記流量調整スライダを前記弁体又は軸状部材と密着して摺接するように配設するか、若しくは前記流量調整スライダと弁体又は軸状部材との間に漏れ防止用のパッキング材を挿入してもよい。本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明を構成する成分要素を含んでおれば本発明の作用及び効果を奏するものである。従って、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種々の変形例、設計変更なども本発明の技術的範囲内に抱合されることは云うまでもない。

本発明に係る微小流量制御装置は流体の微小流量を正確に制御できるので、マイクロサイズやナノサイズのリアクタ管の超微細技術分野のみならず、ファインケミカル分野、ナノ技術分野、バイオ技術分野などの他、微小流量の制御を必要とする広範囲の先端技術分野に活用することができる。

本発明に係る微小流量制御装置の概略説明図である。本発明に係る微小流量制御装置の概略説明図の横断面図である。軸状部材と環状部材により構成された本発明に係る微小流量制御装置の概略拡大説明図である。本発明に係る微小流量制御装置の弁体に形成された絞り溝の簡略斜視図である。実施例１に係る圧電体の駆動による微小流量制御装置の横断面図である。実施例１に係る微小流量制御装置の流量停止位置における弁本体の拡大横断面図である。実施例１に係る微小流量制御装置の流量制御位置における弁本体の拡大横断面図である。実施例２に係るステップモータの駆動による微小流量制御装置の縦断面図である。実施例２に係るステップモータの駆動による微小流量制御装置の弁本体の拡大縦断面図である。実施例２に係るステップモータの駆動による微小流量制御装置の弁本体の拡大斜視図である。実施例における微小流量制御装置の弁本体の概略説明図である。。特許文献１に記載されている従来の電動流量制御弁の縦断面図である。図１２の電動流量制御弁における弁本体の展開図である。図１２の電動流量制御弁における弁本体の金属弁に形成された絞り溝の平面図である。

符号の説明

２微小流量制御装置
１０弁本体
１２流量調整スライダ
１４圧力板
１６コイルバネ
１８凹部
１８ａ外縁部
２０ロッド
２２緩衝材
２３弁体
２４絞り溝
２４ａ始端
２４ｂ終端
２５開口部断面
２６流入口
２８流出口
３０駆動体
３１円筒状部材
３２弁棒
３４押圧バネ
３６積層圧電体
３８固定部
６０ステップモータによる微小流量制御装置
７０弁本体
８０回転駆動体
８２マグネット
８４ロータ
８６マイクロネジ
８７軸受け台
８８ベアリング
８９ストッパー
９０ケース
１００電動コイル
１０２弁本体拡大図
１１０ニードル弁型微小流量制御装置
１１１弁本体拡大図
１１２環状流量調整スライダ
１１２ａ外縁部
１２３軸状弁体
１２３ａ始端
１２３ｂ終端
１２４軸状絞り溝
１２５開口部断面
２００電動流量制御弁
２０１ロータ組立体
２０２弁本体組立体
２０３マグネット
２０４ロータ
２０６コイル組立体
２０７弁室
２０８弁座
２０８ａ出口流路
２０９貫通孔
２１０弁体
２１０ｃ入口流路用溝部
２１２出口継手
２１４入口継手
２２２金属弁
２２４絞り溝
２２４ａ始端
Ａ断面積
Ｄ直径
ｋ比例定数
Ｌ^* 無次元リスト
Ｌリスト
Ｌ_０絞り溝の全長
Ｌｑ流体の流路長
Ｒ半径
Ｒｅレイノルズ数

Claims

流体を導入する流入路と、この流入路から導入された流体を流動させる絞り溝と、この絞り溝は直線状又は略直線状に形成され、しかもその断面は流体の流動方向に断面積が減少するように形成され、前記絞り溝を所望の位置まで密閉できる流量調整部材と、この流量調整部材により形成される前記絞り溝の所望断面である流体流出口と、この流体流出口から流出する流体を導出する流出路から構成されることを特徴とする微小流量制御装置。
前記絞り溝は弁体の平面に形成され、前記流量調整部材は前記平面上を摺接する流量調整スライダであり、弁体と流量調整スライダを相対移動自在に設けた請求項１に記載の微小流量制御装置。
前記絞り溝は軸状部材の外周面に軸方向に形成され、前記流量調整部材は前記軸状部材の外周面に摺接する流路部材であり、軸状部材と流路部材を軸方向に相対移動自在に設けた請求項１に記載の微小流量制御装置。
前記絞り溝の断面形状は半円形、三角形、矩形又は台形である請求項１、２又は３に記載の微小流量制御装置。
前記流量調整スライダに加圧装置が付設され、流量調整スライダと弁体平面との接触圧を調節できる請求項２に記載の微小流量制御装置。