JP2006108264A - 物品の搬送方法及び物品の搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 到着時間のバラツキを抑制し、システムの運用に合わせた物品の搬送を実現することができる物品の搬送方法及び物品の搬送装置を提供する。
【解決手段】 第１の搬送台車によって第１の搬送対象物を第１の搬送元装置から搬送先装置へと搬送すると共に、第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を第２の搬送元装置から搬送先装置へと搬送する物品の搬送方法において、第２の搬送元装置から搬送先装置までの搬送時間及び第１の搬送対象物が搬送先装置に到着する時間に基づいて決定される所定時間に到着する搬送台車を第２の搬送台車として選択し、この第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を搬送する。
【選択図】 図１

Description

本発明は物品の搬送方法及び物品の搬送装置に関する。詳しくは、到着時間のバラツキを抑制し、システムの運用に合わせた物品の搬送を実現しようとした物品の搬送方法及び物品の搬送装置に係るものである。

半導体を始めとする多くの産業における製造プロセスでは、複数の製造ラインで処理を行っているために、各製造ライン間で材料や製品を搬送することが必要となる。

従来、物を搬送するための物流システムとして、例えば複数の天井吊下式搬送装置（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）や無軌道床上自動搬送車（ＡＧＶ：Automatic Guided Vehicle）を用いたシステムが利用されている。このＯＨＴやＡＧＶを用いたシステムでは、ＯＨＴやＡＧＶと制御装置の端末とで通信をしながら各ＯＨＴや各ＡＧＶに走行ルートデータを設定し、予め設定した走行路上を無人で走行することにより、物を搬送できる様に構成されている（例えば、特許文献１参照。）。

図４は、上記したＯＨＴを用いた物流システムの一例を説明するための模式図である。
ＯＨＴを用いた物流システムにおいて、搬送元装置１０１から搬送先装置１０２に搬送対象物である複数枚のシリコンウエハが収容されたケース１０３を搬送する場合には、先ず、物流システムの制御装置によって現在位置が搬送元装置の最も近くである搬送台車１０４を選択する。選択された搬送台車はケースを受け取るために搬送元装置まで移動し、搬送元装置からケースを受け取る（図４（ａ）参照）。搬送元装置からケースを受け取った搬送台車は、搬送先装置まで移動し、搬送先装置へケースを受け渡す（図４（ｂ）参照。）。

この様に、従来のＯＨＴを用いた物流システムでは、現在位置が搬送元装置に最も近い搬送台車、即ち、搬送元装置に到着するまでに要する時間が最短である搬送台車を選択している。つまり、図４中符号Ａで示す搬送台車の現在位置から搬送元装置までの距離を移動するのに要する時間（以下、「時間Ａ」と言う）が最小となる様に搬送台車を選択している。
ここで、図４中符号Ｂで示す搬送元装置から搬送先装置までの距離を移動するのに要する時間（以下、「時間Ｂ」と言う）は、搬送元装置と搬送先装置の位置関係によって定まるものであり、搬送元装置と搬送先装置が決定されれば選択する搬送台車によらず一定であることを考慮すると、時間Ａが最小となる様に搬送台車を選択することによって、搬送に要する時間である時間Ａと時間Ｂの合計時間（以下、「搬送時間」と言う）が最小となる。

特開２０００−１２１１号公報

しかしながら、上記した従来の物流システムでは、搬送台車の現在位置によって時間Ａにバラツキが生じ、結果として搬送台車の現在位置によって搬送時間にバラツキが生じてしまう。即ち、搬送台車の現在位置が搬送元装置から近い場合には時間Ａが短いために搬送時間は短いが、搬送台車の現在位置が搬送元装置から遠い場合には時間Ａが長くなり搬送時間が長くなってしまう。そして、搬送時間にバラツキが生じると、システム全体としての作業効率に悪影響を及ぼす恐れがある。

また、上記した従来の物流システムでは、搬送時間が最小となる様に搬送を行なうことができるものの、搬送対象物が搬送先装置に到着するタイミングが考慮されていないので、搬送先装置に搬送対象物が搬送されたとしても、搬送先装置の処理能力等の都合から搬送台車が搬送対象物を受け渡すことができない場合には、搬送先装置の処理が終了するまで搬送台車が待機することとなり、効率的な搬送台車の利用が図れないケースが生じ得る。

更に、例えば、第１の搬送台車によって第１の搬送元装置から搬送先装置に第１の搬送対象物を搬送すると共に、第２の搬送台車によって第２の搬送元装置から搬送先装置に第２の搬送対象物を搬送する場合であって、第１の搬送対象物を第２の搬送対象物よりも先に搬送先装置に搬送する必要がある場合に、上記した従来の物流システムでは充分に対応ができない。
即ち、現在位置が第１の搬送元装置から最も近くである搬送台車を第１の搬送台車として選択し、現在位置が第２の搬送元装置から最も近くである搬送台車を第２の搬送台車として選択することによって、第１の搬送元装置まで最短時間で到着することができる第１の搬送台車及び第２の搬送元装置まで最短時間で到着することができる第２の搬送台車を選択することは可能である。しかし、第１の搬送台車が現在位置から第１の搬送元装置まで移動し、第１の搬送対象物を受け取って搬送先装置に到着するまでに要する時間（以下、第１の搬送対象物の搬送時間）及び第２の搬送台車が現在位置から第２の搬送元装置まで移動し、第２の搬送対象物を受け取って搬送先装置に到着するまでに要する時間（以下、第２の搬送対象物の搬送時間）は、第１の搬送台車の現在位置から第１の搬送元装置までの距離、第２の搬送台車の現在位置から第２の搬送元装置までの距離、第１の搬送元装置から搬送先装置までの距離及び第２の搬送元装置から搬送先装置までの距離によって異なるために、必ずしも第１の搬送対象物の搬送時間の方が第２の搬送対象物の搬送時間よりも短いということはできない。
なお、第１の搬送対象物の搬送が終了した後に、即ち、第１の搬送対象物が搬送先装置に到着した後に第２の搬送対象物の搬送を開始することによって、確実に第１の搬送対象物を第２の搬送対象物よりも先に搬送先装置に搬送することが可能になるが、第１の搬送対象物の搬送が終了した後に第２の搬送対象物の搬送を開始したのでは、搬送効率の低下を招くこととなる。

本発明は、以上の点に鑑みて創案されたものであって、搬送対象物の到着時間のバラツキを抑制し、システムの運用に合わせた物品の搬送を実現することができる物品の搬送方法及び物品の搬送装置を提供することを目的とするものである。

上記の目的を達成するために、本発明に係る物品の搬送方法は、複数の搬送台車の中から選択された搬送台車によって搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送方法において、第１の地点から第２の地点までの搬送時間に基づいて決定される所定時間に第１の地点に到着する搬送台車を選択し、該搬送台車によって搬送対象物を搬送する。

ここで、搬送台車が搬送対象物を第１の地点で受け取り、受け取った搬送対象物を第２の地点まで搬送するのに要する時間は、搬送対象物の受け取り、受け渡しに要する時間を考慮しないとすると、搬送台車が現在位置から第１の地点まで移動するのに要する時間と、搬送台車が第１の地点から第２の地点まで移動するのに要する時間の合計である。そして、搬送台車が第１の地点から第２の地点まで移動するのに要する時間は、第１の地点から第２の地点までの距離から導くことができる。従って、搬送台車が現在位置から第１の地点まで移動するのに要する時間が決定されれば、搬送台車が搬送対象物を第１の地点で受け取り、受け取った搬送対象物を第２の地点まで搬送するのに要する時間も決定されることとなる。
以上のことから、第１の地点から第２の地点までの搬送時間に基づいて決定される所定時間、即ち、現時点から第１の地点で搬送対象物を受け取った搬送台車が第２の地点に到着することを希望するタイミングまでの時間から、搬送台車が第１の地点から第２の地点まで移動するのに要する時間を差し引いた所定時間に、第１の地点に到着する搬送台車を選択し、この搬送台車によって搬送対象物を搬送することによって、搬送対象物を受け取った搬送台車が第２の地点に到着するタイミングを制御することができる。

また、本発明に係る物品の搬送方法は、複数の搬送台車の中から選択された第１の搬送台車によって第１の搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送すると共に、複数の搬送台車の中から選択された第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を第３の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送方法において、第３の地点から第２の地点までの第２の搬送対象物の搬送時間及び第１の搬送対象物が第２の地点に到着する時間に基づいて決定される所定時間に第３の地点に到着する搬送台車を前記第２の搬送台車として選択し、該第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を搬送する。

ここで、第２の搬送台車が第２の搬送対象物を第３の地点で受け取り、受け取った第２の搬送対象物を第２の地点まで搬送するのに要する時間は、第２の搬送対象物の受け取り、受け渡しを考慮しないとすると、第２の搬送台車が現在位置から第３の地点まで移動するのに要する時間と、第２の搬送台車が第３の地点から第２の地点まで移動するのに要する時間の合計である。そして、第２の搬送台車が第３の地点から第２の地点まで移動するのに要する時間は、第３の地点から第２の地点までの距離から導くことができる。従って、第２の搬送台車が現在位置から第３の地点まで移動するのに要する時間が決定されれば、第２の搬送台車が第２の搬送対象物を第３の地点で受け取り、受け取った第２の搬送対象物を第２の地点まで搬送するのに要する時間も決定されることとなる。
つまり、第２の搬送台車の第３の地点から第２の地点までの搬送時間に基づいて決定される時間、即ち、現時点から第３の地点で第２の搬送対象物を受け取った第２の搬送台車が第２の地点に到着することを希望するタイミングまでの時間から、第２の搬送台車が第３の地点から第２の地点まで移動するのに要する時間を差し引いた時間に基づいて決定される所定時間に第３の地点に到着する搬送台車を第２の搬送台車として選択し、この搬送台車によって第２の搬送対象物を搬送することによって、第２の搬送対象物を受け取った第２の搬送台車が第２の地点に到着するタイミングを制御することができる。

また、第１の搬送対象物が第２の地点に到着する時間に基づいて決定される所定時間に第３の地点に到着する搬送台車を第２の搬送台車として選択し、この搬送台車によって第２の搬送対象物を搬送することによって、第１の搬送対象物が第２の地点に到着するタイミングを考慮した第２の搬送対象物の第２の地点への到着タイミングを制御することができる。

また、上記の目的を達成するために、本発明に係る物品の搬送装置は、複数の搬送台車の中から選択された搬送台車によって搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送装置において、第１の地点から第２の地点までの搬送時間に基づいて決定される所定時間に第１の地点に到着する搬送台車を、前記搬送対象物を搬送する搬送台車として選択する搬送台車選択手段を備える。

ここで、第１の地点から第２の地点までの搬送時間に基づいて決定される所定時間に第１の地点に到着する搬送台車を、搬送対象物を搬送する搬送台車として選択する搬送台車選択手段によって、搬送対象物を受け取った搬送台車が第２の地点に到着するタイミングを制御することができる。

また、本発明に係る物品の搬送装置は、複数の搬送台車の中から選択された第１の搬送台車によって第１の搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送すると共に、複数の搬送台車の中から選択された第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を第３の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送装置において、第３の地点から第２の地点までの第２の搬送対象物の搬送時間及び第１の搬送対象物が第２の地点に到着する時間に基づいて決定される所定時間に第３の地点に到着する搬送台車を、前記第２の搬送対象物を搬送する搬送台車として選択する搬送台車選択手段を備える。

ここで、第２の搬送対象物の第３の地点から第２の地点までの搬送時間及び第１の搬送対象物が第２の地点に到着する時間に基づいて決定される所定時間に第３の地点に到着する搬送台車を、第２の搬送対象物を搬送する搬送台車として選択する搬送台車選択手段によって、第２の搬送対象物を受け取った第２の搬送台車が第２の地点に到着するタイミングを制御することができると共に、第１の搬送対象物が第２の地点に到着するタイミングを考慮した第２の搬送対象物の第２の地点への到着タイミングを制御することができる。

上記した物品の搬送方法及び物品の搬送装置では、到着時間のバラツキを抑制し、システムの運用に合わせた物品の搬送を実現することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明し、本発明の理解に供する。
図１は本発明を適用した物品の搬送装置の一例を説明するための模式図であり、ここで示す物品の搬送装置は、シリコンウエハに所定の処理を施す半導体処理装置１と、この半導体装置の上方（例えば天井）に取り付けられたレール２と、レールから吊り下げられ、半導体装置間で搬送対象物４である複数枚のシリコンウエハを収容したケースを搬送する搬送台車３とから構成されている。なお、図１中には搬送台車を２台のみしか図示していないが、通常は数十台〜数百台の搬送台車が搬送装置内で搬送作業を行なっている。

ここで、図１中符号ｄ２で示す、図１中符号ａで示す半導体処理装置（以下、「第１の搬送元装置」と言う）から図１中符号ｂで示す半導体処理装置（以下、「搬送先装置」と言う）までの距離が、図１中符号ｄ３で示す、図１中符号ｃで示す半導体処理装置（以下、「第２の搬送元装置」と言う）から搬送先装置までの距離よりも長くなる様に、第１の搬送元装置、第２の搬送元装置及び搬送先装置が配置されている。

なお、搬送装置は、搬送元装置（第１の搬送元装置や第２の搬送元装置）にある搬送対象物の搬送先（搬送先装置）を指示するＨＯＳＴコントローラ５及びＨＯＳＴコントローラからの指示に基づいて搬送台車を制御する搬送台車コントローラ６が形成されており（図３参照）、搬送台車コントローラによって搬送台車が選択され、選択された搬送台車によって搬送対象物の搬送を行なう。

以下、上記の様に構成された搬送装置を用いて、第１の搬送元装置により所定の処理が施された複数枚のシリコンウエハを収容した第１の搬送対象物を、第１の搬送元装置から搬送先装置へと搬送すると共に、第２の搬送元装置により所定の処理が施された複数枚のシリコンウエハを収容した第２の搬送対象物を、第２の搬送元装置から搬送先装置へと搬送する場合であって、搬送先装置には第１の搬送対象物を第２の搬送対象物よりも早く到着させる搬送方法について説明する。

第１の搬送対象物及び第２の搬送対象物を搬送先装置へと搬送する場合には、先ず、第１の搬送対象物を搬送する第１の搬送台車を選択し、その後に第２の搬送対象物を搬送する第２の搬送台車を選択する。

（１）第１の搬送台車の選択
第１の搬送台車としては、現在位置が第１の搬送元装置の最も近い搬送台車（ここでは、図１中符号ｘで示す搬送台車）を選択する。なお、第１の搬送台車の選択方法は、従来の物流システムにおける搬送台車の選択方法と同様である。

（２）第２の搬送台車の選択
第２の搬送台車としては、第２の搬送対象物を第１の搬送対象物よりも後に搬送先装置に搬送すると共に、効率的に第２の搬送対象物を搬送することができる搬送台車を選択する。なお、第２の搬送台車の選択は、具体的には以下［１］から［３］の手順により行なう。

［１］第１の搬送対象物の搬送時間ｔの算出
先ず、第１の搬送台車が第１の搬送対象物を第１の搬送元装置で受け取り、受け取った第１の搬送対象物を搬送先装置まで搬送するのに要する時間ｔを算出する。
ここで、第１の搬送対象物の受け取り、受け渡しに要する時間を考慮しないとすると、第１の搬送台車は、図１中符号ｄ１で示す第１の搬送台車の現在位置から第１の搬送元装置まで移動し、更に、図１中符号ｄ２で示す第１の搬送元装置から搬送先装置まで移動する必要がある。即ち、第１の搬送台車は、図１中符号ｄ（ｄ＝ｄ１＋ｄ２）で示す搬送台車の現在位置から搬送先装置まで移動する必要がある。
従って、第１の搬送台車の移動距離ｄを第１の搬送台車の移動速度で除すことによって、第１の搬送台車が第１の搬送対象物を第１の搬送元装置で受け取り、受け取った第１の搬送対象物を搬送先装置まで搬送するのに要する時間ｔを算出することができる。

［２］第２の搬送元装置から搬送先装置までの搬送時間ｔ１の算出
次に、第２の搬送台車が第２の搬送対象物を第２の搬送元装置で受け取った場合に、受け取った第２の搬送対象物を第２の搬送元装置から搬送先装置まで搬送するのに要する時間ｔ１を算出する。
ここで、第２の搬送対象物の受け取り、受け渡しに要する時間を考慮しないとすると、第２の搬送元装置で第２の搬送対象物を受け取った第２の搬送台車は、図１中符号ｄ３で示す第２の搬送元装置から搬送先装置まで移動する必要がある。
従って、第２の搬送元装置で第２の搬送対象物を受け取った第２の搬送台車の移動距離ｄ３を第２の搬送台車の移動速度で除すことによって、第２の搬送対象物を第２の搬送元装置で受け取った第２の搬送台車が第２の搬送対象物を搬送先装置まで搬送するのに要する時間ｔ１を算出することができる。

［３］第２の搬送台車の選択
続いて、現在位置から第２の搬送元装置までの移動に要する時間をｔ２とした場合に、ｔ２>ｔ−ｔ１の条件を満たす搬送台車のうち、最短時間で第２の搬送元装置に到着することができる搬送台車を第２の搬送台車として選択する。
ここで、第２の搬送対象物の受け取り、受け渡しに要する時間を考慮しないとすると、第２の搬送台車が第２の搬送対象物を第２の搬送元装置で受け取り、受け取った第２の搬送対象物を搬送先装置まで搬送するのに要する時間は、第２の搬送台車の現在位置から第２の搬送元装置までの移動に要する時間ｔ２と、第２の搬送元装置で第２の搬送対象物を受け取った第２の搬送台車が第２の搬送対象物を搬送先装置まで搬送するのに要する時間ｔ１の合計時間である。そして、第１の搬送対象物を第２の搬送対象物よりも早く搬送先装置に到着させるためには、ｔ<ｔ１＋ｔ２（即ち、ｔ２>ｔ−ｔ１）の条件を満たす必要がある。従って、（ｔ−ｔ１）に搬送台車の移動速度を乗じて得られる搬送台車の移動距離よりも第２の搬送元装置から離れた地点に位置する搬送台車を第２の搬送台車として選択する。
なお、ｔ２>ｔ−ｔ１の条件を満たす搬送台車のうち、最短時間で第２の搬送元装置に到着することができる搬送台車を選択するのは、こうした搬送台車が第１の搬送台車が搬送先装置に到着した後に最も早いタイミングで搬送先装置に到着することができる搬送台車だからである。

上記の様にして選択した第１の搬送台車で第１の搬送対象物を第１の搬送元装置から受け取り、第１の搬送元装置で受け取った第１の搬送対象物を搬送先装置に受け渡しを行なうと共に、上記の様にして選択した第２の搬送台車で第２の搬送対象物を第２の搬送元装置から受け取り、第２の搬送元装置で受け取った第２の搬送対象物を搬送先装置に受け渡すことによって（図２参照。）、搬送先装置には第１の搬送対象物を第２の搬送対象物よりも早く到着させることが可能となる。

ところで、本実施例では、（ｔ−ｔ１）に搬送台車の移動速度を乗じて得られる搬送台車の距離よりも第２の搬送元装置から離れた地点に位置する搬送台車を第２の搬送台車として選択しているが、即ち、搬送台車の移動速度は略一定という前提の下で、搬送台車の現在位置が所定の条件を満たす搬送台車を第２の搬送台車として選択しているが、第２の搬送台車が第２の搬送元装置に到着するまでの時間の調整は、第２の搬送台車の移動速度を制御することによっても可能であるとも考えられる。
しかしながら、実際の搬送装置においては、多数の搬送台車が同時に作業を行なっており、搬送台車の移動速度で調整を行おうとした場合には、低速の搬送台車が存在することとなり、低速の搬送台車が他の搬送台車の搬送作業の妨げとなる可能性がある。
従って、第２の搬送台車が第２の搬送元装置に到着するまでの時間の調整は、本実施例の様に搬送台車の現在位置に基づいて行なう方が好ましい。

本発明を適用した物品の搬送装置の一例を説明するための模式図である。 本発明を適用した物品の搬送方法の一例を説明するための模式図である。 搬送台車の制御を説明するための模式図である。 ＯＨＴを用いた物流システムの一例を説明するための模式図である。

符号の説明

１ 半導体処理装置
２ レール
３ 搬送台車
４ 搬送対象物
５ ＨＯＳＴコントローラ
６ 搬送台車コントローラ

Claims (4)

1. 複数の搬送台車の中から選択された搬送台車によって搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送方法において、
   第１の地点から第２の地点までの搬送時間に基づいて決定される所定時間に第１の地点に到着する搬送台車を選択し、該搬送台車によって搬送対象物を搬送する
   ことを特徴とする物品の搬送方法。
2. 複数の搬送台車の中から選択された第１の搬送台車によって第１の搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送すると共に、複数の搬送台車の中から選択された第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を第３の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送方法において、
   第３の地点から第２の地点までの第２の搬送対象物の搬送時間及び第１の搬送対象物が第２の地点に到着する時間に基づいて決定される所定時間に第３の地点に到着する搬送台車を前記第２の搬送台車として選択し、該第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を搬送する
   ことを特徴とする物品の搬送方法。
3. 複数の搬送台車の中から選択された搬送台車によって搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送装置において、
   第１の地点から第２の地点までの搬送時間に基づいて決定される所定時間に第１の地点に到着する搬送台車を、前記搬送対象物を搬送する搬送台車として選択する搬送台車選択手段を備える
   ことを特徴とする物品の搬送装置。
4. 複数の搬送台車の中から選択された第１の搬送台車によって第１の搬送対象物を第１の地点から第２の地点へと搬送すると共に、複数の搬送台車の中から選択された第２の搬送台車によって第２の搬送対象物を第３の地点から第２の地点へと搬送する物品の搬送装置において、
   第３の地点から第２の地点までの第２の搬送対象物の搬送時間及び第１の搬送対象物が第２の地点に到着する時間に基づいて決定される所定時間に第３の地点に到着する搬送台車を、前記第２の搬送対象物を搬送する搬送台車として選択する搬送台車選択手段を備える
   ことを特徴とする物品の搬送装置。

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