JP2006100856A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4728170B2 (ja) 2006-05-26 2011-07-20 三菱電機株式会社 半導体デバイスおよびアクティブマトリクス型表示装置
US20090001373A1 (en) * 2007-06-26 2009-01-01 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel Ltd.) Electrode of aluminum-alloy film with low contact resistance, method for production thereof, and display unit
JP5215620B2 (ja) * 2007-09-12 2013-06-19 三菱電機株式会社 半導体デバイス、表示装置及び半導体デバイスの製造方法
JP5159558B2 (ja) * 2008-10-28 2013-03-06 株式会社神戸製鋼所 表示装置の製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2733006B2 (ja) * 1993-07-27 1998-03-30 株式会社神戸製鋼所 半導体用電極及びその製造方法並びに半導体用電極膜形成用スパッタリングターゲット
JP3365954B2 (ja) * 1997-04-14 2003-01-14 株式会社神戸製鋼所 半導体電極用Al−Ni−Y 合金薄膜および半導体電極用Al−Ni−Y 合金薄膜形成用スパッタリングターゲット
JP4458563B2 (ja) * 1998-03-31 2010-04-28 三菱電機株式会社 薄膜トランジスタの製造方法およびこれを用いた液晶表示装置の製造方法
JP2000294556A (ja) * 1999-04-05 2000-10-20 Hitachi Metals Ltd ドライエッチング性に優れたAl合金配線膜およびAl合金配線膜形成用ターゲット
JP2001350159A (ja) * 2000-06-06 2001-12-21 Hitachi Ltd 液晶表示装置及びその製造方法
JP2003089864A (ja) * 2001-09-18 2003-03-28 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd アルミニウム合金薄膜及びその薄膜を有する配線回路並びにその薄膜を形成するターゲット材

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