JP2006138705A - プローブカード及びそれを用いた検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 検体の種類変更に対応できるプローブカード及びそれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】 検体の電極に接触する複数のプローブと、検査装置本体に電気的に接続される複数の端子と、前記プローブと前記端子とを電気的に接続する配線パターンを前記検体の種類に応じて変更する配線変更手段と、を備える。
【選択図】 図１

Description

本発明はプローブカード及びそれを用いた検査方法に関する。

電子デバイスの検査工程ではプローバを用いた電気的特性の検査が行われている。この検査では、プローバに装着されたプローブカードのプローブを検体としての電子デバイスの電極に接触させることにより電子デバイスとプローバを導通させて、プローバから電子デバイスに電源を供給し、検査信号を入力し、それに応じた電子デバイスの出力を検査する。

しかしながら、電子デバイスの種類が異なると、端子の配置および端子に接続されている回路が異なる。そのため異なる種類の電子デバイスを検査するときは、その電子デバイスの端子の配置に応じたプローブカードに交換し、プローブカードのプローブとプローバの検査用端子とを電気的に接続する配線の配線パターンを変更する必要がある。ここで検査用端子とは、検査信号を検体に送信するための出力端子、検体が出力する信号を受信するための入力端子、および検体に電力を供給するための電源端子からなる端子群を意味する。従来、この配線パターンを変更するためには、プローブと検査用端子とを結ぶワイヤを手作業で張り替えるか、プローブカードを配線パターンが異なるものに交換しなければならないという問題がある。

本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであって、検体の種類変更に対応できるプローブカード及びそれを用いた検査方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するためのプローブカードは、検体の電極に接触する複数のプローブと、検査装置本体に電気的に接続される複数の端子と、前記プローブと前記端子とを電気的に接続する配線パターンを前記検体の種類に応じて変更する配線変更手段と、を備える。
本発明によれば、配線変更手段がプローブと入力端子との配線パターンを検体の種類に応じて変更するため、従来の検査装置のようにプローブと検査装置本体とを電気的に接続するためのワイヤを張り替えたり、プローブカードを交換したりすることなく、種類の異なる検体を検査することができる。

前記プローブカードは、前記配線変更手段を制御するための変更情報を取得する変更情報取得手段をさらに備えてもよい。また前記配線変更手段は前記変更情報に応じて前記配線パターンを変更してもよい。
本発明によると、変更情報取得手段は変更情報を取得し、配線変更手段はその変更情報に応じて配線パターンを変更する。したがって、検体の種類に応じて変更情報が変更されれば、種類の異なる検体を検査することができる。

前記変更情報取得手段は、前記検査装置本体とのデータ通信により前記変更情報を取得してもよい。
本発明によると、変更情報取得手段は検査装置本体とのデータ通信により変更情報を取得する。したがって、検査装置本体から送信される変更情報を受信することにより、種類の異なる検体を検査することができる。例えば、検査装置本体の操作部を操作することにより変更情報をプローブカードに送信するようにしてもよいし、検査信号を生成するテストプログラムに変更情報を送信するための機能を搭載しテストプログラムを実行することにより変更情報をプローブカードに送信してもよい。またデータ通信により変更情報を取得するため、変更情報を伝送するための伝送路の数を低減することができる。

前記変更情報取得手段は、前記検体から前記変更情報を取得してもよい。
本発明によると、変更情報取得手段は検体から変更情報を取得する。したがって、ユーザは、検体の種類に応じて変更情報を変更するための操作をすることなく、種類の異なる検体を検査することができる。

前記プローブカードは、前記検体から前記検体を識別可能な検体情報を取得する検体情報取得手段と、前記検査装置本体に前記検体情報を送出するための出力手段と、をさらに備えてもよい。また前記端子には、前記検査装置本体が前記検体情報に応じて送出する検査信号が入力されてもよい。
本発明によると、検体情報取得手段は検体から検体情報を取得し、出力手段がその検体情報を検査装置本体に送出する。検査装置本体では、検体情報から検体を認識することができるため、その検体を検査するための検査信号をプローブカードに送出することができる。したがって本発明によるプローブカードによれば、ユーザは、検体の種類に応じて検査信号を変更するための操作をすることなく、種類の異なる検体を検査することができる。

上記目的を達成するための電子デバイスの検査方法は、プローブカードを備える検査装置を用いて電子デバイスを検査する検査方法であって、前記プローブカードが、前記電子デバイスの電極に接触する複数のプローブと前記検査装置の本体に電気的に接続される複数の端子とを電気的に接続するための配線パターンを前記電子デバイスの種類に応じて変更する配線変更段階と、前記電極に前記プローブを接触させ前記端子に対して検査信号を入力する検査信号入力段階と、を含む。
本発明によれば、プローブカードがプローブと入力端子との配線パターンを検体の種類に応じて変更するため、従来の検査装置のようにプローブと検査装置本体と電気的に接続するためのワイヤを張り替えたり、プローブカードを交換したりすることなく、種類の異なる検体を検査することができる。

以下、本発明の実施の形態を複数の実施例に基づいて説明する。尚、各実施例で対応する構成要素及び処理には同一の符号を付し、各実施例で対応する構成要素及び処理について重複する説明は省略する。
（第一実施例）
図１は、本発明の第一実施例によるプローブカード１を示す模式図である。図２はプローブカード１の側面図である。プローブカード１は、電子デバイス等の検体の電気的特性を検査するための検査装置（以下、プローバという。）２０に装着されるものである。プローブカード１は、端子２および端子４を介して、プローバ２０と電気的に接続される。以降では、検体はウェハに形成された電子デバイスであるものとして説明する。しかし、プローブカード１は、プリント基板に実装された電子デバイスの検査にも適用可能である。

端子２にはプローバ２０の検査用端子２２が電気的に接続されている。検査用端子２２とは、検査信号をプローブカード１に送信するための出力端子、電子デバイスが出力する信号を受信するための入力端子、および電子デバイスに電力を供給するための電源端子からなる端子群である。端子２が特許請求の範囲に記載の「端子」に相当する。以降では、特に断りのない限り「接続」は「電気的に接続」することを意味する。

端子４にはプローバ２０の端子２４が接続されている。端子２４は、変更情報をプローブカード１に送信するための端子である。ここで変更情報とは、マトリックススイッチ１６を制御するための情報である。変更情報の詳細については後述する。

プローブカード１は、検査時に電子デバイスの電極に接触するプローブ８を備えている。プローブ８は、端子２を介してプローバ２０の検査用端子２２に接続されている。具体的には、複数のプローブ８を有するプローブユニット６がプリント配線板１９に取付けられている。そのプローブ８は、ＦＦＣ（フレキシブル・フラット・ケーブル）１０を介して、コネクタ１２と接続されている。コネクタ１２は、プリント配線板１９に実装され、マトリックススイッチ１６を介して端子２と接続されている。これにより、プローブカード１は、プローバ２０から検査信号を受信して電子デバイスに検査信号を入力したり、電子デバイスから出力された信号をプローバ２０に送信したり、プローバ２０から供給された電力を電子デバイスに入力したりすることができる。

配線変更手段としてのマトリックススイッチ１６は、プローブカード１の複数のプローブ８とプローバ２０の複数の検査用端子２２とを接続する配線パターンを変更する。具体的には例えば、マトリックススイッチ１６は、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）リレーであり、プリント配線板１９に実装されている。尚、マトリックススイッチ１６は、ダイオード、トランジスタ等からなる無接点スイッチにより構成してもよい。また、マトリックススイッチ１６は、プリント配線板１９とは異なるプリント基板に実装され、そのプリント基板を介してプリント配線板１９に接続されていてもよい。

図３はマトリックススイッチ１６を説明するための模式図である。端子１６２、端子１６３および端子１６６は、それぞれ端子２、プローブ８および制御部１８と接続されている。
スイッチＳＷ１１からＳＷ３２は、所謂リレーであって、それぞれコイル部１６４と接点部１６５とを有している。スイッチＳＷ１１からＳＷ３２は、例えばコイル部１６４に電流を供給して接点部１６５を閉じるとオン状態、コイル部１６４への電流供給を停止して接点部１６５を開くとオフ状態となる。

スイッチコントローラ１６０は、制御部１８に制御され、端子１６２と端子１６３とを接続する配線パターンを変更する。具体的には、スイッチコントローラ１６０は、端子１６６に入力される制御信号に応じて、スイッチＳＷ１１からＳＷ３２をそれぞれＯＮ状態またはＯＦＦ状態に制御する。これによりマトリックススイッチ１６は、プローブカード１の複数のプローブ８とプローバ２０の複数の検査用端子２２とを接続する配線パターンを変更することができる。

図１に示すように、変更情報取得手段としての通信制御コントローラ１７は、端子４と接続されており、端子４を介してプローバ２０から変更情報を受信する。具体的には例えば、通信制御コントローラ１７はシリアル通信コントローラである。ここで変更情報とは、電子デバイスの種類、すなわち電子デバイスの各電極の機能（入力用電極、出力用電極、電源用電極）に応じて、各電極に接触するプローブ８にプローバ２０の検査用端子２２（入力端子、出力端子、電源端子）のいずれを接続するかについて決定可能な情報である。したがって変更情報は、電子デバイスのデバイス名でもよいし、デバイス名に対応する記号でもよいし、電子デバイスの各電極の機能を表す情報でもよい。以降では、変更情報は電子デバイスのデバイス名であるものとして説明する。尚、通信制御コントローラ１７によるデータ通信は、パラレル通信でもよい。

制御部１８は、ＣＰＵ１８２、ＲＯＭ１８４およびＲＡＭ１８６を備える。ＣＰＵ１８２は、ＲＯＭ１８４に記憶されている配線変更プログラムを実行する。ＲＯＭ１８４は配線変更プログラム等を記憶している不揮発性メモリであり、ＲＡＭ１８６はプログラムやデータ等を一時的に記憶する揮発性メモリである。

図４は、配線変更プログラムの論理的な構成を示すブロック図である。
変更情報取得モジュール３０は、制御部１８を変更情報取得手段として機能させるプログラム部品である。変更情報取得モジュール３０は、通信制御コントローラ１７と協働して変更情報を取得する。
配線変更モジュール３２は、制御部１８を配線変更手段として機能させるプログラム部品である。配線変更モジュール３２は、マトリックススイッチ１６と協働して、変更情報取得モジュール３０が取得した変更情報に基づいて、前述の配線パターンを変更する。

図５は、プローブカード１を用いて電子デバイスの電気的特性を検査する処理の流れを説明するためのシーケンス図である。
ユーザが電子デバイスの種類に応じた操作をプローバ２０に対して行うと、プローバ２０は変更情報をプローブカード１に送信する（ステップＳ１００参照）。電子デバイスの種類に応じた操作とは、電子デバイスに対応する検査信号を生成するテストプログラム、変更情報などを選択または入力する操作のことである。尚、テストプログラムに変更情報を送信するための機能を搭載し、テストプログラムを実行することにより変更情報をプローブカードに送信するようにしてもよい。

プローブカード１の変更情報取得モジュール３０は、プローバ２０が送信した変更情報を取得する（ステップＳ１０２参照）。具体的には、変更情報取得モジュール３０は、通信制御コントローラ１７と協働して変更情報を受信し、変更情報をＲＡＭ１８６に格納する。変更情報取得モジュール３０がデータ通信によって変更情報を取得するので、変更情報を受信するための伝送路、例えば端子４の数を削減することができる。具体的には例えば、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）規格のデータ通信によれば、２ビット以上の変更情報であっても伝送路は２本でよい。

次に、配線変更モジュール３２は、変更情報に応じて、プローブカード１の複数のプローブ８とプローバ２０の複数の検査用端子２２とを接続する配線パターンを変更する（ステップＳ１０４参照）。具体的には例えば、配線変更モジュール３２は、図６に示す表４０に従って、マトリックススイッチ１６のスイッチＳＷ１１からＳＷ３２を制御する。

表４０は、電子デバイスのデバイス名（電子デバイスＤ１からＤ４）とそのデバイス名の電子デバイスを検査するときにオン状態にすべきマトリックススイッチ１６のスイッチ（スイッチＳＷ１１からＳＷ３２）との関係を示す表である。表４０において「ＯＮ」はそれに対応するスイッチをオン状態に制御し、「ＯＦＦ」はそれに対応するスイッチをオフ状態に制御することを意味している。例えばデバイス名が「Ｄ１」のとき、配線変更モジュール３２は、スイッチＳＷ１１およびＳＷ２２をオン状態に制御し他のスイッチをオフ状態に制御する制御信号をマトリックススイッチ１６の端子１６６に送信して、端子１６２ａと端子１６３ａおよび端子１６２ｂと端子１６３ｂをそれぞれ接続する配線パターンをマトリックススイッチ１６に形成させる。表４０は、例えばＲＯＭ１８４に格納されている。
上述のように配線変更モジュール３２が配線パターンを変更するため、ユーザは、従来のようにプローブとプローバとを電気的に接続するためのワイヤを張り替えたり、プローブカードを交換したりする必要がない。

次に、プローバ２０は、電子デバイスの電極にプローブ８を接触させる（ステップＳ１０６参照）。尚、本ステップは、ステップＳ１００終了から所定時間経過後に実行してもよいし、プローブカード１から送信される変更完了信号を受信してから実行してもよい。ここで変更完了信号とは、配線パターンの変更が完了したことを示す信号である。また、本ステップは、電子デバイスに不正な信号が入力されることにより電子デバイスを破壊することがなければ、ステップＳ１０２からＳ１０４の間に実行することも可能である。電子デバイスに不正な信号が入力されることにより電子デバイスを破壊しないようにするためには、例えば後述する検査信号を送信するステップ（ステップＳ１０８）に移行するまでの間、検査用端子２２をハイインピーダンスに制御すればよい。

次に、プローバ２０は検査信号を送信する（ステップＳ１０８参照）。具体的には、プローバ２０は、テストプログラムを実行して検査信号を生成し、検査信号をプローブカード１に送信する。プローブカード１は、検査信号を受信し、その検査信号をプローブ８を介して電子デバイスに入力する（ステップＳ１１０参照）。
以上説明したステップＳ１００からＳ１０４までの処理が特許請求の範囲に記載の「配線変更段階」に相当し、ステップＳ１０６からＳ１１０までの処理が特許請求の範囲に記載の「検査信号入力段階」に相当する。

尚、マトリックススイッチ１６は、プリント配線板１９に取付けられているものとして説明した（図２参照）。しかし、図７に示すように、プリント配線板１９の表面層１９ａと裏面層１９ｂとの間にマトリックススイッチ１６としてのＭＥＭＳリレーチップを封入してもよいし、表面層１９ａと裏面層１９ｂとの間にマトリックススイッチ１６を形成してもよい。そのとき、マトリックススイッチ１６に接続される配線は、プリント配線板１９のいずれの層に引き出してもよい。例えば、図７に示すように、コイル部１６４と接点部１６５にそれぞれ接続されている配線の一方をスルーホールにより表面層１９ａに引き出し、コイル部１６４と接点部１６５にそれぞれ接続されている配線の他方をスルーホールにより裏面層１９ｂに引き出してもよい。また、コイル部１６４と接点部１６５とに接続されている配線の両方を表面層１９ａまたは裏面層１９ｂのいずれか一方に引き出してもよい。もちろん、同様にしてプリント配線板１９とは異なるプリント基板の内層にマトリックススイッチ１６を封入または形成し、そのプリント基板をプリント配線板１９に実装してもよい。

また、変更情報取得モジュール３０は、データ通信により変更情報を取得するとして説明した。しかし、図８に示すプローブカード１００のように、プローブカード１の通信制御コントローラ１７の替わりにレジスタ１０２を備え、変更情報取得モジュール３０はレジスタ１０２の値を変更情報として取得してもよい（図９の表４２参照）。このときレジスタ１０２に接続されている端子１０４をプローバ２０の検査用端子２２の出力端子に接続すれば、その出力端子に出力する信号によってレジスタ１０２の値を書き換えることができる。したがって、変更情報をデータ通信する機能をプローバ２０に搭載する必要がないため、プローブカード１００は従来のプローバ２０に装着して使用することができる。

（第二実施例）
図１０は、本発明の第二実施例によるプローブカード１１０を示す模式図である。
プローブカード１１０は、変更情報取得手段としてのＲＦＩＤ（Radio Frequency Identification）読取部１１２を備える。ＲＦＩＤ読取部１１２は、電子デバイスに内蔵のＲＦＩＤタグ回路と交信し、変更情報を受信する。尚、ＲＦＩＤタグ回路はウェハの電子デバイスが形成されていない部分に形成されていてもよい。

第二実施例に係る変更情報取得モジュール３０は、ＲＦＩＤ読取部１１２と協働して変更情報を読み取り、ＲＡＭ１８６に変更情報を格納する。尚、電子デバイスから変更情報の読み取る方法はＲＦＩＤに限定されない。例えば変更情報取得手段は、電子デバイスまたはウェハに付されたバーコード等のマークを読み取ることにより、変更情報を取得してもよい。

以上説明したプローブカード１１０によれば、変更情報取得モジュール３０がＲＦＩＤ読取部１１２と協働して電子デバイスから変更情報を取得するため、ユーザは、電子デバイスの種類に応じて変更情報を変更することなく、種類の異なる電子デバイスを検査することができる。

（第三実施例）
図１１は、本発明の第三実施例によるプローブカード１２０を示す模式図である。
プローブカード１２０のＲＦＩＤ読取部１１２は、検体情報としてのＩＤ情報を受信する。ＩＤ情報とは電子デバイスを認識することが可能な情報である。例えばＩＤ情報は、電子デバイスのデバイス名、デバイス名に対応する記号などである。ＩＤ情報は変更情報としても機能することもできる。

出力手段としての通信制御コントローラ１２２は、ＩＤ情報をプローバ２０に送信する。プローバ２０は、プローブカード１２０の端子１２４および端子２６を介してＩＤ情報を受信する。これにより、プローバ２０は、ＩＤ情報に基づいて電子デバイスを認識でき、その電子デバイスに対応するテストプログラムを選択し実行することができる。

図１２は、配線変更プログラムの論理的な構成を示すブロック図である。
検体情報取得モジュール１３０は、制御部１８を検体情報取得手段として機能させるプログラム部品である。検体情報取得モジュール１３０は、ＲＦＩＤ読取部１１２と協働してＩＤ情報を取得する。

上述したようにＩＤ情報は、変更情報として機能する。第三実施例に係る配線変更モジュール３２は、ＩＤ情報に応じて配線パターンを変更する。
出力モジュール１３４は、制御部１８を出力手段として機能させるプログラム部品である。出力モジュール１３４は、通信制御コントローラ１２２と協働してＩＤ情報をプローバ２０に送信する。

図１３は、プローブカード１２０を用いて電子デバイスの電気的特性を検査する処理の流れを説明するためのシーケンス図である。
検体情報取得モジュール１３０は、ＲＦＩＤ読取部１１２を制御してＩＤ情報をＲＦＩＤ読取部１１２に受信させる。そして検体情報取得モジュール１３０は、ＩＤ情報を読み取り、ＩＤ情報をＲＡＭ１８６に格納する（ステップＳ２００参照）。

次に、出力モジュール１３４は、通信制御コントローラ１２２を制御して、ＲＡＭ１８６に格納されているＩＤ情報をプローバ２０に送信する（ステップＳ２０２参照）。
次に、配線変更モジュール３２は、ＩＤ情報に基づいて配線パターンを変更する（ステップＳ２０４参照）。本ステップは、ＩＤ情報を変更情報として使用する以外は、第一実施例に係るステップＳ１０４と実質的に同一である。

次に、プローバ２０では、第一実施例に係るステップＳ１０６と同様にして、電子デバイスの電極にプローブ８を接触させる（ステップＳ２０６参照）。
次に、プローバ２０では、プローブカード１２０から受信したＩＤ情報に基づいて、テストプログラムを選択し（ステップＳ２０８参照）、選択したテストプログラムを実行してプローブカード１２０に検査信号を送信する（ステップＳ２１０参照）。
次に、プローブカード１２０では、第一実施例に係るステップＳ１０８と同様にして、検査信号を電子デバイスに入力する（ステップＳ２１２参照）。

以上説明したプローブカード１２０を用いた電子デバイスの検査では、プローバ２０は、プローブカード１２０が読み取ったＩＤ情報に基づいて、検査対象の電子デバイスを検査するためのテストプログラムを選択することができる。したがってユーザは、電子デバイスの電極配置が同一である限り、テストプログラム及び変更情報を選択または入力することなく、種類の異なる電子デバイスを検査することができる。

（第四実施例）
図１４は、本発明の第四実施例によるプローブカード１３０の側面図である。図１５は、マトリックススイッチ１６近傍を拡大したプローブカード１３０の斜視図である。図１６は、本発明の第四実施例に係るマトリックススイッチ１６を示す模式図である。図１４および図１５に示すように、プローブカード１３０ではマトリックススイッチ１６がＦＦＣ１０に取付けられている。

図１６に示すように、マトリックススイッチ１６の上面１６ａには、端子１６２および端子１６６が設けられ、下面１６ｂには、端子１６３が設けられている。マトリックススイッチ１６は、ＢＧＡ（Ball Grid Array）タイプの素子である。したがって、端子１６２、端子１６３および端子１６６（以下、端子という。）は、所定条件で溶融して後述するＦＦＣ１０ａまたはＦＦＣ１０ｂの図示しないパッドに接合可能な球状の導電性材料である。例えばマトリックススイッチ１６の端子は、所謂はんだボールである。端子１６２および端子１６３は、それぞれマトリックススイッチ１６内部のスイッチＳＷ（スイッチＳＷ１１からＳＷ３２に相当する。）に接続され、端子１６６は、スイッチコントローラ１６０に接続されている。

上述のように、マトリックススイッチ１６はＦＦＣ１０に取付けられている。具体的にはマトリックススイッチ１６は、図１５に示すように、下面１６ｂ（図６参照）側の端子１６３でＦＦＣ１０ａに設けられたパッドに接続し、上面１６ａ側の端子１６２および１６６でＦＦＣ１０ｂに設けられたパッドに接続している。ここでＦＦＣ１０ａはプローブ８に接続するケーブルであり、ＦＦＣ１０ｂはコネクタ１２に接続するケーブルである（図１４参照）。

尚、マトリックススイッチ１６は、ＦＦＣ１０に実装可能な端子を有していればよく、ＢＧＡタイプに限定されない。例えば、マトリックススイッチ１６は、端子としての表面実装可能な所謂入出力ピンを有するＱＦＰ（Quad Flat Package）タイプの素子などでもよい。

また図１７に示すように、マトリックススイッチ１６の下面１６ｂ側（図６参照）でＦＦＣ１０ｂに接続し上面１６ａ側でＦＦＣ１０ａに接続するように、マトリックススイッチ１６をＦＦＣ１０に実装してもよい。そのときは、マトリックススイッチ１６の下面１６ｂ側に端子１６２および１６６を設け、上面側１６ａ側に端子１６３を設ければよい。

また、マトリックススイッチ１６が２本のＦＦＣ（ＦＦＣ１０ａ及びＦＦＣ１０ｂ）と接続しているものとして説明したが、図１８に示すように、１本のＦＦＣ１０にマトリックススイッチ１６を実装してもよい。そのときは、マトリックススイッチ１６の下面１６ｂ側に端子１６２、端子１６３および端子１６６を設け、それらの端子に接続するためのパッドを１本のＦＦＣ１０に設ければよい。

本発明の第一実施例によるプローブカードを示す模式図。 本発明の第一実施例によるプローブカードの側面図。 本発明に係るマトリックススイッチを説明するための模式図。 本発明の第一実施例に係る配線変更プログラムの論理ブロック図。 本発明の第一実施例に係る検査の流れを説明するためのシーケンス図。 本発明の第一実施例に係る変更情報を説明するための説明図。 本発明に係るマトリックススイッチの変形例を説明するための模式図。 本発明の第一実施例によるプローブカードの変形例を示す模式図。 本発明の第一実施例に係る変更情報を説明するための説明図。 本発明の第二実施例によるプローブカードを示す模式図。 本発明の第三実施例によるプローブカードを示す模式図。 本発明の第三実施例に係る配線変更プログラムの論理ブロック図。 本発明の第三実施例に係る検査の流れを説明するためのシーケンス図。 本発明の第四実施例によるプローブカードの側面図。 本発明の第四実施例によるプローブカードのマトリックススイッチ近傍を拡大した斜視図。 本発明の第四実施例に係るマトリックススイッチを示す模式図。 本発明の第四実施例によるプローブカードの変形例を説明するための斜視図。 （Ａ）は本発明の第四実施例によるプローブカードの変形例を説明するための斜視図、（Ｂ）は側面図。

符号の説明

１、１００、１１０、１２０、１３０ プローブカード、２ 端子、８ プローブ、１６ マトリックススイッチ（配線変更手段）、１７ 通信制御コントローラ（変更情報取得手段）、１８ 制御部（配線変更手段、変更情報取得手段、検体情報取得手段、出力手段）、３０ 変更情報取得モジュール（変更情報取得手段）、３２ 配線変更モジュール（配線変更手段）、１０２ レジスタ（変更情報取得手段）、１１２ ＲＦＩＤ読取部（変更情報取得手段、検体情報取得手段）、１２２ 通信制御コントローラ（出力手段）、１３０ 検体情報取得モジュール（検体情報取得手段）、１３４ 出力モジュール（出力手段）

Claims (6)

1. 検体の電極に接触する複数のプローブと、
   検査装置本体に電気的に接続される複数の端子と、
   前記プローブと前記端子とを電気的に接続する配線パターンを前記検体の種類に応じて変更する配線変更手段と、
   を備えることを特徴とするプローブカード。
2. 前記配線変更手段を制御するための変更情報を取得する変更情報取得手段をさらに備え、
   前記配線変更手段は前記変更情報に応じて前記配線パターンを変更することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード。
3. 前記変更情報取得手段は、前記検査装置本体とのデータ通信により前記変更情報を取得することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード。
4. 前記変更情報取得手段は、前記検体から前記変更情報を取得することを特徴とする請求項２に記載のプローブカード。
5. 前記検体から前記検体を識別可能な検体情報を取得する検体情報取得手段と、前記検査装置本体に前記検体情報を送出するための出力手段と、をさらに備え、
   前記端子には、前記検査装置本体が前記検体情報に応じて送出する検査信号が入力されることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のプローブカード。
6. プローブカードを備える検査装置を用いて電子デバイスを検査する検査方法であって、
   前記プローブカードが、前記電子デバイスの電極に接触する複数のプローブと前記検査装置の本体に電気的に接続される複数の端子とを電気的に接続するための配線パターンを前記電子デバイスの種類に応じて変更する配線変更段階と、
   前記電極に前記プローブを接触させ前記端子に対して検査信号を入力する検査信号入力段階と、
   を含むことを特徴とする電子デバイスの検査方法。

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