JP2006078484A - 変位エンコーダ、および、変位エンコーダを含む装置と変位エンコーダを製造する方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、エンコーダを含む可動シャフトを有する装置と、エンコーダを製造する方法に関する。
【解決手段】シャフト（３）に固定されるスリーブ（２）と、少なくとも１つの極性磁気マークを有するエンコーディングゾーン（６）、とを含む可動シャフト式変位エンコーダ。エンコーディングゾーン（６）は、スリーブに対向して付着される少なくとも１つの永久磁石（４）を含み、弾性材層（１０）は、磁石（４）と少なくともスリーブ（２）の一部にオーバーモールドされ、付着される。
【選択図】図１

Description

本発明は、可動式変位エンコーダに関し、特に、シャフトに固定されるスリーブと、少なくとも１つの極性磁気マークを有するエンコーディングゾーンと、を含むエンコーダに関する。

多くの用途において、特にホイルシャフト、ギアボックスの出力シャフト、または、内燃機関のクランクシャフトなどのシャフトは、シャフトの瞬間速度および／または位置および／または変位方向を認識するため、角度変位または線形変位を符号化する装置を備えている。

符合化機能は、エンコーディングゾーンを形成する１つ以上の極性磁気マークによって実施することができる。エンコーディングの変位は、このエンコーディングゾーンに対向して配置される磁気検知器によって検出される。このタイプのエンコーダに対して、フェライト詰めの弾性材層（すなわち、モールディング工程間において付着されるフェライト粉のような磁性粒子を多く含む弾性材型のポリマー）を用いるエンコーディングゾーンの単一または複数のマークを作成することは、特に文書「ＦＲＡ ２ ７７７ ０６０」より公知である。このような解決は、磁性体層の形成と極性マーク、およびモールディング工程間のスリーブに対する付着層に対して、実用的に使用される。

しかしながら、特に、地磁気センサが利用できる空間、または、装置が機能する間のエアギャップの変化によって、エンコーディングゾーン間のエアギャップがあまりにも大きな値に達するとき、フェライト詰めの弾性材によって生じる磁場は、特定の用途に対して十分な強度に達しない。フェライト詰めの弾性材によって生じる磁場の強度を向上させるために、磁性粒子の比率を増やせばよいということは、公知である。しかしながら、このような磁性粒子の密度のフェライト詰めの弾性材は、特定の用途に対して、あまりにも壊れやすく、もろいものとなる。

本発明の目的は、振動などの厳しい機械的ストレスが存在し、環境が化学的に活性化された用途における使用においても、強度の磁場を生じるように適した変位エンコーダを提案することによって、これらの不利な点を克服することである。

この目的のため、本発明は、スリーブに対向して配置され、少なくとも１つの極性マークを形成するように適合された少なくとも１つの永久磁石を含み、弾性材層は該磁石および少なくともスリーブの一部に上乗せされ、付着することを特徴とする変位エンコーダに関する。

こうして生成される弾性材層は、特に、磁石とスリーブ（プラスチックまたは金属でできている）の間に、付着によるこれら部品の間で生成される化学結合によって、振動および熱膨張がある場合は、強い機械的結合を確実にすることができる。さらに、上乗せは、永久磁石を外部環境から隔離する層を生成する。

エンコーディングゾーンの単一または複数の永久磁石は、高強度を有する磁気マークを形成する。磁気マークは、地磁気センサによってより容易に検出される。試験において、マークの磁気強度が、別で比較できるエンコーダに対してフェライト詰めの弾性材の場合よりも、２倍高い値に達することができることを示す。

単一または複数の永久磁石が弾性材層によって保護されるという事実から、化学酸化仕様に対する特に高い抵抗を有しない標準の磁石（例えば、エンコーダのコストの限定を可能にする鉄から作られる磁石）を使用することができる。

本発明の好ましい実施例において、以下の１の構成または別の構成が使用される。永久磁石は、スリーブに対向して少なくとも部分的に配置される後面と、該後面の反対側の前面と該後面および該前面を接続する側面と、該前面を覆う弾性材層の厚みより少なくとも５倍の厚みを有する該側面を覆う弾性材層と、を有する。これにより、磁石の保護、エンコーダの大きさ、および、機械的強度において、良好な妥協点をもたらすことが可能となる。該スリーブは、対向して前記磁石が支える軸受部を有する。該磁石は該軸受部の幅の大部分を覆う。該永久磁石は、焼結した磁性粒子、好ましくはサマリウムコバルトタイプの磁性粒子でできている。該永久磁石はプラスト磁石であり、温度が上がると強磁場を保持する効果を有する、サマリウムコバルトタイプのプラスト磁石が好ましい。弾性材層の材料と一体となって形成されるリップは、前記シャフトを囲む固定されたケーシングと接触するように設計されている。該スリーブは、放射状に伸びている環状カラーを有する。該スリーブは、平らなリングの形状を有する永久磁石に対向して配置される。該スリーブは縦軸の平行に伸びる円筒面を有し、チューブ状形の該永久磁石に囲まれる。エンコーディングゾーンは、複数の永久磁石から形成される。

さらに、本発明は、可動シャフトと変位エンコーダとを含み、変位エンコーダは、シャフトに固定されるスリーブと、少なくとも１つの極性磁気マークを有し、該シャフトの変位を符号化するように適合される該エンコーディングゾーンとを含み、該エンコーディングゾーンは、該スリーブに対向して設置される少なくとも１つの永久磁石から形成され、弾性材層は該磁石および少なくとも該スリーブの一部の上に上乗せされ、付着されることを特徴とする装置に関連する。

さらに、この装置は、ロータリーシャフトが通される液体またはグリースで満たされるケーシングと、弾性材層の材料と一体となって作られる環状リップを含むことができる。該環状リップは、ケーシングとすべり接触にあり、該シャフトと該ケーシングとの間の液体気密性を確保する。

ロータリーシャフトまたは縦方向後ろに滑動するシャフトと、それぞれ偏位角度または線形変位を符号化するように適合される形状のエンコーディングゾーンを有する変位エンコーダとを含む装置でありえることは注目される。

さらにまた、本発明は、磁性材料で作られたスリーブと、エンコーディングゾーンを形成するために適合される少なくとも１つの永久磁石と、弾性材層と、を含む変位エンコーダを製造する方法に関連し、この方法は、付着層の付着を含む適切な処理を用いる該スリーブの表面処理工程と、付着層の付着を含む適切な処理を用いる該永久磁石の表面処理工程と、該スリーブと、モールドの中の少なくとも１つの該永久磁石の上乗せ工程と、該磁石および該スリーブの少なくとも一部の該弾性材層の上乗せ工程と、該弾性材層の加硫化のステップを含む。

この方法は、上乗せ工程の後、永久磁石に磁場を利用することによって極性マークを形成する操作も含むことができる。

本発明の他の特徴および効果は、添付の図面を参照し、非制限の実施例として与えられる、以下の記述中で明らかになる。

同一または類似の要素を示すために、異なる図において、同じ参照番号が使用される。

図１で示されるように、角度エンコーダ１は、固定されたケーシング５の開口部に向かってロータリーシャフト３に回転するように固定されるスリーブ２を含む。極性磁気マークは、エンコーダのエンコーディングゾーンと呼ばれるゾーン６に備えられる。

角度エンコーダ１を囲む固定されたケーシング５は、プレート８の中間付近までのケーシングに固定して接着されるセンサ７用の固定台としての機能を果たす。

ロータリーシャフト３を、トランスミッションシャフトまたはホイルシャフトなどの、いかなる回転機シャフトによっても、構成することができる。一方では、角度エンコーダ１を、固定されたケーシングに囲まれる、シャフトの一部に配置する必要はないが、センサをエンコーディングゾーン６の近くに保持することができるために、いかなるケーシングまたは軸受から離れて配置することができるということは、注目されよう。さらにまた、シャフトは、縦軸Ｘに沿って変換動作を実施することができる。

スリーブ２は金属で作られ、圧入によってロータリーシャフト３に取り付けられる。このような、ことのほか単純な取付けによって、スリーブ２を回転するように、そして、シャフト３に対して変換を行うように、スリーブ２を固定することができる。しかしながら、シャフトに対して回転するようにスリーブの固定を確実にする、別の取付けを利用することができる。プラスチックまたは熱可塑性の弾性材でできたスリーブの使用も、想定することができる。

この場合は平らな環状形のエンコーディングゾーン６と、適合される多くの極性マークを有するシャフト３との変位が、例えば、シャフトの角度位置、回転速度、または、回転方向の判定を可能にする。

シャフトの絶対角度位置を判定するために、エンコーディングゾーン６の極性マーク（おそらく、非極性セクタ、または、他のセクタより大きいまたは小さい極性ゾーンとともに考えられる）は、南北交互に極性化した連続な角度セクタによって形成される。したがって、エンコーディングゾーン６は、本実施例において円形トラックを形成する。しかしながら、角度エンコーダが単にシャフトの回転または回転方向を検出するためにだけ使用される場合、スリーブ２の周辺の全体の上の極性マークの存在は必要とならない。

センサ７は磁場の変化を検出するために適合する必要があり、特に、ホール効果センサまたはこれに相当するものを使用することができる。センサ７は、磁場の変化を検出するために、極性マークによって形成される円形のエンコーディングゾーン６に対向して静的方法で配置される。

エンコーディングゾーンは、センサ７によって検出される１つ以上の極性マークを形成するために、双極性または多極性の磁場を生成する永久磁石４を含む。永久磁石は、変位エンコーダ１の製造の前に作成された強固部形式の、いかなる公知のタイプの磁石であってもよい。永久磁石はフェライト詰めの弾性材型の材料によって得られる磁場よりも強度の磁場を生成する。すなわち、センサ７からのエアギャップ（エンコーディングゾーンを切り離す距離）が大きくなる、または、感度がより低い地磁気検出器を使用することができる。

永久磁石４のタイプは、特に永久磁石のコスト、および、極性マークをシークした強度に従って選択される。実施例の方法によって、永久磁石は焼結タイプ、すなわち焼結によって一斉に凝集した磁性粒子で形成され、セラミック磁石とも呼ばれる。例えばストロンチウムフェライトまたはサマリウムコバルトから成る磁石などの磁石のタイプは、フェライト詰めの弾性材によって作られる磁石より強い磁場を生成し、サマリウムコバルトの場合より２倍のオーダーの強い磁場を生成する。サマリウムコバルトを主成分とした焼結磁石は、温度が上がると磁気場の低いロスを生じる。したがって、例えば、−５０℃〜２５０℃の広範囲にわたる温度において機能させる必要があるエンコーダを製造するためには、都合がよい。

磁性粒子（例えば希有土類、ストロンチウムフェライトまたはサマリウムコバルト）が、プラスチックまたは熱可塑性の弾性材によって結合される、比較的強固な部分の形式であるプラスト磁石を使用することもできる。特定のプラスト磁石、特にサマリウムコバルトタイプは、時間が経っても安定した強度の磁場を生成するのに都合がよい。さらにまた、プラスト磁石は、異なる形状において生成されることができる。

磁石４はスリーブ２に対向して配置される後面４ａを有し、後面４ａの反対側の前面４ｂと前面および後面を接続する側面４ｃを有する。後面４ａがスリーブ２と完全に接触する必要がないということに、注目されよう。実際は、表面において、スリーブは磁石を配置するためにリリーフを含むことができる。したがって、スリーブ２と磁石４との間に空間を残すことできる。

ポリマー層１０は、スリーブ２に対して配置されると、磁石上に、より正確には、外見が見える面４ｂ、４ｃの全てに上乗せされる。ポリマー層１０は、また、磁石と隣接するスリーブの一部にも上乗せされる。

層１０を生じるために使用されるポリマーは、弾性材である。この種のポリマーは、天然または合成ゴムを含み、金属およびプラスチック材の素材への付着によって、スリーブ２上の永久磁石４の機械的な取付けを確実にすることができる。さらに、この種のポリマーは、変位エンコーダの環境におかれうる大部分の化学製品に対する十分な抵抗だけでなく、機械的ストレス（特に、振動および熱膨張）に対して良好な抵抗を有する。しかしながら、特定の化学製品に対する特定の抵抗を有するＰＴＦＥなどの別のポリマーから作られる、付加的な細い保護層によって、弾性材層１０の外面が覆われることに注目されよう。

磁石の前面４ｂを覆う弾性材層は、前面に対して垂直に測定される厚さｅ１を有するのに対して、側面４ｃは厚さｅ２を有する弾性材層によって覆われる。付着によって得られたスリーブ２上の磁石４の機械保持、シャフトの縦軸Ｘに沿った変位エンコーダの大きさ、および、エンコーダの環境に対する磁石の保護の関係において、良好な妥協点を得るため、スリーブ２まで伸びる側面４ｃを覆う弾性材層の厚さｅ２は、前面４ｂの上の弾性材層の厚さｅ１より少なくとも５倍大きい。変位エンコーダが目的の用途に従い、厚さｅ１とｅ２との間の比率は非常に高くなるが、ほとんどの場合、大体５に等しい比率で十分である。もし、弾性材層１０が磁石４を保持する以外の機能の実施によって、特定の側面４ｃ上の弾性材の厚さｅ２が非常大きくなる可能性があるのであれば、厚さｅ２に対して考慮に入れる値は側面に沿って現れる層の最小平均厚さの値であるということに注目されよう。その保護機能を保持する間、厚さｅ１を数百分の１ミリメートルに制限することができる。磁石とスリーブ２の後面４ａとの間に残すことができる空間は、弾性材層１０の上乗せを行う間、多かれ少なかれ部分的に埋められる可能性があることに注目されよう。

永久磁石４に対して、細い部分の形状の磁石が選択される。すなわち、後面４ａと前面４ｂとの間で測定される厚さ、図１のｈが、エンコーディングゾーン６の幅Ｌより大幅に少ない磁石が選択される。エンコーディングゾーンの幅Ｌの６分の１から３分の１の範囲における磁石４の厚さｈは、発生する磁場の強度およびＸ軸に沿った変位エンコーダの大きさの間で良好な妥協点を得ることができる。

特に、シャフトの絶対角度位置を符号化し、ほぼ瞬間的な方法におけるシャフトの速度または回転方向を判定する目的において、エンコーディングゾーン６は、シャフト周辺全体を囲む環状の形状を有する。環状のエンコーディングゾーンを形成するために、１つ以上の永久磁石はシャフトと同心の円を描くようにスリーブ２に対して配置される。

例えば、図１の図示した実施形態で、スリーブ２は、縦軸Ｘに対して放射状に延伸する環状カラー１２を有する。したがって、円形のエンコーディングゾーン６は、単一性を有すると考えられる、多極性の方法で磁化される環状の磁石４によって形成され、カラー１２に対向して配置される。永久磁石４は縦軸Ｘに対して同心状に配置される平らなリングの形状を有する。これにより、正確にエンコーディングゾーンの全体を正確に形成することができる。しかしながら、平らなリングの角部の形状を有するいくつかの永久磁石によるエンコーディングゾーンの作成は、完全に想定することができる。連続するエンコーディングゾーンを形成するため、２つの連続する磁石の円周端面は、互いの端面に対して配置される。例えば、一意のマークまたはいくつかの分散したマークを形成するための差込みの形状である、１つ以上の磁石を配置することも想定できる。

磁石４が、カラー１２によって形成されるスリーブ２の部分の大部分（ここではほぼ７５％）を覆うことができる幅Ｌを有することに注目されよう。

図２の図示した実施形態において、弾性材層１０は、固定されたケーシングの表面５ａと接触するまで、シャフト３に対してカラー１２を越して放射状に延伸する。したがって、層１０は、ケーシング５に接するスライドロータリにおいてシールリップ１１を形成する。後に一体となって形成される弾性材層１０およびリップ１１は、製造工程の間に同時に作成される。

したがって、生じる角度エンコーダ１は、その符合化機能に加えて動的な液体気密性を実現させる。角度エンコーダの第２実施形態は、より詳細には、シャフトとケーシングとの間の液体気密性を提供するために、液体Ｈで満たされるケーシング５（圧力をかけられていると考えられる）が、シャフト３によって通される、エンジンまたはギアボックスのような装置が意図される。

図２の図示した実施形態において、角度エンコーダをシャフト３に配置する間は、図示される構成における、リップ１１のベースは、層１０の延長上にしっかりと曲がる。リップの端１１ａは、固定されたケーシング５に接触する面上にグルーブ１１ｂを含むことができる。グルーブ１１ｂは、リップとシャフト３に対向するケーシングのラジアル面５ａとの間の動的な液体気密性を向上させる。

接触の必要がある表面の構成に適合されるように、または、液体気密性特性を増すようにするため、リップ１１がより複雑な幾何学的構成を、当然有することができる。

図３は第２実施形態と同様の第３実施形態を示す。すなわち保護層１０で一体的に形成される液体気密性リップ１１を含む。

この第３実施形態において、エンコーディングゾーンは縦に伸び、放射状にセンサ７に延伸される。エンコーディングゾーン６は、縦軸Ｘに対して同軸のスリーブ２の筒状壁を密接して囲む円筒状のチューブ磁石４によって形成される。これにより、エンコーディングゾーンは環状でシャフト３と同心となる。上下続きの環状磁石の使用は、極性マークのポジショニングの高い精度を得ることを可能にするが、いくつかの磁石の使用もまた可能である。

保護層１０は磁石４だけでなく、スリーブ２の外面全体を覆う。これにより、ケーシング５の外側からの機械的または化学的な腐食に対してエンコーダの全体を保護する。

スリーブ２は、Ｕ形横断面、シャフト３を固定するＵ型の第１の枝部分２０、磁石４を支える第２の枝部分２１、および、シャフト３とケーシング５との間の隙間部分を上方に引き上げることを可能にするＵ型のベース９を有する。

エンコーダのスリーブ２は、以下の段階を含む方法を使用して作られる。

スリーブ２の表面処理は、後に続く加硫化の間、弾性材層１０の付着をさせるために実施される。この処理は、スリーブ１０の性質、特に、金属またはプラスチック製スリーブであるかどうかによって、異なる可能性がある。例えば、表面処理は、りん酸塩処理操作に続く減少操作を最初に含むことができる。

スリーブ２の処理段階は、付着に対する化学前駆体の極薄膜の形である付着層の付着を含む。例えば、付着層を、フェノール樹脂によって構成することができる。方法は、永久磁石４の表面処理の段階も含み、その表面処理は、焼結磁性粒子の磁石またはプラスト磁石かどうかによって、実質的に異なる可能性がある。しかし、永久磁石の処理は付着層の付着も含む。スリーブ２および永久磁石４の表面処理は、これらの材料の性質および初期表面状態によって実質的に異なる可能性があることに、注目されよう。

スリーブ２および永久磁石４は、適切に処理され付着層に覆われるとき、モールドに配置される。例えば、スリーブ２に形成される低いリリーフを使用して、スリーブ２に対する永久磁石４の位置は調整される。

次に、弾性材の注入、または、モールドの部分の加圧によるプリフォームの熱変形によって、弾性材層１０は、永久磁石４上のモールドおよび少なくともスリーブ２の一部を覆う。

次に、モールドは、永久磁石４に弾性材の加硫化、その後のスリーブ２および永久磁石４に対する付着を得るために、規定時間の間、適切な温度に保たれる。

化学結合の形成によって得られ、単純な接着と異なる弾性材層１０の付着は、分解されることができないエンコーダ１を作成する。エンコーダ１は、振動および熱膨張に対して特に良好な抵抗を有する単一ユニット部の形式をとる。

特に、スリーブ２に対するその付着の後に磁石４に対する永久磁化を利用することによる極性マークの形成のために、単一の磁石の使用からエンコーディングゾーン６の極性マークの全てを正確に形成することができる。

上記記載の実施形態は、当然、決して制限されない。特に、エンコーディングゾーン６が放射部または縦方向に延伸しないが、シャフトに対して向けられる方向に延伸する角度エンコーダを製造することが可能である。

さらに、エンコーディングゾーンが１つ以上の磁石を含むスライドシャフトと一体になったリニアエンコーダに適用されることができるということは、当業者に明白である。この種の用途において、エンコーディングゾーンは、線形変位をエンコードするために適合するように、シャフトの滑動方向に沿って配置される１つ以上の極性マークを有する。

本発明の第１実施形態に従ってエンコーダを備えるシャフトの簡略縦方向の断面図である。 図１と同様の、第２実施形態の断面図である。 図１と同様の、第３実施形態の断面図である。

符号の説明

１ 変位エンコーダ
２ スリーブ
３ シャフト
４ 永久磁石
４ａ 後面
４ｂ 前面
４ｃ 側面
５ ケーシング
６ エンコーディングゾーン
１０ 弾性材層
１１ リップ
２０ 第１の枝部分
２１ 第２の枝部分
ｅ１ 前面に対して垂直に測定される厚さ
ｅ２ 特定の側面上の弾性材の厚さ

Claims (13)

1. 可動シャフトの変位エンコーダであって、シャフト（３）に固定されるスリーブ（２）と、少なくとも１つの極性磁気マークを有するエンコーディングゾーン（６）とを含み、
   前記エンコーディングゾーン（６）は、前記スリーブに対して配置された少なくとも１つの永久磁石（４）を含み、
   弾性材層（１０）は、前記磁石（４）、および、少なくとも前記スリーブ（２）の一部に上乗せされ、付着されることを特徴とする、変位エンコーダ。
2. 前記永久磁石（４）は、前記スリーブ（２）に対して少なくとも部分的に配置される後面（４ａ）と、該後面に向かい合う前面（４ｂ）と、前記後面および前記前面を接続する側面（４ｃ）とを有し、
   前記側面（４ｃ）を覆う弾性材層（１０）は、前記前面（４ｂ）を覆う弾性材層の厚さ（ｅ１）より少なくとも５倍の厚さ（ｅ２）を有する、請求項１に記載の変位エンコーダ。
3. 前記スリーブ（２）は、前記永久磁石（４）に対向して支える軸受部（１２；２１）を有し、
   前記磁石は、前記軸受部の幅の大部分を覆う、請求項１または２に記載の変位エンコーダ。
4. 前記永久磁石（４）は、焼結磁性粒子で作られ、好ましくはサマリウムコバルトタイプで作られる、請求項１から３のいずれかに記載の変位エンコーダ。
5. 前記永久磁石（４）は、プラスト磁石および好ましくはサマリウムコバルトタイプのプラスト磁石である、請求項１から３のいずれかに記載の変位エンコーダ。
6. 前記弾性材層（１０）の材料と一体となって形成される輪状リップ（１１）は、前記シャフト（３）を囲む固定されたケーシング（５）に接触するように形成されている、請求項１から５のいずれかに記載の変位エンコーダ。
7. 前記スリーブ（２）は、放射状に延びる環状カラー（１２）を有し、平らなリングの形状を有する前記永久磁石（４）に対して配置される、請求項１から６のいずれかに記載の変位エンコーダ。
8. 前記スリーブ（２）は、縦軸（Ｘ）に対して平行に延びる円筒面（２１）を有し、チューブ形状を有する前記永久磁石（４）によって囲まれる、請求項１から６のいずれかに記載の変位エンコーダ。
9. 前記エンコーディングゾーン（６）は、複数の永久磁石から形成される、請求項１から６のいずれかに記載の変位エンコーダ。
10. 可動シャフト（３）と変位エンコーダとを含む装置であって、該変位エンコーダは、前記シャフトの上に固定されるスリーブ（２）と、前記シャフトの変位を符号化するために適合される、少なくとも１つの極性磁気マークを有するエンコーディングゾーン（６）と、を含み、
    該エンコーディングゾーン（６）は、前記スリーブ（２）に対して配置される少なくとも一つの永久磁石（４）を含み、
    弾性材層（１０）は、前記磁石（４）、および、少なくとも前記スリーブ（２）の一部に上乗せされ、付着されることを特徴とする装置。
11. さらに、液体Ｈで満たされるケーシング（５）を含み、
    前記ケーシングには、ロータリーシャフト（３）が通され、
    弾性材層（１０）の材料から一体となって作られる環状リップ（１１）は、前記ケーシングとすべり接触にあり、前記シャフトと前記ケーシングとの間の液体気密性を確保する、請求項１０記載の装置。
12. 磁性材料で作られるスリーブ（２）と、エンコーディングゾーン（６）を形成するために適合される、少なくとも１つの永久磁石（４）と、弾性材層（１０）とを含む変位エンコーダを製造する方法であって、
    付着層の付着を含む適切な処理を使用して、前記スリーブ（２）を表面処理する工程と、
    付着層の付着を含む適切な処理を使用して、前記永久磁石（４）を表面処理する工程と、
    前記スリーブ（２）、および、少なくとも１つの前記永久磁石（４）をモールドに配置する配置工程と、
    前記永久磁石および少なくとも前記スリーブ（２）の一部への前記弾性材層（１０）の上乗せ工程と、
    前記弾性材層（１０）を加硫化する工程と、を含む製造方法。
13. 前記上乗せ工程の後、前記永久磁石（４）に対する磁場の利用によって、極性マークを形成する工程を含む、請求項１２に記載の製造方法。
    

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