JP2014052261A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】反射防止膜の膜厚がばらついた場合にも精度よく欠陥検出を行うことが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】この外観検査装置（検査装置）１００は、互いに異なる波長領域を有する複数の照明色で照明光を照射可能に構成された照明部１０と、照明光を用いて太陽電池セル１を撮像する撮像部２０と、太陽電池セル１の撮像画像６０を複数の照明色毎に取得するとともに、照明色毎の照明光の太陽電池セル１による反射強度または反射防止膜３の膜厚ｄに応じて、照明色毎の撮像画像６０のうちから検査に用いる画像を選択し、選択した撮像画像６０に基づいて太陽電池セル１の検査を行う制御部３０とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、検査装置に関し、特に、太陽電池セルの検査装置に関する。

従来、太陽電池セルの検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、赤外領域の波長の照明光を照射する照明装置と、近赤外領域に感度を有するＣＣＤカメラ（撮像部）とを備えた太陽電池セルの外観検査装置が開示されている。照明装置から照射された赤外光は太陽電池セルを透過するが、太陽電池セルの内部に欠陥（クラック）が存在する場合、欠陥部周辺では赤外光が屈折や回り込みにより拡散される。これにより、太陽電池セル内部の欠陥部分がＣＣＤカメラによる撮像画像上の信号強度の差（明暗）となって検出される。

ところで、基板（セル）に入射した光の反射を抑制して高効率化を図るために、太陽電池セルの表面上には反射防止膜が成膜される。この反射防止膜の欠陥（ピンホールや異物の付着）も太陽電池セルの特性に影響することから、上記内部欠陥だけでなく、外観検査による反射防止膜の欠陥検出（表面検査）も従来より行われている。反射防止膜の外観検査を行う場合、可視光領域の波長の照明光を照射し、太陽電池セル表面で反射した反射光を撮像する。太陽電池セルの垂直入射光に対する反射強度は、薄膜干渉の理論上、反射防止膜の屈折率ｎと膜厚ｄとによって決定される特定波長λ＝４ｎｄに対して０になる。結晶系太陽電池では、屈折率ｎ＝約２．０〜約２．１、膜厚ｄ＝約８０ｎｍ程度の成膜条件で反射防止膜が成膜され、４ｎｄ＝６４０ｎｍ〜６７２ｎｍの赤色領域の波長での反射強度が最小となる。

このような反射防止膜が成膜された結晶系太陽電池セルの外観検査（表面検査）を行う場合には、反射強度が最小となる赤色領域の照明光を用いてセル表面の撮像を行えば、照明光のほとんどが反射されず、欠陥（ピンホールや異物の付着）部分でのみ照明光が反射されることから、欠陥部を撮像画像中の輝点として検出することができる。

特開２００７−７８４０４号公報

しかしながら、太陽電池セルの製造工程における各種要因によって、反射防止膜の膜厚にはばらつきが発生する。反射防止膜の膜厚（ｄ）が設計上の膜厚から変化した場合には、反射強度が最小となる特定波長（λ＝４ｎｄ）も変化することから、検査に用いる照明光の波長と反射強度が最小となる特定波長とにずれが生じ、太陽電池セルでの照明光の反射強度が増大する。このため、反射防止膜の膜厚がばらついた太陽電池セルの外観検査を行うと、欠陥部の反射光だけでなく欠陥部以外の部位からの反射光も合わせて撮像される結果、欠陥部の輝点が撮像画像中に紛れてしまうことにより、撮像画像から反射防止膜の欠陥部を検出するのが困難になるという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、反射防止膜の膜厚がばらついた場合にも精度よく欠陥検出を行うことが可能な検査装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の一の局面における検査装置は、反射防止膜を成膜した太陽電池セルの検査装置であって、互いに異なる波長領域を有する複数の照明色で照明光を照射可能に構成された照明部と、照明光を用いて太陽電池セルを撮像する撮像部と、太陽電池セルの撮像画像を複数の照明色毎に取得するとともに、照明色毎の照明光の太陽電池セルによる反射強度または反射防止膜の膜厚に応じて、照明色毎の撮像画像のうちから検査に用いる画像を選択し、選択した撮像画像に基づいて太陽電池セルの検査を行う制御部とを備える。

この発明の一の局面による検査装置では、上記のように、互いに異なる波長領域を有する複数の照明色で照明光を照射可能に構成された照明部と、太陽電池セルの撮像画像を複数の照明色毎に取得するとともに、照明色毎の照明光の太陽電池セルによる反射強度または反射防止膜の膜厚に応じて、照明色毎の撮像画像のうちから検査に用いる画像を選択し、選択した撮像画像に基づいて太陽電池セルの検査を行う制御部とを設けることによって、反射防止膜の膜厚がばらついた場合でも、波長領域の異なる複数色の照明光を用いて撮像した撮像画像の中から、太陽電池セルによる反射強度または反射防止膜の膜厚に応じた波長領域（照明色）の照明光による撮像画像を選択することができる。これにより、欠陥部を精度よく検出可能な照明色（波長）の照明光を用いて撮像された撮像画像を選択して外観検査を行うことができるので、反射防止膜の膜厚がばらついた場合にも、精度よく欠陥検出を行うことができる。

上記一の局面による検査装置において、好ましくは、制御部は、照明色ごとの複数の撮像画像のうちから、反射強度を反映した照明色毎の撮像画像の信号強度に基づいて撮像画像を選択するか、または、反射防止膜の膜厚に基づいて撮像画像を選択するように構成されている。このように構成すれば、膜厚のばらつきに起因して波長毎の太陽電池セルの反射強度が変化する結果、各色の照明光によって撮像された撮像画像の信号強度（明暗）に差異が生じることから、撮像画像の信号強度に基づいて欠陥部を精度よく検出可能な照明色の撮像画像を容易に選択することができる。また、上記の通り太陽電池セルの反射強度が最小となる波長は、所定の屈折率を有する反射防止膜の膜厚によって決まることから、反射防止膜の膜厚に基づいて欠陥部を精度よく検出可能な照明色の撮像画像を容易に選択することができる。

この場合において、好ましくは、複数の照明色は、少なくとも赤色および青色を含む。上記の通り約８０ｎｍ程度の成膜条件（ｎ＝約２．０）で反射防止膜が成膜される場合、考慮すべき膜厚範囲の下限（許容範囲）としては６０ｎｍ程度とし得る。この場合、膜厚が相対的に厚い８０ｎｍでは赤色光の反射強度が最小となる一方、膜厚が薄く６０ｎｍ程度にばらついた場合では、λ＝４８０ｎｍ〜５０４ｎｍの青色光の反射強度が小さくなる。このため、本発明によれば、照明色に少なくとも赤色および青色を含めることによって、実際上発生しうる膜厚ばらつきの範囲に応じて、少なくとも膜厚が厚い場合の赤色光の撮像画像と、膜厚が薄い場合の青色光の撮像画像との内から、欠陥部の検出に適した撮像画像を選択することができる。

上記複数の照明色が少なくとも赤色および青色を含む構成において、好ましくは、制御部は、照明色毎の複数の撮像画像のうちから、相対的に信号強度の低い撮像画像を選択するか、または、反射防止膜の膜厚に対応する照明色の撮像画像を選択するように構成されている。このように構成すれば、相対的に信号強度の低い撮像画像は、反射強度が小さくなる特定波長に近い照明色（波長）の撮像画像であるので、この画像を選択することにより欠陥部の検出に適した撮像画像を容易に選択することができる。また、反射防止膜の膜厚と撮像画像の照明色とを対応付けておけば、膜厚に対応する照明色の画像を選択することにより、欠陥部の検出に適した撮像画像を容易に選択することができる。

上記一の局面による検査装置において、好ましくは、制御部は、選択した撮像画像の照明色に応じた判定閾値を用いて、太陽電池セルに成膜された反射防止膜の欠陥検査を行うように構成されている。このように構成すれば、照明色に応じて撮像画像中の信号強度のばらつきや、欠陥部として現れる輝点の信号強度の強さ、平均的な信号強度のレベルなどが変化することから、照明色に応じた判定閾値を用いることにより、どの照明色の撮像画像を選択した場合にも、精度よく欠陥検出を行うことができる。

上記一の局面による検査装置において、好ましくは、制御部は、太陽電池セルの複数部位について、それぞれ照明色毎の部位画像を取得し、太陽電池セルの部位毎に、検査に用いる部位画像の選択と、選択した部位画像に基づく検査とを行うように構成されている。このように構成すれば、太陽電池セルの部位毎に反射防止膜の膜厚がばらつく場合にも、部位毎に、欠陥検出に適した照明色の撮像画像を選択して欠陥検出を行うことができるので、より高精度な欠陥検出を行うことができる。特に太陽電池セルのサイズが大きくなると、部位毎に反射防止膜の膜厚がばらつきやすいので、本発明は大型の太陽電池セルの検査に適している。

上記制御部が相対的に信号強度の低い撮像画像、または、反射防止膜の膜厚に対応する照明色の撮像画像を選択する構成において、好ましくは、制御部は、複数の撮像画像の信号強度の平均値または中央値を比較し、平均値または中央値が最も低い照明色の撮像画像を選択するように構成されている。このように構成すれば、反射防止膜の膜厚の算出が不要で、照明色の異なる複数の撮像画像の信号強度の平均値（または中央値）を比較するだけで、容易に欠陥検出に適した撮像画像を選択することができる。

上記制御部が相対的に信号強度の低い撮像画像、または、反射防止膜の膜厚に対応する照明色の撮像画像を選択する構成において、好ましくは、制御部は、照明光波長と太陽電池セルの反射強度との理論曲線とのフィッティングにより、照明色毎の撮像画像の信号強度に対応する反射防止膜の膜厚を取得し、取得した反射防止膜の膜厚を含む所定の膜厚範囲に対応する照明色の撮像画像を選択するように構成されている。このように構成すれば、膜厚毎に算出した理論曲線と各撮像画像から得られる信号強度の曲線（実測値）とのフィッティングによって反射防止膜の膜厚を精度よく取得することができる。そして、膜厚範囲とその膜厚範囲での欠陥検出に適した照明色とを予め設定しておくことにより、得られた膜厚から、欠陥検出に適した撮像画像を選択することができる。

上記制御部が相対的に信号強度の低い撮像画像、または、反射防止膜の膜厚に対応する照明色の撮像画像を選択する構成において、好ましくは、制御部は、照明色毎の反射強度と反射防止膜の膜厚とを関係付ける基準データを用いて、撮像画像の信号強度に対応する反射防止膜の膜厚を取得し、取得した反射防止膜の膜厚を含む所定の膜厚範囲に対応する照明色の撮像画像を選択するように構成されている。このように構成すれば、照明色毎の反射強度と反射防止膜の膜厚とを関係付ける基準データを予め作成しておくことによって、各撮像画像から得られる信号強度の実測値から容易に反射防止膜の膜厚を取得することができる。また、膜厚範囲とその膜厚範囲での欠陥検出に適した照明色とを予め設定しておくことにより、得られた膜厚から、欠陥検出に適した撮像画像を容易に選択することができる。

上記一の局面による検査装置において、好ましくは、複数の照明色は、赤色、青色および緑色を含む。上記の通り屈折率ｎ＝２．０程度の反射防止膜に対して、膜厚が８０ｎｍでは赤色光の反射強度が最小となり、６０ｎｍ程度では、青色光の反射強度が小さくなり、７０ｎｍ前後では、緑色光の反射強度が小さくなる。このため、本発明によれば、照明色に赤色、青色および緑色を含めることによって、実際上発生しうる膜厚ばらつきの範囲に応じて欠陥部の検出に適した撮像画像を選択することができる。また、赤色、青色および緑色の三原色の信号強度比によって反射防止膜の膜厚を特定することもできるので、容易に、欠陥部の検出に適した撮像画像の選択を行うことができる。

上記一の局面による検査装置において、好ましくは、太陽電池セルは、多結晶半導体を含み、反射防止膜は、シリコン窒化膜である。このような多結晶型の太陽電池セルでは、反射強度が最小となる波長（照明色）と異なる照明色の撮像画像には、結晶粒界が明確に現れてしまい、欠陥部が粒界像に埋もれて検出できなくなる。また、このような多結晶型の太陽電池セルには、反射防止膜としてシリコン窒化膜が用いられることが多い。本発明による検査装置は、シリコン窒化膜を成膜した多結晶型の太陽電池セルの外観検査に好適に用いることができる。

本発明によれば、上記のように、反射防止膜の膜厚がばらついた場合にも精度よく欠陥検出を行うことができる。

本発明の第１および第２実施形態による外観検査装置の全体構成を示した模式図である。 本発明の第１および第２実施形態による外観検査装置の撮像部および照明部の構成を模式的に示した斜視図である。 撮像部による撮像画像の例を示した図である。 撮像画像の第２の選択方法を説明するための反射率（反射強度）−波長曲線を示した図である。 撮像画像の第３の選択方法を説明するための反射率（反射強度）−膜厚曲線を示した図である。 本発明の第１および第２実施形態による外観検査装置の欠陥検査処理を説明するための図である。 本発明の第１実施形態による外観検査装置の検査時の制御部による制御処理を説明するためのフローチャートである。 本発明の第２実施形態による外観検査装置の検査処理のための部位画像の例を示した図である。 本発明の第２実施形態による外観検査装置の検査時の制御部による制御処理を説明するためのフローチャートである。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
まず、図１を参照して、本発明の第１実施形態による外観検査装置１００の全体構成について説明する。第１実施形態では、太陽電池セルの表面に成膜された反射防止膜の欠陥（太陽電池セルの表面欠陥）の検査を行う外観検査装置１００に本発明を適用した例について説明する。

第１実施形態による外観検査装置１００は、太陽電池セル１の生産工程において、生産ライン上に設置されインラインで検査を行う検査装置である。太陽電池セル１は、半導体基板２（以下、基板２）と、基板２の表面（受光面）上に形成された反射防止膜３とを含む。なお、図１では、便宜的に太陽電池セル１の厚みを拡大し、各層（基板２および反射防止膜３）を模式的に示している。反射防止膜３は、可視光領域の光吸収が実質的にない誘電体（絶縁体）膜であり、所望の屈折率を有し所望の膜厚で形成し得る材料が用いられる。第１実施形態では、基板２は、たとえば多結晶シリコン半導体基板であり、反射防止膜３は、ＳｉＮ膜（屈折率ｎ＝約２．０〜２．１）である。なお、太陽電池セル１の表面には、所定パターンの表面電極（図示せず）が形成される。外観検査装置１００による反射防止膜の欠陥検査は、表面電極の形成工程の前後いずれの工程において実施してもよい。

外観検査装置１００は、太陽電池セル１に対して照明光を照射する照明部１０と、照明部１０により照射された照明光を用いて太陽電池セル１を撮像する撮像部２０と、撮像された撮像画像に基づいて欠陥検査処理を実施する制御部３０とを主として備えている。これらの各部は、太陽電池セル１の検査時に外部からの光を遮断するための筐体４０内に収容されている。

図２に示すように、照明部１０は、検査位置に配置された太陽電池セル１の上方に位置するように設けられている。照明部１０は、複数の光源１１（１１ａ〜１１ｃ）と、内壁下端部において複数の光源１１を周状（環状）に保持するドーム状の保持部１２とを含んでいる。

各光源１１は、たとえばＬＥＤからなり、光照射方向が上方（保持部１２の内壁方向）に向けられている。これら複数の光源１１は、赤色（Ｒ）光源１１ａ、緑色（Ｇ）光源１１ｂおよび青色（Ｂ）光源１１ｃの３種の照明色のＬＥＤを含んでおり、周方向に沿ってこの順番が反復するように並んで配列されている。各照明色は、たとえば、それぞれ中心波長が約６２７ｎｍ（赤色）、約５３０ｎｍ（緑色）、および、約４７０ｎｍ（青色）である。図１に示すように、各光源１１は、制御部３０によって照明色毎に発光制御される。これにより、照明部１０は、互いに異なる波長領域を有する複数の照明色（Ｒ、ＧおよびＢ）の照明光を照射可能に構成されている。

図２に示すように、ドーム状の保持部１２の内壁には、拡散反射板（図示せず）が設けられている。内壁に向かって照射された光源１１からの光は、保持部１２の内壁で拡散反射され、均一な照明光となって下方位置に配置された太陽電池セル１の全面に照射される。また、保持部１２の頂上部分には、撮像部２０への導光のための開口部１３が形成されている。

図１および図２に示すように、撮像部２０は、照明部１０の上方位置に配置され、保持部１２の開口部１３およびレンズ２１を通過した太陽電池セル１の反射光を受光して太陽電池セル１を撮像する。撮像部２０は、たとえばモノクロ５００万画素（約２０００×２５００画素）のＣＣＤカメラにより構成されている。なお、太陽電池セル１は、たとえば一辺約１５６ｍｍの正方形状で、焦点距離＝約２５ｍｍのレンズ２１を用いて全体が撮像される。

制御部３０は、照明部１０および撮像部２０を含む外観検査装置１００の全体の制御処理を行う。制御部３０には、撮像部２０による撮像画像６０（図３参照）や、太陽電池セル１の検査に使用される各種データ（後述する閾値Ｔｈや、判定条件など）を記憶する記憶部３１が設けられている。また、制御部３０は、太陽電池セル１の生産ラインに組み込まれた搬送コンベア１１０と通信可能に構成され、所定の検査位置に太陽電池セル１が位置付けられた旨の搬送コンベア１１０からの通信に基づき、検査処理を実施する。第１実施形態では、制御部３０は、太陽電池セル１の撮像画像６０（図３参照）を３つ（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の照明色毎に取得するとともに、各色の照明光の太陽電池セル１による反射強度または反射防止膜３の膜厚ｄに応じて、照明色毎の撮像画像６０のうちから検査に用いる画像を選択する。そして、制御部３０は、選択した撮像画像６０に基づいて太陽電池セル１の表面欠陥検査を行うように構成されている。太陽電池セル１の表面欠陥検査は、具体的には、図１に示すセル表面の反射防止膜３の欠陥部７０の検査であり、反射防止膜３の欠陥部７０は、たとえば反射防止膜３に形成されたピンホールや、反射防止膜３に付着した異物などである。

次に、図３〜図６を参照して、太陽電池セル１の検査処理の詳細について説明する。

反射防止膜３が成膜された太陽電池セル１では、薄膜干渉理論に従って、反射防止膜３の屈折率ｎおよび膜厚ｄに対応した特定波長λ＝４ｎｄの光の反射強度が顕著に低下する（理論上は反射強度が０になる）。第１実施形態では、反射防止膜３の膜厚ｄは、（設計上）約８０ｎｍに設定される。この場合、ｄ＝約８０ｎｍの反射防止膜３（ｎ＝２．０〜２．１）が成膜された太陽電池セル１では、特定波長λ（＝４ｎｄ）＝６４０ｎｍ〜６７２ｎｍの波長域の赤色光の反射強度が低下し、その結果、外観上では青みがかった色調を有するように見える。

このような太陽電池セル１を赤色（約６２７ｎｍ）の照明光を用いて撮像すれば、図３（ａ）に示すような撮像画像６０（６０ａ）が得られる。すなわち、赤色光の反射強度が極めて小さいため、太陽電池セル１の略全域の信号強度が低く、暗い画像となる。このとき、反射防止膜３にピンホールや異物付着などの欠陥が存在した場合、欠陥部７０（図３では白点で図示）においては反射強度が低下しないため、欠陥部７０が撮像画像６０ａ中に信号強度の高い領域（輝点）として現れる。図３（ａ）に示す撮像画像６０ａを用いて欠陥検査を行う場合、欠陥部７０の輝点と、欠陥部７０以外の部分との信号強度の差が非常に大きくなるため、精度よく欠陥検査を行うことが可能である。

しかしながら、太陽電池セル１の生産工程上の各種要因によってセルごとの反射防止膜３の膜厚ｄにばらつきが発生すると、膜厚ｄに応じて反射強度の低下する特定波長λも変化することになる。たとえば、膜厚ｄ＝６０ｎｍの場合、特定波長λ＝４８０ｎｍ〜５０４ｎｍの波長域の青色光の反射強度が低下する。この場合に、同じ赤色（約６２７ｎｍ）の照明光を用いて撮像すると、赤色光の反射強度は低下しないため、図３（ｃ）に示すように反射防止膜３の下地である基板２の結晶粒界が明確に現れた明るい撮像画像６０（６０ｃ）が得られる。この撮像画像６０ｃでは、欠陥部７０の輝点が粒界の像の中に紛れて信号強度の明確な差が現れなくなり、欠陥部７０を識別するのは困難となる。また、もう少し赤色の波長に近い緑色の波長域が特定波長λとなる場合（４ｎｄ＝５３０ｎｍ付近）には、赤色光を用いた撮像画像は、図３（ｂ）に示すような、撮像画像６０ａと撮像画像６０ｃとの中間程度の信号強度の撮像画像６０（６０ｂ）となる。このように膜厚ｄのばらつきによって特定波長λが変化するため、単一の赤色光の撮像画像６０のみでは、欠陥検査を精度よく行うことができない。

そこで、第１実施形態では、制御部３０は、太陽電池セル１の撮像画像６０を複数（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の照明色毎に取得し、各色の照明光の太陽電池セル１による反射強度または反射防止膜３の膜厚ｄに応じて、照明色毎の撮像画像６０のうちから検査に用いる画像を選択する。撮像画像６０の選択方法は、下記の第１〜第３の選択方法の内から適切なものを採用すればよい。

第１の選択方法は、反射強度を反映した照明色毎の撮像画像６０の信号強度に基づいて、撮像画像６０を選択する方法である。制御部３０は、照明色毎の３つ（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の撮像画像６０のうちから、相対的に信号強度の低い撮像画像６０を選択する。より具体的には、制御部３０は、３つの撮像画像６０の信号強度の平均値または中央値を比較し、平均値または中央値が最も低い照明色の撮像画像６０を選択する。これによれば、上記のように特定波長λ＝６４０ｎｍ〜６７２ｎｍ（膜厚ｄ＝８０ｎｍ）の場合の例では、赤色光による撮像画像が図３（ａ）の撮像画像６０ａとなり、緑色光による撮像画像が図３（ｂ）の撮像画像６０ｂとなり、青色光による撮像画像が図３（ｃ）のような撮像画像６０ｃとなる。信号強度の平均値（中央値）が最も低い画像は赤色光による撮像画像６０となることから、欠陥検査に適した赤色光による撮像画像６０（６０ａ）が選択される。なお、特定波長λ＝４８０ｎｍ〜５０４ｎｍ（膜厚ｄ＝６０ｎｍ）の場合であれば、青色光による撮像画像が図３（ａ）の撮像画像６０ａのように写るので、信号強度の平均値（中央値）が最も低い画像として青色光による画像が選択される。

第２および第３の選択方法は、反射防止膜３の膜厚ｄに基づいて撮像画像６０を選択する方法である。上記の通り、太陽電池セル１による反射強度が低下する特定波長λは、屈折率ｎを一定とすれば、反射防止膜３の膜厚ｄに依存する。このため、膜厚ｄを取得することができれば、特定波長λが決定される。そして、３つの撮像画像６０の中から特定波長λに最も近い波長（照明色）の照明光を用いた撮像画像６０を選択すれば、欠陥検査に適した撮像画像６０ａが選択される。

第２の選択方法では、制御部３０は、照明光波長と太陽電池セル１の反射強度との理論曲線とのフィッティングにより、反射防止膜３の膜厚ｄを取得する。反射強度は、干渉条件を考慮したフレネルの公式に基づき、反射率＝ｆ（λ、θ、ｎ、ｋ、ｄ、ｎ_ｓｉ、ｋ_ｓｉ）という各種変数の関数によって表される。ここで、λ、θ、ｎ、ｋ、ｄ、ｎ_ｓｉおよびｋ_ｓｉは、それぞれ、照明光の波長、入射角、反射防止膜の屈折率、反射防止膜の消衰係数、膜厚、シリコン基板の屈折率および消衰係数である。ｎ、ｋ、ｎ_ｓｉ、ｋ_ｓｉはそれぞれ反射防止膜３および基板２の物性から既知であり、膜厚ｄおよび入射角θを設定すれば、波長を変数とした反射率（反射強度）が得られる。これを各種膜厚ｄについて行えば、図４に示すような、それぞれの膜厚ｄでの反射率（反射強度）−波長曲線Ｃｆ（ｄ＝ｄ１、ｄ２、ｄ３、…）が得られる。

制御部３０は、３色の撮像画像６０から、各波長における反射強度（すなわち、撮像画像６０の信号強度）を図４上にプロットし、得られた３点を結ぶ近似曲線Ａｃと、各膜厚ｄでの反射率−波長曲線Ｃｆとのカーブフィッティングを行う。この結果、たとえば最小二乗法によって、近似曲線Ａｃが最も一致する反射率−波長曲線Ｃｆの膜厚を、反射防止膜３の膜厚ｄとして決定することができる。また、制御部３０の記憶部３１には、予め膜厚範囲と照明色との対応関係（たとえば、ｄ＝７０ｎｍ〜９０ｎｍならば赤色照明、６０ｎｍ〜６５ｎｍならば青色照明、６５ｎｍ〜７０ｎｍならば緑色照明、など）を設定しておく。膜厚ｄが得られると、予め設定された膜厚範囲と照明色との対応関係に基づき、得られた膜厚ｄが属する膜厚範囲に対応する照明色の撮像画像６０が選択される。

第３の選択方法では、制御部３０は、照明色毎の反射強度と反射防止膜３の膜厚ｄとを関係付ける基準データ（検量線）を用いて、反射防止膜３の膜厚ｄを取得する。第２の選択方法と同様の理論計算において、波長λを固定して膜厚ｄを変数にとることにより、図５に示すような、各照明色の波長λ（６２７ｎｍ（赤色）、５３０ｎｍ（緑色）、および、４７０ｎｍ（青色））における反射率（反射強度）−膜厚曲線Ｃｓ（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を算出することができる。３色の撮像画像６０の信号強度を、それぞれの反射率−膜厚曲線Ｃｓの対応する反射率の値に当てはめれば、膜厚ｄを得ることができる。あるいは、図５において約６０ｎｍ〜約１００ｎｍの範囲で青色の反射率−膜厚曲線Ｃｓ（Ｂ）が直線状になっているので、青色光の撮像画像６０の信号強度から、対応する膜厚ｄを得ることもできる。膜厚ｄを取得した後は、上記第２の選択方法と同様、制御部３０は、記憶部３１に予め設定された膜厚範囲と照明色との対応関係に基づき、撮像画像６０を選択する。

以上の第１〜第３の選択方法のいずれかを用いることにより、制御部３０は、検査に用いる画像を選択する。これにより、膜厚ｄがばらついた場合でも、その太陽電池セル１における反射防止膜３の膜厚ｄに応じた撮像画像６０を選択することによって、図３（ａ）のように欠陥部７０の輝点との信号強度差の大きい撮像画像６０ａを用いて検査を実施することができる。

次に、図６を参照して、選択した撮像画像６０（６０ａ）を用いた欠陥検査の一例を説明する。

図６（ａ）に示す撮像画像６０ａ中、横方向をＸ軸、縦方向をＹ軸とし、Ｙ座標ＹａにおけるＸ軸方向の信号強度分布を、図６（ｂ）の実線に示す。なお、図６（ａ）には、太陽電池セル１のＹａ座標の断面図を併せて図示しており、欠陥部７０の例として反射防止膜３のピンホールを図示している。図６（ｂ）に示すように、欠陥部７０が存在する場合には、そのＸ座標Ｘａにおいて信号強度の大きいピークが形成される。一方、欠陥部７０以外の領域では、信号強度の僅かな変動はあるものの、全体として略一定の低い信号強度となる。このため、信号強度の僅かな変動分を考慮した判定閾値Ｔｈを設定し、制御部３０は、撮像画像６０（６０ａ）全体の信号強度の平均値（または中央値）Ｉａに対して判定閾値Ｔｈよりも大きな信号強度のピークが存在する位置（Ｘａ）を欠陥部７０であると判定する。

この欠陥部７０の検出をＹ座標全体に渡って行うことにより、太陽電池セル１の全体の表面欠陥検査が行われる。欠陥検査では、撮像画像６０（６０ａ）中の欠陥部７０の個数だけでなく、判定閾値Ｔｈよりも信号強度の大きい画素領域の集合から、個々の欠陥部７０の大きさ（面積）なども取得することができる。

なお、第１実施形態では、判定閾値Ｔｈは、選択した撮像画像６０の照明色に応じて個別に設定される。すなわち、照明色によっては、信号強度が高くなり易く、ばらつきが相対的に大きい場合（図６（ｂ）の破線参照）もある。このため、照明色毎の信号強度やばらつきの大きさを考慮して、照明色に応じた適切な判定閾値Ｔｈが設定される。また、欠陥検査処理のアルゴリズム自体を照明色毎に変更してもよい。

次に、図１、図６および図７を参照して、第１実施形態による外観検査装置１００の検査時の制御部３０の制御処理について説明する。

まず、ステップＳ１において、搬送コンベア１１０（図１参照）により、生産ラインの上流工程から、検査対象となる太陽電池セル１が搬入される。所定の検査位置に太陽電池セル１が配置された旨の搬送コンベア１１０からの通信を受信すると、制御部３０が検査処理動作を開始する。

ステップＳ２では、赤色（Ｒ）の照明光を用いた撮像画像が取得される。すなわち、制御部３０は、照明部１０のうち、赤色（Ｒ）光源１１ａをオンにするとともに、撮像部２０により太陽電池セル１の撮像を行う。撮像実行後、赤色（Ｒ）光源１１ａはオフにされる。

同様に、ステップＳ３では、緑色（Ｇ）の照明光を用いた撮像画像が取得される。制御部３０は、緑色（Ｇ）光源１１ｂのオン、撮像、緑色（Ｇ）光源１１ｂのオフを順に実行する。続いて、ステップＳ４では、青色（Ｂ）の照明光を用いた撮像画像が取得される。制御部３０は、青色（Ｂ）光源１１ｃのオン、撮像、青色（Ｂ）光源１１ｃのオフを順に実行する。このステップＳ２〜Ｓ４によって、３色の照明光をそれぞれ用いた３つの撮像画像６０が取得される。なお、各色の撮像画像６０の撮像順序（ステップＳ２〜Ｓ４の順序）は任意である。

ステップＳ５では、制御部３０は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）の撮像画像６０の内から、検査に使用する撮像画像６０（６０ａ）を上述した第１〜第３の選択方法のいずれかを用いて選択する。

ステップＳ６では、制御部３０は、選択した照明色に対応する判定閾値Ｔｈ（検査アルゴリズムも照明色に応じて変更する場合には、判定閾値Ｔｈおよび検査アルゴリズム）を記憶部３１から読み出し、選択する。

そして、ステップＳ７において、制御部３０は、図６に示した欠陥検査処理を撮像画像６０（６０ａ）の全体に渡って実施する。これにより制御部３０は、検出された欠陥部７０の数、個々の欠陥部７０の大きさ（面積）などを取得する。

次に、ステップＳ８において、検査結果が、良品か不良品かを判別するための所定の判定条件に該当するか否かが判断される。

判定には、１または複数の判定条件を用いてよい。判定条件としては、たとえば、「欠陥部７０の個数が設定された閾値（Ｎ１個）以上であるか否かを判断し、Ｎ１個以上で不良判定を行う」、「欠陥部７０の総面積が、太陽電池セル１の全体のＮ２％以上であるか否かを判断し、Ｎ２％以上で不良判定を行う」、「個々の欠陥部７０について、面積Ｐ１（たとえば、１ｍｍ^２）以上の欠陥部７０がＮ３個（たとえば１０個）以上の場合、または、面積Ｐ２（たとえば、５ｍｍ^２）以上の大型の欠陥部７０がＮ４個（たとえば１個）以上の場合に、不良判定を行う」などが設定される。制御部３０は、以上のような判定条件を１または複数組み合わせて使用し、良不良の判定を行う。

制御部３０は、判定の結果、判定条件（不良判定条件）に該当する場合には、ステップＳ９に進み、検査対象の太陽電池セル１が不良であると判定する。また、制御部３０は、判定条件（不良判定条件）に該当しない場合には、ステップＳ１０に進み、検査対象の太陽電池セル１が良品であると判定する。

その後、ステップＳ１１に進み、制御部３０は、検査予定（生産予定）の全セルの検査が終了したかを判断し、全セルの検査が終了していない場合には、ステップＳ１に戻り、次の太陽電池セル１の検査を実行する。制御部３０が全セルの検査が終了したと判定した場合には、検査が終了する。

第１実施形態では、上記のように、互いに異なる波長領域を有する３色の照明色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）で照明光を照射可能に構成された照明部１０と、太陽電池セル１の撮像画像６０を照明色毎に取得するとともに、照明色毎の照明光の太陽電池セル１による反射強度または反射防止膜３の膜厚ｄに応じて、照明色毎の撮像画像６０のうちから検査に用いる画像を選択し、選択した撮像画像６０（６０ａ）に基づいて太陽電池セル１の検査を行う制御部３０とを設けることによって、反射防止膜３の膜厚ｄがばらついた場合でも、波長領域の異なる３色の照明光を用いて撮像した撮像画像６０の中から、太陽電池セル１による反射強度または反射防止膜３の膜厚ｄに応じた波長領域（照明色）の照明光による撮像画像６０ａを選択することができる。これにより、欠陥部７０を精度よく検出可能な照明色（特定波長λに近い波長の照明色）の照明光を用いて撮像された撮像画像６０ａを選択して外観検査を行うことができるので、反射防止膜３の膜厚ｄがばらついた場合にも、精度よく欠陥検出を行うことができる。

第１実施形態では、上記のように、照明色ごとの３つの撮像画像６０のうちから、反射強度を反映した撮像画像６０の信号強度に基づいて撮像画像６０ａを選択するか、または、反射防止膜３の膜厚ｄに基づいて撮像画像６０ａを選択するように制御部３０を構成する。これにより、膜厚ｄのばらつきに起因して波長毎の太陽電池セル１の反射強度が変化する結果、各色の照明光によって撮像された撮像画像６０の信号強度（明暗）に差異が生じることから、撮像画像６０の信号強度に基づいて欠陥部７０を精度よく検出可能な照明色の撮像画像６０ａを容易に選択することができる。また、太陽電池セル１の反射強度が最小となる特定波長λは、所定の屈折率ｎを有する反射防止膜３の膜厚ｄによって決まることから、反射防止膜３の膜厚ｄに基づいて欠陥部７０を精度よく検出可能な照明色の撮像画像６０ａを容易に選択することができる。

第１実施形態では、上記のように、選択した撮像画像６０の照明色に応じた判定閾値Ｔｈを用いて、太陽電池セル１に成膜された反射防止膜３の欠陥検査を行うように制御部３０を構成する。これにより、照明色に応じて撮像画像６０中の信号強度のばらつきや、欠陥部７０として現れる輝点の信号強度の強さ、平均的な信号強度のレベルなどが変化することから、照明色に応じた判定閾値Ｔｈを用いることにより、精度よく欠陥検出を行うことができる。

第１実施形態では、撮像画像６０の上記第１の選択方法で説明したように、複数の撮像画像６０の信号強度の平均値または中央値を比較し、平均値または中央値が最も低い照明色の撮像画像６０を選択するように制御部３０を構成する。このように構成すれば、反射防止膜３の膜厚ｄの算出が不要で、照明色の異なる３つの撮像画像６０の信号強度の平均値（または中央値）を比較するだけで、容易に欠陥検出に適した撮像画像６０を選択することができる。

第１実施形態では、撮像画像６０の上記第２の選択方法で説明したように、反射率−波長曲線Ｃｆとのフィッティングにより、反射防止膜３の膜厚ｄを取得し、取得した膜厚ｄを含む所定の膜厚範囲に対応する照明色の撮像画像６０を選択するように制御部３０を構成する。このように構成すれば、膜厚毎に算出した反射率−波長曲線Ｃｆと各撮像画像６０から得られる信号強度の曲線（実測値）とのフィッティングによって反射防止膜３の膜厚ｄを精度よく取得することができる。

第１実施形態では、撮像画像６０の上記第３の選択方法で説明したように、照明色毎の反射強度と反射防止膜３の膜厚ｄとを関係付ける反射率（反射強度）−膜厚曲線Ｃｓを用いて、反射防止膜３の膜厚ｄを取得し、取得した膜厚ｄを含む所定の膜厚範囲に対応する照明色の撮像画像６０を選択するように制御部３０を構成する。このように構成すれば、照明色毎の反射率（反射強度）−膜厚曲線Ｃｓ（Ｒ、Ｇ、Ｂ）を予め作成しておくことによって、各撮像画像６０から得られる信号強度の実測値から容易に反射防止膜３の膜厚ｄを取得することができる。

第１実施形態では、上記のように、複数の照明色は、赤色（Ｒ）、青色（Ｂ）および緑色（Ｇ）を含む。上記の通り屈折率ｎ＝２．０程度の反射防止膜３に対して、膜厚ｄ＝８０ｎｍでは赤色光（Ｒ）の反射強度が最小となり、ｄ＝６０ｎｍ程度では、青色光（Ｂ）の反射強度が小さくなり、ｄ＝７０ｎｍ前後では、緑色光（Ｇ）の反射強度が小さくなる。このため、照明色に赤色、青色および緑色を含めることによって、実際上発生しうる膜厚ばらつきの範囲に応じて欠陥部７０の検出に適した撮像画像６０を選択することができる。

第１実施形態では、上記のように、太陽電池セル１は、多結晶半導体を含み、反射防止膜３は、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）である。このような多結晶型の太陽電池セル１では、反射強度が最小となる特定波長λと異なる照明色の撮像画像６０には、図３（ｃ）のように結晶粒界が明確に現れてしまい、欠陥部７０が粒界像に埋もれて検出できなくなる。また、このような多結晶型の太陽電池セル１には、反射防止膜３としてシリコン窒化膜（ＳｉＮ）が用いられることが多く、第１実施形態による外観検査装置１００は、反射防止膜３としてシリコン窒化膜（ＳｉＮ）を成膜した多結晶型の太陽電池セル１の外観検査に好適に用いることができる。

（第２実施形態）
次に、図１、図６〜図９を参照して、本発明の第２実施形態による外観検査装置２００について説明する。第２実施形態では、上記第１実施形態による構成に加えて、撮像画像の部分画像毎に欠陥検査を行うように構成した例について説明する。なお、第２実施形態では、上記第１実施形態による外観検査装置１００と装置構成は同一であるので、説明を省略する。なお、外観検査装置２００は、本発明の「検査装置」の一例である。

図８に示すように、第２実施形態による外観検査装置２００（図１参照）の制御部２３０（図１参照）は、太陽電池セル１の複数部位について、それぞれ照明色毎の部位画像８０を取得する。そして、制御部２３０は、太陽電池セル１の部位毎に、検査に用いる部位画像８０の選択と、選択した部位画像８０に基づく検査とを行うように構成されている。

具体的には、制御部２３０は、得られた撮像画像６０を複数の部位画像８０に分割して、部位画像８０毎に、個別に検査に用いる画像の選択を行う。図８の例では、撮像画像６０（６０ｃを例に示す）に対して、Ｘ軸およびＹ軸の各方向に４分割（Ｘ１〜Ｘ４およびＹ１〜Ｙ４）した合計１６個の行列状の部位画像８０を取得する例を示している。これにより、個々の部位毎に、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色の部位画像８０が取得される。

部位画像８０の選択方法は、上記第１実施形態と同様であり、制御部２３０は、第１〜第３の選択方法のいずれかを採用して、部位毎に、検査に用いる部位画像８０を選択する。これにより、たとえば太陽電池セル１のサイズが大きく、部位毎に反射防止膜３の膜厚ｄがばらつく場合にも、部位毎に適切な部位画像８０が選択される。

第２実施形態による外観検査装置２００のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

次に、図７〜図９を参照して、第２実施形態による外観検査装置２００の検査時の制御部２３０の制御処理について説明する。

ステップＳ２１〜Ｓ２４は、図７のステップＳ１〜Ｓ４と同様である。ステップＳ２５では、制御部２３０は、得られた３色（Ｒ、Ｇ、Ｂ）の撮像画像６０を、それぞれ複数（図８の例では、１６部位）の部位画像８０に分割する。

ステップＳ２６では、制御部２３０は、検査を行う部位を選択する。たとえば、図８のうち、Ｘ１Ｙ１の部位からＸ方向に（Ｘ４Ｙ１まで）検査し、これを行（Ｙ座標）毎に逐次実施するなど、予め設定された順序に基づき、検査を行う部位（たとえばＸ１Ｙ１）が選択される。

ステップＳ２７では、制御部２３０は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）および青色（Ｂ）の部位画像８０の内から、検査に使用する部位画像８０を上述した選択方法によって選択する。ステップＳ２８では、制御部２３０は、選択した照明色に対応する判定閾値Ｔｈ（および検査アルゴリズム）を記憶部３１から読み出し、選択する。

そして、ステップＳ２９において、制御部２３０は、選択した部位画像８０に対して図６に示した欠陥検査処理を実施する。次に、ステップＳ３０において、全て（１６部位）の検査部位についての欠陥検査が終了したか否かが判断され、全ての部位について欠陥検査が終了していない場合には、ステップＳ２５に戻り、次の部位（たとえば、Ｘ２Ｙ１）の検査に移る。ステップＳ２５〜Ｓ３０が全部位について繰り返されることにより、太陽電池セル１（撮像画像６０）の全体に対して欠陥検査が実施される。

全ての部位について欠陥検査が終了すると、ステップＳ３１に進み、検査結果が、良品か不良品かを判別するための所定の判定条件に該当するか否かが判断される。判定処理は、個々の部位（部位画像８０）に対する欠陥検査の結果を総合し、撮像画像６０全体に対して行うのと同様にすることができる。ステップＳ３１以降ステップＳ３４までの処理は、図７のステップＳ８〜１１と同様であるので、説明を省略する。

第２実施形態では、上記のように、太陽電池セル１の複数部位（Ｘ１Ｙ１〜Ｘ４Ｙ４）について、それぞれ照明色毎の部位画像８０を取得し、太陽電池セル１の部位毎に、検査に用いる部位画像８０の選択と、選択した部位画像８０に基づく検査とを行うように制御部２３０を構成する。これにより、太陽電池セル１の部位毎に反射防止膜３の膜厚ｄがばらつく場合にも、部位毎に、欠陥検出に適した照明色の撮像画像（部位画像８０）を選択して欠陥検出を行うことができるので、より高精度な欠陥検出を行うことができる。特に太陽電池セル１のサイズが大きくなると、部位毎に反射防止膜３の膜厚ｄがばらつきやすいので、第２実施形態による外観検査装置２００は、大型の太陽電池セル１の検査に適している。

第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１および第２実施形態では、太陽電池セルの生産ライン上に設置されインラインで検査を行う検査装置に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。生産ラインとは別個に設置され太陽電池セルの抜き取り検査を行うための検査装置に本発明を適用してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の３つの照明色の照明光を照射可能な照明部を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、照明色数は３色でなくてもよい。たとえば、赤および青の２色でもよい。反射防止膜の膜厚のばらつきの範囲は限定されているため、実際上、少なくとも赤および青の２色があれば精度よく欠陥検査を行うことができる。また、照明色は４色以上でもよい。この場合、どのような色（波長）の照明色とするかは、設計値に対して発生しうる膜厚のばらつきを考慮し、想定しうるばらつきの範囲において適切な欠陥検出が可能な照明色とすることが好ましい。

また、上記第１および第２実施形態では、照明部に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の各色の光源１１（１１ａ〜１１ｃ）を設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、白色ＬＥＤなどからなる光源に、照明色に対応した複数のカラーフィルターを用いて複数色の照明光を照射可能に構成してもよい。また、光源としては、ＬＥＤ以外の他の光源を用いてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、各色の光源１１（１１ａ〜１１ｃ）を、照明部の保持部にＲＧＢの順で周状に配列して例を示したが、たとえば、各光源を同心円状の３周の光源列として、赤色（Ｒ）光源１１ａの周、緑色（Ｇ）光源１１ｂの周、青色（Ｂ）光源１１ｃの周を個別に設けてもよい。また、上記第１および第２実施形態では光源を円周状に並べて配置した例を示したが、四角形の辺状に光源を配列してもよい。その場合、保持部の拡散反射板の形状は四角錐（ピラミッド）形状とし、四角錐の上部の頂角部に撮像部への導光のための開口部を設ける。

また、上記第１および第２実施形態では、第１〜第３の選択方法のいずれかを採用して検査に用いる撮像画像の選択を行う例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１〜第３の選択方法とは異なる方法を用いて検査に用いる撮像画像を選択してもよい。たとえば、専用の膜厚計を別途設けて反射防止膜の膜厚を取得し、膜厚計の測定結果に基づいて撮像画像を選択してもよい。

また、上記第１および第２実施形態のように赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の光源を用いる場合、これらの３色がいわゆる光の三原色を構成するので、ＲＧＢ各色の撮像画像の信号強度の比から、太陽電池セルの表面の色調を取得することができる。上記のようにセル表面の色調は、反射防止膜の膜厚に依存した特定波長λの色の反射強度が最小となった結果として表れることから、ＲＧＢ各色の撮像画像の信号強度の比に基づいて反射強度が最小となる特定波長λおよび反射防止膜の膜厚を算出することが可能である。３色の信号強度の比から得られた特定波長λの値または反射防止膜の膜厚に基づいて、撮像画像の選択を選択してもよい。

また、上記第２実施形態では、撮像画像６０を１６個の部位画像８０に分割した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部位画像の分割数を１６以外の分割数としてもよい。部位（部位画像）の数は、太陽電池セルのサイズと、部位毎の膜厚ばらつきの程度から、所望の検査精度を得ることが可能な部位（部位画像）数とすればよい。

また、上記第２実施形態では、撮像画像を分割して、個々の部位画像を取得した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、撮像部による撮像を、太陽電池セルの部位毎に行ってもよい。すなわち、太陽電池セルのサイズが大きい場合には、セル全体を部位毎に複数回撮像することにより、部位画像を取得してもよい。また、たとえば１つの太陽電池セルを４分割して４回撮像を行い、さらにそれらの撮像画像を４分割して１６部位の部位画像を得るなどしてもよい。

また、上記の具体的な数値（太陽電池セルの寸法、膜厚、各色の光源の中心波長など）は、あくまでも一例であり、本発明はこれに限られない。太陽電池セルの寸法、反射防止膜の膜厚や、光源の中心周波数が上記した具体的な値とは異なる値であってもよい。

１ 太陽電池セル
２ 半導体基板（多結晶半導体）
３ 反射防止膜
１０ 照明部
２０ 撮像部
３０、２３０ 制御部
６０、６０ａ、６０ｂ、６０ｃ 撮像画像
８０ 部位画像
１００、２００ 外観検査装置（検査装置）
ｄ 膜厚
Ｔｈ 判定閾値

Claims (11)

1. 反射防止膜を成膜した太陽電池セルの検査装置であって、
   互いに異なる波長領域を有する複数の照明色で照明光を照射可能に構成された照明部と、
   前記照明光を用いて前記太陽電池セルを撮像する撮像部と、
   前記太陽電池セルの撮像画像を複数の照明色毎に取得するとともに、照明色毎の前記照明光の前記太陽電池セルによる反射強度または前記反射防止膜の膜厚に応じて、照明色毎の前記撮像画像のうちから検査に用いる画像を選択し、選択した前記撮像画像に基づいて前記太陽電池セルの検査を行う制御部とを備える、検査装置。
2. 前記制御部は、照明色ごとの複数の前記撮像画像のうちから、前記反射強度を反映した照明色毎の前記撮像画像の信号強度に基づいて前記撮像画像を選択するか、または、前記反射防止膜の膜厚に基づいて前記撮像画像を選択するように構成されている、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記複数の照明色は、少なくとも赤色および青色を含む、請求項２に記載の検査装置。
4. 前記制御部は、照明色毎の複数の前記撮像画像のうちから、相対的に信号強度の低い撮像画像を選択するか、または、前記反射防止膜の膜厚に対応する照明色の撮像画像を選択するように構成されている、請求項３に記載の検査装置。
5. 前記制御部は、選択した前記撮像画像の照明色に応じた判定閾値を用いて、前記太陽電池セルに成膜された前記反射防止膜の欠陥検査を行うように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記制御部は、前記太陽電池セルの複数部位について、それぞれ照明色毎の部位画像を取得し、前記太陽電池セルの部位毎に、検査に用いる前記部位画像の選択と、選択した前記部位画像に基づく検査とを行うように構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の検査装置。
7. 前記制御部は、複数の前記撮像画像の信号強度の平均値または中央値を比較し、平均値または中央値が最も低い照明色の前記撮像画像を選択するように構成されている、請求項４に記載の検査装置。
8. 前記制御部は、照明光波長と前記太陽電池セルの反射強度との理論曲線とのフィッティングにより、照明色毎の前記撮像画像の信号強度に対応する前記反射防止膜の膜厚を取得し、取得した前記反射防止膜の膜厚を含む所定の膜厚範囲に対応する照明色の撮像画像を選択するように構成されている、請求項４に記載の検査装置。
9. 前記制御部は、照明色毎の前記反射強度と前記反射防止膜の膜厚とを関係付ける基準データを用いて、前記撮像画像の信号強度に対応する前記反射防止膜の膜厚を取得し、取得した前記反射防止膜の膜厚を含む所定の膜厚範囲に対応する照明色の撮像画像を選択するように構成されている、請求項４に記載の検査装置。
10. 前記複数の照明色は、赤色、青色および緑色を含む、請求項１〜９のいずれか１項に記載の検査装置。
11. 前記太陽電池セルは、多結晶半導体を含み、
    前記反射防止膜は、シリコン窒化膜である、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の検査装置。

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