JP2006093577A - 半導体装置用転写フィルム基板及びその製造方法並びにそれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 転写フィルム2上に配線導体5を形成する半導体装置用転写フィルム基板1において、導電性金属テープ5tをプレス打ち抜きして配線導体5を形成し、その配線導体5を転写フィルム2上に仮圧着したものである。
【選択図】 図1
Description
2)転写フィルム72と配線導体73間の接着強度(接着層75の接着力)を弱くすることによる、フォトケミカルエッチングおよび機能めっき工程での配線導体の剥離不良の発生。
3)コアレス半導体パッケージ71の生産歩留まりの低下。
4)コアレス半導体パッケージ71の信頼性の低下。
図5に実施例1における転写フィルム基板51を示す。この転写フィルム基板51を製造するにあたり、まず、転写フィルム本体3として、厚さ50μm、幅35μmの長尺ポリイミドテープを用いて、これにアクリル樹脂系の熱可塑性接着剤を幅27mmで10μmの厚さに塗布し、接着層付き転写フィルム2を作製する。作製した転写フィルム2には、パイロットホール52をパイロットホール抜き金型により開口する。このパイロットホール52はTAB(Tape Automated Bonding)用テープにおける位置決め穴として通常用いられる。また半導体素子搭載プロセスにおける、長尺の転写フィルム基板の搬送用としても用いられる。
実施例1において、転写フィルムに熱可塑性のアクリル樹脂変性ポリイミドテープを用いる。このアクリルポリイミドハイブリッド樹脂テープは150℃の加熱により接着性が発現するので、接着層4を転写フィルム上に設ける必要がない。この場合の加熱は、図3における導電性金属テープ5tを加熱することによって可能である。加熱された導電性金属テープ5tの熱により、プレス打ち抜き加工された配線導体5は、転写フィルムに瞬時に接着する。転写フィルム側を加熱することによっても可能であるが、冷却時の熱収縮が起こり、転写フィルムの変形が起こるので、導電性金属テープ5tの加熱が好ましい。コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルムの剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、転写フィルム本体3に純Cu箔を用いる。純Cu箔としては、無酸素銅Cu箔、タフピッチ銅Cu箔などを用いることができる。これら純Cu箔はポリイミドと比較して機械的強度が強く、巻き取り、搬送において有利である。これらの純Cu箔上に、実施例1と同様接着層4を設けて転写フィルム2とすることによって、コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、転写フィルム本体3にステンレス箔を用いる。ステンレス箔はCu箔と比較して機械的強度がさらに強く、巻き取り、搬送において有利である。また純Cuのような加熱工程での脱落性の酸化皮膜の形成がなく、転写フィルムを再利用しやすい点が特徴である。ステンレス箔の上に、実施例1と同様接着層4を設けて転写フィルム2とすることによって、コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、転写フィルム本体3にAl箔を用いる。Al箔はポリイミドと比較して機械的強度がさらに強く、巻き取り、搬送において有利である。また純Cuのような加熱工程での脱落性の酸化銅皮膜の形成もなく、転写フィルムを再利用しやすい点が特徴である。Al箔上に、実施例1と同様接着層4を設けて転写フィルムとすることによって、コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、転写フィルム本体3にCu合金箔を用いる。Cu合金箔はCu−Sn、Cu−Zn等の耐熱性高強度箔を用いることができる。これらCu合金は200℃以下の比較的低温の半導体パッケージ組み立てプロセスにおいては、純Cuと比較して脱落性の酸化銅皮膜の形成が少なく、また機械的強度も高いので、転写フィルムの再利用が容易な点に特徴がある。Cu合金箔の上に、実施例1と同様接着層4を設けて転写フィルム2とすることによって、コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、転写フィルム本体3に液晶ポリマー(LCP)を用いる。LCPはポリイミドと比較して線膨張係数が小さく、シリコン半導体に近い線膨張係数を有するので、半導体素子を搭載する組み立て工程でのベース基盤として適している。また機械的強度も高いので、転写フィルムの再利用が容易な点に特徴がある。液晶ポリマーの上に、実施例1と同様接着層4を設けて転写フィルム2とすることによって、コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、導電性金属テープにAl箔を用いる。Al箔は、その上の機能めっきがなくとも、そのままでAu線やAl線によるワイヤボンディングが可能なのでプロセスの簡略化が図れる。コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、導電性金属テープ5tの金属箔7にCu−Sn、Cu−Zr等の耐熱性高強度Cu合金箔を用いる。Cu−Sn、Cu−Zr等の耐熱性高強度箔は引っ張り強度が大きいので、無酸素銅やタフピッチ銅と比較して薄箔化が可能である。コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、導電性金属テープの半導体素子を搭載する側の片面のみに機能めっき層6を設ける。この場合、接着層付き転写フィルム2を剥離した後のコアレス半導体パッケージの下面の外部接続端子はCuが露出するので、転写フィルム2剥離後、Pbフリーはんだめっきなどを施す。コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。この方式は機能めっきが片面のみなので、機能めっきコストが低減できる利点がある。外部接続端子のPbフリーはんだめっきなどは、通常従来の半導体パッケージと同様に行うことが可能である。
実施例1において、導電性金属テープ5tの機能めっきを電気Agめっきとして行う。Agめっき液には、シアン化銀めっき液などを用いることができる。AgめっきはAu線超音波接合性に優れ、同様の半導体素子の組み立てラインを使用できる。コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
実施例1において、導電性金属テープ5tの機能めっきを電気Pdめっきとして行う。PdめっきはAu線の超音波接合性に優れ、同様の半導体素子の組み立てラインを使用できる。コアレス半導体パッケージの一連の組み立て、および転写フィルム2の剥離などは実施例1と同様に行うことができる。
2 転写フィルム
3 転写フィルム本体
4 接着層
5 配線導体
5t 導電性金属テープ
Claims (9)
- 転写フィルム上に配線導体を形成した半導体装置用転写フィルム基板において、導電性金属テープをプレス打ち抜きして上記配線導体を形成し、その配線導体を上記転写フィルム上に仮圧着したことを特徴とする半導体装置用転写フィルム基板。
- 転写フィルム上に配線導体を形成する半導体装置用転写フィルム基板の製造方法において、上記転写フィルム上に導電性金属テープを挟んだ金型を配置し、その金型で上記導電性金属テープをプレス打ち抜きして上記配線導体を形成すると共に、その配線導体を上記転写フィルム上に押圧して仮圧着することを特徴とする半導体装置用転写フィルム基板の製造方法。
- 上記金型のステージ上に上記転写フィルムを配置し、その転写フィルム上に、上記導電性金属テープを挟んだ上記金型のダイとストリッパーとを配置し、上記金型のパンチで上記導電性金属テープをプレス打ち抜きして上記配線導体を形成すると共に、その配線導体を上記転写フィルム上に押圧して仮圧着する請求項2記載の半導体装置用転写フィルム基板の製造方法。
- 上記転写フィルムを長尺に形成し、その転写フィルムの両側部にパイロット穴を形成し、その転写フィルムを搬送すると共に、上記金型が備える位置決め機構で上記パイロット穴を基準に位置決めし、上記配線導体を連続的に形成する請求項2または3記載の半導体装置用転写フィルム基板の製造方法。
- 上記導電性金属テープは、Cu箔、Cu合金箔、Al箔などの金属箔で構成される請求項1記載の半導体装置用転写フィルム基板。
- 上記導電性金属テープは、Cu箔、Cu合金箔、Al箔などの金属箔の片面、あるいは両面に、Au、Ag、Pdなどの機能めっきを施して構成される請求項1記載の半導体装置用転写フィルム基板。
- 上記転写フィルムは、電気絶縁性の樹脂フィルムの片面に接着層を有するフィルム、フィルム用金属箔の片面に接着層を有するフィルム、熱可塑性の樹脂フィルムで構成される請求項1、5、6いずれかに記載の半導体装置用転写フィルム基板。
- 上記フィルム用金属箔は、Cu箔、Cu合金箔、Al箔、ステンレス箔で構成される請求項7記載の半導体装置用転写フィルム基板。
- 請求項1、5、6、7、8いずれかに記載された半導体装置用転写フィルム基板を用いて、上記配線導体上に半導体素子を搭載し、上記転写フィルム上に上記配線導体と上記半導体素子の上部を封止すべく封止樹脂を設けた後、上記転写フィルムを剥離して形成したことを特徴とする半導体装置。
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