KR20150000095U - 개선된 자동 프로브 구성 스테이션 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

피시험 디바이스의 전기적 검사를 용이하게 하기 위한 프로브 시스템. 시스템은 스토리지 랙, 프로브 바 갠트리 조립체, 프로브 바 갠트리 조립체에 부착 가능한 프로브 조립체 캐리지, 프로브 조립체 캐리지에 부착 가능하고 피시험 디바이스와 전기적으로 암수 결합하도록 구성된 프로브 조립체, 및 상기 스토리지 랙으로부터 프로브 조립체를 집어서 상기 프로브 바 갠트리에 부착된 캐리지에 프로브 조립체를 전달하기 위한 로봇 시스템을 통합한다. 로봇 시스템은 또한 프로브 바 갠트리에 부착된 캐리지로부터 프로브 조립체를 집어서 스토리지 랙으로 전달할 수 있다. 로봇 시스템은 또한 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 프로브 조립체 및 캐리지를 재배치하여 프로브 조립체가 피시험 디바이스와의 암수 결합을 이루도록 적절히 정렬하도록 보장하는데 사용될 수 있다. 프로브 조립체는 프로브 바 갠트리 조립체에 장착된 캐리지에 설치되는 경우 피시험 디바이스 상의 전도성 패드와 암수 결합하도록 구성된 접촉 핀들의 어레이를 포함할 수 있다.

Description

개선된 자동 프로브 구성 스테이션 및 그 방법{IMPROVED AUTOMATIC PROBE CONFIGURATION STATION AND METHOD THEREFOR}
본 고안은 일반적으로 대형 전자 디바이스들의 전자 검사 분야에 관한 것으로서, 특히 액정(LC) 디스플레이 및 유기 발광 다이오드(OLED) 디스플레이의 검사 및 이러한 검사에 사용되는 자동화 시스템들에 관한 것이다.
액정 디스플레이(LCD) 패널들은 전기장 종속 광변조 특성들(electric-field dependent light modulating properties)을 보이는 액정들을 통합한다. 이들은 영상들을 팩스기, 랩톱 컴퓨터 스크린들, 대형 스크린, 고해상도 TV와 같은 다양한 디바이스들에서 영상들 및 그 밖의 정보를 디스플레이하는데 가장 빈번히 사용된다. 액티브 매트릭스 LCD 패널들은 여러 기능 층들, 즉 편광막(polarizing film); 박막 트랜지스터들, 저장 커패시터들, 픽셀 전극들, 및 블랙 매트릭스 및 컬러 필터 어레이를 통합한 컬러 필터 유리 기판과 투명 공통 전극을 배선 연결하는 인터커넥트; 폴리이미드(polyimide)로 구성된 배향막(orientation film); 및 플라스틱/유리 스페이서(spacer)들을 통합하여 적절한 LCD 셀 두께를 유지하는 실제 액정 물질로 구성된 복합 적층 구조체이다.
LCD 패널들은 수율을 최대화하기 위한 클린룸 환경(clean room environment)에서 극히 통제된 조건 하에서 제조된다. 그럼에도 불구하고, 수많은 LCD들은 제조 상의 흠결로 인해 폐기되어야 한다.
전술한 바와 같이, LCD 패널들과 같은, 복합 전자 디바이스들의 생산 수율들을 개선하기 위해, 제조 프로세스의 다양한 스테이지들 중에 일어날 수 있는 다양한 결함들을 식별하기 위해 다양한 검사 스테이지들이 수행된다. 전술한 검사 스테이지들은 제조 스테이지 사이에 또는 전체 제조 프로세스의 완료 후에 수행될 수 있다. 전술한 검사 프로세스의 일례는 전기적 결함들을 위해 LC 디스플레이 및 OLED 디스플레이에 사용되는 TFT 어레이들의 시험이다. 다양한 검사 디바이스들이 전술한 시험을 수행하는데 사용된다. 이를 위해 사용될 수 있는 예시적인 디바이스들은 USA 캘리포니아 산 호세의 오보텍 사(Orbotech Ltd.)로부터 상용화된 Array Checker AC6080를 포함한다. 다른 방법으로, TFT 어레이 시험은 당업자에게 알려지고 상용 가능한 전자-빔 검사 시스템들을 사용하여 수행될 수 있다.
일반적으로, 전기 검사 시스템들은 결함 검출을 용이하게 하는 전기적 신호들 또는 패턴들로 구동되도록 피시험 디바이스(device under test (DUT))에게 요구한다. 이들 신호는 DUT의 활성 영역의 주변부에 위치한 접촉 패드(contact pad)들을 물리적으로 터치하는 프로브 핀들을 운반하는 구조를 이용하여 패턴 발생기 서브시스템으로부터 DUT로 이송된다. TFT 어레이들의 전기적 검사의 경우, 종종 (어레이와 동일한 기판에 구현되는) 하나 이상의 쇼팅 바(shorting bar)가 어레이 시험에 사용되는 접촉 패드들과 패드 구동 라인들 사이에 배치된다. 이들 쇼팅 바들은 구동 라인들의 서브세트에 연결되며(예를 들어, 하나의 쇼팅 바는 하나의 게이트 라인씩 걸러 연결될 수 있음), 이로써 필요한 컨택들의 개수를 감소시켜서 프로빙 조립체를 간소화한다.
일반적으로, 상이한 디바이스들은 상이한 시험 패드 레이아웃들을 가질 것이다. 시험 패드 레이아웃은 DUT의 사이즈, 동일한 기판 상에서 시험될 인접 디바이스들 사이의 거리, 기반 상의 DUT의 배향, 및 다른 요인들에 의존할 수 있다. 상이한 디바이스들이 동일한 전기 검사 시스템에서 시험될 수 있으려면, 프로빙 구조는 DUT의 구성을 따르도록 변형되어야 한다. 현재, 프로빙 구조의 이러한 재구성은 집약적인 육체 동을 포함하는 절차를 사용하여 달성된다. 예를 들어, 수동 구성되는 프로빙 구조들을 사용하는 전기 검사 시스템들에서, 기계 오퍼레이터는 상이한 회로 레이아웃이 시험되는 경우 새로운 프로빙 구조를 설치, 교정(calibrate), 및 구성해야 한다. 이러한 프로세스는 생산 프로세스가 인터럽트될 것을 요구하며, 그 결과 기계 가동률을 감소시킨다. 프로세스 제어 챔버를 요구하는 프로세스들의 경우, 오퍼레이터는 챔버에 들어가서 재구성을 수행해야 하며, 이는 챔버 프로세스 조건들로 다시 돌아가는 동안 추가적인 기계 정지 시간(machine downtime)을 초래할 수 있고, 오퍼레이터를 안전상 위험에 노출시킬 수 있다.
새로운 패널 레이아웃이 시험되어야 하는 경우, 커스터마이즈된 프로빙 구조가 고객에 대한 추가적인 비용으로 개발되어야 한다. 미사용 프로빙 구조들은 기계 외부에 저장되며, 저장을 위한 추가적인 바닥 면적을 요구한다.
자동 프로브 구성을 가능하게 하고, 프로브 저장을 가능하게 하는 하나의 예시적인 방안은 PCT 공개공보 제WO2011/085227호에 설명되어 있다.
그러나, 설명된 시스템은 프로브로/로부터 전기적 신호들을 전달하기 위한 전기적 버스에 의존하며, 이는 일정한 신뢰도 부족과 관련되어 있다. 그러므로, 신규하고 개선된 자동 프로브 저장 및 구성 시스템이 필요하다.
본 고안의 방법론은 대형 전자 디바이스들의 검사를 용이하게 하기 위한 종래의 기법들과 관련된 전술한 문제 및 그 밖의 문제들 중 하나 이상을 상당히 없애는 방법들 및 시스템들에 관한 것이다.
여기에 설명된 일 양태에 따르면, 피시험 디바이스를 검사하기 위한 프로브 시스템으로서, 스토리지 랙(storage rack); 프로브 바 갠트리 조립체(probe bar gantry assembly); 프로브 바 갠트리 조립체에 부착된 캐리지; 캐리지에 부착 가능하고 피시험 디바이스와 전기적으로 암수 결합하도록 구성된 프로브 조립체; 및 스토리지 랙으로부터 프로브 조립체를 집어서 프로브 바 갠트리에 부착된 캐리지에 전달하도록 구성되고, 프로브 바 갠트리 조립체에 부착된 캐리지로부터 프로브 조립체를 집어서 스토리지 랙에 전달하도록 더 구성된 로봇 시스템을 포함하는 프로브 시스템이 제공된다.
하나 이상의 실시예에서, 로봇은 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 프로브 조립체 및 캐리지를 재배치하여 프로브 조립체와 피시험 디바이스의 대응 암수 결합 부위의 정렬을 이루도록 더 구성된다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 시스템은 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 프로브 조립체 및 캐리지의 재배치를 용이하게 하도록 구성된 마찰 감소 디바이스를 더 포함한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 시스템은 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 프로브 조립체 및 캐리지의 재배치를 용이하게 하도록 구성된 공기 베어링을 더 포함한다.
하나 이상의 실시예에서, 캐리지는 캐리지와 프로브 조립체를 정렬시키는 적어도 하나의 정렬 핀을 포함한다.
하나 이상의 실시예에서, 캐리지는 프로브 조립체가 캐리지에 부착된 채로 유지하기 위한 클램프 기구를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 최대 프로빙력(probing force) 하에서 프로브 조립체를 캐리지에 부착된 채로 유지하는데 충분한 수직 프리로드(pre-load)를 이용하여 프로브 조립체를 캐리지에 부착하기 위한 장착 핀을 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 프로브 조립체가 캐리지에 부착되는 경우 피시험 디바이스 상의 전도성 패드들과 암수 결합하도록 구성된 복수의 접촉 핀을 포함한다.
프로브 조립체의 접촉 핀들은 피시험 디바이스의 구성에 따라 미리 배치된다.
하나 이상의 실시예에서, 캐리지는 제1 커넥터를 통합하고, 프로브 조립체는 제2 커넥터를 통합하고, 프로브 조립체가 캐리지에 부착되는 경우 제1 커넥터는 제2 커넥터와 암수 결합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 시스템은 적어도 하나의 시험 구동 신호를 캐리지의 제1 커넥터에 전달하기 위한 플렉서블 케이블을 더 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 시스템은 캐리지가 프로브 바 갠트리 조립체에 장착되는 경우 플렉서블 케이블의 적절한 위치 및 포함을 보장하기 위한 케이블 가이딩 부재(cable guiding member)를 더 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 시스템은 적어도 하나의 시험 구동 신호를 발생하도록 구성된 시험 패턴 발생기를 통합하고, 시험 패턴 발생기는 플렉서블 케이블에 전기적으로 연결된다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 프로브 조립체가 캐리지에 부착되는 경우 피시험 디바이스 상의 전도성 패드들과 암수 결합하도록 구성된 복수의 접촉 핀을 포함하고, 복수의 접촉 핀은 프로브 조립체의 제2 커넥터의 복수의 컨택에 전기적으로 연결된다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 제2 커넥터로부터 적어도 하나의 시험 구동 신호를 수신하고, 복수의 접촉 핀을 통해 수신된 적어도 하나의 시험 구동 신호를 피시험 디바이스에 인가하도록 구성된다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 바 갠트리 조립체는 피시험 디바이스 상의 특정 위치에 프로브 조립체를 배치하기 위한 자동화된 모션 축을 제공하도록 구성된다.
하나 이상의 실시예에서, 로봇 시스템은 X축과 Y축 모두를 따라 프로브 조립체를 잡아서 정렬하도록 동작 가능한 그리핑 조립체를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 그리핑 조립체는 그리핑 조립체에 대해 선회 가능하게 이동할 수 있는 그리핑 아암(gripping arm)을 통합하고, 로봇 시스템은 그리핑 조립체의 그리핑 아암을 작동시키기 위한 액추에이터(actuator)를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 그리핑 조립체는 프로브 조립체가 캐리지로부터 제거될 수 있는 경우 캐리지를 캐리지 클램핑력(carriage clamping force)을 극복하기 위한 프리로드 기구를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 그리핑 조립체는 프로브 바 회전 및/또는 높이 변화를 보상하기 위한 순응 기구(compliance mechanism)를 포함한다.
하나 이상의 실시예에서, 로봇 시스템은 프로브 조립체를 식별하고 위치 확인하도록 구성된 적어도 하나의 센서를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 센서는 RFID 판독기이고, 프로브 조립체는 RFID 판독기에 의해 판독되도록 구성된 RFID 태그를 통합하고, RFID 태그는 고유 프로브 조립체 식별자, 프로브 타입 정보, 및 교정(calibration) 정보 중 적어도 하나를 저장한다.
하나 이상의 실시예에서, 센서는 바코드 판독기이고, 프로브 조립체는 바코드 판독기에 의해 판독되도록 구성된 바코드 태그를 통합하고, 바코드 태그는 고유 프로브 조립체 식별자, 프로브 타입 정보, 및 교정 정보 중 적어도 하나를 저장한다.
하나 이상의 실시예에서, 센서는 프로브 조립체의 에지를 검출하도록 구성된 에지 검출 센서이다.
하나 이상의 실시예에서, PCS 시스템은 에지 검출 센서와 같은 프로브 조립체 위치 확인 센서뿐 아니라 RFID 또는 바코드 판독기와 같은 프로브 조립체 식별 센서를 모두 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 시스템은 프로브 조립체의 배치 또는 제거 중에 프로브 바 갠트리 조립체 표면의 임의의 뒤틀림을 보상하는데 필요한 보정들을 결정하도록 구성된 컨트롤러를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 로봇 시스템은 캐리지를 식별하고 위치 확인하도록 구성된 적어도 하나의 센서를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 광학 프로빙 디바이스, 전기적 프로빙 디바이스, 열적 프로빙 디바이스, 및 정렬 프로빙 디바이스 중 적어도 하나를 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 바 갠트리 조립체는 피시험 디바이스 상의 임의의 위치에 프로브 조립체를 배치하도록 동작 가능하다.
여기에 설명된 실시예들의 다른 양태에 따라, 피시험 디바이스를 검사하기 위한 프로브 시스템으로서, 제1 레일 및 제2 레일을 포함하는 스토리지 랙; 프로브 바 갠트리 조립체; 프로브 바 갠트리 조립체에 부착되고, 제1 전기 커넥터 및 제1 전기 커넥터에 시험 구동 신호들을 전달하는 케이블을 포함하는 캐리지; 피시험 디바이스 상의 접촉 패드들과 전기적으로 암수 결합하도록 구성된 복수의 핀, 복수의 핀에 전기적으로 연결되고, 캐리지에 부착되는 경우 제1 전기 커넥터와 암수 결합하도록 구성된 제2 전기 커넥터, 및 프로브 조립체를 캐리지에 확실히 고정하기 위한 장착 핀을 포함하는 프로브 조립체; 및 스토리지 랙으로부터 프로브 조립체를 집어서 프로브 바 갠트리에 부착된 캐리지에 전달하도록 구성되고, 프로브 바 갠트리 조립체에 부착된 캐리지로부터 프로브 조립체를 집어서 스토리지 랙에 전달하도록 더 구성된 로봇 시스템을 포함하는 프로브 시스템이 제공된다.
하나 이상의 실시예에서, 케이블은 시험 구동 신호들을 발생시키도록 구성된 시험 패턴 발생기에 전기적으로 연결된다.
하나 이상의 실시예에서, 로봇은 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 프로브 조립체 및 캐리지를 재배치하여 프로브 조립체와 피시험 디바이스의 대응 암수 결합 부위의 정렬을 이루도록 더 구성된다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 시스템은 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 프로브 조립체 및 캐리지의 재배치를 용이하게 하도록 구성된 공기 베어링을 통합한다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 프로브 조립체를 캐리지에 부착하기 위한 장착 핀을 통합한다.
여기에 설명된 실시예들의 또 다른 양태에 따르면, 시스템으로서, 스토리지 랙; 제1 갠트리 조립체; 제1 갠트리 조립체에 부착된 제1 캐리지; 제2 갠트리 조립체; 제2 갠트리 조립체에 부착된 제2 캐리지; 제1 갠트리 조립체에 대한 액세스를 가능하게 하는 액세스 영역; 제1 로봇 시스템; 및 스토리지 랙, 제1 갠트리 조립체에 부착된 제1 캐리지, 및 제2 갠트리 조립체에 부착된 제2 캐리지 중 어느 사이에 페이로드를 재배치하고, 페이로드의 적어도 하나의 에지를 검출함으로써 페이로드를 식별하고 위치 확인하도록 구성된 적어도 하나의 에지 검출 센서를 포함하는 제2 로봇 시스템을 포함하는 시스템이 제공된다.
본 고안에 관한 추가적인 양태들이 다음의 상세한 설명에서 일부 개시될 것이며, 일부는 설명으로부터 자명하거나, 본 고안의 실시에 의해 학습될 수 있다. 본 고안의 양태들은 다음의 상세한 설명 및 첨부된 청구항에서 특별히 가리키는 요소들, 및 다양한 요소들 및 양태들의 조합을 통해 실현되고 획득될 수 있다.
전술한 설명과 다음의 설명 모두가 예시적이고 설명적이며, 임의의 방식으로 청구된 고안 또는 출원을 제한하려는 것이 아니라는 점이 이해되어야 한다.
본 고안에 의하면, 대형 전자 디바이스들의 검사를 용이하게 하기 위한 종래의 기법들과 관련된 전술한 문제 및 그 밖의 문제들 중 하나 이상을 상당히 없애는 방법들 및 시스템들을 제공할 수 있다.
본 고안의 실시예들을 예시하는 본 명세서의 일부에 통합되어 이를 구성하는 첨부 도면들은 고안의 상세한 설명과 함께 본 고안의 기법의 원리들을 설명하고 예시하는 역할을 한다.
도 1은 여기에 설명된 하나 이상의 실시예들에 따른 본 고안의 프로브 구성 스테이션(PCS)의 일정한 선택된 컴포넌트들을 예시한다.
도 2는 프로브 조립체의 일 실시예를 예시한다.
도 3은 프로브 조립체의 본체 부위를 예시한다.
도 4는 프로브 바 갠트리(probe bar gantry)에 부착된 프로브 조립체 캐리지(probe assembly carriage)의 일 실시예를 예시한다.
도 5는 프로브 바 갠트리에 부착된 프로브 조립체 캐리지의 다른 도면을 예시한다.
도 6는 프로브 조립체 스토리지 랙(probe assembly storage rack)의 일 실시예를 예시한다.
도 7 및 도 8은 PCS 로봇의 PCS 그리퍼 조립체(gripper assembly)의 일 실시예를 예시한다.
도 9, 도 10, 및 도 11은 PCS 로봇의 예시적인 실시예에 사용되는 일정한 감지 시스템들을 예시한다.
도 12는 프로브 핀 테스터 모듈의 일 실시예를 예시한다.
다음의 상세한 설명에서, 첨부 도면(들)을 참조할 것이며, 여기서 동일한 기능 요소들은 동일한 부호로 지정된다.. 전술된 첨부 도면들은 본 고안의 원리들에 부합하는 특정 실시예들 및 구현예들을 한정이 아닌 예시로서 도시한다. 이들 구현예들은 충분히 상세히 설명되어 있어서 당업자로 하여금 본 고안을 실시하게 할 수 있으며, 다른 구현예들이 활용될 수 있고, 본 고안의 범위 및 사상에서 벗어나지 않는 한 다양한 요소들의 구조적 변화 및/또는 대체가 행해질 수 있다는 점이 이해되어야 한다. 따라서, 다음의 상세한 설명은 한정의 의미로 간주되지 않는다.
여기에 설명된 하나 이상의 실시예들에 따르면, 상이한 디바이스(특히 TFT 어레이)가 전기적으로 시험될 수 있는 경우에 요구되는 현재의 수동 프로빙 구조 변경 절차 - 및 관련된 다수의 프로빙 구조들 - 는 DUT의 레이아웃에 따라 프로빙 구조들을 재구성하는데 원격으로 사용될 수 있는 신규하고 개선된 절차 및 관련 기구로 대체된다.
도 1은 여기에 설명된 하나 이상의 실시예들에 따른 본 고안의 프로브 구성 스테이션(PCS)의 일정한 선택된 컴포넌트들을 예시한다. 도 1에 도시된 바와 같이, PCS는 픽앤플레이스(pick and place) 로봇 시스템(PCT 로봇)(101), 프로브 조립체들을 유지하기 위한 하나 이상의 프로브 조립체 캐리지(108)(도 1에 미도시), 2개의 프로브 조립체 스토리지 랙(103), 및 프로브 바 갠트리(104)를 일부로서 포함한다. PCS 로봇(101)은 프로브 바 갠트리(104)와 프로브 조립체 스토리지 랙들(103) 사이에서 프로브 조립체들(미도시)를 이동시키고, 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 프로브 조립체 캐리지들(108)을 재배치하는데 사용된다. 이를 위해, PCS 로봇(101)에는 그리퍼(gripper; 111)가 제공된다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체 스토리지 랙들(103)은 사용되지 않는 경우 프로브 조립체들을 지지하기 위한 다수의 스토리지 랙 레인들(110)을 통합한다. 하나 이상의 실시예에서, 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 프로브 조립체 캐리지들(108)의 재배치를 수행하기 위해, 캐리지(108)에 프로브 조립체가 부분적으로 부착된다. PCS 로봇(101)의 그리퍼(111)가 프로브 조립체에 부착되고, 부착된 캐리지(108)를 이용하여 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 원하는 위치에 프로브 조립체를 재배치한다. 하나 이상의 실시예에서, PCS 로봇(101)은 프로브 바 갠트리(104)에 부착된 프로브 조립체 캐리지들(108) 사이에서 프로브 조립체들을 직접 이동시킬 수 있다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 광학 프로빙 디바이스, 전기적 프로빙 디바이스, 열적 프로빙 디바이스, 및 정렬 프로빙 디바이스 중 적어도 하나를 통합할 수 있다.
하나 이상의 실시예에서, 프로브 바 갠트리(104)는 지지 프레임 조립체(105) 위에 장착된다. 지지 프레임 조립체(105)와 함께 프로브 바 갠트리(104)는 예를 들어, 선형 모터들을 사용하는 컴퓨터 제어 액추에이터(computer-controlled actuator)(도 1에 미도시)를 통해 Y 방향으로 자신의 트랙 조립체(미도시)에서 이동 가능하다. 하나 이상의 실시예에 따르면, 프로브 바 갠트리(104)는 DUT의 구성에 따라 LCD 유리의 길이를 따라서 특정 위치들에 프로브 조립체들을 배치하는데 사용되는 자동 모션 축을 제공한다.
하나 이상의 실시예에서, 2개의 프로브 조립체 스토리지 랙(103)은 프로브 구성 스테이션(100)의 프레임에 대해 고정적이다. 한편, PCS 로봇(101)은 도 1에 예시된 바와 같이 X 축으로 로봇 트랙 조립체(109)에서 이동 가능하다. PCS 로봇(101)은 스토리지 랙(103)으로부터 프로브 조립체들을 집어 프로브 조립체 캐리지들(108)에 장착한다. 또한, PCS 로봇은 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 프로브 조립체 캐리지들(108)을 재배치하는데 사용될 수 있다.
하나 이상의 실시예에서, 각각의 프로브 바 갠트리(104)에 부착된 8 내지 12개의 조립체 캐리지들(108)이 존재할 수 있다. 한편, 프로브 구성 스테이션은 2개의 바 갠트리(104) 및 2개의 PCS 로봇(101)을 포함할 수 있고, 각각은 별도의 로봇 트랙 조립체(109)에서 이동할 수 있는데, 이 때 각각의 로봇(101)은 하나의 바 갠트리(104)를 서빙한다. 그러나, 여기에 설명된 본 고안의 개념은 언급된 개수의 프로브 조립체 캐리지들(108), 프로브 바 갠트리들(104), 스토리지 랙들(103) 또는 PCS 로봇들(101)로 제한되지 않는다.
도 2는 프로브 조립체(200)의 일 실시예를 예시한다. 하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체들(200)은 전기적 시험 동작 중에 DUT를 구동하기 위해 DUT에 신호 수신용 전도성 패드들을 체결하도록 설계된 전기적 접촉 핀들(201)의 풀 어레이(full array; 202)를 제공하는 커스터마이즈 가능 모듈들이다. 여러 경우에, 전술한 전도성 패드들은 DUT의 주변부에 위치한다. DUT가 TFT 패널인 경우, 전기적 시험 동작을 가능하게 하기 위해 프로브 조립체들(200)은 구동 및/또는 데이터 신호들을 전달할 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 전기적 접촉 핀들(201)은 단일 행 또는 다중 열로, 또는 임의의 다른 공간적 배열로 프로브 조립체 본체(207)에 장착된 신장 노즈(elongated nose; 204)에 배치된다. 전술한 전기적 접촉 핀들(201) 뿐 아니라, 프로브 조립체들(200)은 최대 프로빙력(probing force) 하에서 프로브 조립체가 캐리지에 부착된 채로 유지하는데 충분한 수직 프리로드(pre-load)를 이용하여 프로브 조립체 본체(207)를 프로브 조립체 캐리지들(108)에 부착하기 위한 하나 이상의 장착 핀(203)을 통합한다. 추가적으로, 프로브 조립체들(200)은 스토리지 랙들(103) 중 하나에 프로브 조립체 본체(207)를 지지하기 위한 4개의 프로브 조립체 홀딩 부재들(205)를 통합한다. 하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체는 표준 프로브 조립체 본체(207) 및 커스터마이즈 가능 프로브 노즈(204)로 구성될 수 있다. 프로브 노즈(204)는 수평 또는 수직 배향으로 설계되는 것뿐 아니라, 핀들의 개수, 핀 간격 측면에서 패드 및 패널 레이아웃에 커스터마이즈될 수 있다. 여기서 프로브 조립체는 프로브 조립체를 캐리지에 부착하기 위한 장착 핀을 포함한다.
도 3은 프로브 조립체 본체(207)의 다른 도면을 도시한다. 하나 이상의 실시예에서, 도 3에 예시된 프로브 조립체 본체(207)의 도면은 그 상부에 관한 것으로서 프로브 조립체 캐리지(108)와 암수 결합되도록 구성된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브 조립체 본체(207)는, 프로브 조립체 본체(207)가 프로브 조립체 캐리지(108)에 부착되는 경우 프로브 조립체 캐리지(108)의 대응 전기 커넥터들과 암수 결합되도록 설계되어 있는 한 쌍의 전기적 커넥터(301)를 추가적으로 통합한다. 전술한 전기 커넥터들(310)의 핀들은 구동 전기 신호들이 전기 커넥터들(301)을 통해 DUT에 인가될 수 있도록 프로브 조립체(200)의 노즈(204)에 장착된 대응 핀들(201)과 전기적으로 결합된다. 하나 이상의 실시예에서, 전술한 전기 커넥터들(301)은 커넥터 사이의 물리적 삽입 조치들이 수행되지 않는 경우에도 프로브 조립체 캐리지(108)의 대응 전기 커넥터들과의 전기적 연결을 구축하도록 설계된다.
또한, 도 3에 도시된 프로브 조립체 본체(207)의 캐리지 암수 결합 측은 프로브 조립체 캐리지(108)에 맞춰 프로브 조립체 본체(207)를 적절히 정렬하는 것을 보장하기 위한 가이딩 부재들(guiding members; 302)을 통합할 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 가이딩 부재들(302)은 도 3에 도시된 미니-롤러들로서 구현될 수 있다. 프로브 조립체 본체(207)가 프로브 조립체 캐리지(108)에 장착되는 경우, 장착 핀들(203)은 프로브 조립체 캐리지(108)의 대응 장착 홀들에 체결되어, 그 결과 장착 핀들과 장착 홀들 사이에 신뢰할 수 있는 기계적 결합을 형성한다. 하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체 본체(207)와 프로브 조립체 캐리지(108) 사이에 안전한 기계적 결합이 일어났는지 여부를 검출하기 위해 하나 이상의 센서가 제공될 수 있다.
도 4는 프로브 바 갠트리에 부착된 프로브 조립체 캐리지(108)의 일 실시예를 예시한다. 도 4는 암수 결합 동안 프로브 조립체 캐리지(108)와 프로브 조립체 본체(207)의 적절한 정렬을 보장하기 위한 가이딩 부재들(203)를 체결하기 위한 프로브 조립체 정렬 핀들(402) 뿐 아니라 프로브 조립체 장착 핀들(203)을 수용하기 위한 프로브 조립체 장착 홀들(401)을 포함한다. 또한, 프로브 조립체 캐리지(108)는 장착 홀들(401) 내에 장착 핀들(203)을 보유하기 위한 장착 핀 보유 조립체(미도시)를 통합할 수 있다. 전술한 장착 핀 보유 조립체는 프로브 조립체가 캐리지에 부착된 채로 유지하기 위해 제공되는 기계적 클램핑 기구(mechanical clamping mechanism)로서 기능한다. 하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체 캐리지(108)는 프로브 조립체 본체(207)의 전기 커넥터들(301)과 암수 결합하기 위한 한 쌍의 전기 커넥터(403)를 더 포함한다.
하나 이상의 실시예에서, 각각의 프로브 조립체 캐리지(108)는 프로브 조립체 캐리지(108)에 자기 프리로드(magnetic pre-load)을 제공하는 영구적인 희토류 자석들(permanent rare earth magnets)을 포함하는 자기 프리로드 공기 베어링(magnetically pre-loaded air bearing)을 통합한다. 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 프로브 조립체 캐리지(108)를 이동시키기 전에, 가압된 공기가 프로브 조립체 캐리지(108)의 공기 베어링에 공급된다. 공기압은 자석의 인력을 극복하는데 충분하고, 캐리지(108)는 프로브 바 갠트리(104)를 따라서 쉽게 미끄러질 수 있다. 프로브 조립체 캐리지(108)가 프로브 바 갠트리(104)를 따라서 적절한 위치에 도달하는 경우, 가압된 공기는 공기 베어링으로 턴오프되고, 자석의 인력은 프로브 조립체 캐리지(108)를 프로브 바 갠트리(104) 상의 위치에 유지시킨다. 하나 이상의 실시예에서, 가압된 공기는 프로브 바 갠트리(104) 내의 공기 전달 홀들을 통해 전달될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 가압된 공기는 각각의 프로브 조립체 캐리지(108)에 선택적으로 전달될 수 있다. 이를 위해, 프로브 바 갠트리(104)는 각각의 장착된 프로브 바 조립체(108)에 대응하는 공기 전달 존들로 분할될 수 있는데, 가압된 공기는 선택적으로 활성화될 수 있는 곳에 공급된다.
대체적인 실시예에서, 공기는 PCS 로봇(101)에 의해 프로브 조립체 캐리지의 공기 베어링에 공급될 수 있는데, 프로브 조립체(200) 또는 프로브 조립체 캐리지(108)의 공기 유입구와 암수 결합하도록 설계된 가압 공기 유입구를 포함할 수 있다. PCS 로봇(101)이 프로브 조립체(200)를 프로브 조립체 캐리지(108)에 부착하는 경우, 전술된 가압 공기 공급은 턴온되어 PCS 로봇(101)으로 하여금 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 프로브 조립체 캐리지(108)를 재배치하게 할 수 있다. 전술한 재배치의 완료 후에, 공기 공급이 턴오프되어, 프로브 조립체 캐리지가 전술한 자기력을 통해 프로브 바 갠트리(104)에 안전하게 부착된다.
도 5는 프로브 바 갠트리(104)에 부착된 프로브 조립체 캐리지(108)의 다른 도면을 예시한다. 하나 이상의 실시예에서, 바람직하게 각각의 프로브 조립체 캐리지(108)에는 프로브 조립체 캐리지(108)에 대한 DUT 구동 신호들의 전달을 위한 (플렉서블 케이블 또는 플렉서블 인쇄 회로 기판과 같은) 전용 플렉서블 컨덕터(501)가 장착된다. 하나 이상의 실시예에서, 전용 플렉서블 케이블들(501)은 프로브 조립체 캐리지(108)로 하여금 PCS 로봇(101)에 의해 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 이동될 수 있도록 설계된 플렉서블 케이블들이다. 프로브 조립체 캐리지들(108) 각각은 프로브 바 갠트리(104)를 따라서 소정의 모션 범위를 갖는다. 하나 이상의 실시예들에서, 전술한 소정 범위의 모션이 서로 중첩되어 프로브 바 갠트리(104)의 길이의 전체 커버리지를 보장하도록 프로브 조립체 캐리지들(108)이 배열된다.
프로브 조립체 캐리지들 사이의 가능한 기계적 간섭을 회피하기 위해, 하나 이상의 실시예에서, PCS 로봇(101)에는 프로브 바 갠트리(104) 상의 프로브 조립체 캐리지의 존재 및 위치를 검출하도록 설계된 하나 이상의 센서들이 제공된다. 전술한 센서들로부터의 신호들은, 프로브 바 갠트리 상의 프로브 조립체 캐리지들 사이에 가능한 기계적 인터페이스를 검출 및 금지하도록 구성되는 PCS 시스템의 제어 모듈에 전송된다. 이와 유사하게, PCS 로봇(101)에는 특정 프로브 조립체 캐리지(108)에 상이한 프로브 조립체를 장착하려는 것을 회피하기 위해 프로브 조립체가 이미 이러한 캐리지(108)에 장착되어 있는지 여부를 검출하는지 여부를 검출하도록 설계된 하나 이상의 센서가 제공될 수 있다.
프로브 조립체 캐리지(108)의 전용 플렉서블 케이블 또는 플렉서블 인쇄 회로 기판(501)이 전기 커넥터들(403)에 전기적으로 연결되어 프로브 조립체 캐리지(108)와 암수 결합되는 경우 프로브 조립체(200)의 전기 커넥터(301)에 대한 DUT 구동 신호들의 전달을 보장한다. 전용 플렉서블 케이블들 또는 플렉서블 인쇄 회로 기판들(501)의 타단은 프로브 조립체 캐리지(108)로부터 멀리 떨어져 위치하는 시험 패턴 발생기에 전기적으로 연결된다. 전술한 원격 구동 전자 부품들은 시험 중에 DUT를 구동하는데 필요한 구동 신호 스위칭을 수행하고, 프로브 조립체(200)의 전술한 접촉 핀들(201)로/로부터 전기적 신호들을 송수신할 수 있다. 이에 따라, 하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체들(200) 및 프로브 조립체 캐리지(108)는 능동 전자부품들을 포함하지 않는다.
하나 이상의 실시예에서, 전용 플렉서블 케이블들 또는 플렉서블 인쇄 회로 기판(501) 각각에는 프로브 조립체 캐리지(108)가 프로브 바 갠트리(104)를 따라서 상이한 위치에 장착되는 경우 케이블 또는 플렉서블 인쇄 회로 기판(501)의 적절한 배치를 보장하기 위한 케이블 가이딩 부재(503)가 제공된다. 하나 이상의 실시예에서, 플렉서블 컨덕터 가이딩 부재(503)는 금속, 플라스틱 또는 임의의 다른 적절한 소재로 형성된 스트립을 포함한다. 고안자들은 블레이드(blade)를 측정하는 테이프(tape)의 소재 및 형상과 유사한 소재 및 형상의 가이드가 가이딩 부재(503)를 형성하는데 적절하다는 것을 알아냈다. 케이블 가이딩 부재(503)는 전용 플렉서블 케이블 또는 전용 인쇄 회로 기판(501)이 휘어져서 프로브 구성 스테이션(100)의 동작과 인터페이싱하는 것을 방지한다. 하나 이상의 실시예에서, 상이한 프로브 조립체 캐리지(108)의 전용 플렉서블 케이블들 또는 플렉서블 인쇄 회로 기판들(501)은 도 1에 예시된 바와 같은 포개지는 방식(nested manner)으로 배열될 수 있다.
도 6은 프로브 조립체 스토리지 랙(probe assembly storage rack; 103)의 일 실시예를 예시한다. 프로브 조립체 스토리지 랙(103)은 도 6에 예시된 바와 같이 자신의 상측에 배열된 다수의 스토리지 랙 레일들(110)을 통합한다. 각각의 스토리지 랙 레일(110)은 측면들로 돌출된 프로브 조립체 홀딩 핀들(601)과 같은 프로브 조립체 홀딩 수단을 통합한다. 도 6에 도시된 실시예에서, 4개의 홀딩 핀들(601)이 사용된다. 그러나, 본 고안은 이 개수의 홀딩 핀들로 제한되지 않으며, 임의의 다른 적절한 개수가 활용될 수 있다. 이들 프로브 조립체 홀딩 핀들(601)은 도 2에 도시된 프로브 조립체 홀딩 부재들(205)와 기계적으로 암수 결합되어 프로브 조립체 스토리지 랙(103) 위의 프로브 조립체(200)를 지지한다. 스토리지 랙들(103)은 다른 DUT 레이아웃들에 사용되는 스페어(spare) 프로브 조립체들(200) 또는 프로브 조립체들을 저장하는데 사용된다. 하나 이상의 실시예에서, PCS 로봇(101)에는 스토리지 랙 레일(110)의 동일한 위치에 상이한 프로브 조립체를 장착하려는 것을 회피하기 위해 스토리지 랙 레일(110) 상의 특정 위치에 프로브 조립체가 이미 장착되어 있는지 여부를 검출하도록 설계된 하나 이상의 센서들이 제공될 수 있다. 전술한 센서들로부터의 신호들은, 스토리지 랙 레일들(110)에 장착된 상이한 프로브 조립체들 사이의 가능한 기계적 간섭을 검출 및 방지하도록 구성되는 PCS 시스템의 제어 모듈로 전송된다.
하나 이상의 실시예에 따르면, PCS 로봇(101)은 고집적 기구, PCS 그리퍼 조립체(111), 및 도 7에 예시된 예시적인 실시예를 사용한다. PCS 그리퍼 조립체(111)는 프로브 바 갠트리(104)에 부착된 스토리지 랙들(103) 및 프로브 조립체 캐리지들(108)로/로부터 프로브 조립체들(200)을 “픽앤플레이스”에 사용된다. 또한, PCS 그리퍼 조립체(111)는 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 부착된 프로브 조립체들(200)을 갖는 프로브 조립체 캐리지들(108)을 재배치하는데 사용될 수 있다.
도 7에 도시된 실시예에서, PCS 그리퍼 조립체(111)는 그리핑 아암들(gripping arms; 701 및 702)을 통합하는데, 이들 그리핑 아암들은 PCS 그리퍼 조립체(111)의 나머지에 대해 선회 가능하게 이동할 수 있고, 예를 들어 공기압 실린더(pneumatic cylinder)(미도시)를 사용하여 작동된다. 그리핑 아암들(701 및 702)가 체결되는 경우, 도 2에 도시된 프로브 조립체 그리핑 슬롯들(206)을 사용하여 프로브 조립체(200)의 본체를 고정(grab)시키도록 구성된다. 그리핑 핑거들(gripping fingers; 703, 704, 705, 및 706)은 프로브 조립체(200)의 프로브 조립체 그리핑 슬롯들(206)에 삽입되어 재배치 동작 중에 그리퍼 조립체(111)에 프로브 조립체(200)를 보유하는 것을 용이하게 한다. 하나 이상의 실시예에서, 프로브 조립체가 그리핑 아암들(701 및 702)에 의해 체결되는 경우 PCS 그리퍼 조립체(111)는 캐리지(108)를 프로브 바 갠트리 조립체(104)에 부착하는 클램핑력(clamping force)을 극복하도록 구성된 프리로드 기구(pre-load mechanism)를 통합한다. 그리핑 아암들(701 및 702)가 체결 해제되는 경우, 프로브 조립체(200)는 PCS 그리퍼 조립체(111)로부터 분리된다.
하나 이상의 실시예에서, PCS 그리퍼 조립체(111)는 스프링(709)를 사용하여 기계적으로 결합되어 있는 선회 가능하게 장착된 센터링 부재들(707 및 708)을 포함하는 센터링 기구를 통합한다. 센터링 부재들(707 및 708)은 돌출부들(710 및 711)을 각각 통합하는데, 이 돌출부들(710 및 711)는 PCS 그리퍼 조립체(111)가 프로브 조립체 본체(200)에 부착되는 경우 프로브 조립체 본체(200)의 슬롯들(208 및 209)와 암수 결합하도록 구성되어 PCS 그리퍼 조립체(111)와의 적절한 정렬(센터링)을 보장한다. 또한, 하나 이상의 실시예에서, PCS 그리퍼 조립체(111)는 그리핑 아암들(701 및 702)의 현재 위치를 감지하여 감지된 위치를 PC 시스템의 제어 모듈에 전달하기 위한 하나 이상의 그리핑 아암 센서들을 통합한다.
도 8은 프로브 조립체 캐리지(108)에 부착된 프로브 조립체(200)의 본체 부근에 위치한 PCS 그리퍼 조립체(111)를 예시한다. 도 8로부터 알 수 있듯이, PCS 그리퍼 조립체(111)의 그리핑 아암(702)은 프로브 조립체 그리핑 슬롯들을 사용하여 프로브 조립체(200)의 본체를 잡도록 구성된다. 하나 이상의 실시예에서, PCS 그리퍼 조립체(111)는 프로브 바 갠트리 조립체 회전 또는 높이 변화를 보상하기 위한 순응 기구(compliance mechanism)를 포함한다.
하나 이상의 실시예에 따르면, PCS 그리퍼 조립체(111)는 그리퍼 공기압 실린더의 작동에 의해 그리퍼 아암(701 및 702)를 개폐하는 것을 용이하게 하는 통합형 기계식 연동기(integrated mechanical linkage)를 통합한다. 이는 그리퍼 핑거들(703, 704, 705, 및 706)가 프로브 조립체(200)에 안전 그립을 구축하게 할 수 있다. 동일하거나 다른 실시예들에서, 전술한 통합형 기계식 연동기 또한 프로브 조립체 캐리지(108)의 장착 핀 보유 조립체의 개폐를 가능하게 한다.
하나 이상의 실시예에 따르면, 전술한 픽앤플레이스 동작 중에, 다음의 순차적 동작들이 그리핑 아암들(701 및 702)을 작동시키는 전술한 공기압 실린더의 단일 스트로크에서 PCS 그리퍼 조립체(111)에 의해 수행되는데, 즉 프로브 조립체(200)를 잡고, 프로브 조립체 캐리지(108)의 장착 핀 보유 조립체를 개방하여 프로브 조립체 캐리지(108)로부터 프로브 조립체(200)의 해제를 가능하게 한다.
본 고안의 개념의 하나 이상의 실시예들에 따르면, 전기 검사를 위해 LCD 유리 또는 그 밖의 DUT에 구동 회로들을 자화하기 위해, 전기적 시험 신호들 중 하나 이상은 원거리 시험 패턴 발생기(미도) 중 하나 이상을 사용하여 발생된다. 다양한 실시예에서, 소정의 값들의 범위의 진폭, 예를 들어, 플러스 마이너스 50볼트의 범위의 진폭을 갖는 일련의 전기적 펄스들로서 단일 패턴 채널이 정의된다. 전술된 하나 이상의 전기적 시험 신호들이 도 5에 도시된 전술한 전용 플렉서블 케이블들(501)로서 전용 신호 케이블들을 통해 프로브 조립체 캐리지들(108)로 라우팅되고, 그로부터 전기 커넥터들(403 및 301)을 통해 프로브 조립체들(200)의 접촉 핀들(201)에 라우팅된다. 그 다음, 접촉 핀들(201)은 생성된 시험 신호들을 전달하는 LCD 유리 또는 그 밖의 DUT들의 표면 상의 신호 수신 전도성 패드들에 전기적으로 결합된다. 프로브 조립체들(200)의 접촉 핀들(210)과 DUT들의 표면 상의 신호 수신 전도성 패드들 사이의 적절한 정렬을 이루기 위해, 프로브 조립체들(200)은 프로브 바 갠트리(104)에 적절하게 위치한다.
하나 이상의 실시예들에 따르면, PCS(100)의 설명된 실시예에서의 예시적인 프로브 조립체(200) 배치 절차는 다음의 단계들을 포함할 수 있다.
우선, 프로브 바 갠트리(104)는 프로브 조립체 적재 위치로 Y 방향 이동한다.
그 후, PCS 로봇(101)은 자신의 그리퍼 조립체(111)를 사용하여 스토리지 랙(103)으로부터 프로브 조립체(200)를 집어 올린다.
그 다음, 그리퍼 조립체(111)에 부착된 프로브 조립체(200)를 갖는 PCS 로봇(101)은 프로브 조립체(200)가 위치될 프로브 바 갠트리(104)의 영역을 담당하는 프로브 조립체 캐리지(108)의 위치로 X 방향 이동한다.
그 후, 프로브 조립체(200)가 부착된 PCS 로봇(101)은 프로브 조립체 캐리지(108)까지 위로 이동하여 프로브 조립체(200)를 프로브 조립체 캐리지(108)에 부착한다.
그 후, PCS 로봇(101)은 프로브 조립체(200) 및 프로브 조립체 캐리지(108)에 여전히 체결되어 있는 동안 X축 이동하고, 프로브 조립체(200) 및 프로브 조립체 캐리지(108)를 프로브 바 갠트리(104)의 정확한 X 위치로 드래깅한다. 이러한 단계 동안에, 가압 공기가 전술한 공기 베어링에 공급되어 프로브 바 갠트리(104)의 길이를 따라서 프로브 조립체(200) 및 프로브 조립체 캐리지(108)의 전술한 배치를 용이하게 한다.
그 후, PCS 로봇(101)은 프로브 조립체(200) 및 프로브 조립체 캐리지(108)로부터 체결 해제되어, 이들 모두를 프로브 바 갠트리(104) 상의 적절한 위치에 고착한다. 가압 공기의 공급은 중단된다.
프로브 조립체(200)가 프로브 바 위에 고착된 후, 전기 커넥터(403) 상의 전용 연속 핀들을 사용하여 프로브 조립체 캐리지(108)에 대한 프로브 조립체(200)의 적절한 암수 결합을 확인하기 위해 전기적 연속성이 점검된다. 연속성 체크가 실패한 이벤트에서, 프로브 조립체(200) 및 프로브 조립체 캐리지 고착 단계들이 반복된다. 전기 커넥터(403)에 대한 적절한 연결성을 확립하기 위한 추가적인 실패 조건에서, 프로브 조립체(200)는 결함이 있는 것으로 간주되어, 스토리지 랙(103)에 위치한다. 이 동작은 스토리지 랙(103)으로부터 유사한 프로브 조립체(200)를 집음으로써 계속된다.
PCS 로봇(101)은 아래로 이동하여 스토리지 랙(103)으로 복귀하여 프로브 바 갠트리(104) 상의 배치를 위한 다음 프로브 조립체를 가져오는데, 그 후 프로브 바 갠트리가 LCD 패널 또는 다른 DUT의 전기적 시험을 위해 충분히 구성될 때까지 전술한 단계들이 반복된다.
하나 이상의 실시예에 따르면, 프로브 조립체들(200) 및/또는 프로브 조립체 캐리지들(108)과 관련된 위치들, 구성들, 및/또는 다른 정보를 계속 추적하고, 스토리지 랙(103) 또는 프로브 바 갠트리(104)에 프로브 조립체들(200)을 위치시키기 위해, 도 9, 도 10, 및 도 11에 도시된 바와 같이, PCS 로봇(101)은 바코드, 또는 RFID 판독 시스템(901) 및 에지 검출 센서(905)가 갖춰진다. 하나 이상의 실시예에서, 각각의 프로브 조립체(200) 및 각각의 프로브 조립체 캐리지(108)는 PCS 로봇의 101 바코드 또는 RFID 판독 시스템(901)에 의해 판독될 수 있는 바코드 또는 RFID 태그(미도시)를 통합한다. 바코드 또는 RFID 태그는 고유한 프로브 조립체 또는 프로브 조립체 캐리지 ID, 프로브 타입, 및 XY 오프셋 교정(calibration), 그리고 그 밖의 다른 적절한 파라미터들을 저장한다. 카메라들, 조명 장치들, 레이저들, 기판에 대한 정렬, 계측, 에너지 전달, 열 전달을 위한 그 밖의 센서들(유무선)과 같은 임의의 다른 디바이스들이 실행 시간에 본 고안의 PCS 시스템의 실시예들에 추가될 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 본 고안의 시스템은 흠결 없는 재구성을 위한 PCS 그리퍼 조립체(100)에서 프로브 조립체의 존재 여부를 검출하도록 동작하는 프로브 조립체 존재 감지 센서(906)를 추가적으로 통합한다.
하나 이상의 실시예들에서, PCS 로봇(101)의 에지 검출 센서(805)는 프로브 바 갠트리(104) 상에서 프로브 조립체 캐리지(108) 및 프로브 조립체들(200)의 위치 확인에 사용된다. 또한, 에지 검출 센서(802)는 또한 프로브 조립체들(200)의 흠결 없는 교환을 용이하게 하기 위해 프로브 바 갠트리(104)의 표면의 임의의 평편함 또는 뒤틀림에 대한 보상을 위해 수직 방향의 소프트웨어 보상에 사용될 수 있다.
하나 이상의 실시예에서, 본 고안의 시스템은 프로브 조립체를 그 위에 위치하려 하기 전에 프로브 바 갠트리(104)에서의 프로브 조립체 캐리지(108)의 존재 여부를 검출하도록 동작하는 프로브 조립체 캐리지 존재 감지 센서(904)를 더 통합한다. 추가 센서들은 전술한 스토리지 랙 장착 프로브 조립체들과의 인터페이싱할 수 있는 소정의 모션을 시도하기 전에 하나 이상의 탑재 프로브 조립체들의 존재에 대한 프로브 조립체 스토리지 랙(103)을 점검하기 위한 룩업 센서(look up sensor; 902) 및 룩다운 센서(look down sensor; 903)를 포함할 수 있다.
하나 이상의 센서에서, 프로브 조립체의 노즈(204)에 임의의 누락 또는 파손된 핀들(201)을 검출하는데, 척(chuck) 뒤에 탑재된 프로브 핀 테스터 모듈이 사용되며, 이로써 DUT의 프로빙에 필요한 시감을 절감한다. 프로브 바 갠트리(104)에 탑재된 프로브 조립체가 프로브 핀 테스터 모듈의 상부에서 구동되고, 프로브 핀들은 핀 테스터 플레이트 위로 내려 오고, 그 후 소프트웨어 알고리즘이 각 핀 사이에 전기 회로를 완성시켜서 임의의 누락 또는 파손된 핀들을 검출한다.
본 고안의 개념의 하나 이상의 실시예에 따르면, 시스템은 또한 (시스템의 앞부분에 위치한, 전술한 로봇 및 제1 프로브 바 갠트리뿐 아니라) 시스템의 뒷부분에 위치한 제2 로봇을 포함할 수 있다 또한, 뒷부분에는 윈도우 또는 다른 개구와 같은 액세스 영역, 및 액세스 영역을 통해 임의의 자동화 수단에 의해 시스템의 인간 오퍼레이터에 의해 액세스될 수 있는 제2 이동 가능 프로브 바 갠트리(104)가 위치한다. 제2 이동 가능 프로브 바 갠트리(104)는 또한 (제1의, 앞쪽의) 로봇 시스템에 의해 액세스될 수 있도록 ((제1) 갠트리를 건넘으로써 재배치될 수 있다. 이러한 앞쪽의 로봇 시스템은 스토리지 랙, 제1 갠트리 조립체, 및 제2 갠트리 조립체 중 어느 하나 사이에 페이로드(payload)를 재배치하도록 구성된다. 페이로드의 에지를 검출함으로써 페이로드를 식별하고 위치 확인하도록 구성된 하나 이상의 에지 검출 센서들이 제공될 수 있다.
프로브 조립체(200)를 스토리지 랙(103) 또는 (제1) 프로브 바 갠트리(104)에 적재하는 것은 다음의 단계들을 포함할 수 있다.
동작 중에, PCS 시스템의 뒤쪽에 위치하는 제2 로봇은 디폴트 위치에서의 고정 위치에 남겨 둔다.
우선, 오퍼레이터가 액세스 영역을 통해 (시스템의 뒤쪽에 위치한) 제2 갠트리에 부착된 캐리지에 프로브 조립체를 수동으로 적재한다.
(시스템의 뒤쪽에 위치한) 제2 갠트리는 (시스템의 앞쪽에 위치한) 제1 로봇의 상부로 이동하며, 그 후 제2 갠트리에 부착된 캐리지에 적재된 프로브 조립체를 집어 올린다.
마지막으로, (시스템의 앞쪽에 위치한) 제1 로봇은 (시스템의 앞쪽에 위치한) 스토리지 랙 또는 (시스템의 앞쪽에 위치한) 제1 갠트리에 프로브 조립체를 저장한다.
프로브 조립체 하적 절차(probe assembly unloading procedure)는 반대 순서로 달성된다.
당업자에 의해 이해될 수 있듯이, 여기에 설명된 본 고안의 PCS 시스템의 이점은 제품 변경을 위한 정지 시간 감소, 새로운 제품들을 시험하기 위한 전기 검사 시스템을 채택하기 위안 비용 감소, 및 안정상 위험에 대한 오퍼레이터들의 노출 감소를 포함한다.
프로빙 구조체들을 원격으로(및/또는 자동으로) 재구성하여 DUT의 구성을 따르는 본 고안의 절차 및 관련 기구가 임의의 특정 시험 디바이스 또는 임의의 특정 시험 시스템 또는 방법으로 제한되는 않는다는 점에 유의해야 한다. 설명된 개념은 전자 빔, 전압 이미징, 또는 현재 알려지거나 장래에 개발될 시험 기법을 포함하는 임의의 공지의 시험 기법을 사용하여 임의의 다른 전자 디바이스들뿐 아니라 LCD 또는 OLED 패널들을 시험하는데 사용될 수 있다. 또한, 본 고안의 시스템은 프로브 조립체들 또는 특정 시험 장비를 다루는 것으로 제한되지 않고, 이들로 제한되는 것은 아니지만, 시험 여부와 무관하게, 카메라, 센서, 또는 임의의 다른 장비를 포함하는 임의의 페이로드를 다루는데 활용될 수 있다.
도 12는 시스템의 전체 신호 경로를 시험하기 위한 핀 테스터 스트립을 통합하는 프로브 핀 테스터 모듈(1201)의 일 실시예를 예시한다. 프로브 핀 테스터 스트립은 척의 뒤쪽에 탑재된 전도성 표면으로 구성된다. 프로브 조립체들을 프로브 바 갠트리에 적재한 후, 프로브 바 갠트리는 프로브 핀 테스터 스트립 위의 위치에 옮겨진다. 프로브 바 갠트리(104)는 프로브 조립체들(200) 내에 포함된 프로브 핀들이 프로브 핀 테스터 스트립과의 물리적 접촉을 형성하도록 Z 방향으로 내려간다. 그 후, 전술한 시험 패턴 발생기로부터 신호들을 발생시키기 위해 소프트웨어 루틴들이 개시되고, 특정 프로브 조립체(200) 상의 특정 프로브 핀들로 스위칭 전자 부품들을 통해 라우팅된다. 동시에, 동일한 프로브 조립체 상의 다른 프로브 핀들은 모니터링된다. 프로브 핀 테스터 스트립의 전도 특성으로 인해, 프로브 조립체로 향하는 신호들은 동일한 프로브 조립체에서 모니터링되고 있는 상이한 핀 세트에 의해 측정될 수 있다. 이러한 방법을 통해, LCD 패널 또는 다른 피시험 디바이스의 검사를 시작하기 전에 프로브 조립체에 대해 전체 신호 경로의 기능성이 검증될 수 있다. 설명된 프로세스는 프로브 바에 있는 프로브 조립체마다 반복될 수 있다.
마지막으로, 여기에 설명된 프로세스들 및 기법들은 본질적으로 임의의 특정 장치에 관한 것이 아니며, 컴포넌트들의 임의의 적절한 조합에 의해 구현될 수 있다는 점이 이해되어야 한다. 또한, 다양한 타입의 범용 디바이스들이 여기에 설명된 교시에 따라 사용될 수 있다. 또한, 여기에 설명된 방법 단계들을 수행하기 위한 특수 장치를 만드는 것이 유리하다고 판명되었다. 본 고안은 특정 예시에 관해 설명되어 있으며, 모든 관점에서 한정적이 아닌 예시적인 것이다. 더구나, 본 고안의 다른 실시예들은 여기에 개시된 본 고안의 명세서 및 실시를 고려함으로써 당업자에게 명백할 것이다. 전술된 실시예들의 다양한 양태 및/또는 컴포넌트들은 단독으로 또는 전자 디바이스들을 시험하기 위한 시스템에서 임의의 조합으로 사용될 수 있다. 본 명세서 및 예시들은 단지 예시적인 것으로서 간주되어야 하며, 본 고안의 진정한 범위 및 사상은 다음의 청구항에 의해 표시된다.

Claims (35)

  1. 피시험 디바이스를 검사하기 위한 프로브 시스템으로서,
    a) 스토리지 랙(storage rack);
    b) 프로브 바 갠트리 조립체(probe bar gantry assembly);
    c) 상기 프로브 바 갠트리 조립체에 부착된 캐리지(carriage);
    d) 상기 캐리지에 부착 가능하고 상기 피시험 디바이스와 전기적으로 암수 결합하도록 구성된 프로브 조립체; 및
    e) 상기 스토리지 랙으로부터 상기 프로브 조립체를 집어서 상기 프로브 바 갠트리에 부착된 캐리지에 전달하도록 구성되고, 상기 프로브 바 갠트리 조립체에 부착된 캐리지로부터 상기 프로브 조립체를 집어서 상기 스토리지 랙에 전달하도록 더 구성된 로봇 시스템을 포함하는, 프로브 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 로봇은 상기 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 상기 프로브 조립체 및 상기 캐리지를 재배치하여 상기 프로브 조립체와 상기 피시험 디바이스의 대응 암수 결합 부위의 정렬을 이루도록 더 구성되는, 프로브 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 상기 프로브 조립체 및 상기 캐리지의 재배치를 용이하기 하기 위한 마찰 감소 디바이스를 더 포함하는, 프로브 시스템.
  4. 제2항에 있어서, 상기 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 상기 프로브 조립체 및 상기 캐리지의 재배치를 용이하기 하기 위한 공기 베어링(air bearing)을 더 포함하는, 프로브 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 상기 프로브 조립체를 상기 캐리지에 부착하기 위한 장착 핀을 포함하는, 프로브 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 상기 프로브 조립체가 상기 캐리지에 부착되는 경우 상기 피시험 디바이스 상의 전도성 패드들과 암수 결합하도록 구성된 복수의 접촉 핀을 포함하는, 프로브 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 상기 프로브 조립체의 접촉 핀들은 상기 피시험 디바이스의 구성에 따라 미리 배치되는, 프로브 시스템.
  8. 제1항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 제2 커넥터를 포함하고, 상기 캐리지는 제1 커넥터를 포함하고, 상기 프로브 조립체가 상기 캐리지에 부착되는 경우 상기 제1 커넥터는 상기 제2 커넥터와 암수 결합하는, 프로브 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 캐리지의 제1 커넥터에 적어도 하나의 시험 구동 신호를 전달하기 위한 플렉서블 케이블을 더 포함하는, 프로브 시스템.
  10. 제9항에 있어서, 상기 캐리지가 상기 프로브 바 갠트리 조립체에 장착되는 경우 상기 플렉서블 케이블의 적절한 위치를 보장하기 위한 케이블 가이딩 부재를 더 포함하는, 프로브 시스템.
  11. 제9항에 있어서, 상기 적어도 하나의 시험 구동 신호를 발생하도록 구성된 시험 패턴 발생기를 더 포함하고, 상기 시험 패턴 발생기는 상기 플렉서블 케이블에 전기적으로 연결되는, 프로브 시스템.
  12. 제8항에 있어서, 상기 캐리지의 제1 커넥터에 적어도 하나의 시험 구동 신호를 전달하기 위한 플렉서블 인쇄 회로를 더 포함하는, 프로브 시스템.
  13. 제8항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 상기 프로브 조립체가 상기 캐리지에 부착되는 경우 상기 피시험 디바이스 상의 전도성 패드들과 암수 결합하도록 구성된 복수의 접촉 핀을 포함하고, 상기 복수의 접촉 핀은 상기 프로브 조립체의 제2 커넥터의 복수의 컨택에 전기적으로 연결되는, 프로브 시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 상기 제2 커넥터로부터 상기 적어도 하나의 시험 구동 신호를 수신하고, 상기 복수의 접촉 핀을 통해 상기 수신된 적어도 하나의 시험 구동 신호를 상기 피시험 디바이스에 인가하도록 구성되는, 프로브 시스템.
  15. 제1항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 최대 프로빙력(probing force) 하에서 상기 프로브 조립체를 상기 캐리지에 부착된 채로 유지하는데 충분한 수직 프리로드(pre-load)를 이용하여 상기 프로브 조립체를 상기 캐리지에 부착하기 위한 장착 핀을 포함하는, 프로브 시스템.
  16. 제1항에 있어서, 상기 프로브 바 갠트리 조립체는 상기 피시험 디바이스 상의 특정 위치에 상기 프로브 조립체를 배치하기 위한 자동화된 모션 축을 제공하도록 구성되는, 프로브 시스템.
  17. 제1항에 있어서, 상기 로봇 시스템은 상기 프로브 조립체를 잡도록 동작할 수 있는 그리핑 조립체(gripping assembly)를 포함하는, 프로브 시스템.
  18. 제17항에 있어서, 상기 그리핑 조립체는 상기 그리핑 조립체에 대해 선회 가능하게 이동할 수 있는 그리핑 아암(gripping arm)을 포함하고, 상기 로봇 시스템은 상기 그리핑 조립체의 그리핑 아암을 작동시키기 위한 액추에이터(actuator)를 포함하는, 프로브 시스템.
  19. 제17항에 있어서, 상기 그리핑 조립체는 상기 프로브 조립체가 상기 캐리지로부터 제거될 수 있는 경우 상기 캐리지를 상기 프로브 바 갠트리 조립체에 부착하는 클램핑력을 극복하도록 구성된 프리로드 기구를 포함하는, 프로브 시스템.
  20. 제17항에 있어서, 상기 그리핑 조립체는 상기 프로브 바 갠트리 조립체 회전 또는 높이 변화를 보상하기 위한 순응 기구(compliance mechanism)를 포함하는, 프로브 시스템.
  21. 제1항에 있어서, 상기 로봇 시스템은 상기 프로브 조립체를 식별하거나 위치 확인하도록 구성된 적어도 하나의 센서를 포함하는, 프로브 시스템.
  22. 제21항에 있어서, 상기 센서는 RFID 판독기이고, 상기 프로브 조립체는 상기 RFID 판독기에 의해 판독되도록 구성된 RFID 태그를 포함하고, 상기 RFID 태그는 고유 프로브 조립체 식별자, 프로브 타입 정보, 및 교정(calibration) 정보 중 적어도 하나를 저장하는, 프로브 시스템.
  23. 제21항에 있어서, 상기 센서는 상기 프로브 조립체의 에지를 검출하도록 구성된 에지 검출 센서인, 프로브 시스템.
  24. 제23항에 있어서, 상기 프로브 조립체의 배치 또는 제거 중에 상기 프로브 바 갠트리 조립체 표면의 임의의 뒤틀림을 보상하는데 필요한 보정들을 결정하도록 구성된 컨트롤러를 더 포함하는, 프로브 시스템.
  25. 제21항에 있어서, 상기 센서는 바코드 판독기이고, 상기 프로브 조립체는 상기 바코드 판독기에 의해 판독되도록 구성된 바코드를 포함하고, 상기 바코드 태그는 고유 프로브 조립체 식별자, 프로브 타입 정보, 및 교정 정보 중 적어도 하나를 저장하는, 프로브 시스템.
  26. 제1항에 있어서, 상기 로봇 시스템은 상기 캐리지를 식별하고 위치 확인하도록 구성된 적어도 하나의 센서를 포함하는, 프로브 시스템.
  27. 제1항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 광학 프로빙 디바이스, 전기적 프로빙 디바이스, 열적 프로빙 디바이스, 및 정렬 프로빙 디바이스 중 적어도 하나를 포함하는, 프로브 시스템.
  28. 제1항에 있어서, 상기 프로브 바 갠트리 조립체는 상기 피시험 디바이스 상의 임의의 위치에 상기 프로브 조립체를 배치하도록 동작 가능한, 프로브 시스템.
  29. 제1항에 있어서, 상기 캐리지는 상기 캐리지와 상기 프로브 조립체를 정렬시키는 적어도 하나의 정렬 핀을 포함하는, 프로브 시스템.
  30. 제1항에 있어서, 상기 캐리지는 상기 프로브 조립체가 상기 캐리지에 부착된 채로 유지하기 위한 클램프 기구를 통합하는, 프로브 시스템.
  31. 피시험 디바이스를 검사하기 위한 프로브 시스템으로서,
    a) 제1 레일 및 제2 레일을 포함하는 스토리지 랙;
    b) 프로브 바 갠트리 조립체;
    c) 상기 프로브 바 갠트리 조립체에 부착되고, 제1 전기 커넥터 및 상기 제1 전기 커넥터에 시험 구동 신호들을 전달하는 케이블을 포함하는 캐리지;
    d) 상기 피시험 디바이스 상의 접촉 패드들과 전기적으로 암수 결합하도록 구성된 복수의 핀, 상기 복수의 핀에 전기적으로 연결되고, 상기 캐리지에 부착되는 경우 상기 제1 커넥터와 암수 결합하도록 구성된 제2 커넥터, 및 상기 프로브 조립체를 상기 캐리지에 확실히 고정하기 위한 장착 핀을 포함하는 프로브 조립체; 및
    e) 상기 스토리지 랙으로부터 상기 프로브 조립체를 집어서 상기 프로브 바 갠트리에 부착된 캐리지에 전달하도록 구성되고, 상기 프로브 바 갠트리 조립체에 부착된 캐리지로부터 상기 프로브 조립체를 집어서 상기 스토리지 랙에 전달하도록 더 구성된 로봇 시스템을 포함하는, 프로브 시스템.
  32. 제31항에 있어서, 상기 로봇은 상기 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 상기 프로브 조립체 및 상기 캐리지를 재배치하여 상기 프로브 조립체와 상기 피시험 디바이스의 대응 암수 결합 부위의 정렬을 이루도록 더 구성되는, 프로브 시스템.
  33. 제32항에 있어서, 상기 프로브 바 갠트리 조립체의 길이를 따라서 상기 프로브 조립체 및 상기 캐리지의 재배치를 용이하기 하기 위한 공기 베어링을 더 포함하는, 프로브 시스템.
  34. 제31항에 있어서, 상기 프로브 조립체는 상기 프로브 조립체를 상기 캐리지에 부착하기 위한 장착 핀을 포함하는, 프로브 시스템.
  35. 시스템으로서,
    a) 스토리지 랙;
    b) 제1 갠트리 조립체;
    c) 상기 제1 갠트리 조립체에 부착된 제1 캐리지;
    d) 제2 갠트리 조립체;
    e) 상기 제2 갠트리 조립체에 부착된 제2 캐리지;
    f) 상기 제1 갠트리 조립체에 대한 액세스를 가능하게 하는 액세스 영역;
    g) 제1 로봇 시스템; 및
    h) 상기 스토리지 랙, 상기 제1 갠트리 조립체에 부착된 제1 캐리지, 및 상기 제2 갠트리 조립체에 부착된 제2 캐리지 중 어느 사이에 페이로드를 재배치하고, 상기 페이로드의 적어도 하나의 에지를 검출함으로써 상기 페이로드를 식별하고 위치 확인하도록 구성된 적어도 하나의 에지 검출 센서를 포함하는 제2 로봇 시스템을 포함하는, 시스템.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190078021A (ko) * 2017-12-26 2019-07-04 주식회사 탑 엔지니어링 기판 검사 장치

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3586151A1 (en) * 2017-02-27 2020-01-01 Posit Systems Ltd Robot-assisted hardware testing
JP2019053161A (ja) * 2017-09-14 2019-04-04 日本電産サンキョー株式会社 検査装置
JP2019053162A (ja) * 2017-09-14 2019-04-04 日本電産サンキョー株式会社 検査装置
US11867749B2 (en) 2020-10-22 2024-01-09 Teradyne, Inc. Vision system for an automated test system
US11899042B2 (en) 2020-10-22 2024-02-13 Teradyne, Inc. Automated test system
US11754596B2 (en) 2020-10-22 2023-09-12 Teradyne, Inc. Test site configuration in an automated test system
US11754622B2 (en) 2020-10-22 2023-09-12 Teradyne, Inc. Thermal control system for an automated test system
US11953519B2 (en) 2020-10-22 2024-04-09 Teradyne, Inc. Modular automated test system
US20220208579A1 (en) * 2020-12-29 2022-06-30 Photon Dynamics, Inc. Synchronous substrate transport and electrical probing

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0811077A (ja) * 1994-06-28 1996-01-16 Sony Corp ロボットアーム用チャック
JP2006138705A (ja) * 2004-11-11 2006-06-01 Yamaha Corp プローブカード及びそれを用いた検査方法
JP2009156676A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd 基板検査装置
KR20120112649A (ko) * 2010-01-08 2012-10-11 포톤 다이나믹스, 인코포레이티드 자동 프로브 설정 스테이션 및 그에 따른 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0811077A (ja) * 1994-06-28 1996-01-16 Sony Corp ロボットアーム用チャック
JP2006138705A (ja) * 2004-11-11 2006-06-01 Yamaha Corp プローブカード及びそれを用いた検査方法
JP2009156676A (ja) * 2007-12-26 2009-07-16 Tokyo Cathode Laboratory Co Ltd 基板検査装置
KR20120112649A (ko) * 2010-01-08 2012-10-11 포톤 다이나믹스, 인코포레이티드 자동 프로브 설정 스테이션 및 그에 따른 방법

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190078021A (ko) * 2017-12-26 2019-07-04 주식회사 탑 엔지니어링 기판 검사 장치

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