JP2006124837A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. チャンバーと；
   前記チャンバー内部に配置されるサセプターと；
   前記サセプターの上方に配置されると共に、多数の噴射口を有するガス注入器と；
   前記ガス注入器に連結されると共に、前記多数の噴射口に連結される流路を有する軸と；
   原料物質を気化させて、気化された前記原料物質を前記ガス注入器に供給する蒸発器と；
   キャリアガスを供給するキャリアガス供給部と；
   該キャリアガスを予熱するヒーターと；
   を備え、
   前記蒸発器及び前記ヒーターは前記流路内に配置された、
   薄膜製造用装置。
2. 前記軸は、前記ガス注入器と共に回転できることを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
3. 一端が前記蒸発器に連結され、前記軸の内部に配置された第１電力供給線、をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の薄膜製造用装置。
4. 前記第１電力供給線の他の一端に連結されるスリップリングと、前記スリップリングに連結される第２電力供給線と、をさらに備えることを特徴とする請求項３に記載の薄膜製造用装置。
5. 前記キャリアガス供給部は前記流路に連結され、前記キャリアガスと気化された前記原料物質は前記ガス注入器から噴射されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
6. 前記ヒーターは、前記蒸発器の上方に配置されたことを特徴とする請求項５に記載の薄膜製造用装置。
7. 前記軸は、前記流路の直径より大きい直径を有する拡張部を有して、前記蒸発器は、前記拡張部内に配置されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
8. 前記ガス注入器は、突出された収容部を有して、前記蒸発器は、前記収容部に配置されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
9. 前記流路は、前記ガス注入器の中央部に連結されることを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
10. 前記多数の噴射口の密度は、前記ガス注入器の中央部で最小であって、外郭の方へ行くほど徐々に増加することを特徴とする請求項９に記載の薄膜製造用装置。
11. 前記原料物質は、有機物質を含むことを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
12. 前記軸を取り囲むハウジングと、前記ハウジング及び前記軸の間に配置されたマグネティックシールと、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
13. 前記ハウジングに連結されて該ハウジングにパージガスを供給するパージガス流入管、をさらに備えたことを特徴とする請求項１２に記載の薄膜製造用装置。
14. 前記ハウジングに連結され、前記マグネティックシールを冷却する冷却手段、をさらに備えたことを特徴とする請求項１２に記載の薄膜製造用装置。
15. 前記ガス注入器は、内部ヒーターを含むことを特徴とする請求項１に記載の薄膜製造用装置。
16. チャンバーと；
    前記チャンバー内部に配置されるサセプターと；
    前記サセプターの上方に配置されると共に、多数の噴射口を有するガス注入器と；
    前記ガス注入器に連結されると共に、前記多数の噴射口に連結される流路を有する軸と；
    原料物質を気化させて、気化された前記原料物質を前記ガス注入器に供給する多数の蒸発器と；
    キャリアガスを供給するキャリアガス供給部と；
    前記流路に前記原料物質を供給する原料物質供給部と；
    を備え、
    前記多数の蒸発器及び前記ヒーターは前記流路内に配置された、
    薄膜製造用装置。
17. 前記原料物質供給部は、
    粉末状の前記原料物質を貯蔵するタンクと；
    前記タンクと前記流路を連結する原料供給管と；
    少なくとも一部が前記タンクの内部に配置されるスクリューと；
    前記スクリューを駆動させるスクリュー回転装置とを有することを特徴とする請求項１６に記載の薄膜製造用装置。
18. 前記多数の蒸発器は、前記ガス注入器内に形成されることを特徴とする請求項１６に記載の薄膜製造用装置。
19. 前記多数の蒸発器は、前記ガス注入器の内部空間を水平に区分する第１蒸発器及び第２蒸発器を有することを特徴とする請求項１８に記載の薄膜製造用装置。
20. 前記第１蒸発器の端部には、多数の第１ガス流動ホールが形成されて、前記第２蒸発器の中心部には、多数の第２ガス流動ホールが形成されることを特徴とする請求項１９に記載の薄膜製造用装置。