JP2006147975A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ゲート電極16を含む半導体基板11の全面に第1絶縁膜17およびシリコン膜を順次積層する工程と、ゲート電極16の側面を除いてシリコン膜を選択除去した後、ゲート電極16の側面のシリコン膜を酸化して第1シリコン酸化膜18に変成する工程と、第1シリコン酸化膜18をマスクとして第1絶縁膜17を除去した後、ゲート電極16の両側に第1不純物層20、21を形成する工程と、ゲート電極16の側面に、第1シリコン酸化膜18より厚い側壁絶縁膜19を更に積層する工程と、側壁絶縁膜19をマスクとして、第2不純物層22、23を形成する工程を有する。
【選択図】 図1
Description
そのため、低濃度不純物をゲート電極側面に形成したサイドウォールをマスクとして導入する必要があるが、従来のサイドウォールの形成方法では、MISトランジスタの微細化に伴いゲート電極側面の絶縁膜が、例えば10nm以下と薄くなるにつれて、所望のサイドウォール形状が得られなくなるという問題がある。
その結果、ゲート電極の下部側面に反応生成物が再堆積してシリコン酸化膜が裾を引く形状となるので、イオン注入のマスクとなる最終的なサイドウォールの膜厚にばらつきが生じるという問題がある。
その結果、ゲート電極と不純物層との距離が略一定となるので、所望のエクステンション構造を有するMISトランジスタを安定して製造することができる。
従って、微細化によりチップサイズが小さく集積度の高い半導体装置を提供することができる。
また、第1シリコン酸化膜18の側壁面の両側でp型ウェル領域12表面には段差がないので、ゲート絶縁膜15の下面と第1不純物層20、21の表面とがp型ウェル領域12の表面である同一平面P上に形成されている。
始に、図2に示すように、トレンチに絶縁物を埋め込んで形成した絶縁分離溝13、14で電気的に分離されたp型ウェル領域12に、ゲート絶縁膜15およびゲート電極16を形成する。
エッチング条件を制御することにより、アモルファスシリコン膜30はシリコン酸化膜に比べてエッチングレートが顕著に大きく、且つ4nmと薄膜なので、短時間にエッチングが終了する。
その結果、ゲート電極16の下部側面のアモルファスシリコン膜30は第1絶縁膜17上に反応生成物の再堆積による裾引き部31を生じることなく、アモルファスシリコン膜30の下部側壁面がp型ウェル領域12の表面である平面Pに対してほぼ垂直な形状に加工される。
熱酸化により、アモルファスシリコン膜30は下部側壁面の垂直な形状を維持したまま堆積が膨張し、厚さ8nm程度の第1シリコン酸化膜18に変成する。
本実施例において、上記実施例1と同一の構成部分には同一符号を付してその説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。
本実施例が実施例1と異なる点は、第1絶縁膜17とアモルファスシリコン膜30との間に第2絶縁膜を形成したことにある。
このとき、第1シリコン酸化膜18も若干エッチングされるが、エッチング量は僅かなので第1シリコン酸化膜18の形状に影響を及ぼさない。
11 半導体基板
12 p型ウェル領域
13、14 絶縁分離溝
15 ゲート絶縁膜
16 ゲート電極
17 第1絶縁膜
18 第1シリコン酸化膜
19 側壁絶縁膜
20、21 第1不純物層
22、23 第2不純物層
30 アモルファスシリコン膜
31 裾引き部
32 段差部
40 第2絶縁膜
Claims (5)
- 半導体基板の主面にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極を含む前記半導体基板の主面上に第1絶縁膜およびシリコン膜を順次積層する工程と、
前記ゲート電極の側面を除いて前記シリコン膜を選択除去した後、前記ゲート電極の側面の前記シリコン膜を酸化して第1シリコン酸化膜に変成する工程と、
前記第1シリコン酸化膜をマスクとして前記半導体基板の主面上の前記第1絶縁膜を除去した後、前記半導体基板の主面に第1不純物層を形成する工程と、
前記ゲート電極側面に、前記第1シリコン酸化膜より厚い側壁絶縁膜を更に積層する工程と、
前記側壁絶縁膜をマスクとして、前記第1不純物層に隣接し、前記第1不純物層と同じ導電型で、且つ前記第1不純物層より不純物濃度の高い第2不純物層を形成する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の主面にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極を含む前記半導体基板の主面上に第1絶縁膜、前記第1絶縁膜と異なる第2絶縁膜およびシリコン膜を順次積層する工程と、
前記ゲート電極の側面を除いて前記シリコン膜を選択除去した後、前記ゲート電極の側面の前記シリコン膜を酸化して第1シリコン酸化膜に変成する工程と、
前記第1シリコン酸化膜をマスクとして前記半導体基板の主面上の前記第2絶縁膜および前記第1絶縁膜を順次除去した後、前記半導体基板の主面に第1不純物層を形成する工程と、
前記ゲート電極側面に、前記第1シリコン酸化膜より厚い側壁絶縁膜を更に積層する工程と、
前記側壁絶縁膜をマスクとして、前記第1不純物層に隣接し、前記第1不純物層と同じ導電型で、且つ前記第1不純物層より不純物濃度の高い第2不純物層を形成する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート電極の側面を除いて前記シリコン膜を選択除去する工程は、反応性イオンエッチング法によりおこなうことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1絶縁膜がシリコン窒化膜、前記側壁絶縁膜がシリコン窒化膜もしくはシリコン酸化膜であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 半導体基板の主面にゲート絶縁膜を介して形成されたゲート電極と、
前記ゲート電極の側面に順次積層された第1絶縁膜、第1シリコン酸化膜、および前記第1シリコン酸化膜より厚い側壁絶縁膜と、
前記側壁絶縁膜の下側の前記半導体基板の主面に形成された第1不純物層と、
前記第1不純物層に隣接し、前記第1不純物層と同じ導電型で、且つ前記第1不純物層より不純物濃度の高い第2不純物層と、
を具備し、
前記ゲート絶縁膜の下面と前記第1不純物層の表面とが略同一平面上にあり、且つ前記ゲート電極の下部側面の第1シリコン酸化膜の側壁面が前記平面に対して実質的に垂直な平面上にあることを特徴とする半導体装置。
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