JP2006129559A - 基板処理装置用モータおよび基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】内側キャップ70は、回転軸5の上端に当接する端面部71と、回転軸5の外周面を被覆する周面部72とを一体的に備えている。また、内側キャップ70は、処理液による腐食に対する耐性を有するフッ素樹脂等の耐食性材料を用いて形成されている。チューブ73は、雰囲気による腐食に対する耐性を有するフッ素樹脂などの耐食性材料を用いて形成されており、内側キャップ70と一体的に形成されている。そして、チューブ73は、回転軸5の上端から下端にわたって、その外周面が回転軸5の内周面に密着するように上下に延びている。これにより、回転軸5の内周面がチューブ73により被覆されて保護されている。これにより、固定軸5の内周面、上端面および外周面が処理液成分を含む雰囲気により腐食するのを防止することができる。
【選択図】 図3
Description
また、吸引保持ベースとモータ駆動軸との間に隙間が生じる構成であるので、処理液成分を含む雰囲気がその隙間に入り込むことにより、モータ駆動軸の外面が腐食するおそれもある。
この構成によれば、チューブによりモータ駆動軸の内周面が被覆されているので、仮にモータ駆動軸内に処理液成分を含む雰囲気が進入したとしても、その雰囲気がモータ駆動軸の内周面に接するのを防ぐことができる。よって、処理液成分を含む雰囲気によるモータ駆動軸の内周面の腐食を防ぐことができる。
この構成によれば、キャップによりモータ駆動軸の端面および外周面が被覆されているので、処理液成分を含む雰囲気がモータ駆動軸の端面および外周面に接するのを防ぐことができる。よって、処理液成分を含む雰囲気によるモータ駆動軸の端面および外周面の腐食を防ぐことができる。
この構成によれば、チューブとキャップとが一体的に形成されているので、部品数を削減することができ、チューブとキャップとの構成を簡易なものにすることができる。
請求項4記載の発明は、上記キャップ(70)は、上記一端部の端面に当接する端面部と、上記一端部の外周面を被覆する周面部とを一体的に備えており、上記端面部には、上記チューブ(73)の内部空間に連通する孔(71a)が形成されていることを特徴とする請求項2または3記載の基板処理装置用モータ(4)である。
請求項5記載の発明は、上記キャップ(70)は、上記一端部の端面に当接する端面部と、上記一端部の外周面を被覆する周面部とを一体的に備えており、上記端面部には、上記チューブ(73)を挿通する挿通孔(71b)が形成されていることを特徴とする請求項2または3記載の基板処理装置用モータ(4)である。
請求項6記載の発明は、基板に対して処理液を用いた処理を行う基板処理装置であって、請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置用モータ(4)と、上記モータ駆動軸(5)の上記一端部に結合され、上記モータ駆動軸と一体的に回転し、基板の裏面を吸引保持するための吸引保持ベース(6)とを含むことを特徴とする基板処理装置である。
請求項8記載の発明は、上記シール機構は、上記吸引保持ベース(6)と上記固定筒部材(38)との間にラビリンス間隙(51)を形成するラビリンス構造を有していることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置である。
請求項9記載の発明は、上記シール機構は、上記モータ駆動軸(5)と上記固定筒部材(38)との間にガスを供給するガス供給手段を備えていることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置である。
請求項10記載の発明は、上記吸引保持ベース(6)と上記キャップ(70)とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項6ないし9のいずれかに記載の基板処理装置である。
図1は、この発明の一実施形態にかかる基板処理装置の構成を概念的に示す断面図である。この基板処理装置は、基板の一例としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という。)Wを1枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置であり、処理室80内に、ウエハWをほぼ水平に保持して回転する基板保持装置1と、この基板保持装置1に保持されたウエハWの上面(表面)に薬液を供給するための薬液ノズル81と、基板保持装置1に保持されたウエハWの上面にリンス液を供給するためのリンス液ノズル82とを備えている。
薬液ノズル81には、薬液供給配管83から薬液が供給されるようになっている。薬液ノズル81は、たとえば、基板保持装置1の斜め上方に配置されており、その位置から基板保持装置1に保持されたウエハWの上面の回転中心に向けて薬液を供給する。
液が用いられ、ウエハWの表面からポリマ(レジスト残渣)を除去するポリマ除去処理であれば、APM(ammonia-hydrogen peroxide mixture:アンモニア過酸化水素水)などのポリマ除去液が用いられ、ウエハWの表面から酸化膜や金属薄膜などをエッチング除去するエッチング処理であれば、フッ酸、硫酸、硝酸、塩酸、リン酸、酢酸、アンモニア、過酸化水素水、クエン酸、蓚酸、TMAHのうちの少なくともいずれか1つを含むエッチング液が用いられる。また、露光後のレジスト膜を現像する現像処理であれば、そのレジスト膜の露光部分または未露光部分を溶解可能な現像液が用いられる。
ウエハWの上面の回転中心に供給された薬液は、ウエハWの回転による遠心力を受けて、ウエハWの上面を周縁部に向けて拡がる。これによって、ウエハWの上面に薬液が行き渡り、ウエハWの上面に対して薬液による処理が施されていく。ウエハWの周縁に達した薬液は,ウエハWの回転による遠心力によって、その周縁から振り切られて側方に飛散する。
ウエハWの回転中心に供給されたリンス液は、ウエハWの回転による遠心力を受けて、ウエハWの上面を周縁に向けて拡がり、その周縁から振り切られて、ウエハWの側方に飛散する。これにより、ウエハWの上面にリンス液が行き渡り、ウエハWの上面に付着している薬液がリンス液によって洗い流されていく。このようにして、基板処理装置において、ウエハWの処理が行われていく。
基板保持装置1は、ケース2と、ケース2の周囲を取り囲むように配置されたカップ3と、ケース2内に収容されたモータ4と、ケース2の上面を貫通してほぼ鉛直に延びた回転軸5と、回転軸5の上端に着脱可能に取り付けられた吸引保持ベース6とを備えている。ケース2、カップ3および吸引保持ベース6は、処理液による腐食に対する耐性を有するフッ素樹脂等の耐食性材料を用いて形成されている。
接続部23は、シール部25と、このシール部25に結合された固定部26とを備えている。シール部25は、回転軸5が挿通された挿入孔27を有しており、この挿通孔27に、回転軸5とシール部25の内周面との間をシールする回転シール部材28を備えている。また、固定部26は、処理室80の底面8に固定配置されており、その上側中央部には、回転軸5の下端部が入り込むように形成された凹条空間29に連通する連通孔30が、固定部26の下面まで貫通して形成されており、この連通孔30の下端には、真空排気管24の一端に接続された管継ぎ手31が結合されている。さらにまた、シール部25と固定部26との間には、これらを気密に結合するためのシール部材(Oリング)32が設けられている。これにより、回転軸5の中空部分の空気を、凹条空間29、連通孔30および管継ぎ手31を通して、真空排気管24に吸い出すことができる。
端面部71は、平面視形状が、回転軸5の断面形状よりも大きな直径を有する略円形状とされており、そのほぼ中央部に連通孔71aが形成されている。
チューブ73は、雰囲気による腐食に対する耐性を有するフッ素樹脂などの耐食性材料を用いて形成されており、その上端が、内側キャップ70の端面部71の下面において、連通孔71aの周縁部に結合されて、内側キャップ70と一体的に形成されている。そして、チューブ73は、回転軸5の上端から下端にわたって、その外周面が回転軸5の内周面に密着するように上下に延びている。これにより、回転軸5の内周面がチューブ73により被覆されて保護され、回転軸5の中空部分は、チューブ73の中空部分によって形成されている。
また、吸引保持ベース6の下端とモータブロック20との間には、これらの間において回転軸5を全周に渡って非接触状態で覆う固定筒部材38が設けられている。この固定筒部材38の下端部には、外周面から外方に広がる取付フランジ39が形成されており、この取付フランジ39は、ボルト40によって、モータブロック20の上面に固定されている。
また、内側キャップ70により回転軸5の上端面および外周面が被覆されているので、処理液成分を含む雰囲気が回転軸5の上端面および外周面に接するのを防ぐことができる。よって、処理液成分を含む雰囲気による回転軸5の上端面および外周面の腐食を防ぐことができる。
また、内側キャップ70の端面部には、連通孔71aが形成されているので、連通孔71aを介して、チューブ73の内部空間と吸引経路36とを連通しつつ、内側キャップ70およびチューブ73により、回転軸5の内周面、ならびに、上端面および外周面を保護することができる。
また、内側キャップ70とチューブ73とは、別個に形成されていてもよい。その際には、内側キャップ70とチューブ73との間が、Oリングなどによりシールされていることが望ましい。
5 回転軸
6 吸引保持ベース
38 固定筒部材
51 ラビリンス間隙
70 内側キャップ
71a 連通孔
71b 挿通孔
73 チューブ
Claims (10)
- 基板に対して処理液を用いた処理を行う基板処理装置に用いられるモータであって、
回転力を発生するモータ本体と、
このモータ本体から発生する回転力によって回転される中空のモータ駆動軸と、
このモータ駆動軸内に挿入され、モータ駆動軸の内周面を被覆して保護するための耐食性材料からなるチューブとを含むことを特徴とする基板処理装置用モータ。 - 上記モータ駆動軸の一端部に設けられ、当該一端部の端面および外周面を被覆して保護するための耐食性材料からなるキャップをさらに含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置用モータ。
- 上記チューブと上記キャップとが一体的に形成されていることを特徴とする請求項2記載の基板処理装置用モータ。
- 上記キャップは、上記一端部の端面に当接する端面部と、上記一端部の外周面を被覆する周面部とを一体的に備えており、
上記端面部には、上記チューブの内部空間に連通する孔が形成されていることを特徴とする請求項2または3記載の基板処理装置用モータ。 - 上記キャップは、上記一端部の端面に当接する端面部と、上記一端部の外周面を被覆する周面部とを一体的に備えており、
上記端面部には、上記チューブを挿通する挿通孔が形成されていることを特徴とする請求項2または3記載の基板処理装置用モータ。 - 基板に対して処理液を用いた処理を行う基板処理装置であって、
請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置用モータと、
上記モータ駆動軸の上記一端部に結合され、上記モータ駆動軸と一体的に回転し、基板の裏面を吸引保持するための吸引保持ベースとを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 上記吸引保持ベースと上記モータとの間において、上記モータに対して固定配置され、上記モータ駆動軸を回転自在に挿通する固定筒部材と、上記モータ駆動軸と上記固定筒部材との間の空間を、上記固定筒部材の外部の空間から隔絶するためのシール機構とをさらに含むことを特徴とする請求項6記載の基板処理装置。
- 上記シール機構は、上記吸引保持ベースと上記固定筒部材との間にラビリンス間隙を形成するラビリンス構造を有していることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
- 上記シール機構は、上記モータ駆動軸と上記固定筒部材との間にガスを供給するガス供給手段を備えていることを特徴とする請求項7記載の基板処理装置。
- 上記吸引保持ベースと上記キャップとが一体的に形成されていることを特徴とする請求項6ないし9のいずれかに記載の基板処理装置。
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