JP2006123409A - 押圧具及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】押圧具用いて複数のインク流路を有するインクジェットヘッド本体に、予めノズル孔が形成されているノズルプレートを密着させる密着工程において、押圧具の吸着面とインクジェットヘッドの前面との面の平行度がずれていても、位置ずれなくノズルプレートの背面をインクジェットヘッドの前面に密着させる。
【解決手段】インクを吐出するノズル孔２３を有するノズルプレート２の前面２１の一端部に密着する箇所に粘着性を有するタック部５３を設けた吸着面５１にノズルプレート２の前面２１を吸着させ、押圧具５を移動させてインクを吐出するインクジェットヘッド本体１の前面１１にノズルプレート２の背面２２を密着させる。
【選択図】 図１

Description

この発明は、インクジェットヘッド本体にノズルプレートを密着させてインクジェットヘッドを製造する際に用いる押圧具及びインクジェットヘッド製造方法に関する。

インクジェットプリンタ等に用いられる液滴吐出装置を構成するインクジェットヘッドは、微小なインク滴を選択的に任意のドロップ数で吐出する。また、インクジェットヘッドは、液滴を吐出する微小な孔であるノズル孔を複数有するノズルプレートと、ノズル孔の断面積より大きな断面積を有し、液滴を吐出するための必要なエネルギーの発生手段を有するインク流路とが、ノズル孔の中心軸及びインク流路断面の中心軸が略一致するように配置されている。このインク流路内のインクをノズル孔から吐出する。

近年のインクジェットヘッドは、複数のインク流路と複数のノズル孔とを設け、一つのインクジェットヘッドから複数のインク滴を同時に吐出させることが可能であり、ノズル孔及びインク流路は、一方向に規則的に狭ピッチで配列された構成や、さらにその配列が略平行に複数オフセットされて２次元的に配列された構成のものがある。

上述したインクジェットヘッドの製造方法は、大別して３つある。

（１）半導体製造技術を応用して、ノズルプレート及びインク流路が一体的なインクジェットヘッドを形成する。

（２）インク流路を有するインクジェットヘッド本体にノズル孔の形成されてないノズルプレートを接合した（密着させた）後、エキシマレーザ等でノズル孔を形成してインクジェットヘッドを形成する。

（３）インク流路を有するインクジェットヘッド本体とノズル孔が形成されているノズルプレートとの互いの位置を精度良くアライメントして密着させてインクジェットヘッドを形成する。

（１）の製造方法は、精密露光による光造型技術を用いて一体的にインク流路及びノズル孔を形成するために、ノズル孔を所望の位置に正確に形成することが可能であるが、装置コスト及びプロセスコストが高い上、インクジェットヘッドの大型化が困難である。

（２）の製造方法は、ノズルプレートをインクジェットヘッド本体に密着させた後、インク流路の配置位置に合せてエキシマレーザで個々のノズル孔を形成する方法であり、エキシマレーザ装置のＸ−Ｙステージの繰り返し精度の範囲内でノズル孔の中心軸をインク流路断面の中心軸に位置合わせすることが可能である。しかしながら、エキシマレーザを用いたノズル孔の加工時にインク流路内に入った加工くずが除去できない。

また、ノズル孔の表面が撥水膜塗布処理されている場合は、ノズル孔の近傍の撥水膜が熱によるダメージを受けて変質若しくは剥離する等のプロセス上の課題を抱えており、さらにノズル孔の加工も一括して行うことが難しいため、インクジェットヘッドの大型化には対応し難い。

一方、（３）の製造方法は、インク流路断面の中心軸とノズル孔の中心軸との位置が一致するように専用装置でアライメント（調整）し後、図５に示すように、インクジェットヘッド本体１の複数のインク流路１２の開口部１３を有する予め接着剤が塗布された前面１１に、予め位置精度良くノズル孔２３を空けたノズルプレート２の背面２２を、鉛直下方に移動させて密着させる。この時、吸着面５１でノズルプレート２の前面２１を真空吸着している押圧具５を移動させることでノズルプレート２を移動させる。

この方法の利点は、ノズルプレート及びインクジェットヘッド本体の各部材を別工程で製造するため、各部材の加工毎に洗浄が可能となり、完成後のインクジェットヘッド本体のインク流路内のクリーン度を保つことができ、またノズル孔の加工を一括して行うことが可能なので生産性が向上し、さらにインクジェットヘッドの大型化に対応でき、しかもインクジェットヘッド本体の製造が容易でコスト的にメリットが大きい等の数多くの利点を有している。

ところが、上述した（３）の製造方法は、技術的に困難な部分をいくつか有しており、その一つとしてノズルプレートの背面とインクジェットヘッド本体の前面の間に介在している接着剤がノズルプレートの前面に流れ出すという課題を有していた。そこで、近年のインクジェットヘッドには、接着剤がノズルプレートの前面に流れ出ないように接着剤の溜まり部分として段差をノズルプレートの背面側に設けた構成のものがある（例えば、特許文献１参照。）。

また、ノズルプレートの前面よりも小さい吸着面を備えた押圧具を用いてノズルプレートの前面を吸着した後、ノズルプレートの背面をインクジェットヘッドの前面に押圧して密着させる工程を含むインクジェット製造方法がある（例えば、特許文献２参照。）。この押圧具により、ノズルプレートの前面に接着剤が流れ出てきても押圧具には接着剤が付着しないので押圧具の破損が防止される。
特開２００２−２４０２６３公報 特開２００２−３６１８７５公報

しかしながら、上述の（３）の製造方法では、さらに次のような課題を有したままであった。

第一に、ノズル孔の中心軸とインク流路断面の中心軸との位置がずれてしまう課題である。これは、ノズルプレートの背面をインクジェットヘッド本体に密着させる際に押圧具とノズルプレートとの吸着位置がずれてしまうことが主原因である。

ノズルプレートの表面である前面に吸着する押圧具の吸着面は、平坦性が良く、また表層にノズルプレートの表面に塗布されている撥水膜に機械的ダメージを与えないように保護膜が形成されている。この保護膜は平滑性が良いものが選択され、テフロン（登録商標）材を用いることが多い。

また、ノズルプレートの表面の撥水膜は、フッ素系樹脂等の低摩擦部材が選ばれ、平滑性が良くなっている。すなわち、押圧具の吸着面は、平坦性及び平滑性が求められ、吸着されるノズルプレートの前面も平滑性の良い撥水膜が形成されているので、両者の摩擦係数は非常に小さくなっている。実験から求めた真空吸着力（吸着面積と真空度の積）と静止摩擦係数とからは、ノズルプレートの前面の最大静止摩擦力は、数ｇｆ程度しかなかった。

しかも、インクジェットヘッド本体の前面と押圧具の吸着面とは予め面方向が平行になるように調整されているが、その平行度を５μｍ以下にすることは困難である。

そのため、図６に示すようにノズルプレート２を吸着している押圧具５を徐々にインクジェットヘッド本体１の前面１１に向けて鉛直下方に移動させて、ノズルプレート２の背面２１をインクジェットヘッド本体１の前面１１に当接（密着）させる際、平行度のずれにより、ノズルプレート２の背面２１の一部が、インクジェットヘッド本体１の前面１１の一部に局所的に当接（片当たり）し、その後に押圧具５の吸着面５１上の保護膜の弾性変形によってこの平行度のずれを吸収しつつ、ノズルプレート２の背面２１がインクジェットヘッド本体１の前面１１に全面に渡って密着する。

この時、最初に片当たりした部分から未だ当接していない方向である図６に示す矢印方向の力がノズルプレート２に作用するので、押圧具５の吸着面５１上でノズルプレート２が多少スライド移動し、又は、吸着面５１内で回転移動する。そのため、このスライド移動量及び回転移動量がインク流路１２断面の中心軸とノズル孔２３の中心軸との位置がずれる。この位置のずれ量が大きいと、インク流路１２を形成する隔壁上の前面１１にノズル孔２３が対向するように配置されてしまい、インクジェットヘッドの製造歩留まりが悪化する。

また、ノズル孔２３の中心軸がインク流路１２断面の中心軸からずれた状態のインクジェットヘッドでは、インク滴の吐出の安定性が悪くなることが検討から明らかになっている。

第二に、上述のインク流路断面の中心とノズル孔の中心との位置がずれることにより、ノズル孔に接着剤が侵入してしまう課題である。

正常な状態では、図７（Ａ）のように、ノズルプレート２がインクジェットヘッド本体１とに当接すると、接着剤１５の層は押し潰されて厚さ１μｍ以下となり、余分な接着剤１５はインク流路１２及びノズルプレート２の背面２１に流れこむ。この時、ノズルプレート２近傍のインク流路１２内ではＲ形状の接着剤１５によるフィレット１６が形成される。

この時、ノズル孔２３の中心軸とインク流路１２断面の中心軸との位置がずれた状態でノズルプレート２がインクジェットヘッド本体１に密着すると、図７（Ｂ）のように、一方向のフィレット１６がノズル孔２３に掛かり、結果として接着剤１５がノズル孔２３に侵入し、最悪の場合、ノズル孔２３を塞いでしまうという不具合が生じ、製造歩留まりがさらに悪化する。

この発明の目的は、押圧具を用いて複数のインク流路を有するインクジェットヘッド本体に、予めノズル孔が形成されているノズルプレートを密着させる密着工程において、押圧具の吸着面とインクジェットヘッドの前面との面の平行度がずれていても、位置ずれなくノズルプレートの背面をインクジェットヘッドの前面に密着させることができる押圧具及びこの押圧具を用いた密着工程を含むインクジェットヘッド製造方法を提供することにある。

この発明は、上記の課題を解決するために、以下の構成を備えている。

（１）インク流路を有するインクジェットヘッド本体の前面に、インクを吐出するノズル孔を有するノズルプレートの背面を密着させる押圧具であって、少なくともノズルプレートの前面の一部に密着する箇所に粘着性を有するタック部を設けた吸着面に前記ノズルプレートの前面を吸着させる吸着手段と、を備えたことを特徴とする。

この構成においては、吸着手段により、ノズルプレートの前面が押圧具の吸着面に吸着される。また、押圧具の吸着面にノズルプレートの前面が吸着された際に、ノズルプレートの前面の一部に吸着面に設けられたタック部が密着する。タック部は、少なくともノズルプレートの前面の一部に密着する箇所に粘着性が備えられているので、タック部以外の吸着面よりも静止摩擦係数（静止摩擦力）が高い。そのため、押圧具の吸着面に吸着されたノズルプレートが、外力によって吸着面上を移動する（ずれる）ことが防止される。

したがって、押圧具の吸着面とインクジェットヘッド本体の前面との面方向が平行でない場合であっても、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との一部の片当たりにより生じる力によってノズルプレートが吸着面上でスライド移動する及び回転移動することが防止される。

（２）前記タック部は、前記ノズルプレートの前面における一端部に密着することを特徴とすることを特徴とする。

この構成においては、押圧具の吸着面にノズルプレートの前面が吸着された際、タック部がノズルプレートの前面の一端部に密着する。したがって、吸着面におけるタック部の構成が複雑にならない。

（３）前記タック部は、弾性材料からなることを特徴とする。

この構成においては、タック部が弾性材料で形成されている。したがって、タック部に粘着剤を用いると、粘着剤がノズルプレートの前面に付着するのでインクジェットヘッドを使用した際に行われるワイピング等に影響を受けるが、弾性材料で形成されているので、密着によってノズルプレートの前面を汚損することがない。

（４）インクジェットヘッド本体の前面又はノズルプレートの背面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
（１）〜（３）の何れかに記載の押圧具の吸着面に前記ノズルプレートの前面を吸着させる吸着工程と、
前記インクジェットヘッド本体の前面及び前記ノズルプレートの背面の互いの密着位置を決定する位置調整工程と、
前記押圧具を介して前記ノズルプレートの背面を前記インクジェットヘッド本体の前面に密着させる密着工程を含むことを特徴とする。

この構成においては、（１）〜（３）の何れかに記載の押圧具を用いてインクジェット本体の前面にノズルプレートの背面が密着されてインクジェットヘッドが形成される。したがって、押圧具の吸着面とインクジェットヘッド本体の前面との面方向が平行でない場合であっても、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との一部の片当たりにより生じる力によってノズルプレートが吸着面上でスライド移動する及び回転移動することが防止される。

この発明によれば、以下の効果を奏することができる。

（１）押圧具の吸着面に少なくともノズルプレートの前面の一部に密着する箇所に粘着性を有するタック部を設けることによって、押圧具の吸着面とインクジェットヘッド本体の前面との面方向が平行でない場合であっても、インクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との一部の片当たりにより生じる力によってノズルプレートが吸着面上でスライド移動する及び回転移動することを防止できるので、ノズルプレートに形成されたノズル孔の中心軸とインクジェットヘッド本体に形成されるインク流路の中心軸との位置を正確に一致させることができる。これにより、押圧具を用いてインク滴の吐出性能の高いインクジェットヘッドを製造することができる。また、製造歩留まりを向上させることができ、コストダウンを図ることができる。

（２）タック部をノズルプレートの前面の一端部に密着させることによって、単純な構成で確実にインクジェットヘッド本体の前面とノズルプレートの背面との一部の片当たりにより生じる力によってノズルプレートが吸着面上でスライド移動及び回転移動することを防止できる。

（３）タック部を弾性材料で形成することによって、密着によるノズルプレートの前面の汚損を防止することができる。

（４）（１）〜（３）の何れかに記載の押圧具を用いてインクジェット本体の前面にノズルプレートが密着されてインクジェットヘッドを形成することによって、ノズルプレートに形成されたノズル孔の中心軸とインクジェットヘッド本体に形成されるインク流路の中心軸との位置を正確に一致させることができる。これにより、押圧具を用いてインク滴の吐出性能の高いインクジェットヘッドを製造することができる。また、製造歩留まりを向上させることができ、コストダウンを図ることができる。

以下、この発明の最良の実施形態に係る押圧具を図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１は、この発明の実施形態に係る押圧具５を用いてノズルプレート２を吸着する吸着工程を説明するための説明図である。この発明の押圧具５は、高密度セラミックス材料でできており、吸着面５１にテフロン（登録商標）材がコーティングされており、コーティング層の厚みは概ね０．１ｍｍ程度である。さらに押圧具５には、複数の真空吸着孔５２が吸着面５１からその反対面に貫通するように形成されている。押圧具５は、ノズルプレートをインクジェットヘッド本体に密着させてインクジェットヘッドを製造する工程おいて用いられる。

押圧具５の基体部分は縦断面が凸型になっており、一方の肩部分にブチルゴムからなるタック部５３が設けられ、吸着面５１及びタック部５３は略同一平面上にある。本実施形態では、タック部５３として硬度２０〜４０度の低硬度のブチルゴムを用いている。このブチルゴムは糊剤を用いずとも緩やかな粘着性を有している。

ノズルプレート２は、前面２１側が押圧具５の吸着面５１に当接され、図示しない真空ポンプを用いて真空吸着孔５２内の空気を吸引することで吸着面５１に吸着、保持される。この時、ノズルプレート２の前面２１の一端部はタック部５３に当接（密着）され、タック部５３のタック力（密着力を含む）により固定される。

このタック力により生じるノズルプレート２との間に生じる静止摩擦力は、強固であり、真空吸着孔５２の総断面積、減圧値、静止摩擦係数から導出される真空吸着のみの従来の構成におけるノズルプレート２との間に生じる静止摩擦力に比べると２０倍以上に達する。

なお、真空ポンプ及び真空吸着孔５２がこの発明の吸着手段に相当する。

ノズルプレート２は、厚み６０μｍのポリイミドフィルム製で、エキシマレーザ加工により予め複数のノズル孔２３が形成されている。このノズル孔２３はテーパー形状を呈し、ノズルプレート２の前面２１側で直径２０μｍ、ノズルプレート２の背面２２側で直径４０μｍである。なお、後述するインク流路の開口部は、短辺８０μｍ×長辺２００μｍの長方形上状の断面である。

ノズルプレート２の前面２１には、液滴の直進性及びノズルプレート２の前面２１への液滴の残存を防ぐためにフッ素系樹脂の撥水膜が形成されている。

インクジェットヘッドを製造するには、図３に示すように、まずインクジェットヘッド本体１の前面１１に接着剤を塗布する接着剤塗布工程を行う。この塗布方法の一例として、公知のバーコーター装置を用いて、ポリイミドフィルム上に厚み４μｍの均一なエポキシ系の接着剤１５の層を形成する。次に、接着剤１５の層が形成されたポリイミドフィルム上にインクジェットヘッド１の前面１１を押し当てスタンプ転写する。これによって、インクジェットヘッド本体１の前面１１のインク流路１２の開口部１３以外の領域に均一な厚み（本実施形態では２μｍ以上）の接着剤１５の層が形成される。

次に、押圧具５の吸着面５１にノズルプレート２の前面２１を吸着させる吸着工程を行う。具体的には、図１に示すように、まず図示しない基準プレート上に、ノズルプレート２を背面２２を下（基準プレート側）にして配置し、押圧具５を基準プレート上まで移動させた後、徐々に基準プレートに近づけていき、ノズルプレート２の前面２１に押圧具５の吸着面５１を当接させる。この時、タック部５３も同時にノズルプレート２の一端部に当接する。その後、真空ポンプを用いて真空吸着孔５２内の空気を吸引してノズルプレート２を吸着面５１に吸着させる。

次に、インクジェットヘッド本体１の前面１１及びノズルプレート２の背面２２の互いの密着位置を決定する位置調整工程を行う。具体的には、図２に示すように、上下双方にカメラを内蔵したアライメントカメラ３をノズルプレート２とインクジェットヘッド本体１の間で移動させ、全てのノズル孔２３の中心軸とインク流路１２の開口部１３（断面）の中心軸との位置情報を読み取って回転方向の位置ずれ及びＸ−Ｙ方向の位置ずれの量を算出し、押圧具５又はインクジェットヘッド本体１のどちらかを移動させて位置補正し、ノズルプレート２の全てのノズル孔２３の中心軸と全てのインク流路１２断面の中心軸との位置が一致するようにアライメントする。

次に、押圧具５を介してノズルプレート２の背面２２をインクジェットヘッド本体１の前面１１に密着させる密着工程を行う。具体的には、図３に示すように、押圧具５を徐々にインクジェットヘッド本体１の前面１１に向けて鉛直下方に移動させて、ノズルプレート２の背面２１をインクジェットヘッド本体１の前面１１に当接させる。

ここで、インクジェットヘッド本体１の前面１１と押圧具５の吸着面５１とは予め平行となるように調整されているが、その平行度を５μｍ以下にすることは困難である。

そのため、インクジェットヘッド本体１の前面１１と押圧具５の吸着面５１とが完全に平行になっておらず、ノズルプレート２を吸着している押圧具５を徐々にインクジェットヘッド本体１の前面１１に鉛直下方に移動させて、ノズルプレート２の背面２２をインクジェットヘッド本体１の前面１１に当接させる際には、ノズルプレート２の背面２２の一部とインクジェットヘッド本体１の前面１１の一部とが、初めに局所的に当接（片当たり）する。

この時、最初に当接した部分から未だ当接していない部分へ向かう方向の力がノズルプレート２に付与されるが、ノズルプレート２は、中央部においては真空吸着により吸着面５１に吸着され、一端部において密着性の良いタック部５３に密着されているため、吸着面５１上でスライド移動又は回転移動することがない。

これは、ノズルプレート２の押圧具５の吸着面５１の面方向のスライド移動及び回転移動を防止する防止力として、従来のノズルプレート２の前面２１と押圧具５の吸着面５１との間の静止摩擦力に加え、タック部５３とノズルプレート２の前面２１の一端部との間に生じる静止摩擦力も含まれるからである。

また、図３に示すように、ノズルプレート２の背面２２におけるタック部５３に密着する一端部とは反対側の他端部からインクジェットヘッド本体１の前面１１に片当たりする場合、ノズルプレート２は、一端部がタック部５３に固定されているので、片当たりによる最初に当接した部分から未だ当接していない部分へ向かう方向の力により曲げ変形しようとする。そのため、ノズルプレート２には、押圧部５の吸着面５１から鉛直方向に引き剥がされる力が作用するが、ノズルプレート２が押圧部５の吸着面５１から鉛直方向に引き剥がされることを防止する力は、静止摩擦係数に依存しない真空吸着による吸着力であり、十分な吸着力が確保されているので、引き剥がされることはない。

したがって、ノズルプレート２の前面２１の一端部をタック性（密着性を含む）のあるタック部５３で密着させることによって、ノズルプレート２が押圧部５の吸着面５１上でスライド移動及び回転移動することを防止できる。

ノズルプレート２の背面２２をインクジェットヘッド本体１の前面１１に全面に渡って当接させた後、押圧具５の真空吸着孔５２によるノズルプレート２の吸着を解除し、押圧具５をインクジェットヘッド本体１に当接する方向と逆方向にインクジェットヘッド本体１から遠ざける（離間させる）。

これによって、ノズルプレート２の背面２２は、図４に示すように接着剤を介してインクジェットヘッド本体１の前面１１に密着し、接着剤のタック力でインクジェットヘッド本体１に密着する。この時、押圧具５のタック部５３に密着していたノズルプレート２の前面２１の一端部も、インクジェットヘッド本体１とノズルプレート２の背面２２との接着剤による保持力（吸着力）により、タック部５３から剥離される。

その後、インクジェットヘッド１１とノズルプレート２の背面２２との間の接着剤を、その特性に応じて熱硬化若しくは経時硬化させる。

なお、ノズルプレート２がポリイミドフィルムのような弾性変形可能な材質で形成されている場合は、本実施形態で示したように押圧具５の吸着面５１の表面にテフロン（登録商標）材によりコーティングしなくても本発明と同様の効果を得ることができる。

以上のように、この発明の実施形態に係る押圧具５の吸着面５１に、ノズルプレート２の前面２１の一部である一端部に密着する箇所に粘着性を有するタック部５３を設けることによって、押圧具５の吸着面５１とインクジェットヘッド本体１の前面１１との面方向が平行でない場合であっても、インクジェットヘッド本体１の前面１１とノズルプレート２の背面２２との一部の片当たりにより生じる力によってノズルプレート２が吸着面５１上でスライド移動及び回転移動することを防止できるので、ノズルプレート２に形成されたノズル孔２３の中心軸とインクジェットヘッド本体１に形成されるインク流路１２の中心軸との位置を正確に一致させることができる。これにより、押圧具５を用いてインク滴の吐出性能の高いインクジェットヘッドを製造することができる。また、製造歩留まりを向上させることができ、コストダウンを図ることができる。

さらに、タック部５３をノズルプレート２の前面２１の一端部にのみ密着させているので、単純な構成で確実にノズルプレート２が吸着面５１上でスライド移動及び回転移動することを防止できる。

なお、接着剤の粘性及びタック部５３の材質により異なるが、タック部５３のノズルプレート２の前面２１に密着する箇所の面積は、ノズルプレート２の背面２２とインクジェットヘッド本体１の前面１１とが接着される面積の概ね１／１０〜１／３０であれば良い。

例えば、３０×１０ｍｍのノズルプレート２の背面２２を略同形状のインクジェットヘッド本体１に接着する場合、ノズルプレート２の長手方向３０ｍｍのうち、１〜３ｍｍの領域をタック部５３に密着させるようにノズルプレート２を押圧具５の吸着面５１に吸着させれば良い。タック部５３のノズルプレート２の前面２１に密着する箇所の面積が上述の値よりも大きいと、接着剤によるノズルプレート２の背面２２とインクジェットヘッド本体１の前面１１とのタック力よりも、ノズルプレート２とタック部５３とのタック力の方が大きくなり、ノズルプレート２が押圧具５に保持されたままになってしまう虞がある。

本実施形態では、タック部５３を弾性材料のブルチゴムで形成しているので、密着によるノズルプレート２の前面２１の汚損を防止することができる。糊剤を塗布した粘着剤を使用する場合、ノズルプレート２の前面２１のタック部５３との密着箇所に糊剤が転写されて、ノズルプレート２の前面２１のワイピング（表面の残存液滴を接触式ワイパーで除去する等）の際に不具合が生じる虞があるからである。

なお、タック部５３として、ブルチゴム以外のシリコン系のゴム材等の弾性部材、ノズルプレート２の前面２１に汚損が生じなければ糊剤を塗布した粘着材等を用いてもよく、少なくともノズルプレート２の前面２１の一端部に密着する箇所における密着性が良好に維持されることを条件として適宜選択することができる。

本実施形態では、ノズルプレート２の前面２１の一端部のみにタック部５３を密着させているが、ノズルプレート２の前面２１の二端部以上をタック部５３に密着させてもよい。例えば、ノズルプレート２の前面２１の周囲全体をタック部５３に密着させる構成がある。ただし、二端部以上をタック部５３で保持する場合には、押圧具５がノズルプレート２を吸着する際にノズルプレート２に波打ちが生じ、押圧具５の吸着面５１にノズルプレート２の前面２１が沿わない虞があるので調整が必要である。

また、本実施形態では、図１に示すように、押圧具５の吸着面５１とタック部５３のノズルプレート２の前面２１の一端部に密着する面とが略同一平面上にあるものを示しているが、同一平面上にある必要はなく、ノズルプレート２の前面２１が吸着面５１に沿うように適切に吸着、保持されれば、タック部５３がノズルプレート２に密着する方向に凸になっているものでもよい。

さらに、本実施形態では、表面に撥水膜が形成されたポリイミドフィルム製のノズルプレート２を用いて説明しているが特にこれに限定されるものではなく、Ｎｉの電鋳メッキ等によって得られた金属製のノズルプレートや、撥水膜処理が施されていないノズルプレートを用いた場合であっても、本発明と同様の効果を得られる。

しかも、本実施形態は、液滴吐出装置に備えられるインクジェットヘッドを製造するのに用いる押圧具５及びそのインクジェットヘッドの製造方法について説明したが、インクジェット技術を用いた生産装置に用いられるインクジェットヘッドを製造するのに用いる押圧具についても適用することができる。

この発明の実施形態に係る押圧具のノズルプレートを吸着する吸着工程を説明するための説明図である。 同押圧具によるノズルプレートをインクジェットヘッド本体に接着させる接着工程を説明するための説明図である。 ノズルプレート２の背面２２とインクジェットヘッド本体１の前面１１との密着工程を説明するための断面図である。 ノズルプレート２の背面２２とインクジェットヘッド本体１の前面１１との密着工程を説明するための断面図である。 従来のノズルプレートとインクジェットヘッド本体との密着工程を説明する断面図である。 従来のノズルプレートとインクジェットヘッド本体との密着工程を説明する断面図である。 従来のノズルプレートとインクジェットヘッド本体の一部分を拡大した断面図である。

符号の説明

１−インクジェットヘッド本体
２−ノズルプレート
５−押圧具
１１−前面
２１−前面
２２−背面
５１−吸着面
５２−真空吸着孔
５３−タック部

Claims (4)

1. インク流路を有するインクジェットヘッド本体の前面に、インクを吐出するノズル孔を有するノズルプレートの背面を密着させる押圧具であって、少なくともノズルプレートの前面の一部に密着する箇所に粘着性を有するタック部を設けた吸着面に前記ノズルプレートの前面を吸着させる吸着手段と、を備えたことを特徴とする押圧具。
2. 前記タック部は、前記ノズルプレートの前面における一端部に密着することを特徴とすることを特徴とする請求項１に記載の押圧具。
3. 前記タック部は、弾性材料からなることを特徴とする請求項１に記載の押圧具。
4. インクジェットヘッド本体の前面又はノズルプレートの背面に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
   請求項１〜３の何れかに記載の押圧具の吸着面に前記ノズルプレートの前面を吸着させる吸着工程と、
   前記インクジェットヘッド本体の前面及び前記ノズルプレートの背面の互いの密着位置を決定する位置調整工程と、
   前記押圧具を介して前記ノズルプレートの背面を前記インクジェットヘッド本体の前面に密着させる密着工程を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

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