JP2006134619A - 荷電粒子線装置用試料台 - Google Patents
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Abstract
荷電粒子線装置を用いて試料の観察及び加工を実施する際、試料の傾斜角度はステージの機構によりその角度が制限されている。そのため高角度に試料を傾斜する場合は、装置内から試料を取り出し、他の試料台に取り付け直すなどの煩わしい作業を必要としていた。これらの作業は作業効率の低下だけでなく試料の汚染および損傷を引き起こす可能性があるため、試料を装置内で高角度に傾斜させるための装置および手法の開発が望まれていた。
【解決手段】
試料固定部位が単独で傾斜する機構と、真空状態の装置内で傾斜角度を変更できる機能と、試料台の装着方式が異なる異種の装置間でも共用できる互換性と、透過電子像信号通過孔と、高角度散乱透過電子反射板を取り付け可能な機構を備える試料ホルダーを開発することで達成される。
【選択図】図6
Description
(試料を保持するステージ)が用いられる。そのような試料台では試料の観察部位を変えるためX軸,Y軸方向の2次元方向の移動に加え、角度を傾ける(θ方向)機構を備えるのが普通である。しかし、θ方向の移動機構はステージの機構によりその可動角度が制限される。そのため、ステージの傾斜角度以上で試料を観察または加工する必要があるときは、試料を装置内部から取り出し、試料台から一旦取り外した後、希望する傾斜面をもつ試料台に付け直し装置内部に再導入して観察を行うか、あるいは特開2002−319362号公報に記載されるような特殊試料台を用い、ステージ機構の傾斜角度以上の高角度傾斜にて観察を行いたい場合は上記同様に試料を装置内部から取り出し試料ホルダーから試料台を取り外し90°回転して取り付け直すなどの必要があった。集束イオンビーム加工観察装置にて試料の断面を作製したのち、走査電子顕微鏡にて断面を観察する場合も同様である。更に集束イオンビーム加工観察装置と、走査透過電子顕微鏡(Scanning
Transmission Electron Microscope:STEM)または走査型電子顕微鏡が一体になったFIB−STEM、FIB−SEMでは加工面と観察面が異なるため前述同様試料または試料台を付け直す必要があった。
16からなる台座部(請求項の取り付け部に相当)から構成されるものとする。
Claims (9)
- 試料を載置する可動部材と、
該可動部材を予め定められた経路で移動させるレール部と、
該レール部を保持するレール保持部と、
該レール保持部を試料ステージに取り付ける取り付け部と、
前記可動部材に設けられ、該可動部材を前記レールに沿って移動させるために外部から該可動部材を押し出す押出し部材を取り付ける取り付け部と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。 - 請求項1記載のレール保持部は1対の対向する平行平板であることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 請求項1または2記載のレール部は前記レール保持部に設けられた溝であり、該溝に嵌合する突起部が前記可動部材に設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 請求項3記載のレール部は、予め定められた複数位置で停止できるように前記溝幅が他の溝幅に比べて異なる位置を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 請求項3記載の荷電粒子線装置用試料台において、
前記可動部材は屈曲可能な接続部を介して2つ以上の構成部材から構成され、該構成部材は各々前記突起部を備え、
かつ該構成部材に対応して少なくとも2つの異なる前記レール部を前記レール保持部が備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置用試料台において、
前記可動部材は透過型電子顕微鏡用試料固定台が保持可能なように該透過型電子顕微鏡用試料固定台の保持部材を備え、かつ試料を透過した電子線が透過可能な孔部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。 - 請求項6記載の荷電粒子線装置用試料台において、
高角度散乱透過電子反射板を前記取り付け部に備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置用試料台において、
前記可動部材が前記レール保持部から脱着可能な構造であることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。 - 請求項1〜8のいずれかに記載の荷電粒子線装置用試料台において、
異なる押し出す押出し部材に対応した複数種の前記取り付け部を有し、該複数種の前記取り付け部を前記レール保持部に交換装着可能な構造を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
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JPH10134749A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Jeol Ltd | 試料ホルダ |
JPH11185686A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Jeol Ltd | 試料ホルダ、試料保持部材装着ホルダおよび試料保持部材 |
JP2002042712A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-02-08 | Hitachi Ltd | 電子線を用いたパターン検査方法及びその装置 |
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