JP2006138887A - 液晶パネル用対向基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液晶パネル用対向基板の製造方法であって、ウェハ基板14をステッパに載置するウェハ載置工程と、アライメントマークパターン転写工程と、マイクロレンズ用パターン転写工程と、マイクロレンズアレイ102、及びアライメントマーク104、106を形成するレンズ形成工程と、マイクロレンズアレイ102を覆い、かつアライメントマーク104、106を覆わない遮光膜16を形成する遮光膜形成工程と、アライメントマーク104、106を用いて位置合わせを行いつつ、ウェハ基板14をステッパに載置する位置合わせ工程と、ブラックマトリックスパターン転写工程と、ブラックマトリックス18を形成するブラックマトリックス形成工程とを備える。
【選択図】図1
Description
(構成1)液晶パネル用対向基板の製造方法であって、ステッパ用のレチクルであって、マイクロレンズアレイを形成するためのマイクロレンズ用パターンと、マイクロレンズ用パターンから離間した位置に形成されたアライメントマーク用パターンとを有するレチクルを準備する準備工程と、レジスト膜が形成されている透光性のウェハ基板を、ステッパに載置するウェハ載置工程と、ステッパによるパターン転写のための複数のショット位置を、ウェハ基板に設定するショット位置設定工程と、複数のショット位置から一部のショット位置を選択して、選択したショット位置に、アライメントマーク用パターンを転写するアライメントマークパターン転写工程と、複数のショット位置から、アライメントマーク用パターンが転写されたショット位置以外のショット位置を順次選択し、ウェハ基板上において選択したショット位置に対応する位置に、マイクロレンズ用パターンを転写するマイクロレンズ用パターン転写工程と、ステッパからウェハ基板を取り外し、転写されたアライメントマーク用パターン及びマイクロレンズ用パターンに基づき、ウェハ基板に、マイクロレンズアレイ、及びアライメントマークを形成するレンズ形成工程と、マイクロレンズアレイを覆い、かつアライメントマークを覆わない遮光膜を、ウェハ基板上に形成する遮光膜形成工程と、遮光膜上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、アライメントマークを用いて位置合わせを行いつつ、ウェハ基板をステッパに載置する位置合わせ工程と、遮光膜をブラックマトリックスの形状に加工するためのブラックマトリックスパターンを、当該ステッパにより、ウェハ基板に転写するブラックマトリックスパターン転写工程と、当該ステッパからウェハ基板を取り外し、転写されたブラックマトリックスパターンに基づき、ブラックマトリックスを形成するブラックマトリックス形成工程とを備える。
液晶パネル用対向基板の製造においても、アライメントマークを各ショット毎に設けることも考えられる。しかし、液晶パネル用対向基板の製造においては、ブラックマトリックスを形成するために、マイクロレンズアレイ形成後に、ウェハ基板全面に遮光膜を形成する必要がある。そのため、液晶パネル用対向基板の製造において、各ショット毎にアライメントマークを設けた場合、アライメントマークは、この遮光膜により、覆い隠されてしまうこととなる。この場合、ブラックマトリックスとマイクロレンズアレイとの位置合わせを行うためには、ブラックマトリックスパターンのパターニングを行う前に、遮光膜の一部を除去して、アライメントマークを露出させる必要がある。そのため、液晶パネル用対向基板の製造において、各ショット毎にアライメントマークを設けるとすれば、工程数の増加により、製造コストが上昇してしまう。
これに対し、構成1のようにすれば、アライメントマークとマイクロレンズアレイとが異なるショット位置に形成されるため、例えばアライメントマーク上に遮蔽物をおいて遮光膜を形成することにより、マイクロレンズアレイを覆い、かつアライメントマークを覆わない遮光膜を形成することができる。そのため、ブラックマトリックスパターンのパターニングを行うために位置合わせを、遮光膜の一部を除去する工程を経ることなく、行うことができる。また、これにより、液晶パネル用対向基板の製造コストを低減することができる。
また、液晶パネル用対向基板の製造においては、このようにアライメントマークを設けたとしても、ブラックマトリックスとマイクロレンズアレイとを十分な精度で位置合わせすることができる。そのため、構成1のようにすれば、ブラックマトリックスとマイクロレンズアレイとの位置合わせを、低コストかつ十分な精度で行うことができる。
また、マイクロレンズアレイにおける各マイクロレンズは、液晶の各画素に対応して設けられる。ブラックマトリックス(BM)とは、液晶の各ドットの電極間やアクティブ素子上に設けられたマトリックス状の遮光膜である。ブラックマトリックスは、例えば、TFT液晶の画素電極周辺部分の表示が制御できない領域を透過する光を遮光することにより、液晶の黒表示品位を高め、コントラストを高くする。
アライメントマークパターン転写工程は、例えばレチクル上のマイクロレンズ用パターンを覆い隠すことにより、アライメントマーク用パターンを転写する。マイクロレンズ用パターン転写工程は、例えばレチクル上のアライメントマーク用パターンを覆い隠すことにより、マイクロレンズ用パターンを転写する。アライメントマークパターン転写工程及びマイクロレンズ用パターン転写工程のそれぞれにおいて、マイクロレンズ用パターン及びアライメントマーク用パターンのそれぞれは、例えばステッパの遮蔽板により覆い隠される。
このよう仕様のステッパを用いた場合であっても、上記の余分なショット位置を設け、このショット位置において、露光量を0に設定した露光動作(ダミーショット)を行うことにより、位置合わせ後に、露光動作の対象となるショット位置を適切に移動させることができる。また、このようにすれば、本願発明に係るステッパとして、例えば、広く普及している既存のステッパを用いることができる。また、これにより、新たな設備投資等を行うことなく、マイクロレンズの形成、及びブラックマトリックスの形成を含め、マイクロレンズ付き基板を一貫生産することができる。
尚、第1のジョブファイルにおいても、アライメントマーク用パターンを転写すべきショット位置と、マイクロレンズ用パターンを転写すべき位置に対応づけられたショット位置とは、同様に、少なくとも1個の他のショット位置を挟んで離間してよい。
このようすれば、必要な精度での位置合わせを実現するアライメントマークを、ウェハ基板の領域を効率よく利用して形成できる。また、マイクロレンズ用パターンを転写するショット数を大きく減らすことなく、アライメントマークを形成できる。
尚、ウェハ基板の直径とは、例えば、ウェハ基板の外接円の直径である。プレアライメント用パターンが転写されるショット位置と、オリエンテーションフラットとの間のショット位置とは、例えば、最外周のショット位置に沿ってプレアライメント用パターンが転写されるショット位置と、オリエンテーションフラットの近傍とを結ぶ経路上にあるショット位置である。
図1は、本発明の一実施形態に係る液晶パネル用対向基板の製造方法の一例の概要を示す。本例の製造方法においては、最初に、ウェハ基板14に対し、アライメントマーク104、106及びマイクロレンズアレイ102の形成、カバーガラス接着、及び研磨を行うことにより、マイクロレンズ付き基板30を製造する。
図8は、位置合わせの精度を確認するための構成の一例を示す。10mm×10mmのステップピッチで、図のような配列の第1層(ファーストパターン)を作成し、これに第2層(セカンドパターン)を重ね合わせてパターニング後、ステッパで自動計測を行った。この自動計測により、5枚のウェハ基板14に対し、各123点において、Shift/倍率(Magnification)/回転(Rotation)/直行(Orthonality)/Shiftの3σについて、各ズレ成分を測定した。
Claims (6)
- 液晶パネル用対向基板の製造方法であって、
ステッパ用のレチクルであって、マイクロレンズアレイを形成するためのマイクロレンズ用パターンと、前記マイクロレンズ用パターンから離間した位置に形成されたアライメントマーク用パターンとを有するレチクルを準備する準備工程と、
レジスト膜が形成されている透光性のウェハ基板を、前記ステッパに載置するウェハ載置工程と、
前記ステッパによるパターン転写のための複数のショット位置を、前記ウェハ基板に設定するショット位置設定工程と、
前記複数のショット位置から一部のショット位置を選択して、選択したショット位置に、前記アライメントマーク用パターンを転写するアライメントマークパターン転写工程と、
前記複数のショット位置から、前記アライメントマーク用パターンが転写されたショット位置以外のショット位置を順次選択し、前記ウェハ基板上において選択した前記ショット位置に対応する位置に、前記マイクロレンズ用パターンを転写するマイクロレンズ用パターン転写工程と、
前記ステッパから前記ウェハ基板を取り外し、転写された前記アライメントマーク用パターン及び前記マイクロレンズ用パターンに基づき、前記ウェハ基板に、前記マイクロレンズアレイ、及びアライメントマークを形成するレンズ形成工程と、
前記マイクロレンズアレイを覆い、かつ前記アライメントマークを覆わない遮光膜を、前記ウェハ基板上に形成する遮光膜形成工程と、
前記遮光膜上にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、
前記アライメントマークを用いて位置合わせを行いつつ、前記ウェハ基板をステッパに載置する位置合わせ工程と、
前記遮光膜をブラックマトリックスの形状に加工するためのブラックマトリックスパターンを、当該ステッパにより、前記ウェハ基板に転写するブラックマトリックスパターン転写工程と、
当該ステッパから前記ウェハ基板を取り外し、転写された前記ブラックマトリックスパターンに基づき、前記ブラックマトリックスを形成するブラックマトリックス形成工程と
を備えることを特徴とする液晶パネル用対向基板の製造方法。 - 前記アライメントマーク用パターンを転写する場合のショットサイズは、前記マイクロレンズ用パターンを転写する場合のショットサイズより小さいことを特徴とする請求項1に記載の液晶パネル用対向基板の製造方法。
- 前記ショット位置設定工程は、前記アライメントマーク用パターンを転写する場合のショットサイズを基準に前記ウェハ基板上の各ショット位置を指定する第1のジョブファイルであって、前記アライメントマーク用パターンを転写すべきショット位置と、前記マイクロレンズ用パターンを転写すべき位置に対応づけられたショット位置とを少なくとも指定する第1のジョブファイルを作成し、
前記アライメントマークパターン転写工程は、前記第1のジョブファイルにおいて指定されている、前記アライメントマーク用パターンを転写すべきショット位置に、前記アライメントマーク用パターンを転写し、
前記マイクロレンズ用パターン転写工程は、
前記ステッパのショットサイズを前記マイクロレンズ用パターンを転写する場合のショットサイズに変更し、
前記第1のジョブファイルにおいて指定されている、前記マイクロレンズ用パターンを転写すべき位置に対応づけられたショット位置を順次選択し、
選択した前記ショット位置の座標を、前記マイクロレンズ用パターンを転写すべき位置の座標に変換し、
前記ウェハ基板における変換した座標の位置に、前記マイクロレンズ用パターンを転写し、
前記位置合わせ工程は、
前記第1のジョブファイルと同じショットサイズを基準に前記ウェハ基板上の各ショット位置を指定する第2のジョブファイルであって、前記アライメントマークに合わせられるべきショット位置と、前記ブラックマトリックスパターンを転写すべき位置に対応づけられたショット位置とを少なくとも指定する第2のジョブファイルを作成し、
前記第2ジョブファイルにおいて指定されている、前記アライメントマークに合わせられるべきショット位置を、前記ウェハ基板上の前記アライメントマークの位置に合わせ、
前記ブラックマトリックスパターン転写工程は、
前記ステッパのショットサイズを、前記マイクロレンズ用パターンを転写する場合と同じ大きさのショットサイズに変更し、
前記第2のジョブファイルにおいて指定されている、前記ブラックマトリックスパターンを転写すべき位置に対応づけられたショット位置を順次選択し、
選択した前記ショット位置の座標を、前記ブラックマトリックスパターンを転写すべき位置の座標に変換し、
前記ウェハ基板における変換した座標の位置に、前記ブラックマトリックスパターンを転写することを特徴とする請求項2に記載の液晶パネル用対向基板の製造方法。 - 前記第2のジョブファイルにおいて、前記アライメントマークに合わせられるべきショット位置と、前記ブラックマトリックスパターンを転写すべき位置に対応づけられたショット位置とは、少なくとも1個の他のショット位置を挟んで離間しており、
前記ブラックマトリックスパターン転写工程において、前記ステッパは、露光量を0に設定して前記他のショット位置上をステップ移動することにより、露光動作の対象となるショット位置を、前記アライメントマークに合わせられるべきショット位置から、いずれかの前記ブラックマトリックスパターンを転写すべき位置に対応づけられたショット位置に移動させることを特徴とする請求項3に記載の液晶パネル用対向基板の製造方法。 - アライメントマークパターン転写工程は、前記複数のショット位置のうちの最外周の前記ショット位置に、前記アライメントマーク用パターンを転写することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の液晶パネル用対向基板の製造方法。
- 前記レチクルは、前記アライメントマーク用パターンとして、粗い位置合わせ用のパターンであるプレアライメント用パターンと、前記粗い位置合わせ後の精細な位置合わせ用のパターンであるファインアライメント用パターンとを有し、
前記ウェハ基板は、オリエンテーションフラット加工されており、
前記アライメントマークパターン転写工程は、
前記プレアライメント用パターンを、前記ウェハ基板における前記オリエンテーションフラットと平行な直径の両端に最も近いショット位置に転写し、
前記ファインアライメント用パターンを、いずれかの前記プレアライメント用パターンが転写されるショット位置と、前記オリエンテーションフラットとの間のショット位置に転写することを特徴とする請求項5に記載の液晶パネル用対向基板の製造方法。
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