JP2006114733A - トリミング抵抗 - Google Patents
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Abstract
【課題】 生産効率を向上し得るトリミング抵抗を提供する。
【解決手段】 トリミング抵抗20では、半導体基板にトリミング可能に形成される抵抗体R11と、半導体基板にトリミング可能に形成され抵抗体R12に接続されて入力端子IN、出力端子OUT 間で抵抗体R11とともに合成抵抗R10を構成可能な抵抗体R12と、半導体基板に形成され抵抗体R11および抵抗体R12に接続されるアナログスイッチASであって、オン状態における入力端子IN、出力端子OUT 間の抵抗値をオフ状態における入力端子IN、出力端子OUT 間の抵抗値よりも低下させるアナログスイッチASと、を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 トリミング抵抗20では、半導体基板にトリミング可能に形成される抵抗体R11と、半導体基板にトリミング可能に形成され抵抗体R12に接続されて入力端子IN、出力端子OUT 間で抵抗体R11とともに合成抵抗R10を構成可能な抵抗体R12と、半導体基板に形成され抵抗体R11および抵抗体R12に接続されるアナログスイッチASであって、オン状態における入力端子IN、出力端子OUT 間の抵抗値をオフ状態における入力端子IN、出力端子OUT 間の抵抗値よりも低下させるアナログスイッチASと、を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体基板に形成されるトリミング抵抗に関するものである。
従来より、高精度な抵抗体を形成する技術として、例えば、下記特許文献1に開示される「抵抗体およびそのトリミング方法」があり、レーザ加工等により抵抗体をトリミングすることによって目標の抵抗値(以下「規定値」という。)を得ている。具体的には、レーザ加工等により抵抗体の一部をカットすることで抵抗値が増加することを利用して当該抵抗体の抵抗値が規定値の範囲内に収まるように調整する。なお、以下、このような調整を「レーザトリミング」という。
このため、例えば、図8(A) に示すように、トリミング前の抵抗体の抵抗値(以下「初期抵抗値」という。)の分布(個数N)が、規定値範囲の抵抗値よりも低くなるところに集まるように、予め抵抗体の形成時に設定している。つまり、初期抵抗値分布のピークを規定値範囲の下側に設定している。これにより、レーザトリミングによって抵抗値を上げることで規定値範囲内に収まる抵抗体の製造を可能にしている。
特開2004−14697号公報(第1頁、図1)
しかしながら、このようなレーザトリミングでは、抵抗体の一部をカットすることにより抵抗値を調整していることから、抵抗体の抵抗値を増加させることはできても、抵抗値を減少させることはできない。そのため、例えば図8(B) に示すように、抵抗体の形成工程の都合等により規定値範囲の抵抗値よりも高いところに初期抵抗値の分布が集まった場合、つまり初期抵抗値分布のピークが規定値範囲の上側に存在していた場合には、これらの抵抗体の抵抗値を下げるようなレーザトリミングはできない。したがって、このような規定値範囲を上側に超えた抵抗体は、規定値を満たすことができないため、製品の歩留り低下に直結し生産効率の低下を招くという問題がある。
本発明は、上述した課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、生産効率を向上し得るトリミング抵抗を提供することにある。
上記目的を達成するため、特許請求の範囲に記載の請求項1のトリミング抵抗では、半導体基板にトリミング可能に形成される第1の抵抗体[R11,R21]と、前記半導体基板にトリミング可能に形成され前記第1の抵抗体[R11,R21]に接続されて2端子[IN,OUT ]間で前記第1の抵抗体[R11,R21]とともに合成抵抗[R10,R20]を構成可能な第2の抵抗体[R12,R22]と、前記半導体基板に形成され前記第1の抵抗体[R11,R21]および前記第2の抵抗体[R12,R22]に接続される半導体スイッチ[AS]であって、オン状態における前記2端子[IN,OUT ]間の抵抗値をオフ状態における前記2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも低下させる半導体スイッチ[AS]と、を備えることを技術的特徴とする。なお、「トリミング可能」とは、抵抗体の抵抗値が調整可能であることをいう。また、[ ]内の数字等は、[発明を実施するための最良の形態]の欄で説明する符号に対応し得るものである(以下同じ)。
また、特許請求の範囲に記載の請求項2のトリミング抵抗では、請求項1において、前記合成抵抗[R10]は、前記第1の抵抗体[R11]と前記第2の抵抗体[R12]とを並列に接続したもので、前記半導体スイッチ[AS]は、前記第1の抵抗体[R11]または前記第2の抵抗体[R12]に対し直列に接続され、オフ状態で前記合成抵抗[R10]の形成を妨げ、オン状態で前記合成抵抗[R10]を形成し、オン状態における前記2端子[IN,OUT ]間の抵抗値をオフ状態における前記2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも低下させることを技術的特徴とする。
さらに、特許請求の範囲に記載の請求項3のトリミング抵抗では、請求項1において、前記合成抵抗[R20]は、前記第1の抵抗体[R21]と前記第2の抵抗体[R22]とを直列に接続したもので、前記半導体スイッチ[AS]は、前記第1の抵抗体[R21]または前記第2の抵抗体[R22]に対し並列に接続され、オン状態で前記合成抵抗[R20]の形成を妨げ、オフ状態で前記合成抵抗[R20]を形成し、オン状態における前記2端子[IN,OUT ]間の抵抗値をオフ状態における前記2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも低下させることを技術的特徴とする。
上記目的を達成するため、特許請求の範囲に記載の請求項4のトリミング抵抗では、半導体基板にトリミング可能に形成される第1の抵抗体[R31]と、前記半導体基板に形成される電界効果トランジスタ[Tr]で、前記第1の抵抗体[R31]の一端にドレイン電極またはソース電極が接続されて、前記第1の抵抗体[R31]の一端に接続されていないソース電極またはドレイン電極と前記第1の抵抗体[R31]の他端とによる2端子[IN,OUT ]間で、前記第1の抵抗体[R31]とともに合成抵抗を構成可能な電界効果トランジスタ[Tr]と、前記半導体基板にトリミング可能に形成され、前記電界効果トランジスタ[Tr]のゲート電極に印加されるゲート電圧を変更可能な第2の抵抗体と[R32,R33]、を備えることを技術的特徴とする。
請求項1の発明では、トリミング可能な第1の抵抗体[R11,R21]および第2の抵抗体[R12,R22]を半導体基板に形成し、2端子[IN,OUT ]間で第1の抵抗体[R11,R21]および第2の抵抗体[R12,R22]により合成抵抗[R10,R20]を構成可能に接続する。また、当該半導体基板に半導体スイッチ[AS]を形成し、第1の抵抗体[R11,R21]および第2の抵抗体[R12,R22]に接続することにより、当該半導体スイッチ[AS]のオン状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値をオフ状態における2端子間[IN,OUT ]の抵抗値よりも低下させる。これにより、半導体スイッチ[AS]をオン状態にすることで、2端子間[IN,OUT ]の抵抗値を、オフ状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも下げることができる。このため、抵抗値を上げるだけでなく、抵抗値を下げることも可能にするので、2端子[IN,OUT ]間の抵抗値が規定値範囲よりも高い場合であっても、抵抗値を下げて当該規定値内に収まるようにトリミングすることができる。
例えば、第1の抵抗体[R11,R21]をレーザトリミングすれば当該2端子[IN,OUT ]間の抵抗値を上げることが可能となる一方で、半導体スイッチ[AS]をオン状態にすると当該2端子[IN,OUT ]間の抵抗値を下げることが可能となる。このため、抵抗値を上げるだけでなく、抵抗値を下げることも可能にするので、2端子[IN,OUT ]間の抵抗値が規定値範囲よりも高い場合であっても、抵抗値を下げて当該規定値内に収まるようにトリミングすることができる。したがって、歩留まりの低下を大幅に抑制するため、生産効率を向上することができる。
請求項2の発明では、合成抵抗[R10]は、第1の抵抗体[R11]と第2の抵抗体[R12]とを並列に接続したもので、半導体スイッチ[AS]は、第1の抵抗体[R11]または第2の抵抗体[R12]に対し直列に接続され、オフ状態で合成抵抗[R10]の形成を妨げ、オン状態で合成抵抗[R10]を形成する。そして、オン状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値をオフ状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも低下させる。これにより、半導体スイッチ[AS]をオン状態にすることで、2端子間[IN,OUT ]の抵抗値を、オフ状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも下げることができる。したがって、2端子[IN,OUT ]間の抵抗値が規定値範囲よりも高い場合であっても、抵抗値を下げて当該規定値内に収まるようにトリミングすることができるので、歩留まりの低下を大幅に抑制するため、生産効率を向上することができる。
請求項3の発明では、合成抵抗[R20]は、第1の抵抗体[R21]と第2の抵抗体[R22]とを直列に接続したもので、半導体スイッチ[AS]は、第1の抵抗体[R21]または第2の抵抗体[R22]に対し並列に接続され、オン状態で合成抵抗[R20]の形成を妨げ、オフ状態で合成抵抗[R20]を形成する。そして、オン状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値をオフ状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも低下させる。これにより、半導体スイッチ[AS]をオン状態にすることで、2端子間[IN,OUT ]の抵抗値を、オフ状態における2端子[IN,OUT ]間の抵抗値よりも下げることができる。したがって、2端子[IN,OUT ]間の抵抗値が規定値範囲よりも高い場合であっても、抵抗値を下げて当該規定値内に収まるようにトリミングすることができるので、歩留まりの低下を大幅に抑制するため、生産効率を向上することができる。
請求項4の発明では、第1の抵抗体[R31]の一端にドレイン電極またはソース電極が接続される電界効果トランジスタ[Tr]は、第1の抵抗体[R31]の一端に接続されていないソース電極またはドレイン電極と第1の抵抗体[R31]の他端とによる2端子[IN,OUT ]間で、第1の抵抗体[R31]とともに合成抵抗[R30]を構成可能にする。そして、第2の抵抗体[R32,R33]により、電界効果トランジスタ[Tr]のゲート電極に印加されるゲート電圧を変更可能にする。これにより、第2の抵抗体[R32,R33]をトリミングすることにより電界効果トランジスタ[Tr]のゲート電圧を増加または減少させることから、電界効果トランジスタ[Tr]のドレイン−ソース間の抵抗値を増減させることができるので、第1の抵抗体[R31]と電界効果トランジスタ[Tr]のドレイン−ソース間の抵抗とによる合成抵抗[R30]全体として幅広い抵抗値を得ることができる。したがって、歩留まりの低下を大幅に抑制するため、生産効率を向上することができる。
以下、本発明のトリミング抵抗の実施形態について図を参照して説明する。
[第1実施形態]
本発明のトリミング抵抗を適用した第1実施形態を図1、図2および図7に基づいて説明する。図1には、トリミング抵抗20の構成を示す回路図が示されており、図2(A) および図2(B) には、それぞれトリミング抵抗20の作動を示す説明図が示されている。
[第1実施形態]
本発明のトリミング抵抗を適用した第1実施形態を図1、図2および図7に基づいて説明する。図1には、トリミング抵抗20の構成を示す回路図が示されており、図2(A) および図2(B) には、それぞれトリミング抵抗20の作動を示す説明図が示されている。
図1に示すように、本第1実施形態に係るトリミング抵抗20は、合成抵抗R10、アナログスイッチAS、スイッチ制御抵抗Rc、入力端子INおよび出力端子OUT から構成されており、半導体基板上の2端子間(入力端子INおよび出力端子OUT )において調整可能な抵抗値を提供するものである。
合成抵抗R10は、半導体基板にトリミング可能に形成される抵抗体R11(第1の抵抗体)と、この半導体基板にトリミング可能に形成され抵抗体R11に接続されて入力端子INおよび出力端子OUT 間で抵抗体R11とともに合成抵抗R10を構成可能な抵抗体R12(第2の抵抗体)と、から構成されている。例えば、本第1実施形態では、抵抗体R11と抵抗体R12とからなる並列抵抗が当該合成抵抗R10に相当する。
アナログスイッチASは、抵抗体R11、R12の形成される半導体基板と同じ半導体基板に形成され抵抗体R11および抵抗体R12に接続されることにより、オン状態における入力端子INおよび出力端子OUT 間の抵抗値をオフ状態における同端子間の抵抗値よりも低下させ得るものである。即ち、本第1実施形態では、入力端子INおよび出力端子OUT 間で、合成抵抗R10としての並列抵抗を構成し得る抵抗体R11および抵抗体R12のうち、抵抗体R12と出力端子OUT との間に当該アナログスイッチASが介在させることにより、オフ状態で合成抵抗R10の形成を妨げ、オン状態で合成抵抗R10を形成し得るように接続される。
このアナログスイッチASの具体的な構成例として、例えば、図1に示すように、PチャネルタイプのMOS−FET(MOS型電界効果トランジスタ)によるスイッチング素子SW-pと、NチャネルタイプのMOS−FET(MOS型電界効果トランジスタ)によるスイッチング素子SW-nと、を組み合わせたものがあり、本実施形態ではこれを用いている。なお、この種のアナログスイッチASでは、それぞれのドレインおよびソースを互いに接続し合ったスイッチング素子SW-nおよびスイッチング素子SW-pのゲート電圧を閾値電圧Vthよりも高く設定することで、ドレイン−ソース間に電流が流れるMOS−FETの特性を利用してスイッチング動作を可能にしている。
スイッチ制御抵抗Rcは、前述したアナログスイッチASのゲート電圧を設定する機能を有するもので、半導体基板にトリミング可能に形成される抵抗体R1〜R4の4本の抵抗により構成されている。即ち、直列接続されている抵抗体R1および抵抗体R2と、直列接続されている抵抗体R3および抵抗体R4と、を電源とグランドGND との間にそれぞれ接続する。そして、抵抗体R1と抵抗体R2とにより電源電圧の分圧V1をアナログスイッチASを構成するスイッチング素子SW-pのゲート電極に印加し、また抵抗体R3と抵抗体R4とにより電源電圧の分圧V2をアナログスイッチASを構成するスイッチング素子SW-nのゲート電極に印加するように構成する。
本実施形態の場合、電源電圧として5Vを設定しているので、例えば、前述の分圧V1を閾値電圧Vth(例えば4.3V)よりも高くなるように抵抗体R1、R2の抵抗値を設定し、分圧V2を当該閾値電圧Vthよりも低くなるように抵抗体R3、R4の抵抗値を設定する。これにより、アナログスイッチASを構成するスイッチング素子SW-pのゲート電圧を閾値電圧Vthよりも高くし、またスイッチング素子SW-nのゲート電圧を閾値電圧Vthよりも低くするので、両スイッチング素子をそれぞれオフ状態にして当該アナログスイッチASをオフ状態に制御することが可能となる。
これとは逆に、例えば、前述の分圧V1を閾値電圧Vthよりも低くなるように抵抗体R1、R2の抵抗値を設定し、分圧V2を閾値電圧Vthよりも高くなるように抵抗体R3、R4の抵抗値を設定する。これにより、アナログスイッチASを構成するスイッチング素子SW-pのゲート電圧を閾値電圧Vthよりも低くし、またスイッチング素子SW-nのゲート電圧を閾値電圧Vthよりも高くするので、両スイッチング素子をそれぞれオン状態にして当該アナログスイッチASをオン状態に制御することが可能となる。
即ち、当該スイッチ制御抵抗Rcでは、アナログスイッチASを構成するスイッチング素子SW-pおよびスイッチング素子SW-nが両方ともにオン状態またはオフ状態の同じスイッチング状態をとるように、それぞれに印加されるゲート電圧を制御している。
このようにトリミング抵抗20を構成することにより、アナログスイッチASがオン状態の場合には、入力端子INと出力端子OUT との2端子間で、抵抗体R11と抵抗体R12との並列接続からなる合成抵抗R10を形成するため、並列接続の合成抵抗値r11//r12(=(r11×r12)/(r11+r12))となる。これに対し、アナログスイッチASがオフ状態の場合には、抵抗体R12と出力端子OUT との間に介在するアナログスイッチASが極めて高い抵抗値(数百kΩ以上)となるため、抵抗体R11と抵抗体R12とからなる合成抵抗の構成を妨げられ、その結果、入力端子INと出力端子OUT との2端子間では、抵抗体R11だけの抵抗値r11となる。
つまり、入力端子INと出力端子OUT との間の抵抗値は、アナログスイッチASがオフ状態の場合には抵抗体R11だけの値となり、アナログスイッチASがオン状態の場合には抵抗体R11と抵抗体R12との並列接続による合成抵抗の値となる。このため、スイッチ制御抵抗Rcにより、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値を制御することができる。
次に、トリミング抵抗20の動作を図2に基づいて説明する。
前述したように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1、R2の抵抗値を分圧V1が閾値電圧Vthよりも高くなるように設定し、また抵抗体R3、R4の抵抗値を分圧V2が閾値電圧Vthよりも低くなるように設定している場合には、アナログスイッチASがオフ状態に制御されているので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R11だけの抵抗値r11となる。
前述したように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1、R2の抵抗値を分圧V1が閾値電圧Vthよりも高くなるように設定し、また抵抗体R3、R4の抵抗値を分圧V2が閾値電圧Vthよりも低くなるように設定している場合には、アナログスイッチASがオフ状態に制御されているので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R11だけの抵抗値r11となる。
そこで、図2(A) に示すトリミング抵抗20’のように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1および抵抗体R4をレーザトリミングによりほぼ断線状態にカットする(図2(A) に示す×印)。すると、抵抗体R1および抵抗体R4の抵抗値は、それぞれMΩオーダの極めて高い値となるので、抵抗体R2には電源電圧の5Vが供給されなくなり、抵抗体R3にはグランドGND が接続されなくなる。このため、分圧V1の電位はグランドGND にほぼ等しくなり、スイッチング素子SW-nのゲート電圧が閾値電圧Vth(例えば4.3V)よりも低くなることから、それまでオフ状態だったスイッチング素子SW-pはオン状態に移行する。一方、分圧V2の電位は電源電圧の5Vにほぼ等しくなり、スイッチング素子SW-pのゲート電圧が閾値電圧Vth(例えば4.3V)よりも高くなることから、それまでオフ状態だったスイッチング素子SW-pはオン状態に移行する。
これにより、アナログスイッチAS全体がオフ状態からオン状態に切り替わることで、抵抗体R11と抵抗体R12とによる並列接続の合成抵抗R10が形成されるので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、並列接続の合成抵抗値r11//r12となる。したがって、アナログスイッチASのオン状態における当該2端子間は、アナログスイッチASのオフ状態における抵抗体R11の抵抗値r11よりも、低い合成抵抗R10の抵抗値r11//r12となる。つまり、抵抗体R11をレーザトリミングすれば当該2端子間の抵抗値を上げることが可能となる一方で、アナログスイッチASをオン状態にすると合成抵抗R10(抵抗値r11//r12)により当該2端子間の抵抗値を下げることが可能となる。
このため、抵抗値を上げるだけでなく、抵抗値を下げることも可能にするので、例えば、図7に示す破線による初期抵抗値の分布のように当該2端子間の抵抗値が規定値範囲よりも低い側に集まっている場合に限らず、一点鎖線のように当該2端子間の抵抗値が規定値範囲よりも高い側に集まっている場合であっても、抵抗値を下げて実線によるトリミング後の分布のように当該規定値内に収まるようにトリミングすることができる。したがって、歩留まりの低下を大幅に抑制するため、生産効率を向上することができる。
一方、前述したように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1、R2の抵抗値を分圧V1が閾値電圧Vthよりも低くなるように設定し、また抵抗体R3、R4の抵抗値を分圧V2が閾値電圧Vthよりも高くなるように設定している場合には、アナログスイッチASがオン状態に制御されているので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R11と抵抗体R12とによる並列接続の合成抵抗値r11//R12となる。
そこで、図2(B) に示すトリミング抵抗20”のように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R2および抵抗体R3をレーザトリミングによりほぼ断線状態にカットする(図2(B) に示す×印)。すると、抵抗体R2および抵抗体R3の抵抗値は、それぞれMΩオーダの極めて高い値となるので、抵抗体R1にはグランドGND が接続されなくなり、抵抗体R4には電源電圧の5Vが供給されなくなる。このため、分圧V1の電位は電源電圧の5Vにほぼ等しくなり、スイッチング素子SW-pのゲート電圧が閾値電圧Vth(例えば4.3V)よりも高くなることから、それまでオン状態だったスイッチング素子SW-pはオフ状態に移行する。一方、分圧V2の電位はグランドGND にほぼ等しくなり、スイッチング素子SW-nのゲート電圧が閾値電圧Vth(例えば4.3V)よりも低くなることから、それまでオン状態だったスイッチング素子SW-pはオフ状態に移行する。
これにより、アナログスイッチAS全体がオン状態からオフ状態に切り替わることで、抵抗体R11と抵抗体R12とは並列接続ではなくなるので、合成抵抗R10の形成が妨げられて、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R11だけの抵抗値r11となる。したがって、アナログスイッチASのオフ状態における当該2端子間は、アナログスイッチASのオン状態における並列接続の合成抵抗値r11//r12よりも、高い抵抗体R11の抵抗値r11となる。つまり、当該2端子間の抵抗値は、合成抵抗R10(抵抗値r11//r12)のレーザトリミングにより上げるだけでなく、アナログスイッチASのオフ状態により一段と上げることが可能となるため、トリミング可能な範囲を大幅に拡げることができる。
なお、上述したトリミング抵抗20では、合成抵抗R10を構成している抵抗体R12と出力端子OUT との間にアナログスイッチASを直列に接続したが、入力端子INとの間にアナログスイッチASを直列に接続しり、また合成抵抗R10を構成している抵抗体R22と出力端子OUT との間あるいは抵抗体R22と入力端子INとの間にアナログスイッチASを直列に接続しても良い。これらの構成においても、上述と同様の作用および効果を得ることができる。
[第2実施形態]
本発明のトリミング抵抗を適用した第2実施形態を図3〜図5および図7に基づいて説明する。図3には、トリミング抵抗30の構成を示す回路図が示されており、図4(A) および図4(B) には、それぞれトリミング抵抗20の作動を示す説明図が示されている。また図5には、トリミング抵抗30の変形例としてトリミング抵抗35の回路図が示されている。
本発明のトリミング抵抗を適用した第2実施形態を図3〜図5および図7に基づいて説明する。図3には、トリミング抵抗30の構成を示す回路図が示されており、図4(A) および図4(B) には、それぞれトリミング抵抗20の作動を示す説明図が示されている。また図5には、トリミング抵抗30の変形例としてトリミング抵抗35の回路図が示されている。
図3に示すように、本第2実施形態に係るトリミング抵抗30も、前述した第1実施形態のトリミング抵抗20とほぼ同様に、合成抵抗R20、アナログスイッチAS、スイッチ制御抵抗Rc、入力端子INおよび出力端子OUT から構成されている。なお、第1実施形態のトリミング抵抗20を実質的に同一の構成部分については、同一符号を付している。
このトリミング抵抗30では、合成抵抗R20を構成する抵抗体R21および抵抗体R22が直列に接続されている点と、この合成抵抗R20の抵抗体R22に対しアナログスイッチASが並列に接続されている点とが、第1実施形態のトリミング抵抗20と異なる。そのため、ここでは回路構成上の相違およびその動作を中心に説明し、第1実施形態のトリミング抵抗20と実質的に同一の構成部分については説明を省略する。
合成抵抗R20は、第1実施形態の合成抵抗R10と同様に、半導体基板にトリミング可能に形成される抵抗体R21(第1の抵抗体)と、この半導体基板にトリミング可能に形成され抵抗体R21に接続されて入力端子INおよび出力端子OUT 間で抵抗体R21とともに合成抵抗R20を構成可能な抵抗体R22(第2の抵抗体)と、から構成されており、本第2実施形態では、抵抗体R21と抵抗体R22とからなる直列抵抗が当該合成抵抗R20に相当する。
そして、このように直列に接続される合成抵抗R20に対し、その抵抗体R22と並列にアナログスイッチASを接続することにより、オン状態で合成抵抗R20の形成を妨げ、オフ状態で合成抵抗R20を形成し得るように接続される。これにより、アナログスイッチASがオフ状態の場合には、入力端子INと出力端子OUT との2端子間で、抵抗体R21と抵抗体R22との直列接続からなる合成抵抗R20を形成するため、直列接続の合成抵抗値r11+r12となる。これに対し、アナログスイッチASがオン状態の場合には、抵抗体R22と並列に接続されるアナログスイッチASが極めて低い抵抗値(オン抵抗;数Ω以下)となるため、抵抗体R21と抵抗体R22とからなる合成抵抗の構成を妨げられ、その結果、入力端子INと出力端子OUT との2端子間では、抵抗体R21だけの抵抗値r21となる。
つまり、入力端子INと出力端子OUT との間の抵抗値は、アナログスイッチASがオフ状態の場合には抵抗体R21と抵抗体R22との直列接続による合成抵抗の値となり、アナログスイッチASがオン状態の場合にはほぼ抵抗体R21の値となる。このため、本実施形態に係るトリミング抵抗30においても、スイッチ制御抵抗Rcにより、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値を制御することができる。
次に、トリミング抵抗30の動作を図4に基づいて説明する。
スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1、R2の抵抗値を分圧V1が閾値電圧Vthよりも高くなるように設定し、また抵抗体R3、R4の抵抗値を分圧V2が閾値電圧Vthよりも低くなるように設定している場合には、アナログスイッチASがオフ状態に制御されているので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R21と抵抗体R22との直列接続による合成抵抗の抵抗値r21+r22となる。
スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1、R2の抵抗値を分圧V1が閾値電圧Vthよりも高くなるように設定し、また抵抗体R3、R4の抵抗値を分圧V2が閾値電圧Vthよりも低くなるように設定している場合には、アナログスイッチASがオフ状態に制御されているので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R21と抵抗体R22との直列接続による合成抵抗の抵抗値r21+r22となる。
そこで、図4(A) に示すトリミング抵抗30’のように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1および抵抗体R4をレーザトリミングによりほぼ断線状態にカットすると(図4(A) に示す×印)、第1実施形態のスイッチ制御抵抗Rcと同様に、アナログスイッチAS全体はオフ状態からオン状態に切り替えられ、合成抵抗R20を構成している抵抗体R22の両端抵抗値がアナログスイッチASのほぼオン抵抗値に下げられるので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、ほぼ抵抗体R21の抵抗値r21となる。
したがって、アナログスイッチASのオン状態における当該2端子間は、アナログスイッチASのオフ状態における合成抵抗R20の抵抗値r21+r22よりも、低いほぼ抵抗値r21となる。つまり、抵抗体R21や抵抗体R22をレーザトリミングすれば当該2端子間の抵抗値を上げることが可能となる一方で、アナログスイッチASをオン状態にすると抵抗体R22の両端をほぼ短絡状態にすること合成抵抗R20(抵抗値r21+r22)により当該2端子間の抵抗値をほぼ抵抗体R21の抵抗値r21にまで下げることが可能となる。
このため、本実施形態に係るトリミング抵抗30においても、抵抗値を上げるだけでなく、抵抗値を下げることも可能にするので、例えば、図7に示す破線による初期抵抗値の分布のように当該2端子間の抵抗値が規定値範囲よりも低い側に集まっている場合に限らず、一点鎖線のように当該2端子間の抵抗値が規定値範囲よりも高い側に集まっている場合であっても、抵抗値を下げて実線によるトリミング後の分布のように当該規定値内に収まるようにトリミングすることができる。したがって、歩留まりの低下を大幅に抑制するため、生産効率を向上することができる。
一方、前述したように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R1、R2の抵抗値を分圧V1が閾値電圧Vthよりも低くなるように設定し、また抵抗体R3、R4の抵抗値を分圧V2が閾値電圧Vthよりも高くなるように設定している場合には、アナログスイッチASがオン状態に制御されているので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R21と抵抗体R22とによる直列接続の合成抵抗値r21+R22となる。
そこで、図4(B) に示すトリミング抵抗30”のように、スイッチ制御抵抗Rcを構成する抵抗体R2および抵抗体R3をレーザトリミングによりほぼ断線状態にカットすると(図4(B) に示す×印)、第1実施形態のスイッチ制御抵抗Rcと同様に、アナログスイッチAS全体はオン状態からオフ状態に切り替えられ、抵抗体R21と抵抗体R22との直列接続が有効に機能するので、入力端子INと出力端子OUT との2端子間の抵抗値は、抵抗体R21と抵抗体R22とによる直列の合成抵抗R20の抵抗値r21+r22となる。したがって、アナログスイッチASのオフ状態における当該2端子間は、アナログスイッチASのオン状態における抵抗体R21の抵抗値r21よりも、高い合成抵抗R20の抵抗値r21+r22となる。つまり、当該2端子間の抵抗値は、抵抗体R21のレーザトリミングにより上げるだけでなく、アナログスイッチASのオフ状態により一段と上げることが可能となるため、トリミング可能な範囲を大幅に拡げることができる。
なお、上述したトリミング抵抗30では、合成抵抗R20を構成している抵抗体R22に並列にアナログスイッチASを接続したが、合成抵抗R20を構成している抵抗体R21に並列にアナログスイッチASを接続しても、上述と同様の作用および効果を得ることができる。
なお、図3および図4に示す合成抵抗R20は、例えば、図5に示すトリミング抵抗35のように、抵抗値を可変できるタイプの可変抵抗Rvとして構成しても良い。このトリミング抵抗35の場合には、例えば、当該可変抵抗Rvの一方側端子を入力端子INに接続し、可変タップと他方側端子との間にアナログスイッチASを接続する。このように抵抗体R21と抵抗体R22とからなる合成抵抗R20に代えて可変抵抗Rvを用いることで、半導体基板上における当該抵抗の形成に要する面積を小さくすることが可能となるので、よりコンパクトにトリミング抵抗35を構成することも可能になる。
また、上述したトリミング抵抗35では、可変抵抗Rvの一方側端子を入力端子INに接続し、可変タップと他方側端子との間にアナログスイッチASを接続したが、これとは逆に可変抵抗Rvの一方側端子を出力端子OUT に接続し、可変タップと他方側端子との間にアナログスイッチASを接続しても、上述と同様の作用および効果を得ることができる。
[第3実施形態]
本発明のトリミング抵抗を適用した第3実施形態を図6に基づいて説明する。図6には、トリミング抵抗40の構成を示す回路図が示されている。
本発明のトリミング抵抗を適用した第3実施形態を図6に基づいて説明する。図6には、トリミング抵抗40の構成を示す回路図が示されている。
図6に示すように、本第3実施形態に係るトリミング抵抗40は、合成抵抗R30、抵抗値制御抵抗Rd、入力端子INおよび出力端子OUT から構成されており、半導体基板上の2端子間(入力端子INおよび出力端子OUT )において調整可能な抵抗値を提供するものである。
合成抵抗R30は、半導体基板にトリミング可能に形成される抵抗体R31(第1の抵抗体)と、この半導体基板にトリミング可能に形成され抵抗体R31の一端にドレイン電極が接続される電界効果トランジスタ(以下「トランジスタ」という。)Trと、から構成されており、抵抗体R31の他端とトランジスタTrのソース端子との間による2端子間(入力端子INおよび出力端子OUT )で、合成抵抗R30の抵抗値が得られるように構成されている。
即ち、合成抵抗R30は、入力端子INと出力端子OUT との間において、トランジスタTrのドレイン−ソース間の抵抗値rdsと抵抗体R31の抵抗値r31との直列抵抗による抵抗値r31+rdsが得られるように構成されている。
抵抗値制御抵抗Rd(第2の抵抗体)は、半導体基板にトリミング可能に形成される抵抗体R32および抵抗体R33からなり、これらは直列に接続されて電源とグランドGND との間に介在するように接続されている。そして、抵抗体R32と抵抗体R33とによる電源電圧の分圧V3を合成抵抗R30のトランジスタTrのゲート電極に印加し得るように構成する。これにより、抵抗体R32または抵抗体R33をレーザトリミングすることによって、トランジスタTrのゲート電圧を調整することができるので、トランジスタTrのドレイン−ソース間の抵抗値rdsを変動させることが可能となる。
このようにトリミング抵抗30を構成することにより、抵抗体R32または抵抗体R33をトリミングすることによりトランジスタTrのゲート電圧を増加または減少させることから、トランジスタTrのドレイン−ソース間の抵抗値rdsを増減させることができ、抵抗体R31とトランジスタTrのドレイン−ソース間の抵抗とによる合成抵抗R30全体として幅広い抵抗値を得ることができる。したがって、歩留まりの低下を大幅に抑制するため、生産効率を向上することができる。また、このトランジスタTrのドレイン−ソース間の抵抗値rdsは、オン領域(飽和領域)におけるオン抵抗(数Ω以下)からオフ領域(遮断領域)における抵抗(数百kΩ以上)まで広範囲において抵抗値が得られるため、高い抵抗値を必要とする場合に本第3実施形態に係るトリミング抵抗30は特に有効となる。
なお、本実施形態では、トランジスタTrに直列に抵抗体R31を接続したが、トランジスタTrのドレイン−ソース間の抵抗だけでも、数Ωオーダ〜数MΩオーダの広範囲の抵抗値rdsが得られるため、抵抗体R31は必ずしも必要ではないが、例えば、トランジスタTrの半導体特有の特性等によりゲート電圧による抵抗値rdsの調整が困難な場合には、抵抗体R31を直列接続することにより抵抗体R31のトリミングによる微調整が可能となる。
また、上述したトリミング抵抗40では、Nチャネルタイプの電界効果トランジスタを用いたが、Pチャネルタイプの電界効果トランジスタを用いても上述と同様の作用および効果を得ることができる。
さらに、上述したトリミング抵抗40では、合成抵抗R30の構成において、入力端子IN側に抵抗体R31を接続し出力端子OUT 側にトランジスタTrを接続したが、これとは逆に入力端子IN側にトランジスタTrを接続し出力端子OUT 側に抵抗体R31を接続しても、上述と同様の作用および効果を得ることができる。
20、30、35、40…トリミング抵抗
AS…アナログスイッチ(半導体スイッチ)
IN…入力端子(2端子の一方)
OUT …出力端子(2端子の他方)
R1、R2、R3、R4…抵抗体
R11、R21、R31…抵抗体(第1の抵抗体)
R12、R22、R32、R33…抵抗体(第2の抵抗体)
R10、R20、R30…合成抵抗
Rc…スイッチ制御抵抗
Rd…抵抗値制御抵抗
Rv…可変抵抗(第1の抵抗体、第2の抵抗体)
SW-p、SW-n…スイッチング素子
Tr…トランジスタ(電界効果トランジスタ)
AS…アナログスイッチ(半導体スイッチ)
IN…入力端子(2端子の一方)
OUT …出力端子(2端子の他方)
R1、R2、R3、R4…抵抗体
R11、R21、R31…抵抗体(第1の抵抗体)
R12、R22、R32、R33…抵抗体(第2の抵抗体)
R10、R20、R30…合成抵抗
Rc…スイッチ制御抵抗
Rd…抵抗値制御抵抗
Rv…可変抵抗(第1の抵抗体、第2の抵抗体)
SW-p、SW-n…スイッチング素子
Tr…トランジスタ(電界効果トランジスタ)
Claims (4)
- 半導体基板にトリミング可能に形成される第1の抵抗体と、
前記半導体基板にトリミング可能に形成され前記第1の抵抗体に接続されて2端子間で前記第1の抵抗体とともに合成抵抗を構成可能な第2の抵抗体と、
前記半導体基板に形成され前記第1の抵抗体および前記第2の抵抗体に接続される半導体スイッチであって、オン状態における前記2端子間の抵抗値をオフ状態における前記2端子間の抵抗値よりも低下させる半導体スイッチと、
を備えることを特徴とするトリミング抵抗。 - 前記合成抵抗は、前記第1の抵抗体と前記第2の抵抗体とを並列に接続したもので、
前記半導体スイッチは、前記第1の抵抗体または前記第2の抵抗体に対し直列に接続され、オフ状態で前記合成抵抗の形成を妨げ、オン状態で前記合成抵抗を形成し、オン状態における前記2端子間の抵抗値をオフ状態における前記2端子間の抵抗値よりも低下させることを特徴とする請求項1記載のトリミング抵抗。 - 前記合成抵抗は、前記第1の抵抗体と前記第2の抵抗体とを直列に接続したもので、
前記半導体スイッチは、前記第1の抵抗体または前記第2の抵抗体に対し並列に接続され、オン状態で前記合成抵抗の形成を妨げ、オフ状態で前記合成抵抗を形成し、オン状態における前記2端子間の抵抗値をオフ状態における前記2端子間の抵抗値よりも低下させることを特徴とする請求項1記載のトリミング抵抗。 - 半導体基板にトリミング可能に形成される第1の抵抗体と、
前記半導体基板に形成される電界効果トランジスタで、前記第1の抵抗体の一端にドレイン電極またはソース電極が接続されて、前記第1の抵抗体の一端に接続されていないソース電極またはドレイン電極と前記第1の抵抗体の他端とによる2端子間で、前記第1の抵抗体とともに合成抵抗を構成可能な電界効果トランジスタと、
前記半導体基板にトリミング可能に形成され、前記電界効果トランジスタのゲート電極に印加されるゲート電圧を変更可能な第2の抵抗体と、
を備えることを特徴とするトリミング抵抗。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004301254A JP2006114733A (ja) | 2004-10-15 | 2004-10-15 | トリミング抵抗 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004301254A JP2006114733A (ja) | 2004-10-15 | 2004-10-15 | トリミング抵抗 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006114733A true JP2006114733A (ja) | 2006-04-27 |
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ID=36382995
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JP2004301254A Withdrawn JP2006114733A (ja) | 2004-10-15 | 2004-10-15 | トリミング抵抗 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2006114733A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009283714A (ja) * | 2008-05-22 | 2009-12-03 | Sanyo Electric Co Ltd | 抵抗トリミング回路 |
US8531230B2 (en) | 2011-10-24 | 2013-09-10 | Renesas Electronics Corporation | Input circuit |
US11145558B2 (en) | 2019-03-27 | 2021-10-12 | Fuji Electric Co., Ltd. | Manufacturing method of semiconductor module |
-
2004
- 2004-10-15 JP JP2004301254A patent/JP2006114733A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US8531230B2 (en) | 2011-10-24 | 2013-09-10 | Renesas Electronics Corporation | Input circuit |
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