JP2006119805A - シェーディング補正装置、方法、及びプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基準濃度基板2aを用いてシェーディング補正係数を求め、シェーディング補正係数記憶部22に記憶させておく。検査対象基板2の検査を行う際に、シェーディング強弱比較部23で、シェーディング補正係数から輝度値を換算し、この換算した輝度値のシェーディングの強弱と、検査対象基板2からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とを比較し、シェーディング補正係数から換算した輝度値のシェーディングの強弱と、検査対象板からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とが近づくように、シェーディング補正係数を修正する。シェーディング補正部25で修正されたシェーディング補正係数で補正を行う。
【選択図】 図2
Description
1.検査装置の概要.
図1は、本発明が適用できる検査装置の概略構成を示している。図1において、1は照明部、2は検査対象基板、3はラインセンサカメラである。照明部1は、光源及び光学系を有し、検査対象基板2に対して所定の入射角で照明光を照射するものである。照明部1は、コントローラ10の制御の下に、照明駆動部12により点灯制御される。
次に、シェーディング補正回路7について詳述する。図2は、本発明が適用されたシェーディング補正回路7の一例の動作に基づく機能ブロック図を示すものである。
オフセット=黒レベル画像ライン平均輝度−(輝度勾配×黒レベル画像全体平均輝度) …(2)
シェーディング補正輝度=(シェーディング補正前輝度−オフセット)/輝度勾配 …(3)
3−1.輝度の強度比を用いた例
上述のように、本発明が適用されたシェーディング補正回路7では、シェーディング強弱比較部23で、事前に基準濃度基板2aを撮像して得られたシェーディング補正係数から輝度値を換算し、この換算した輝度値の強弱と、検査対象基板2を撮像して得られた検査対象画像の輝度値のシェーディングの強弱とを比較して、両者のシェーディング強弱に合わせて、適応的にシェーディング補正係数を修正している。このようなシェーディング補正係数の適応的な修正処理について詳述する。
輝度換算値=一定輝度値×輝度勾配+オフセット …(4)
シェーディング補正輝度=(シェーディング補正前輝度−オフセット)/輝度勾配 …(3)
として求められる。この式を変形すると、
シェーディング補正前輝度=シェーディング補正輝度×輝度勾配+オフセット
となる。
輝度換算値=一定輝度値×輝度勾配+オフセット
図6は、シェーディング強弱比較部23の他の例を示すものである。図4に示したシェーディング強弱比較部23の一例では、シェーディング補正係数から求められた輝度換算値によるシェーディング補正対象ラインの輝度の平均値とその近傍周辺ラインの輝度の平均値との強度比と、検査対象基板2の検査対象画像によるシェーディング補正対象ラインの輝度の平均値とその近傍周辺部の輝度の平均値との強度比とを比較して、シェーディング補正係数を修正している。これに対して、この例では、シェーディング補正係数から求められた輝度換算値によるシェーディング補正対象ラインの輝度ヒストグラムとその近傍周辺ラインの輝度ヒストグラムとのヒストグラム輝度比と、検査対象基板2の検査対象画像によるシェーディング補正対象ラインの輝度ヒストグラムとその近傍周辺ラインの輝度ヒストグラムとのヒストグラム輝度比とを比較して、シェーディング補正係数を修正している。
ヒストグラム比=(処理ライン平均輝度+輝度ずらし量)/処理対象ライン平均輝度
として求められる。
次に、シェーディング補正係数の修正対象の特定について説明する。ラインセンサカメラ3の撮像画像には、特有の白スジや黒スジが発生し易く、このような白スジや黒スジをシェーディング処理により確実に除去することが望まれる。そこで、白スジや黒スジが発生していると考えられる部分を、シェーディング補正係数の修正対象とすることが考えられる。
ところで、検査対象基板2は、全体が均一の濃度ではなく、下地パターン上に何らかのパターンが存在する。この例では、図13に示すように、検査対象基板2として、LCDパネルを用いており、LCDパネルには、周辺配線パターン70の部分がある。よって、例えばLCDパネルの場合には、検査対象であるTFT(Thin Film Transistor)画像部を、他の周辺配線領域と分割して、TFT画素部だけを処理対象領域とする必要がある。また、コピー複写機などで用紙上に文字が印刷されているものを処理対象画像とする場合は、文字領域以外の用紙上のみを処理対象領域とする必要がある。
22 シェーディング補正係数記憶部
23 シェーディング強弱比較部
24 シェーディング補正係数修正部
25 シェーディング補正部
26 シェーディング補正強弱判定部
27 係数修正処理対象抽出部
28 輝度強弱判定部
29 係数修正処理対象領域抽出部
Claims (15)
- ラインセンサにより読み取った検査対象板の撮像画像に対してシェーディング補正処理を行うシェーディング補正装置であって、
事前に基準濃度板を用いてシェーディング補正係数を算出するシェーディング補正係数算出部と、
前記シェーディング補正係数算出部で前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を記憶するシェーディング補正係数記憶部と、
前記基準濃度板を用いて算出されたシェーディング補正係数から輝度値を換算し、この換算した輝度値のシェーディングの強弱と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とを比較するシェーディング強弱比較部と、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値のシェーディングの強弱と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とが近づくように、前記シェーディング補正係数を修正するシェーディング補正係数修正部と、
前記シェーディング補正係数修正部により修正したシェーディング補正係数を用いて、前記検査対象板からの撮像画像におけるシェーディングを補正するシェーディング補正部と
を備えるようにしたことを特徴とするシェーディング補正装置。 - 前記シェーディング強弱比較部は、前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比を求め、
前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比を求め、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比とを比較するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のシェーディング補正装置。 - 前記シェーディング強弱比較部は、前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比を求め、
前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比を求め、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比とを比較するようにしたことを特徴とする請求項1に記載のシェーディング補正装置。 - 更に、前記基準濃度板を用いて算出されたシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディングの強弱を判断するシェーディング強弱判定部を有し、
前記シェーディングの強弱に応じて、シェーディング補正係数の修正処理対象を特定するようにしたことを特徴とする請求項1、2、又は3に記載のシェーディング補正装置。 - 更に、前記検査対象板からの撮像画像の輝度が所定の範囲にあるかどうかを判断する輝度強弱判定部を有し、
前記検査対象板からの撮像画像の輝度が所定の範囲にあるかどうかに応じて、シェーディング補正係数の修正処理対象領域を特定するようにしたことを特徴とする請求項1、2、又は3に記載のシェーディング補正装置。 - ラインセンサにより読み取った検査対象板の撮像画像に対してシェーディング補正処理を行うシェーディング補正方法であって、
事前に基準濃度板を用いてシェーディング補正係数を算出しておき、
前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を記憶し、
前記基準濃度板を用いて算出されたシェーディング補正係数から輝度値を換算し、この換算した輝度値のシェーディングの強弱と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とを比較し、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値のシェーディングの強弱と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とが近づくように、前記シェーディング補正係数を修正し、
この修正したシェーディング補正係数を用いて、前記検査対象板からの撮像画像におけるシェーディングを補正する
ようにしたことを特徴とするシェーディング補正方法。 - 前記シェーディング強弱の比較は、前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比を求め、
前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比を求め、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比とを比較するようにしたことを特徴とする請求項6に記載のシェーディング補正方法。 - 前記シェーディング強弱の比較は、前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比を求め、
検査対象板からの撮像画像の輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比を求め、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比とを比較するようにしたことを特徴とする請求項6に記載のシェーディング補正方法。 - 更に、前記基準濃度板を用いて算出されたシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディングの強弱を判断し、前記シェーディングの強弱に応じて、シェーディング補正係数の修正処理対象を特定するようにしたことを特徴とする請求項6、7、又は8に記載のシェーディング補正方法。
- 更に、前記検査対象板からの撮像画像の輝度が所定の範囲にあるかどうかを判断し、前記検査対象板からの撮像画像の輝度が所定の範囲にあるかどうかに応じて、シェーディング補正係数の修正処理対象領域を特定するようにしたことを特徴とする請求項6、7、又は8に記載のシェーディング補正方法。
- ラインセンサにより読み取った検査対象板の撮像画像に対してシェーディング補正処理を行うシェーディング補正プログラムであって、
事前に基準濃度板を用いてシェーディング補正係数を算出するシェーディング補正係数算出ステップと、
前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を記憶するシェーディング補正係数記憶ステップと、
前記基準濃度板を用いて算出されたシェーディング補正係数から輝度値を換算し、この換算した輝度値のシェーディングの強弱と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とを比較するシェーディング強弱比較ステップと、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値のシェーディングの強弱と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値のシェーディングの強弱とが近づくように、前記シェーディング補正係数を修正するシェーディング補正係数修正ステップと、
この修正したシェーディング補正係数を用いて、前記検査対象板からの撮像画像におけるシェーディングを補正するシェーディング補正ステップと
を実行させるようにしたことを特徴とするシェーディング補正プログラム。 - 前記シェーディング強弱比較ステップは、前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比を求め、
前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比を求め、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度との強度比とを比較するようにしたことを特徴とする請求項11に記載のシェーディング補正プログラム。 - 前記シェーディング強弱比較ステップは、前記基準濃度板を用いて算出したシェーディング補正係数を輝度値に換算し、このシェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比を求め、
検査対象板からの撮像画像の輝度値によりシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比を求め、
前記シェーディング補正係数から換算した輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比と、前記検査対象板からの撮像画像の輝度値によるシェーディング補正対象ラインの輝度とその近傍周辺ラインの輝度とのヒストグラム輝度比とを比較するようにしたことを特徴とする請求項11に記載のシェーディング補正プログラム。 - 更に、前記基準濃度板を用いて算出されたシェーディング補正係数を輝度値に換算し、前記シェーディング補正係数から換算した輝度値によりシェーディングの強弱を判断するシェーディング強弱判定ステップを有し、
前記シェーディングの強弱に応じて、シェーディング補正係数の修正処理対象を特定するようにしたことを特徴とする請求項11、12、又は13に記載のシェーディング補正プログラム。 - 更に、前記検査対象板からの撮像画像の輝度が所定の範囲にあるかどうかを判断輝度強弱判断ステップを有し、
前記検査対象板からの撮像画像の輝度が所定の範囲にあるかどうかに応じて、シェーディング補正係数の修正処理対象領域を特定するようにしたことを特徴とする請求項11、12、又は13に記載のシェーディング補正プログラム。
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