JP2006106355A

JP2006106355A - 液晶パネルの検査方法及びその装置

Info

Publication number: JP2006106355A
Application number: JP2004292828A
Authority: JP
Inventors: Makoto Anami; 誠阿南
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2004-10-05
Filing date: 2004-10-05
Publication date: 2006-04-20

Abstract

【課題】偏光板貼付前の液晶パネルの表示画面をあらゆる角度から総合的に検査することができる液晶パネルの検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】液晶パネル８を挟んで一対の偏光板６、７が配置され、前記偏光板の一方の面に照明手段１０を設け、他方の面には撮像手段２０が設けられ、前記一対の偏光板６、７の間に前記液晶パネル８の表示画面８ａが介在するように前記液晶パネルを支持し、少なくとも前記一対の偏光板の一方または両方を稼働させる工程と、前記照明手段からの照明光を介して前記撮像手段により液晶パネルの表示画面を撮像する工程と、前記撮像された画像に基づいて画像処理する工程と、前記画像処理された画像データにより前記液晶パネルの表示画面を検査する工程とを有する構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネルの表示欠陥を検査するための検査方法及びその装置に係り、特に偏光板を貼り付ける前の液晶パネルが設計通りにできているかどうかを検査するのに好適な検査方法及びその装置に関する。

従来の液晶パネルは、２枚のパネル基板（例えば、ガラス基板）の間に液晶を封入して液晶セルを構成し、その液晶セルの表裏両面にそれぞれ偏光板を貼り付けて構成されている。このような液晶パネルの表示欠陥を検査する従来技術として、偏光板を貼り付ける前の段階で検査するものがある（例えば、特許文献１参照）。

この従来技術は、白色蛍光灯等で構成された光照射手段の上方に第１の偏光板（下偏光板）を光軸を中心に回転可能に配置し、第１の偏光板の上方に液晶パネルを配置し、この液晶パネルに交流電源から所定の駆動電圧が印加されるように構成し、液晶パネルの上方に第２の偏光板（上偏光板）を光軸を中心に回転可能に配置し、そして第２の偏光板の上方に顕微鏡やＣＣＤカメラ等で構成される集光手段を配置したものである。

特開平９−２５７６４１号公報

上記従来技術によれば、第１及び第２の偏光板を光軸を中心に回転することができるので、完成後の液晶パネル（完成品）では見えにくい欠陥がよく見えるようになるため、欠陥の見落としが少なくなり、その結果、完成品の不良率が低減し、かつ製造コストの低減を図ることが可能であるというものである。
しかしながら、液晶パネルの欠陥には様々なものがあり、特に小さい点状欠陥や微妙な色合いの点状欠陥などに対しては、上記従来技術のように偏光板の角度（偏光板の偏光軸の向き）を変更するだけでは明確に検出できない場合がある。すなわち、上記従来技術は、液晶パネルの欠陥を検出するにはあらゆる角度から総合的に検査するようにはなっていないものである。

本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであり、偏光板貼付前の液晶パネルの表示画面をあらゆる角度から総合的に検査することができる液晶パネルの検査方法及びその装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するため、本発明に係る液晶パネルの検査方法は、液晶パネルを挟んで一対の偏光板が配置され、前記偏光板の一方の面に照明手段を設け、他方の面には撮像手段が設けられ、前記一対の偏光板の間に前記液晶パネルの表示画面が介在するように前記液晶パネルを支持し、少なくとも前記一対の偏光板の一方または両方を稼働させる工程と、前記照明手段からの照明光を介して前記撮像手段により液晶パネルの表示画面を撮像する工程と、前記撮像された画像に基づいて画像処理する工程と、前記画像処理された画像データにより前記液晶パネルの表示画面を検査する工程とを有することを特徴とするものである。

本検査方法によれば、液晶パネルを挟んで一対の偏光板が配置され、偏光板の一方の面に照明手段を設け、他方の面には撮像手段が設けられ、一対の偏光板の間に液晶パネルの表示画面が介在するように液晶パネルを支持し、少なくとも一対の偏光板の一方または両方を稼働、すなわち回転と上下動をさせることにより、発見しにくい欠陥が発見しやすくなるため、欠陥を確実に検出することができる。また、液晶パネルの欠陥検出に最適な偏光板角度（偏光板の偏光軸の向き）を求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査方法は、前記一対の偏光板の一方または両方の位置を変更して検査するものである。
これによって、液晶パネルの欠陥検出に最適な偏光板ギャップすなわち上下偏光板のそれぞれと液晶パネル間のギャップを求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査方法は、撮像手段の撮像角度を変更して液晶パネルの表示画面を撮像し、これにより取り込まれた検査画像に基づいて検査するものである。
これによって、液晶パネルの欠陥検出に最適な撮像角度を求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査方法は、照明手段と一方の偏光板との間に光学特性部材を選択的に挿入して検査するものである。
これによって、液晶パネルの欠陥検出に最適な光学特性を求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査方法は、照明手段の光色を変更して検査するものである。
これによって、液晶パネルの欠陥検出に最適な照明光の光色を求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査方法は、液晶パネルに前記一対の偏光板を接触させ、さらに一方の偏光板に前記光学特性部材を介して前記照明手段を接触させて検査するものである。
これによって、完成品の液晶パネルの状態で検査することが可能となり、実際の使用状態で良否を判定することができる。

本発明に係る液晶パネルの検査装置は、ベースと、前記ベース上に立設された支柱と、前記支柱に支持され、一対の偏光板を保持する上下の偏光板保持フレームと、前記一対の偏光板の間に液晶パネルの表示画面の全体が介在するように前記液晶パネルを支持するパネル支持手段と、前記ベース上に設置された照明手段とを備えたものである。

本検査装置によれば、一対の偏光板の少なくとも一方または両方を同一の支柱を中心に回転及び上下動させることができるので、液晶パネルの欠陥検出に最適な偏光板角度及び偏光板ギャップを求めることが可能となる。

また、本発明の液晶パネルの検査装置は、前記ベースが、上下動可能な上板と該上板を載置する下板とからなり、前記照明手段は前記上下動可能な上板に設置してなるものである。
これによって、照明手段を上板と共に上下動させることができ、液晶パネルの欠陥検出に最適な照明光源位置を求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査装置は、前記照明手段の光源の光色としてＲ、Ｇ、Ｂを有し、これらの光色の一つ以上を選択可能であるものである。
これによって、照明光の光色を白色光や、赤、緑、青その他の着色光に変更して検査することができ、液晶パネルの欠陥検出に最適な照明光の光色を求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査装置は、光学特性部材を前記照明手段の表面に着脱可能に載置してなるものである。
これによって、照明手段の上方に配置する光学特性部材の変更が可能なので、照明光の光色以外の、液晶パネルの欠陥検出に最適な光学特性を求めることができる。

また、本発明の液晶パネルの検査装置は、撮像手段を、前記照明手段の光軸が液晶パネルの表面に垂直に交わる交点を中心に、直交するＸ、Ｙ方向に回転可能に設けたものである。
これによって、撮像手段の撮像角度を変更することができ、液晶パネルの欠陥検出に最適な撮像角度を求めることができる。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の実施の形態の一例を示す液晶パネルの検査装置の正面図、図２は上面図、図３は図１の右側面図、図４は断面図、図５は図４のＡ部の拡大断面図、図６は撮像手段の回転機構を示す説明図である。

この検査装置は、ベース１上に支柱２を立設し、支柱２に上偏光板保持フレーム３と下偏光板保持フレーム４をそれぞれ回転可能及び上下動可能に設け、さらにベース１上にパネル支持手段５を設け、表示画面８ａの全体が上下一対の上偏光板６と下偏光板７の間に介在するように被検査体の液晶パネル８をホルダー９により支持し、ベース１上には照明手段１０を設置し、この照明手段１０と下偏光板７との間には拡散板や集光板などの光学特性部材１１を選択的に挿入できるようにし、上偏光板６の上方には顕微鏡、ＣＣＤカメラなどからなる撮像手段２０を直交するＸ、Ｙ方向に回転可能に設けた構成となっている。
また、上偏光板６は上偏光板保持フレーム３の下面に、下偏光板７は下偏光板保持フレーム４の上面にそれぞれ貼り付けられている。

さらに、撮像手段２０は画像処理手段３０に接続され、液晶パネル８は表示パタン発生手段３１に接続され、これらの画像処理手段３０及び表示パタン発生手段３１は制御手段３２によって制御する構成となっている。また、画像処理手段３０、表示パタン発生手段３１及び制御手段３２は通常、パソコンにより構成されており、液晶パネル８の検査を実施する。

さらに詳しく説明すると、ベース１は上下２枚の板で構成されており、下板１ａに支柱２とホルダー９のガイドポスト９ａ、９ｂの各下端部が固定されている。そして、上板１ｂ上に上記照明手段１０が取り付けられ、上板１ｂは支柱２及びガイドポスト９ａ、９ｂに沿って上下動できるようになっている。

上偏光板保持フレーム３及び下偏光板保持フレーム４は共に円形フレーム３ａ、４ａにより形成され、それぞれ内外二重のボス部を介して支柱２に取り付けられている。すなわち、このボス部は、支柱２にセットネジ３ｄ、４ｄにより固定される内側ボス３ｂ、４ｂと、内側ボス３ｂ、４ｂのそれぞれにセットネジ３ｅ、４ｅにより固定される外側ボス３ｃ、４ｃとからなり、これら外側ボス３ｃ、４ｃのそれぞれに円形フレーム３ａ、４ａを取り付けることにより、あるいは外側ボス３ｃ、４ｃと円形フレーム３ａ、４ａを一体形成することにより、上記の上偏光板保持フレーム３及び下偏光板保持フレーム４が形成される。

そして、セットネジ３ｄを緩めることにより、上偏光板保持フレーム３を支柱２に沿って上下動させることができ、またセットネジ４ｄを緩めることによって、下偏光板保持フレーム４を同じ支柱２に沿って上下動させることができる。これによって、上偏光板６の上下位置すなわち上偏光板６と液晶パネル８の間のギャップＧ１と、下偏光板７の上下位置すなわち下偏光板７と液晶パネル８の間のギャップＧ２をそれぞれ独立に変更することができる。また、上偏光板６、下偏光板７の上下位置、すなわち偏光板ギャップＧ１、Ｇ２はベース１の下板１ａ上に立てた直線目盛り１２により測定することができる。
したがって、液晶パネル８の欠陥検出に最適な偏光板ギャップＧ１、Ｇ２を求めることができる。
なお、支柱２にはセットネジ３ｄ、４ｄの先端が係合する縦溝２ａが形成されているので、セットネジ３ｄ、４ｄを若干緩めることにより、上偏光板保持フレーム３、下偏光板保持フレーム４を回転させることなく上下動させることができる。

また、セットネジ３ｅを緩めることにより、上偏光板保持フレーム３を支柱２を中心に内側ボス３ｂの周りに回転させることができ、またセットネジ４ｅを緩めることにより下偏光板保持フレーム４を同じ支柱２を中心に内側ボス４ｂの周りに回転させることができる。これによって、上偏光板６及び下偏光板７の回転角度すなわち偏光板角度（偏光板６、７の偏光軸の向き）をそれぞれ独立に変更することができる。なお、図３において、１４ａ、１４ｂはそれぞれ上偏光板保持フレーム３、下偏光板保持フレーム４の側面に設けた目印である。
上偏光板６、下偏光板７の回転角度はホルダー９に形成された角度目盛り１３により測定することができる。
したがって、液晶パネル８の欠陥検出に最適な偏光板角度（偏光板の偏光軸の向き）を求めることができる。

例えば、液晶パネル８のラビング処理による液晶分子の配向方向に一致するように、上偏光板６の偏光軸の向きを例えば目印１４ａの方向（Ｘ方向）に、下偏光板７の偏光軸の向きを目印１４ｂの方向と直角の方向（Ｙ方向）に設定して、上偏光板６及び下偏光板７をそれぞれ上偏光板保持フレーム３、下偏光板保持フレーム４に貼り付けている。これは、液晶パネル８の上下面にそれぞれ上偏光板６及び下偏光板７を貼り付けた後の完成品の液晶パネルの状態を示すものである。なお、上偏光板６及び下偏光板７の偏光軸の向きは必ずしも直角に限定されるものではなく、液晶パネル８の設計値に合わせて最適な角度に設定される。

液晶パネル８を支持するホルダー９は、上下２枚の板によって液晶パネル８の基端部を挾持するようになっている。液晶パネル８の表示画面８ａの全領域が上偏光板６と下偏光板７の間に介在するようにホルダー９により支持される。ホルダー９を構成する上板９ｃ、下板９ｄは、ガイドポスト９ａ、９ｂに沿って上下動するように取り付けられている。また、上板９ｃと下板９ｄは位置決めピン９ｅにより位置決めされたうえで、締め付けネジ９ｆにより締め付け固定される。さらに、セットネジ９ｇにより下板９ｄをガイドポスト９ａ、９ｂに固定している。ガイドポスト９ａ、９ｂには前述した支柱２と同様に、それぞれ縦溝９ｈが設けられ、セットネジ９ｇの先端を縦溝９ｈに係合させることにより、ホルダー９及び液晶パネル８の微小な回転をも阻止している。
また、下板９ｄには液晶パネル８を駆動するためのリード線引き出し用凹部９ｉが形成されている。

前述のパネル支持手段５は、ホルダー９及びガイドポスト９ａ、９ｂ並びに前記の各構成要素９ｃ〜９ｉを含むものである。もっとも、これはあくまでも一例であり、液晶パネル８を適当な高さ位置で水平にかつ回転不可にしっかり支持できるものであればどのような手段でもよいものである。

次に、前記照明手段１０は、光源として、蛍光ランプ、ＬＥＤなどを用いて、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）のいずれか１つ以上を選択できるようになっている。これによって、照明光の光色を白色光、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）その他の着色光に変更することができるので、液晶パネル８の欠陥検出に最適な照明光の光色を求めることができる。

また、照明手段１０は、前述のようにベース１の上板１ｂに設置され、上板１ｂと共に上下動するようになっている。上板１ｂはセットネジ１ｃで支柱２及びガイドポスト９ａ、９ｂに固定することにより適当な高さ位置に固定される。したがって、液晶パネル８の欠陥検出に最適な照明光源位置を求めることができる。

照明手段１０の外周には方形状の枠体１５が嵌め込まれるようになっており、この枠体１５の上面に拡散板などの光学特性部材１１が貼り付けられている。したがって、光学特性部材１１を枠体１５上面に貼り付けたものを数種類用意しておき、液晶パネル８の検査に当たって、これらの枠体１５を適宜取り替えて使用する。これにより、光学特性部材１１の変更が可能であり、液晶パネル８の欠陥検出に最適な光学特性を求めることが可能である。

撮像手段２０は、図６に示すように、光軸２１が液晶パネル８の表面に垂直に交わる交点Ｐを中心に、直交するＸ、Ｙ方向に回転可能に構成されている。すなわち、撮像手段２０は、円弧状の長穴からなる円弧状ガイド２２を有する門型フレーム２３に装着されており、この門型フレーム２２は、交点Ｐを通る水平なＸ軸方向に伸びる回転軸２４によって、Ｘ軸に直角なＹ軸方向に回転可能に支持されている。また、門型フレーム２２の上部には円弧状ギヤ２５が設けられており、円弧状ギヤ２５に歯合するピニオン２６を備えたＸ軸モータ２７が撮像手段２０に取り付けられている。撮像手段２０には円弧状ガイド２２に沿って転動するガイドローラ２８が設けられている。
さらに、門型フレーム２２をＹ軸方向に回転させるＹ軸モータは図示していないが、例えば、Ｙ軸モータに連結されるＹ軸駆動ベルト２９を介して回転軸２４を回転させることができる。なお、図６において、１６は支柱２の中心軸である。

上述のような撮像手段２０の回転機構を設けることにより、撮像手段２０を常に交点Ｐを中心にＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれ任意の角度θｘ、θｙで回転させることができる。角度θｘ、θｙは、Ｘ軸モータ２７、Ｙ軸モータに取り付けられたエンコーダ（図示せず）により検出できるので、液晶パネル８の欠陥検出に最適な撮像角度θｘ、θｙを求めることができる。

液晶パネル８の検査に当たって、最初はその設計値に基づいて上偏光板６及び下偏光板７の各偏光軸の向きをセットする。偏光板６、７のギャップＧ１、Ｇ２については、図４に示すように、いずれも０ｍｍにセットする。また、撮像手段２０は、図６に実線で示すように、光軸２１上にセットする。
さらに、照明手段１０の照明光は白色光を選択し、光学特性部材１１は例えば設計上の拡散板を選択する。

以上の設計状態における液晶パネル８について、欠陥があるかどうかを検査する。液晶パネル８の検査には、電圧を印加して検査をする点灯検査と、電圧を印加せずに検査をする非点灯検査とがあり、両方を行う。また、点灯検査では、表示パタン発生手段３１により所定のパタンを表示させて検査する。

そして、撮像手段２０により液晶パネル８の表示画面８ａを撮像し、これにより取り込まれた検査画像に基づいて画像処理手段３０により画像処理を施し、欠陥の有無を検査する。画像処理手段３０では、上記検査画像から、例えば２５６階調の濃淡画像として画像処理を行い、さらに欠陥を強調するために、例えばトップハット（Ｔｏｐｈａｔ）フィルタなどを用いてフィルタ処理を行う。続いて、フィルタ処理をした画像データに対して適正なしきい値を設定し、２値化処理を行い、しきい値以上のものがあれば欠陥有りと判定し、しきい値未満のときは欠陥無しと判定する。

設計状態の液晶パネル８において欠陥が検出された場合にはその原因の究明がなされるが、欠陥が検出されない場合、さらに詳しく欠陥があるかどうかを検査する。この場合、液晶パネル８の欠陥検出に最適な次の事項について検査するものである。
（１）偏光板角度
（２）偏光板ギャップ
（３）撮像角度
（４）照明光源の位置
（５）照明光の光色及びその他の光学特性

（１）偏光板角度
前述のように、セットネジ３ｅ、４ｅを緩めることにより上偏光板保持フレーム３、下偏光板保持フレーム４のいずれか一方または両方を支柱２を中心に回転させることができるので、これらの保持フレーム３、４に貼り付けられた上偏光板６、下偏光板７のいずれか一方または両方の偏光軸の向き、すなわち偏光板角度を変更することができる。これによって、発見しにくい欠陥が発見しやすいものとなり、そのときの偏光板角度を角度目盛り１３によって測定することができる。したがって、液晶パネル８の欠陥検出に最適な偏光板角度を求めることができる。

（２）偏光板ギャップ
セットネジ３ｄ、４ｄを緩めることにより上偏光板保持フレーム３、下偏光板保持フレーム４のいずれか一方または両方を支柱２に沿って上下動させることができるので、これらの保持フレーム３、４に貼り付けられた上偏光板６、下偏光板７のいずれか一方または両方の上下位置、すなわち各偏光板６、７と液晶パネル８間の偏光板ギャップＧ１、Ｇ２を変更することができる。これによって、発見しにくい欠陥が発見しやすいものとなり、そのときの偏光板ギャップを直線目盛り１２によって測定することができる。したがって、液晶パネル８の欠陥検出に最適な偏光板ギャップを求めることができる。

（３）撮像角度
Ｘ軸モータ２７、Ｙ軸モータ（図示せず）を駆動することにより、撮像手段２０を液晶パネル８の表面に垂直な光軸２１との交点Ｐを中心にＸ、Ｙ方向にそれぞれ回転させることができるので、これにより撮像角度θｘ、θｙを変更することができる。したがって、液晶パネル８の視野角方向から撮像できるため、欠陥を検出することが可能となる。これによって、液晶パネル８の欠陥検出に最適な撮像角度を求めることができる。

（４）照明光源の位置
照明手段１０は、ベース１の上下動可能な上板１ｂに設置されているので、照明光源位置を変更して検査することができる。これによって、液晶パネル８の欠陥検出に最適な照明光源位置を求めることができる。

（５）照明光の光色及びその他の光学特性
照明手段１０の照明光の光色を白色光や、Ｒ、Ｇ、Ｂその他の着色光に変更することができるので、液晶パネル８の欠陥検出に最適な照明光の光色を求めることができる。
また、光学特性部材１１を貼り付けた枠体１５を照明手段１０の外周に嵌め込むことにより、光学特性部材１１を分散光や平行光などを生成するものに変更することができ、これにより、液晶パネル８の欠陥検出に最適な照明光の光色以外の光学特性を求めることができる。

以上により、本実施の形態によれば、偏光板貼付前の液晶パネル８について、あらゆる角度から総合的な検査をすることができる。

本発明の実施の形態における液晶パネルの検査装置の正面図。本検査装置の上面図。本検査装置の右側面図。本検査装置の断面正面図。図４のＡ部の拡大断面図。撮像手段の回転機構を示す説明図。

符号の説明

１ベース、１ａ下板、１ｂ上板、２支柱、３上偏光板保持フレーム、４下偏光板保持フレーム、５パネル支持手段、６上偏光板、７下偏光板、８液晶パネル、８ａ表示画面、９ホルダー、１０照明手段、１１光学特性部材、１２直線目盛り、１３角度目盛り、１４ａ、１４ｂ目印、１５枠体、２０撮像手段、２１光軸、２２円弧状ガイド、２３門型フレーム、２４回転軸、２５円弧状ギヤ、２６ピニオン、２７Ｘ軸モータ、２８ガイドローラ、２９Ｙ軸駆動ベルト、３０画像処理手段、３１表示パタン発生手段、３２制御手段

Claims

液晶パネルを挟んで一対の偏光板が配置され、前記偏光板の一方の面に照明手段を設け、他方の面には撮像手段が設けられ、前記一対の偏光板の間に前記液晶パネルの表示画面が介在するように前記液晶パネルを支持し、少なくとも前記一対の偏光板の一方または両方を稼働させる工程と、前記照明手段からの照明光を介して前記撮像手段により液晶パネルの表示画面を撮像する工程と、前記撮像された画像に基づいて画像処理する工程と、前記画像処理された画像データにより前記液晶パネルの表示画面を検査する工程とを有することを特徴とする液晶パネルの検査方法。
前記一対の偏光板の一方または両方の位置を変更して検査することを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの検査方法。
前記撮像手段の撮像角度を変更して液晶パネルの表示画面を撮像し、これにより取り込まれた検査画像に基づいて検査することを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの検査方法。
前記照明手段と一方の偏光板との間に光学特性部材を選択的に挿入して検査することを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの検査方法。
前記照明手段の光色を変更して検査することを特徴とする請求項４記載の液晶パネルの検査方法。
液晶パネルに前記一対の偏光板を接触させ、さらに一方の偏光板に前記光学特性部材を介して前記照明手段を接触させて検査することを特徴とする請求項４または５記載の液晶パネルの検査方法。
ベースと、
前記ベース上に立設された支柱と、
前記支柱に支持され、一対の偏光板を保持する上下の偏光板保持フレームと、
前記一対の偏光板の間に液晶パネルの表示画面の全体が介在するように前記液晶パネルを支持するパネル支持手段と、
前記ベース上に設置された照明手段と、
を備えたことを特徴とする液晶パネルの検査装置。
前記ベースは、上下動可能な上板と該上板を載置する下板とからなり、前記照明手段は前記上下動可能な上板に設置してなることを特徴とする請求項７記載の液晶パネルの検査装置。
前記照明手段の光源の光色としてＲ、Ｇ、Ｂを有し、これらの光色の一つ以上を選択可能であることを特徴とする請求項７または８記載の液晶パネルの検査装置。
光学特性部材を前記照明手段の表面に着脱可能に載置してなることを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載の液晶パネルの検査装置。
撮像手段を、前記照明手段の光軸が液晶パネルの表面に垂直に交わる交点を中心に、直交するＸ、Ｙ方向に回転可能に設けたことを特徴とする請求項７乃至１０のいずれかに記載の液晶パネルの検査装置。