JP2006114548A - 窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窒化シリコン(Six Ny ,x,y≧0)で第1バッファ層を低温成長させる。この第1バッファ層内で、Six Ny は複数のランダム分布クラスタのマスクを形成する。その後、この第1バッファ層の上に、更に窒化アルミニウムインジウムガリウムAlw Gaz In1-w-z N(0≦w,z≦1,w+z≦1)の第2バッファ層を成長させる。該第2バッファ層は直接には第1バッファ層の上に成長させられず、エピタキシャル側方向成長(Epitaxially Lateral Overgrowth;ELOG)方式で、第1バッファ層のSix Ny マスクの未遮蔽の基板の上に成長開始され、更にオーバーグローにより第1バッファ層のマスク上を被覆する。
【選択図】 図2
Description
該バッファ層は、
該基板の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sia Nb ,a,b≧0)で構成されて厚さが5Åから100Åの間であり、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされる第1バッファ層と、
該基板の第1バッファ層により未被覆の表面より上向きに第1バッファ層の上を被覆するよう形成され、特定組成の窒化アルミニウムインジウムガリウムAlc Gad In1-c-d N(0≦c,d≦1,c+d≦1)で構成され、厚さが50Å〜400Åの間とされる第2バッファ層と、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造としている。
請求項2の発明は、請求項1記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、バッファ層は更に第3バッファ層を具え、該第3バッファ層は第2バッファ層の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sik No ,k,o≧0)で構成され、厚さが5Å〜100Åの間で、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされることを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造としている。
請求項3の発明は、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、該窒化ガリウム系ダイオード装置は下から上に順に、サファイヤ或いは炭化シリコンのいずれかで構成された基板と、該基板の一側に位置し、順に堆積された複数層のバッファ層と、最上層のバッファ層の上に位置する窒化ガリウムエピタキシャル構造と、を具え、各バッファ層は、
該基板の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sie Nf ,e,f≧0)で構成されて厚さが5Åから20Åの間であり、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされる第1バッファ層と、
該基板の第1バッファ層により未被覆の表面より上向きに第1バッファ層の上を被覆するよう形成され、特定組成の窒化アルミニウムインジウムガリウムAlg Gah In1-g-h N(0≦g,h≦1,g+h≦1)で構成され、厚さが10Å〜100Åの間とされる第2バッファ層と、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造としている。
請求項4の発明は、請求項3記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、バッファ層は更に第3バッファ層を具え、該第3バッファ層は最上層の第2バッファ層の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sip Nq ,p,q≧0)で構成され、厚さが5Å〜100Åの間で、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされることを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造としている。
請求項5の発明は、請求項3記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、複数層のバッファ層の層数が2〜10の間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造としている。
請求項6の発明は、請求項3記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、第1バッファ層の各層の組成と厚さは必ずしも同じでなく、第2バッファ層の各層の組成と厚さも必ずしも同じでないことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造としている。
以上は本発明の好ましい実施例の説明であって、本発明の範囲を限定するものではなく、本発明に基づきなしうる細部の修飾或いは改変は、いずれも本発明の請求範囲に属するものとする。
20 バッファ層
22 バッファ層
24 バッファ層
26 バッファ層
30 窒化ガリウムエピタキシャル構造
201 第1バッファ層
202 第2バッファ層
221、221’ 第1バッファ層
222、222’ 第2バッファ層
241 第1バッファ層
242 第2バッファ層
243 第3バッファ層
261、261’ 第1バッファ層
262、262’ 第2バッファ層
263 第3バッファ層
Claims (6)
- 窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、該窒化ガリウム系ダイオード装置は、サファイヤ、6H−SiC、4H−SiC、Si、ZnO、GaAs、スピネル(MgAl2 O4 )、或いは格子定数が窒化物半導体に接近する単結晶酸化物のいずれかで形成された基板と、該基板の一側に位置するバッファ層と、該バッファ層の上に位置する窒化ガリウムエピタキシャル構造と、を具え、
該バッファ層は、
該基板の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sia Nb ,a,b≧0)で構成されて厚さが5Åから100Åの間であり、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされる第1バッファ層と、
該基板の第1バッファ層により未被覆の表面より上向きに第1バッファ層の上を被覆するよう形成され、特定組成の窒化アルミニウムインジウムガリウムAlc Gad In1-c-d N(0≦c,d≦1,c+d≦1)で構成され、厚さが50Å〜400Åの間とされる第2バッファ層と、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造。 - 請求項1記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、バッファ層は更に第3バッファ層を具え、該第3バッファ層は第2バッファ層の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sik No ,k,o≧0)で構成され、厚さが5Å〜100Åの間で、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされることを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造。
- 窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、該窒化ガリウム系ダイオード装置は下から上に順に、サファイヤ或いは炭化シリコンのいずれかで構成された基板と、該基板の一側に位置し、順に堆積された複数層のバッファ層と、最上層のバッファ層の上に位置する窒化ガリウムエピタキシャル構造と、を具え、各バッファ層は、
該基板の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sie Nf ,e,f≧0)で構成されて厚さが5Åから20Åの間であり、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされる第1バッファ層と、
該基板の第1バッファ層により未被覆の表面より上向きに第1バッファ層の上を被覆するよう形成され、特定組成の窒化アルミニウムインジウムガリウムAlg Gah In1-g-h N(0≦g,h≦1,g+h≦1)で構成され、厚さが10Å〜100Åの間とされる第2バッファ層と、
を具えたことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造。 - 請求項3記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、バッファ層は更に第3バッファ層を具え、該第3バッファ層は最上層の第2バッファ層の上に位置し、特定組成の窒化シリコン(Sip Nq ,p,q≧0)で構成され、厚さが5Å〜100Åの間で、複数のランダム分布クラスタを含有するマスクとされることを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造。
- 請求項3記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、複数層のバッファ層の層数が2〜10の間とされたことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造。
- 請求項3記載の窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造において、第1バッファ層の各層の組成と厚さは必ずしも同じでなく、第2バッファ層の各層の組成と厚さも必ずしも同じでないことを特徴とする、窒化ガリウム系ダイオード装置のバッファ層構造。
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