JP2006113022A - 反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法 - Google Patents
反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006113022A JP2006113022A JP2004303232A JP2004303232A JP2006113022A JP 2006113022 A JP2006113022 A JP 2006113022A JP 2004303232 A JP2004303232 A JP 2004303232A JP 2004303232 A JP2004303232 A JP 2004303232A JP 2006113022 A JP2006113022 A JP 2006113022A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- test
- defect
- wavelength
- film thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明によれば、反射防止フィルム40の被検部位に少なくとも可視光領域を含む検査光a,bを照射する光源部1と、検査光が被検部位で反射してなる反射光eから、フィルム面の法線方向に対して平行に進む平行光成分fを抽出する光学系13と、平行光成分を複数の波長成分光に分光する色分解プリズム14と、分光された各波長成分光をそれぞれ撮像する撮像デバイス20〜24と、各撮像デバイスによって撮像された撮像データから被検部位における各波長成分光の光強度と波長との相関曲線を求め、相関曲線において、被検部位のフィルム厚の変動に対する光強度の感度が大きな波長における光強度と、予め知られている良品の被検部位に対応する部位の相関曲線から得られる当該波長における光強度との差に基づいて、被検部位のフィルム厚を求める処理部4とを備える。
【選択図】 図1
Description
また、以下の(2)式および(3)式が成り立つ。
Rp=Ip×((n1−n0)/(n1+n0))^2 ・・・・(2)式
Tp=Ip−Rp−Ap−Dp ・・・(3)式
ここで、Ipは入射光強度、Rpは反射光強度、Tpは透過光強度、ApはLR反射防止フィルム41の内面における光吸収成分強度、Dpは光散乱成分強度である。
D=n1×d/cos(θ1) ・・・(4)式
ここで、θ1を十分に小さく取り、 D=n1×d ・・・(4’)式 と近似する。
そして、このときの反射率Rminは、以下に示す(6)式の通りである。
Rmin=((n2×n0−n1)/(n2×n0+n1))^2 ・・・(6)式
一方、以下に示す(7)式が成立する場合には、反射光は干渉により強め合う。
D=(2m)×λ/4 ・・・(7)式
そして、このときの反射率Rmaxは、以下に示す(8)式の通りである。
Rmax=((n2−n0)/(n2+n0))^2 ・・・(8)式
上記(4’)〜(8)式において、n1=1.3、n2=1.69、d=100(nm)とすると、波長λ(nm)=520、173、104、・・・の光に対して、反射率R=0.017(1.7%)まで弱めあい、波長λ(nm)=260、130、75、・・・の光に対して、反射率R=0.066(6.6%)まで強めあう。
R0=((np−n0)/(np+n0))^2 ・・・(9)式
このとき、np=1.5とすると、R0=0.04(4%)となり、光学的膜厚Dの値を選択してRminの値を取るようにすれば、反射率を約1/2.4に改善することが可能となる。通常、波長λは人間の最大比視感度である550nmを基準に取ることが多い。
Im’=FIX(Im(x、y)、Bk(x、y)) ・・・(1)式
ここで、Im’は変換処理後の撮像データ151c、Im(x、y)は変換処理前の撮像データ151b、Bk(x、y)は背面撮像データ156である。また、関数FIXは、以下に示す(2)式、(3)式の通りである。
FIX(A,B)=A−B (A≧B) ・・・(2)式
FIX(A,B)=0 (A<B) ・・・(3)式
バンドパスフィルタ164は、撮像データ151cのナイキスト周波数に近い周波数成分、および撮像データ151cのサグに相当する周波数成分を除去し、除去後の撮像データ151dを生成する。前者は折り返し歪みの防止のため、後者は人間の視覚特性上で確認不可能な緩い膜厚変動成分の除去のために行う。
|(撮像データ153d)−(撮像データ155d)|
である。これは、反射防止フィルム40が干渉波長のシフトにより青領域と赤領域とでの光強度特性が逆(増加←→減少)になる特性を持つからである。視覚特性に重点をおく場合には、均等色空間であるL*a*b*表色系(CIE Lab空間)に変換し、色相、彩度で評価することも可能としている。
Im(x、y)>Th(x、y)+α ・・・(5)式
ここで、αはオフセット値である。Im’(x、y)=1の場合、散乱光が生じていることを意味する。なお、散乱光は、正反射光と比較して大きな値を取る場合が多いため、オフセット値αも大きく取るほうが望ましい。そして、散乱検出部171は、このようなバイナリゼーションの処理結果188をマルチプレクサ178に送り、散乱検出部175は、同様にバイナリゼーションの処理結果189をマルチプレクサ178およびテクスチャ合成部179に送る。
Claims (24)
- 反射防止フィルムの欠陥を検出する装置であって、
所定の検査位置に配置された被検体である前記反射防止フィルムの被検部位に少なくとも可視光領域を含む検査光を照射する照射手段と、
前記検査光が前記被検部位で反射してなる反射光から、前記反射防止フィルムのフィルム面の法線方向に対して平行に進む平行光成分を抽出する抽出手段と、
前記平行光成分を複数の波長成分光に分光する分光手段と、
前記分光手段によって分光された各波長成分光をそれぞれ撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された撮像データから、前記被検部位における前記各波長成分光の光強度と波長との相関曲線を求める相関曲線把握手段と、
前記相関曲線において、予め知られている良品の各波長成分光の光強度と、前記被検部位の各波長成分光の光強度との差に基づいて、前記被検部位のフィルム厚を求めるフィルム厚把握手段と
を備えた装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検査光は紫外線光と赤外線光を含んでおり、
前記複数の波長成分光は、可視光に加えて紫外線光と赤外線光を含んでおり、
前記相関曲線把握手段は紫外線光、可視光、赤外線光を含む各波長成分光の光強度と波長とに基づいて前記相関曲線を求めるようにした装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検査光は紫外線光を含んでおり、
前記複数の波長成分光は、可視光に加えて紫外線光を含んでおり、
前記相関曲線把握手段は紫外線光、可視光を含む各波長成分光の光強度と波長とに基づいて前記相関曲線を求めるようにした装置。 - 請求項1乃至3のうち何れか1項に記載の装置において、
前記相関曲線把握手段によって求められた前記被検部位の相関曲線から得られる紫外線領域の光強度と、前記予め知られている良品の前記被検部位に対応する部位の相関曲線から得られる前記紫外線領域の光強度との差に基づいて、前記被検部位の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段を更に備えた装置。 - 請求項4に記載の装置において、
前記欠陥判定手段によって欠陥有りと判定された場合には、前記フィルム厚把握手段によって求められた前記被検部位のフィルム厚と、前記被検部位に対応する前記良品の部位の予め知られているフィルム厚との差に基づいて、前記撮像データのコントラストを強調する強調手段を更に備えた装置。 - 請求項1乃至5のうち何れか1項に記載の装置において、
前記照射手段は、同軸落射方式で前記検査光を前記被検部位に照射するようにした装置。 - 請求項6に記載の装置において、
前記照射手段は、前記同軸落射方式に加えて、拡散照明方式でも前記検査光を前記被検部位に照射するようにした装置。 - 請求項1乃至7のうち何れか1項に記載の装置において、
前記分光手段は、前記平行光成分を少なくとも3つの波長光成分に分光し、
前記撮像手段を、前記分光手段によって分光された波長光成分のそれぞれに対して備えた装置。 - 請求項1乃至8のうち何れか1項に記載の装置において、
前記被検部位の撮像データが撮像されると、前記被検体である反射防止フィルムを所定長さ巻き取ることによって、次の被検部位を前記検査位置に配置する巻取手段と、
前記分光手段よりも前記検査位置側に備えられ、前記巻取手段によって巻き取られることによって前記被検体にかかる張力によって前記被検部位に生じる光学的偏光方向に直交する偏光方向を有する偏向素子と
を更に備えた装置。 - 請求項1乃至9のうち何れか1項に記載の装置において、
前記被検体である反射防止フィルムは、紫外線吸収能力の高い物質からなる基材上に配置された状態で、前記所定の検査位置に配置されるようにした装置。 - 請求項4に記載の装置において、
前記欠陥判定手段によって欠陥有りと判定され、前記フィルム厚把握手段によって求められた前記被検部位のフィルム厚と、前記被検部位に対応する前記良品の部位の予め知られたフィルム厚との差が、予め定めたフィルム厚しきい値を越えている場合には、前記被検部位の表面に異常があるものと判定し、前記欠陥判定手段によって欠陥無しと判定され、前記フィルム厚把握手段によって求められた前記被検部位のフィルム厚と、前記被検部位に対応する前記良品の部位の予め知られたフィルム厚との差が、予め定めたフィルム厚しきい値を越えている場合には、前記被検部位の内層側に異常があるものと判定する異常判定手段を更に備えた装置。 - 請求項4または請求項11に記載の装置において、
前記照射手段は、前記法線方向以外の方向から前記被検部位に前記検査光を照射し、
前記欠陥判定手段によって欠陥有りと判定された場合には、前記相関曲線把握手段によって求められた前記被検部位の相関曲線から得られる紫外線領域の光強度が、予め定めた光強度しきい値を越えている場合には、この欠陥を傷または擦れによるものと判定する傷擦れ判定手段を更に備えた装置。 - 反射防止フィルムの欠陥を検出する方法であって、
所定の検査位置に配置された被検体である前記反射防止フィルムの被検部位に少なくとも可視光領域を含む検査光を照射することと、
前記検査光が前記被検部位で反射してなる反射光から、前記反射防止フィルムのフィルム面の法線方向に対して平行に進む平行光成分を抽出することと、
前記平行光成分を複数の波長成分光に分光することと、
前記分光された各波長成分光をそれぞれ撮像することと、
前記撮像された撮像データから、前記被検部位における前記各波長成分光の光強度と波長との相関曲線を求めることと、
前記相関曲線において、予め知られている良品の各波長成分光の光強度と、前記被検部位の各波長成分光の光強度との差に基づいて、前記被検部位のフィルム厚を求めることと
を備えた方法。 - 請求項13に記載の方法において、
前記検査光は、紫外線光と赤外線光を含んでおり、
前記複数の波長成分光は、可視光に加えて紫外線光と赤外線光を含んでおり、
前記相関曲線は、紫外線光、可視光、赤外線光を含む各波長成分光の光強度と波長とに基づいて求められるようにした方法。 - 請求項13に記載の方法において、
前記検査光は、紫外線光を含んでおり、
前記複数の波長成分光は、可視光に加えて紫外線光を含んでおり、
前記相関曲線は、紫外線光、可視光を含む各波長成分光の光強度と波長とに基づいて求められるようにした方法。 - 請求項13乃至15のうちいずれか1項に記載の方法において、
前記被検部位の相関曲線から得られる紫外線領域の光強度と、前記予め知られている良品の前記被検部位に対応する部位の相関曲線から得られる前記紫外線領域の光強度との差に基づいて、前記被検部位の欠陥の有無を判定することを更に備えた方法。 - 請求項16に記載の方法において、
欠陥有りと判定された場合には、前記求められた前記被検部位のフィルム厚と、前記被検部位に対応する前記良品の部位の予め知られているフィルム厚との差に基づいて、前記撮像データのコントラストを強調することを更に備えた方法。 - 請求項13乃至17のうち何れか1項に記載の方法において、
前記照射することは、同軸落射方式で前記検査光を前記被検部位に照射するようにした方法。 - 請求項18に記載の方法において、
前記照射することは、前記同軸落射方式に加えて、拡散照明方式でも前記検査光を前記被検部位に照射するようにした方法。 - 請求項13乃至19のうち何れか1項に記載の方法において、
前記分光することは、前記平行光成分を少なくとも3つの波長光成分に分光し、
前記撮像は、前記分光された波長光成分を、それぞれ別の撮像系を用いて行うようにした方法。 - 請求項13乃至20のうち何れか1項に記載の方法において、
前記被検部位の撮像データが撮像されると、前記被検体である反射防止フィルムを巻取手段によって所定長さ巻き取ることによって、次の被検部位を前記検査位置に配置することと、
前記巻取手段によって巻き取られることによって前記被検体にかかる張力によって前記被検部位に生じる光学的偏光方向に直交する偏光方向を有する偏向素子によって、前記反射光を偏光することを、前記分光することよりも先に行うようにした方法。 - 請求項13乃至21のうち何れか1項に記載の方法において、
前記被検体である反射防止フィルムは、紫外線吸収能力の高い物質からなる基材上に配置された状態で、前記所定の検査位置に配置されるようにした方法。 - 請求項16に記載の方法において、
前記欠陥有りと判定され、前記求められた前記被検部位のフィルム厚と、前記被検部位に対応する前記良品の部位の予め知られたフィルム厚との差が、予め定めたフィルム厚しきい値を越えている場合には、前記被検部位の表面に異常があるものと判定し、前記欠陥無しと判定され、前記求められた前記被検部位のフィルム厚と、前記被検部位に対応する前記良品の部位の予め知られたフィルム厚との差が、予め定めたフィルム厚しきい値を越えている場合には、前記被検部位の内層側に異常があるものと判定することを更に備えた方法。 - 請求項16または請求項23に記載の方法において、
前記照射することは、前記法線方向以外の方向から前記被検部位に前記検査光を照射し、
前記欠陥有りと判定された場合には、前記求められた前記被検部位の相関曲線から得られる紫外線領域の光強度が、予め定めた光強度しきい値を越えている場合には、この欠陥を傷または擦れによるものと判定することに備えた方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004303232A JP2006113022A (ja) | 2004-10-18 | 2004-10-18 | 反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004303232A JP2006113022A (ja) | 2004-10-18 | 2004-10-18 | 反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006113022A true JP2006113022A (ja) | 2006-04-27 |
Family
ID=36381636
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004303232A Pending JP2006113022A (ja) | 2004-10-18 | 2004-10-18 | 反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006113022A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008039868A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Victor Co Of Japan Ltd | 液晶表示装置 |
JP2008116405A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP2008145399A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置 |
JP2010008173A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
JP2014052261A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Shimadzu Corp | 検査装置 |
CN103674971A (zh) * | 2012-09-19 | 2014-03-26 | 小森公司 | 薄片形件的检查装置 |
CN109580631A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-04-05 | 成都市鹰诺实业有限公司 | 一种利用光强判定被测物表面差异的方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08247957A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Olympus Optical Co Ltd | 液晶基板又はicウエハの外観検査用の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
JP2000352504A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-12-19 | Sharp Corp | 膜欠陥検査方法 |
WO2003025497A1 (en) * | 2001-09-21 | 2003-03-27 | Kmac | Apparatus for measuring thickness profile and refractive index distribution of multiple layers of thin films by means of two-dimensional reflectometry and method of measuring the same |
JP2003156314A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Omron Corp | 膜厚測定方法及びその装置 |
JP2003166941A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Asahi Glass Co Ltd | 膜厚むら検査装置、膜厚むら検査方法および膜厚むら検査プログラム |
JP2003344302A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Sumitomo Chem Co Ltd | 偏光フィルムの検査法および検査装置 |
JP2004021240A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Jai Corporation | 像倍率補正機能付き光学系及び同光学系を備えた撮像装置 |
JP2004085884A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Konica Minolta Holdings Inc | 光学フィルム及びその製造方法 |
JP2004223437A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーレジスト塗布ムラ検査装置 |
-
2004
- 2004-10-18 JP JP2004303232A patent/JP2006113022A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08247957A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Olympus Optical Co Ltd | 液晶基板又はicウエハの外観検査用の欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
JP2000352504A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-12-19 | Sharp Corp | 膜欠陥検査方法 |
WO2003025497A1 (en) * | 2001-09-21 | 2003-03-27 | Kmac | Apparatus for measuring thickness profile and refractive index distribution of multiple layers of thin films by means of two-dimensional reflectometry and method of measuring the same |
JP2003156314A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Omron Corp | 膜厚測定方法及びその装置 |
JP2003166941A (ja) * | 2001-11-29 | 2003-06-13 | Asahi Glass Co Ltd | 膜厚むら検査装置、膜厚むら検査方法および膜厚むら検査プログラム |
JP2003344302A (ja) * | 2002-05-31 | 2003-12-03 | Sumitomo Chem Co Ltd | 偏光フィルムの検査法および検査装置 |
JP2004021240A (ja) * | 2002-06-20 | 2004-01-22 | Jai Corporation | 像倍率補正機能付き光学系及び同光学系を備えた撮像装置 |
JP2004085884A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Konica Minolta Holdings Inc | 光学フィルム及びその製造方法 |
JP2004223437A (ja) * | 2003-01-24 | 2004-08-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーレジスト塗布ムラ検査装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008039868A (ja) * | 2006-08-02 | 2008-02-21 | Victor Co Of Japan Ltd | 液晶表示装置 |
JP2008116405A (ja) * | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法及びその装置 |
JP2008145399A (ja) * | 2006-12-13 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査装置 |
JP2010008173A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 光透過性フィルムの欠陥検出装置 |
JP2014052261A (ja) * | 2012-09-06 | 2014-03-20 | Shimadzu Corp | 検査装置 |
CN103674971A (zh) * | 2012-09-19 | 2014-03-26 | 小森公司 | 薄片形件的检查装置 |
JP2014059253A (ja) * | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Komori Corp | シート状物の検査装置 |
CN109580631A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-04-05 | 成都市鹰诺实业有限公司 | 一种利用光强判定被测物表面差异的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10492660B2 (en) | Image processing apparatus and endoscope | |
JP6629455B2 (ja) | 外観検査装置、照明装置、撮影照明装置 | |
US9541381B2 (en) | Surface topography interferometer with surface color | |
US9808147B2 (en) | Image processing apparatus and endoscope | |
US11209264B2 (en) | Reflection refuting laser scanner | |
JP5640812B2 (ja) | 塗色評価方法 | |
JPWO2016194939A1 (ja) | 金属体の形状検査装置及び金属体の形状検査方法 | |
KR101203210B1 (ko) | 결함 검사장치 | |
JP2004219108A (ja) | 着色膜の膜厚ムラ検査方法及び装置 | |
CN110134987B (zh) | 基于光线追迹的光学球面缺陷检测照明设计方法 | |
JP5890953B2 (ja) | 検査装置 | |
JP2006113022A (ja) | 反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法 | |
JP3676092B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
JP2007114125A (ja) | 膜厚ムラ検査方法 | |
JP4576962B2 (ja) | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
JP2018132355A (ja) | スクリーン版の検査方法 | |
KR102171773B1 (ko) | 검사 영역 결정 방법 및 이를 이용하는 외관 검사 장치 | |
JP2020016497A (ja) | 検査装置、及び検査方法 | |
JPH11118668A (ja) | 物体の欠陥の検査方法および検査装置 | |
TWI843820B (zh) | 使用多種波長之光單色成像的顏色檢查方法 | |
JP5708385B2 (ja) | 表面検査方法及び表面検査装置 | |
JP2005221458A (ja) | 膜厚分布検査方法および装置 | |
JP7294282B2 (ja) | 測定装置 | |
JP2006112828A (ja) | 反射防止フィルムの欠陥検出装置および方法 | |
Saito et al. | Interference-enhanced imaging for detecting oil layer floating on the water |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070920 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110316 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110802 |