JP2006116690A - 切削装置 - Google Patents
切削装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006116690A JP2006116690A JP2005190109A JP2005190109A JP2006116690A JP 2006116690 A JP2006116690 A JP 2006116690A JP 2005190109 A JP2005190109 A JP 2005190109A JP 2005190109 A JP2005190109 A JP 2005190109A JP 2006116690 A JP2006116690 A JP 2006116690A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting blade
- cutting
- detector
- light
- light receiving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと,チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレード110を備えた切削機構と,発光部140aと受光部140bとを有し切削ブレードの刃先110aが発光部と受光部とを結ぶ直線上に位置するように配置された切削ブレード検出器140と,を具備する切削装置100において,切削ブレード検出器は,切削ブレードの前方に位置する発光部あるいは受光部のうちいずれか一方が,切削ブレードの刃先よりも上方に位置するように後方側に傾斜させて配置される。
【選択図】 図1
Description
110 切削ブレード
110a 切削ブレードの刃先
120 スピンドル
125 フランジ
130 ナット
140 切削ブレード検出器
140a 発光部
140b 受光部
140c 光
1410 光電変換部
1420 電圧検出部
1430 判定手段
1430a しきい値記憶部
1430b 比較部
1430c 破損信号発信部又は摩耗信号発信部
1440 エラー表示部
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと,前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削機構と,発光部と受光部とを有し前記切削ブレードの刃先が前記発光部と前記受光部とを結ぶ直線上に位置するように配置された切削ブレード検出器と,を具備する切削装置において,
前記切削ブレード検出器は,前記切削ブレードの前方に位置する前記発光部あるいは前記受光部のうちいずれか一方が,前記切削ブレードの刃先よりも上方に位置するように後方側に傾斜させて配置される,ことを特徴とする切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005190109A JP2006116690A (ja) | 2004-09-22 | 2005-06-29 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004275666 | 2004-09-22 | ||
JP2005190109A JP2006116690A (ja) | 2004-09-22 | 2005-06-29 | 切削装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006116690A true JP2006116690A (ja) | 2006-05-11 |
Family
ID=36535049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005190109A Pending JP2006116690A (ja) | 2004-09-22 | 2005-06-29 | 切削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006116690A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008166546A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの先端形状検査方法 |
JP2009076765A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
CN110744731A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-02-04 | 许昌学院 | 一种基于光电控制的晶片切片设备 |
WO2020040142A1 (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Tdk株式会社 | 切削装置、センサユニット、及び検出方法 |
JP2021079495A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 株式会社東京精密 | ワーク加工装置及びワーク加工方法 |
CN114102718A (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-01 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0839540A (ja) * | 1994-07-26 | 1996-02-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 精密切削装置 |
JP2003340689A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード検知装置 |
-
2005
- 2005-06-29 JP JP2005190109A patent/JP2006116690A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0839540A (ja) * | 1994-07-26 | 1996-02-13 | Disco Abrasive Syst Ltd | 精密切削装置 |
JP2003340689A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-12-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレード検知装置 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008166546A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削ブレードの先端形状検査方法 |
JP2009076765A (ja) * | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
CN112469536B (zh) * | 2018-08-22 | 2023-02-14 | Tdk株式会社 | 切削装置、传感器单元和检测方法 |
WO2020040142A1 (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Tdk株式会社 | 切削装置、センサユニット、及び検出方法 |
JP2020028947A (ja) * | 2018-08-22 | 2020-02-27 | Tdk株式会社 | 切削装置 |
CN112469536A (zh) * | 2018-08-22 | 2021-03-09 | Tdk株式会社 | 切削装置、传感器单元和检测方法 |
CN110744731A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-02-04 | 许昌学院 | 一种基于光电控制的晶片切片设备 |
CN110744731B (zh) * | 2019-10-30 | 2021-07-27 | 许昌学院 | 一种基于光电控制的晶片切片设备 |
JP2021079495A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 株式会社東京精密 | ワーク加工装置及びワーク加工方法 |
JP7445844B2 (ja) | 2019-11-20 | 2024-03-08 | 株式会社東京精密 | ワーク加工装置及びワーク加工方法 |
CN114102718A (zh) * | 2020-08-26 | 2022-03-01 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
JP2022038006A (ja) * | 2020-08-26 | 2022-03-10 | Towa株式会社 | 切断装置、及び、切断品の製造方法 |
JP7354069B2 (ja) | 2020-08-26 | 2023-10-02 | Towa株式会社 | 切断装置、及び、切断品の製造方法 |
CN114102718B (zh) * | 2020-08-26 | 2024-01-30 | Towa株式会社 | 切割装置以及切割品的制造方法 |
KR20220027028A (ko) * | 2020-08-26 | 2022-03-07 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치 및 절단품의 제조 방법 |
KR102644561B1 (ko) | 2020-08-26 | 2024-03-08 | 토와 가부시기가이샤 | 절단 장치 및 절단품의 제조 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4679209B2 (ja) | 切削装置およびブレード状態検出方法 | |
JP2006116690A (ja) | 切削装置 | |
AU2009212871B2 (en) | Method for determining the wear state | |
US20090051933A1 (en) | Tool Detection | |
US7875830B2 (en) | Laser machine monitoring | |
JP5997965B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
SE508426C2 (sv) | Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning | |
US20070000889A1 (en) | Method and device for detecting contaminant on condenser lens in laser processing machine | |
US5906460A (en) | Tool device | |
JP2012187591A (ja) | レーザ加工ヘッド | |
US20040008342A1 (en) | Monitoring an optical element of a processing head of a thermal machine tool | |
JPWO2016143055A1 (ja) | 光加工ヘッドおよび3次元造形装置 | |
JP6122347B2 (ja) | 保護ガラスの汚れ検出方法及びレーザ加工ヘッド | |
US7193700B2 (en) | Apparatus for monitoring the functionality of an optical element | |
JP5414645B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2002370140A (ja) | ブレード監視装置 | |
CN104209636A (zh) | 焊枪 | |
EP3067137B1 (en) | Cutting tool | |
JP2003181747A (ja) | 工具装着状態検出装置を備えた工作機械の主軸装置 | |
EP2537622A1 (en) | Laser processing machine and bellows device | |
AU2013100451A4 (en) | Method for determining the wear state | |
JP6424109B2 (ja) | 工具長測定装置 | |
JP2019058947A (ja) | 保護ガラス汚れ検知システム及び方法 | |
JPH0839540A (ja) | 精密切削装置 | |
JP2003203885A (ja) | 加工機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080603 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110415 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111115 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120111 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120605 |