JP2006121114A - レーザ装置 - Google Patents

レーザ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2006121114A
JP2006121114A JP2006017104A JP2006017104A JP2006121114A JP 2006121114 A JP2006121114 A JP 2006121114A JP 2006017104 A JP2006017104 A JP 2006017104A JP 2006017104 A JP2006017104 A JP 2006017104A JP 2006121114 A JP2006121114 A JP 2006121114A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser element
laser
light
heat sink
emission surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006017104A
Other languages
English (en)
Inventor
Masaharu Honda
正治 本多
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Tottori Sanyo Electric Co Ltd
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Sanyo Electric Co Ltd, Tottori Sanyo Electric Co Ltd, Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Tokyo Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP2006017104A priority Critical patent/JP2006121114A/ja
Publication of JP2006121114A publication Critical patent/JP2006121114A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

【課題】 レーザ光の出力損失を小さくすることを課題の1つとする。また、小型化したレーザ装置を提供することを課題の1つとする。
【解決手段】 本発明のレーザ装置は、前方に主出射面28を有し後方に副出射面29を有するレーザ素子27をヒートシンク17上に配置し、前記レーザ素子の前記主出射面から出射される光を反射するミラー32を前記ヒートシンク17上に配置とする。さらに、前記ミラーによって反射された光を反射する反射面31を有する偏光ビームスプリッタ30を前記ヒートシンク17上に配置する。また、前記ヒートシンク17上に、前記レーザ素子27とは波長が異なる光を出射する別のレーザ素子23を配置する。
【選択図】 図2

Description

本発明はレーザ装置に関する。
従来、この種の装置は、例えば図4に示されている。図4に於て、ステム100の上にヒートシンク101が設けられ、ヒートシンク101の垂直面上に、レーザ素子102が固定されている。そして、ステム100の水平面上に、受光素子103が固定されている。これらの部品により、レーザ装置104が構成されている。
更に、このレーザ装置104を用いた、DVD用光ピックアップ105が図5に示されている。図5に於て、発振波長が異なる第1レーザ装置106と、第2レーザ装置107が配置されている。第1レーザ装置106の上方に、ビームスプリッタ108を介して、対物レンズ109が配置され、第2レーザ装置107の上方に、反射ミラー110が配置されている。ビームスプリッタ108の左側に、コリメータレンズ111と、反射ミラー112が配置されている。
特開平6−45703号公報
しかし、図4に示したレーザ装置104では、レーザ素子102を垂直面に固定し、受光素子103を水平面に固定するため、組立てしにくく、両者の位置関係を正確に確保しにくい第1の欠点が有る。更に、このレーザ装置104に、光学素子(例えばコリメータレンズ等)を取付ける場合、キャップ113の上方に光学素子を固定していた。そのため、レーザ素子102と光学素子との距離が大きくなり、光学素子との光結合効率が低い第2の欠点が有る。
更に、図5に示したピックアップ105では、第1レーザ装置106の上方に離れてビームスプリッタ108を配置し、第2レーザ装置107の上方に離れて反射ミラー110を配置するので、レーザ光の出力損失が大きい第3の欠点が有る。また、ステム100を有する第1レーザ装置106および第2レーザ装置107を配置するため、装置が大型化(広いスペースを必要とする事)する第4の欠点が有る。
そこで、例えば、特許文献1にて、小型化されたレーザ装置が示されている。この公報によると、リードフレーム上に受光素子が設けられ、その上にレーザ素子が設けられている。しかし、レーザ素子の副出射面の高さと受光素子に形成された受光部の高さとの差が少ない。そのため、レーザ素子による副出射光の入射角度が小さくなり、受光電流(モニタ電流)が小さい第5の欠点が有る。
本発明はこの様な従来の欠点を考慮して、レーザ光の出力損失を小さくすることを課題の1つとする。また、小型化したレーザ装置を提供することを課題の1つとする。
本発明のレーザ装置は請求項1に記載のように、前方に主出射面を有し後方に副出射面を有するレーザ素子をヒートシンク上に配置し、前記レーザ素子の前記主出射面から出射される光を反射するミラーを前記ヒートシンク上に配置した事を特徴とする。
本発明のレーザ装置は請求項2に記載のように、前記ミラーによって反射された光を反射する反射面を有する偏光ビームスプリッタを前記ヒートシンク上に配置した事を特徴とする。
本発明のレーザ装置は請求項3に記載のように、前記ヒートシンク上に、前記レーザ素子とは波長が異なる光を出射する別のレーザ素子を配置した事を特徴とする。
レーザ光の出力損失を小さくすることができる。また、小型化したレーザ装置を提供することができる。
以下に、図1の断面図に従い、本発明の実施の形態1に係るレーザ装置1を説明する。図1に於て、ヒートシンク2は熱伝導率が高い、かつ、電気伝導率が高い材質(例えば銅等)から成る。
ヒートシンク2は、第1面3と、第1面3より低い第2面4および第3面5を有し、断面形状が略凸状に形成されている。この凸状部に於ける高い位置にある平面が第1面3である。凸状部に於ける低い位置にある平面が第2面4と、第3面5である。
具体的には、水平な第2面4につながって、垂直な側面6が形成されている。側面6につながって、水平な第1面3が形成されている。第1面3につながって垂直な側面7が形成されている。側面7につながって、水平な第3面5が形成されている。第3面5につながって、水平な第1端子部(図示せず)が形成されても良い。
レーザ素子8は例えば、活性層9と、それを挟み、GaAlAs層から成るクラッド層から構成される半導体レーザ素子である。レーザ素子8の表面と、裏面には、各々、表面電極と、裏面電極(共に図示せず)が形成されている。
レーザ素子8は、前方が主出射面10が位置し、後方が副出射面11が位置する様に、レーザ素子8の裏面電極は、第1面3上に、銀ペースト等を介して固着されている。レーザ素子8は、後方にモニタ用の副出射が行われる様に、後面の反射膜の反射率が、前面の反射率よりも高い様に、形成されている。
レーザ素子8の主出射面10および副出射面11は、第1面3より突出した位置にある様に、レーザ素子8は設けられている。即ち、主出射面8は、側面6よりも前方に位置し、副出射面11は、側面7よりも後方に位置する様に、設けられている。換言すれば、レーザ素子8の共振器長(活性層9の長さ)は、第1面3の長さより長く、設けられている。
光学素子12は例えばコリメータレンズであり、レーザ素子8の主出射面10に近接する様に(例えば0.1〜3mm)、第2面4上に接着材(図示せず)等を介して、固定されている。
この様に、光学素子12およびレーザ素子8を同一のヒートシンク2上に固定し、かつ、光学素子12と主出射面10を近接させる事により、光学素子12とレーザ素子8との光結合効率が高くなる。
また、主出射面10を側面6よりも前方に突出させる事により、主出射面10からの主出射光(レーザビーム)は、側面6に衝突し、邪魔される事が防止される。その結果として、主出射光は有効に利用され、上記光結合効率は、更に高くなる。
上記構成により、主出射面10からの主出射光は、光学素子12内に進入し、光学素子12により、略平行な光線として、外部へ進行する。この平行光線は、例えば、CD用ピックアップを構成する偏光ビームスプリッタ内に進入する。
受光素子13は例えばP−I−N構造から成るシリコン系結晶に、表面電極と裏面電極(共に図示せず)が設けられたものである。表面電極は、例えばP型拡散領域から成る受光部14とオーミック接触して形成されている。受光素子13の裏面電極は、銀ペースト等の導電性接着材15を介して、第3面5上に固着されている。
第1面3と、第3面5との段差(即ち、側面7の高さ)は、受光素子13の厚さよりも大きくなる様に、設けられている。この構成により、副出射面11の高さと、受光部14の高さとの差が大きくなり、レーザ素子8に設けられた副出射面11からの副出射光の入射角度が大きくなり、受光部14に於ける受光電流(モニタ電流)が大きくなる。
その結果、副出射光量を正確にモニタ(監視)する事ができ、主出射光量を正確に制御する事ができる。
また、副出射面11を側面7よりも後方に突出させる事により、副出射面11からの副出射光は、側面7に衝突し、邪魔される事が防止できる。その結果、副出射光は有効に利用され、上記受光電流は、更に大きくなる。
銅等から成る第2端子部と、第3端子部(共に図示せず)は、ヒートシンク2と近接して配置されている。金等から成る第1金属細線(図示せず)は、レーザ素子8の表面電極と、第2端子部の適所との間を結ぶ様に配線されている。金等から成る第2金属細線(図示せず)は、受光素子13の表面電極と、第3端子部の適所との間を結ぶ様に配線されている。以上の部品により、このレーザ装置1は構成されている。
次に図2に従い、本発明の実施の形態2に係るレーザ装置16を説明する。図2(a)は、このレーザ装置16の平面図、図2(b)は、レーザ装置16の側面図である。
これらの図に於て、ヒートシンク17は熱伝導率が高く、電気伝導率が高い材質(例えば銅等)から成る。ヒートシンク17は第1面18と、第1面18より低い第2面19および第3面20を有し、断面形状が略凸状に形成されている。この凸状部に於ける高い位置にある平面が第1面18である。凸状部に於ける低い位置にある平面が、第2面19と、第3面5である。
水平な第2面4につながって、垂直な側面21が形成されている。側面21につながって、水平な第1面18が形成されている。第1面18につながって、垂直な側面22が形成されている。垂直な側面22につながって、水平な第3面20が形成されている。第3面20につながって、水平な第1端子部(図示せず)が形成されても良い。
第1レーザ素子23は例えば、活性層24と、それを挟むクラッド層から成り例えば650nmの発振波長を有するものである。第1レーザ素子23の表面と裏面には、各々、表面電極と裏面電極(共に図示せず)が形成されている。
第1レーザ素子23は、前方に主出射面25が位置し、後方に副出射面26が位置する様に、第1レーザ素子23の裏面電極は、第1面18上に、銀ペースト等を介して固着されている。第1レーザ素子23は、後方にモニタ用の副出射が行われる様に、後面の反射膜の反射率が、前面の反射率よりも高い様に、形成されている。
第1レーザ素子23の主出射面25および副出射面26は、第1面18より突出した位置にある様に、設けられている。即ち、主出射面25は、側面21よりも前方に位置し、副出射面26は、側面22よりも後方に位置する様に、設けられている。
第2レーザ素子27は例えば、活性層(図示せず)と、それを挟み、GaAlAsのクラッド層から成り、例えば780nmの発振波長を有するものである。第2レーザ素子27の表面と裏面には、各々、表面電極と裏面電極(共に図示せず)が形成されている。
第2レーザ素子27は、前方に主出射面28が位置し、後方に副出射面29が位置する様に、第2レーザ素子27の裏面電極は、第1面18上に、銀ペースト等を介して固着されている。第2レーザ素子27は、後方にモニタ用の副出射が行われる様に、後面の反射膜の反射率が、前面の反射率よりも高い様に、形成されている。
第2レーザ素子27の主出射面28および副出射面29は、第1面18より突出した位置にある様に、設けられている。即ち、主出射面28は、側面21よりも前方に位置し、副出射面29は、側面22よりも後方に位置する様に、設けられている。
この様に、第1レーザ素子23と第2レーザ素子27は、各々、発振波長が異なる。そして、第1レーザ素子23と第2レーザ素子27は、第1面18上に、互いに離れて位置する様に、配置されている。
偏光ビームスプリッタ30は、第1レーザ素子23の主出射面25に近接する様に、第2面19上に、接着材等を介して固着されている。
また、主出射面25を側面21よりも前方に突出させる事により、主出射面25からの主出射光は、側面21に衝突し、邪魔される事が防止される。その結果主出射光は有効に利用され、偏光ビームスプリッタ30との光結合効率は、高くなる。
反射ミラー32は、第2レーザ素子27の主出射面28に近接する様に、第2面19上に、接着材等を介して固着されている。第2レーザ素子27からの主出射光は、反射ミラー32の反射面33にて反射され、その反射光34は、偏光ビームスプリッタ30内に進入する様に、構成されている。
受光素子35は例えば、P−I−N構造から成るシリコン系結晶に、表面電極と裏面電極(共に図示せず)が設けられたものである。表面電極は、例えばP型拡散領域から成る受光部36とオーミック接触して形成されている。受光素子35の裏面電極は、銀ペースト等の導電性接着材37を介して、第3面20上に固着されている。
第1面18と、第3面20との段差(即ち、側面22の高さ)は、受光素子35の厚さよりも大きくなる様に、設けられている。この構成により、第1レーザ素子23の副出射面26の高さと、受光部36の高さとの差が大きくなる(図2(b)参照)。その結果、副出射面26からの副出射光の入射角度が大きくなり、受光部14に於ける受光電流(モニタ電流)は大きくなる。
また、第1面18と、第3面20との段差を、受光素子35の厚さよりも大きくする事により、第2レーザ素子27の副出射面29の高さと、受光部36の高さとの差が大きくなる。その結果、副出射面29からの副出射光の入射角度が大きくなり、受光部14に於ける受光電流は大きくなる。
銅等から成る第2端子部と、第3端子部と、第4端子部(共に図示せず)は、ヒートシンク17と近接して配置されている。金等から成る第1金属細線(図示せず)は、第1レーザ素子23の表面電極と、第2端子部の適所との間を結ぶ様に、配線されている。
金等から成る第2金属細線(図示せず)は、第2レーザ素子27の表面電極と第3端子部の適所との間を結ぶ様に、配線されている。金等から成る第3金属細線(図示せず)は、受光素子35の表面電極と、第4端子部の適所との間を結ぶ様に、配線されている。以上の部品により、このレーザ装置16は構成されている。
また、偏光ビームスプリッタ30の前方には、コリメータレンズ(図示せず)を介して、対物レンズが配置されている。偏光ビームスプリッタ30の側方には凹レンズ(図示せず)を介して、光検出器39が配置されている。上記部品と、レーザ装置16等により、光ピックアップ装置40が構成されている。
次に、再び図2に従い、このレーザ装置16の動作説明を行う。最初に、使用者は例えば、プレーヤにDVDをセットし、DVD用運転スイッチ(共に図示せず)を押したとする。その結果、第2端子部と第1端子部との間に電圧が印加され、第4端子部と第1端子部との間に電圧が印加される。また、第4端子部は電流検出器(図示せず)に接続されている。
第1レーザ素子23に所定の電圧が印加され、主出射面25から主出射光42が出射され、副出射面26が副出射光が出射される。
主出射光42は、偏光ビームスプリッタ30を通過し、進行光42として、コリメータレンズを通り、対物レンズ38を通り、DVDの記録面に到達する。上記記録面で反射された光は、対物レンズ38と、コリメータレンズを通り、反射光43となり、偏光ビームスプリッタ30内に進入する。
上記進入した光は、境界面31にて屈折され、進行光44として、光検出器39内に進入する。進入した光は光検出器39によりデータとして再生される。
また、この時、第4端子部に接続された電流検出器は、受光部36の受光電流を検出し、第1レーザ素子23に印加される電圧を制御し、650nmの発振波長を持つ主出射光が所定の出力を行う様に、構成されている。
次に、使用者は例えば、CD−Rディスクを再生したい場合は、プレーヤからDVDを取除き、CD−Rディスクをセットし、CD−R用運転スイッチ(共に図示せず)を押す。その結果、第3端子部と第1端子部との間に電圧が印加され第4端子部と第1端子部との間に電圧が印加される。
第2レーザ素子27に所定の電圧が印加され、主出射面28から主出射光が出射され、主出射光33aは反射面33で反射され、反射光34となって、偏光ビームスプリッタ30内に進入する。
上記進入した光は、境界面31にて反射され、進行光42として、コリメータレンズと対物レンズ38を通り、CD−Rディスクの記録面に到達する。上記記録面で反射された光は、対物レンズ38と、コリメータレンズを通り、反射光43となり、偏光ビームスプリッタ30内に進入する。
上記進入した光は、境界面31にて屈折され、進行光44として、光検出器39内に進入する。この進入した光は、光検出器39により、データとして再生される。
また、この時、第4端子部に接続された電流検出器は、受光部36の受光電流を検出し、第2レーザ素子27に印加される電圧を制御し、780nmの発振波長を持つ主出射光が所定の出力を行う様に、構成されている。
次に図3に従い、本発明の実施の形態3に係るレーザ装置46を説明する。図3は、このレーザ装置46に用いられるプリズム47の平面図である。
図3に於て、プリズム47は、1側に反射面48が形成され、他側近傍に、境界面49が形成されている。即ち、反射面48は、図2(a)に示された反射ミラー32に形成された反射面33と同一の機能を有している。また、境界面49は、図2(a)に示された偏光ビームスプリッタ30に形成された境界面31と同一の機能を有している。
反射面48が第2レーザ素子27の主出射面28に近接し、境界面49が第1レーザ素子23に形成された主出射面25に近接する様に、プリズム47は第2面19上に固定されている。
即ち、図2に示した偏光ビームスプリッタ30と、反射ミラー32の代りに、図3に示したプリズム47は、第2面19上に設けられている。
上記構成により、第2レーザ素子27から出射された主出射光33aと、反射光34と、第1レーザ素子23から出射された主出射光41と、進行光42と、反射光43と、進行光44は各々、図2に於て同じ番号にて示した光と同一であり、同一の動作を行う。
上記実施形態に記載の発明では、第1面と、前記第1面より低い第2面および第3面を有し、略凸状に形成されたヒートシンクと、前記第1面上に配置されたレーザ素子と、前記レーザ素子の主出射面に近接して、前記第2面上に設けられた光学素子と、前記第3面上に設けられた受光素子とを具備するものである。この様に、光学素子と、レーザ素子と、受光素子を同一のヒートシンク上に、同一方向(水平方向)にて組立てるので、組立し易く、上記3部品につき、各部品同士の位置関係を正確に確保できる。また、レーザ素子に近接する様に、ヒートシンクの前面(第2面)に段差を設けて、光学素子を設けるので、光学素子とレーザ素子を近接させる事ができる。その結果、光学素子との光結合効率が高くなる。
上記実施形態に記載の発明では、、前記光学素子はコリメータレンズであるものとする。この様にして、レーザ素子から出射される主出射光(長円形のスポット)は、コリメータレンズにより、真円のスポットに整形される。その結果、上記整形された光が対物レンズを通過した後、集束されたスポットも真円となり、正確な信号の再生ができる。また、コリメータレンズとレーザ素子を近接させる事ができるので、光結合効率は高くなる。
上記実施形態に記載の発明では、第1面と、前記第1面より低い第2面および第3面を有し、略凸状に形成されたヒートシンクと、前記第1面上に互いに離れて配置され、発振波長が異なる第1レーザ素子および第2レーザ素子と、前記第1レーザ素子の主出射面に近接して、前記第2面上に設けられた偏光ビームスプリッタと前記第2レーザ素子の主出射面に近接して、前記第2面上に設けられた反射ミラーと、前記第3面上に設けられた受光素子とを具備するものとする。この様に、第1レーザ素子に近接して偏光ビームスプリッタを設けるので、レーザ光(主出射光)の出力損失を小さくできる。また、従来の様に、ステム型のレーザ装置を2個並べるのではなく、単なるレーザ素子を2個並べるので、装置全体として小型化できる。そして、発振波長が異なる2種類のレーザ光を出射するので、例えば異なる型のディスク(DVDとCD−R等)を再生できる。
上記実施形態に記載の発明では、前記偏光ビームスプリッタと、前記反射ミラーの代りに、前記第2面上に1個のプリズムを設ける構成とする。この様に、偏光ビームスプリッタと、反射ミラーの代りに、1個のプリズムを用いる事により、プリズムに形成された反射面と境界面との位置関係が正確に得られる。故に、第1レーザ素子からの主出射光と、第2レーザ素子からの主出射光に於ける進行角度を正確に制御できる。
上記実施形態に記載の発明では、前記レーザ素子又は前記第1レーザ素子および前記第2レーザ素子の主出射面および副出射面が前記第1面より突出した位置にある構成とする。この構成により、各レーザ素子からの主出射光は、ヒートシンクの側面に衝突し、邪魔される事を防止される。また、各レーザ素子からの副出射光はヒートシンクの側面に衝突し、邪魔される事を防止される。
上記実施形態に記載の発明では、前記第1面と前記第3面の段差が、前記受光素子の厚さよりも大きい構成とする。この構成により、レーザ素子の副出射面の高さと、受光部の高さとの差が大きくなり、副出射光の入射角度が大きくなり、受光部における受光電流が大きくなる。
異なる波長の光を発するレーザ装置に適用することができる。
実施形態1に係るレーザ装置1の断面図である。 図2(a)は、実施形態2に係るレーザ装置の平面図、図2(b)は同装置の側面図である。 実施形態3に係るレーザ装置に用いられるプリズムの平面図である。 従来のレーザ装置の斜視図である。 従来のレーザ装置を用いたDVD用光ピックアップの概略図である。
符号の説明
2ヒートシンク
3 第1面
4 第2面
5 第3面
8 レーザ素子
12 光学素子
13 受光素子

Claims (3)

  1. 前方に主出射面を有し後方に副出射面を有するレーザ素子をヒートシンク上に配置し、前記レーザ素子の前記主出射面から出射される光を反射するミラーを前記ヒートシンク上に配置した事を特徴とするレーザ装置。
  2. 前記ミラーによって反射された光を反射する反射面を有する偏光ビームスプリッタを前記ヒートシンク上に配置した事を特徴とする請求項1記載のレーザ装置。
  3. 前記ヒートシンク上に、前記レーザ素子とは波長が異なる光を出射する別のレーザ素子を配置した事を特徴とする請求項1あるいは2記載のレーザ装置。
JP2006017104A 2006-01-26 2006-01-26 レーザ装置 Pending JP2006121114A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006017104A JP2006121114A (ja) 2006-01-26 2006-01-26 レーザ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006017104A JP2006121114A (ja) 2006-01-26 2006-01-26 レーザ装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000254121A Division JP2002076492A (ja) 2000-08-24 2000-08-24 レーザ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006121114A true JP2006121114A (ja) 2006-05-11

Family

ID=36538630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006017104A Pending JP2006121114A (ja) 2006-01-26 2006-01-26 レーザ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006121114A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2031714B1 (fr) Circuit optoélectronique ayant un photorécepteur et une diode laser, et module le comprenant
JP2012033733A (ja) 半導体レーザ装置および光装置
JP2533871B2 (ja) 半導体レ−ザ装置
US6445671B1 (en) Optical pickup device having a shielding protection
JP5633670B2 (ja) 発光装置およびそれを用いた光装置
JP2003133627A (ja) 半導体レーザ装置
JP2002076492A (ja) レーザ装置
JPH07326063A (ja) 垂直共振器面発光レーザーダイオードを利用した光ピックアップ
US7023787B2 (en) Optical pickup device
JP2006121114A (ja) レーザ装置
JP2007115724A (ja) 半導体レーザ装置
JP2001345507A (ja) 半導体レーザおよび光ピックアップ
JP4445220B2 (ja) 半導体レーザ装置及びピックアップ装置
JP2006040933A (ja) 半導体レーザ装置
JP3912017B2 (ja) 発光素子実装体及び光学システム
JP2001185811A (ja) 半導体レーザ装置
JP2000151006A (ja) 半導体レーザ装置
JP2002232077A (ja) 半導体発光装置およびその製造方法
JPH02213189A (ja) 半導体レーザ装置
JP2001250255A (ja) 光学装置及び光ディスク装置
JP2001250254A (ja) 光学装置及び光ディスク装置
JP2004327608A (ja) サブマウント、レーザモジュール、光学装置、半導体レーザ装置およびその製造方法
JP2001308446A (ja) 半導体発光素子および半導体発光装置
JPH02253687A (ja) 半導体レーザ装置
KR100497380B1 (ko) 광출력 모듈 및 이를 채용한 광픽업장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060606

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20060919