JP2006076749A - 棚装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】棚構造体の骨組構造にアルミニュームプロファイル材を使用する場合、長さ方向4面に設けられた連続する溝の任意の位置で棚板をボルト締結可能であるが、組立精度確保が困難で、作業性も悪い。

【解決手段】
プロファイル材10の上下端部に設けられた冶具プレート位置決め穴22a、22bに、冶具プレート20の端部位置決め突起21a、21bを勘合させて重ねる。次いで専用ナット12を冶具プレート20のパンチング穴15を通しプロファイル材10の溝29に挿入する。専用ナット12は冶具プレート20の折り曲げ爪16上に支持され、プロファイル材10の溝29内部にあっても落下することはない。
棚板11の棚板位置決め穴17を冶具プレート20の棚板位置決め用突起14に勘合させて棚板11を冶具プレート20に重ね、ボルト13を貫通させ、専用ナット12にボルト13をネジ込むことで、棚板11はプロファイル材10にボルト締結される。

【選択図】図5

Description

本発明は、主として半導体製造工場などのクリーンルームに設置され、半導体製造工程に於ける行程調整のため、一時的にウエハをウエハキャリアであるFOUP(Front Opening Unified Pod)に収納して保管するための棚装置(ストッカ)に関する。
半導体製造工場において製造途中のウエハはウエハキャリアに収納され、製造工程に従い半導体製造装置間を搬送される。これら製造工程には種々のプロセスがあり、ウエハは完成に至るまでの各段階で行程待ちの時間調整のため、ウエハキャリアに収納され、一時的にストッカに格納される。半導体工場のクリーンルームはクリーンルーム自体が高価で、運転維持費の高いこともあって、その時点における最先端技術を駆使し、ストッカの収納密度を極限まで高め、ストッカ装置の実質的コストダウンを図ると伴に、ウエハキャリア入出庫作業の高効率化による生産性向上を図っている。
図13、図14は特許文献1に記載された従来技術による代表的なストッカ構造である。図13はストッカ棚部分の正面図、図14はストッカ棚部分の側面図である。
ストッカ棚は縦支柱32と横支柱33により骨組構造が組立られ、横支柱33に棚板11が取り付けられ、さらに棚板11の上にウエハキャリア台31が取り付けられる、また、棚板11の前面(ウエハキャリアの入出作業を行う側)側は、補強のため曲げ加工が施され、さらに補強部材34で下面部の補強が図られている。通常縦支柱32と、横支柱33はアルミニュウムプロファイル材(以後プロファイル材と略す)が使用され、これら縦支柱32と横支柱33は専用の結合部材で結合、一体化される。また、棚板11の背面側は横支柱33上に固定支持される。
図1はストッカ全体図でストッカ2内部の両側面には多段に設けられた棚を有する棚装置1が配置され、中央床面に敷設された図示されないレール上をスタッカクレーン3が走行する。スタッカクレーン3はスタッカ支柱35とスタッカロボット36とから構成され、スタッカロボット36はスタッカ支柱35上を垂直方向に上下に昇降し、ロボットハンドを水平方向に回転、伸縮させることで、ストッカ2内部の両側面に配置された棚装置1の任意の場所にアクセスし、FOUP5の入出庫を行う。また、ストッカ2の一側面にはFOUPをストッカ内部に搬入、または外部に搬出するためのポート37が設けられる。
FOUPはスタッカクレーンによりストッカ内部の棚に入出庫されるが、スタッカクレーンは棚に対し正確に位置決め停止後、入出庫作業を実施する必要があり、位置決めに誤差があるとFOUPの把握に失敗する。スタッカクレーンが棚に対する正確な位置決めを安定して実施できるための前提として、棚自身が設計寸法通り正確に制作されなければならない。従ってストッカの骨組構造を構成する縦支柱32に対し、棚板11は正確に位置決めされ取付られなければならない。
特開2003−182823号公報 特開平09−289243号公報
ストッカのフレーム構造材であるプロファイル材の断面構造図を図2に示す。また、プロファイル材にボルトと専用ナットを用い板材を取り付ける場合の一般的取付方法を図3に示す。プロファイル材10の長手方向4面には溝29が設けられ、まず専用ナット12を上面の溝に紙面上部方向から垂直に挿入する。このとき専用ナット12の平面部の幅はプロファイル材の溝幅より大きいので、専用ナット12の椀状の局面部でプロファイル材10の溝の縁をかわし、首尾よく溝内に挿入させる。次いで板材30に設けられた穴をプロファイル材10の溝に合せて重ね、さらにスプリングワッシャー19と平ワッシャ28を貫通させたボルト13をこれらスプリングワッシャー19と平ワッシャ28を貫通させたまま、溝内にあらかじめ挿入してある専用ナット12のネジ穴に合わせて、前記棚板11の穴を貫通させる。次いで六角レンチなどネジ締め工具を用いボルト13と専用ナット12を所定の締め付けトルクとなるよう締め上げ、ボルト締結作業を終了させる。
従来技術におけるストッカの骨組構造を構成する支柱への棚板の取付作業に於けるボルト締め作業にもこの方法が適用される。
プロファイル材は、長さ方向4面に設けられた連続する溝の任意の位置で、前記ボルト締め作業が実施可能である。棚構造体の骨組構造にプロファイル材を使用する理由はこの任意の位置でボルト締結可能な融通性、汎用性にある。しかし、棚板とプロファイル材を専用ナットで締結する締結作業では、専用ナットをプロファイル材の溝中に挿入した時点では専用ナットを固定する保持力はプロファイル材溝と専用ナット間に働く摩擦力のみで、極めて弱い。このため些細な外力が加わるだけで専用ナットは容易に位置ずれを生じ、また重力方向のボルト締め作業では、一旦挿入した専用ナットが僅かな衝撃で溝内を落下するなど、任意の位置でボルト締結可能と言うプロファイル材の汎用性の欠点として、ボルト締結作業に於ける作業性の悪さ、組立精度確保の困難性が顕在化している。
これは、プロファイル材に対する専用ナットの位置を確定できる仕組みがプロファイル材にないためである。高い組立精度を求められるストッカ棚板組立作業においては、この欠点を補う手段として通常工夫した位置決め用冶具を用い、棚板の取付位置の確認、取付位置の調整などを、組立作業と同時に実施する組立工法が採用される。しかし、このように工夫した位置決め用冶具を用いる組立作業であっても棚板の取付位置の確認、調整には多くの時間と工数が掛かり、効率が悪くコスト面でも不利な作業となっている。
一方、棚の保守点検作業時、何らかの理由で棚板が位置ずれを生じ修正が必要な場合、専用ナットを一旦ゆるめ、棚板取付位置の再調整を行うが、一旦ゆるめた専用ナットは落下し易く、棚板を所定位置に正確にボルト締結し直すのは容易でない。
本発明は、プロファイル材で構成されるストッカ骨組構造体に棚部材をボルトと専用ナットにて取り付ける組立作業において、棚板を無調整で所定位置にズレなく正確に、しかも短時間でボルト締結を完了させることを可能とする組立作業方法および棚装置構造に関する。
課題を解決するための手段および発明の効果
上記目的を達成するために、本発明では、以下の手段を提案している。
即ち、プロファイル材を柱として組立てられた棚用骨組構造体に、ボルトナットなどの締結手段を用い複数段に略同一形状の棚板を所定間隔で垂直方向に取付た構造の棚装置であって、しかも棚組立に高い寸法精度が要求される場合、通常組立、調整作業には多くの工数が必要となる。請求項1に記載の棚装置は棚締結作業において、垂直方向柱のプロファイル材と略同一長さ、略同一幅の金属板の結合補助部材を用いることにより、高精度かつ良好な作業性を実現している。この結合補助部材はプロファイル材と棚板の中間に重ねて締結されて使用され、少なくとも高さ方向両端部付近の前記プロファイル材料との対抗面に前記プロファイル材料に対する位置決め手段を有する。これにより組立作業において結合補助部材はプロファイル材に対し無調整で簡単に、しかも高精度に位置決めされ重ね合わされる。
また、所定間隔で複数段に取り付けられる棚板と、結合補助部材との対抗面にも位置決め手段が設けられ、プロファイル材に重ねられた結合補助部材に棚板を無調整で簡単に、しかも高精度に位置決めされて重ね合わされる。
また、結合補助部材には締結用ナット保持部位が設けられるので、締結用ナットを締結用ナット保持部位に保持させた状態で、締結用ボルトを棚板、結合補助部材、プロファイル材を貫いて挿入し、締結用ナット保持部位に保持させた締結用ナットにネジ止めすることにより無調整で簡単に、しかも高精度にボルトナットによる棚板のプロファイル材への締結作業を完了させることができる。
請求項2に記載の結合補助部材は請求項1に記載の結合補助部材に、締結用ナット挿入穴を追加したものであるが、この締結用ナット挿入穴はボルト貫通穴を兼用する。これにより締結用ナットのプロファイル材溝への挿入作業を結合補助部材との対抗面より実施でき、締結用ナット保持作業の容易化、効率化が図れる。
また、請求項1に記載の棚装置に比べボルト締結作業性に優れ、一旦組立を完成させた棚装置の棚板取り付け位置を再調整する必要が生じた場合であっても、専用ナット挿入穴から専用ナットを容易に取出せ、再調整作業が円滑に進められる。
請求項3は請求項1に記載の結合補助部材のナット保持部位の形成方法で、まず結合補助部材のボルト貫通穴位置を板金加工などで一辺を残し所定の形状に切断打ち抜き、次いで打ち抜き部位の切断されない辺を直角に折り曲げる。このとき形成される穴を場合によりナット挿入用穴を兼用する前記締結用ボルト貫通穴とし、直角に折り曲げられた部位をナット保持部位とする。このナット保持部位が前記プロファイル材の溝内に侵入されるよう前記結合補助部材を前記プロファイル材に重ねることで、プロファイル材の溝内に挿入したナットをプロファイル材の溝内に侵入させた結合補助部材のナット保持部位に支持させることが可能になる。
請求項4は位置決め手段の形成方法であって、プロファイル材料と結合補助部材との対抗面に形成される場合と、棚板と結合補助部材との対抗面に形成される場合の2つのケースがある。何れの場合であっても対抗する部材の何れか一方の部材面の所定位置に1以上の穴又は凹部をプレス等の板金加工で作製し、残る一方の部材面の所定位置に前記穴又は凹と勘合する突起をプレス等の板金加工で製作し、前記穴又は凹部と前記突起との勘合により位置決めすることで、無調整かつ高精度に位置合せできる。
以下、図面を参照しつつ、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
図4に本発明の主要部材である冶具プレート(結合補助部材)20の正面図(A)と断面図(B)を示す。冶具プレート20の上下両端部にはプロファイル材料の高さ方向両端部付近に設けられる位置決め用穴に勘合させて位置合わせするための突起21a、21bが形成されている。また、中央部には棚板位置決め用突起14、パンチング穴15、折り曲げ爪16の3要素がセットで、棚段数に応じた数だけ棚板取付の所定ピッチで設けられる。ここに、棚板位置決め用突起14は棚板に設けられた位置決め用穴(図5(A)棚板位置決め穴17)に勘合する突起であり、プレス加工などで形成される。パンチング穴15は打ち抜き穴でボルトがこの穴を貫通すると同時に、専用ナットをアルミプロファイル材料の溝に挿入させる場合の専用ナット挿入穴としても使用される。折り曲げ爪16はパンチング穴15の形成時、パンチング部位の切断されない辺を直角に折り曲げて形成され、アルミプロファイル材の溝に侵入させて用いられ、アルミプロファイル材溝にセットされた専用ナットを支持し、落下を防止する役目を担う。
次に図5を用い本発明の主要部材である冶具プレート20を用い棚板をストッカ骨組構造体の垂直方向の柱を構成するプロファイル材に取り付ける組立作業方法について説明する。図5(A)は組立前のプロファイル材10、冶具プレート20、棚板11が組合せ順に図示されている。プロファイル材10の上下端部には冶具プレート位置決め穴22a、22bが設けられている。冶具プレート20は端部位置決め突起21a、21bをプロファイル材10の冶具プレート位置決め穴22a、22bに勘合させて重ねられる。ついで専用ナット12が冶具プレート20のパンチング穴15を通しプロファイル材10の溝29に挿入される。このとき専用ナット12の幅W2はプロファイル材の溝29の幅W1より大きいので、専用ナット12の背面の曲面部でプロファイル材溝の縁をかわしながら溝29内に挿入し、専用ナット12の平面部を冶具プレート20に対抗させ配置させる。専用ナット12は冶具プレート20の折り曲げ爪16上に支持され、プロファイル材10の溝29内部にあっても落下することはない。
次いで、棚板11の棚板位置決め穴17を冶具プレート20の棚板位置決め用突起14に勘合させて棚板11を冶具プレート20に重ね、ボルト13を冶具プレート20の棚板取付ボルト穴18に挿入する。ボルト13の先端は棚板11、冶具プレート20、プロファイル材溝を貫通し、専用ナット12に到達する。
専用ナット12のネジ穴は棚板取付ボルト穴18に略位置合わせされ、ボルト13を六角レンチ等の工具を用いネジ込むことで、棚板11はプロファイル材10にボルト止めされる。図5(B)はボルト締結後の外観図である。
図6はボルト締結後の断面図で、ボルト13がスプリングワッシャー19、平ワッシャ28、棚板11、冶具プレート20、プロファイル材10を貫通してボルト締結する状況が示されている。図7はストッカ骨組構造体全体に所定枚数の棚板を取り付け、棚装置としての完成状態を示す。図7においてキネマティックピン27はFOUPを載置するときの、FOUP位置決め用ピンである。また棚装置1は図1にしめすストッカ2に組み込まれストッカとして完成される。
次に本発明の下記4つの変形例について以下に順次説明する。
第1の変形例:冶具プレートの棚板位置決め用突起及び端部位置決め突起の変形例
第2の変形例:冶具プレートのパンチング穴の変形例
第3の変形例:棚板位置合わせ勘合部の変形例
第4の変形例:棚板設置の変形例
まず第1の変形例である冶具プレートの棚板位置決め用突起及び端部位置決め突起の変形例について図8を用い説明する。
プロファイル材料の高さ方向両端部付近に設けられた位置決め用穴部に勘合させて位置合わせするための冶具プレートの上下両端部に設けた突起21と、冶具プレートの高さ方向中央部に棚段数に応じて複数個設けられる棚板位置決め用突起14の機能、形状は類似する。ここでは代表として棚板位置決め用突起14について述べる。
図8(A)に示す突起14は図4に示す突起14と同一で、図8(A)は突起部のみ図示したものである。凸形状のプレス型を用い、ハーフパンチングでプレス形成したものである。しかしこのこのハーフパンチングの凸形状は、勘合による位置決め機能を果たす形状、構造であれば図8(A)の形状に拘らない。例えば図8(B)〜(E)に示す41〜44の構造でも同一機能が達成される。図8(B)は角型のハーフパンチングプレス型を用い形成した突起である。
図8(C)はテーパ状の絞り金型を用いたもの。図8(D)は三角型のハーフパンチングプレス型を用い形成した突起、図8(E)は角型パンチング金型を用い打ち抜き、打ち抜き部を直角に折り曲げ形成した突起である。図8の(A)〜(E)に示す5種類の突起は機能的に全て同じであるが、位置合わせ作業の容易性、位置決め精度、位置決め後ネジ止め完了までの冶具プレート保持の安定性、作業性などで若干の差異が認められ目的に応じて使い分ける。
次に第2の変形例である冶具プレートのパンチング穴の変形例について図9を用い説明する。
パンチング穴の主要機能は、折り曲げ爪をプロファイル材溝に侵入させ、専用ナットを定位置に支持することにある。さらに、パンチング切断により形成される打ち抜き穴部を通し、専用ナットをプロファイル材溝に挿入できれば好ましい。図4に示した冶具プレートの折り曲げ爪は下辺を除く3辺をパンチング切断し、下辺を直角に折り曲げ形成され、専用ナット支持と専用ナット挿入の両機能を持つ。図9(A)の折り曲げ爪は上辺を除く3辺をパンチング切断し、上辺を直角に折り曲げ形成される。専用ナット支持は可能であるが、専用ナットはあらかじめプロファイル材溝に挿入する方法を採る。図9(B)の折り曲げ爪は左右何れか一方の縁を除く3辺を切断し、切断しない辺を直角に折り曲げて形成され、専用ナット支持と専用ナットの挿入両機能を持つ。
図9(C)の折り曲げ爪はパンチング穴の左右両辺とパンチング穴中央部を上下辺と平行に切断し、上下各辺部をそれぞれ直角に折り曲げて作製される。また専用ナット支持と専用ナット挿入の両機能を持つ。図9(D)は切断を伴わないパンチングで円筒状の突起を形成する。専用ナット支持は可能であるが、専用ナットはあらかじめプロファイル材溝に挿入する。
以上図9の(A)〜(D)の形状の爪であっても、図4の冶具プレートの折り曲げ爪同様冶具プレートのパンチング穴として本願発明の目的を達成できる。
次に棚板位置合せ穴の変形例について図10を用い説明する。
図5(A)に棚板位置合せ穴17の形状を示したが、棚板位置合せ穴の機能は棚のネジ止め作業に先だって棚板位置合せ穴を冶具プレートの位置決め用突起に勘合させ、棚板を冶具プレートに仮固定させる役割を担う。図10に棚板位置合せ穴の機能を満たす4種類の変形例を示す。図10(A)は2つの丸形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の上下に有し、位置合せ穴17a、17bに対抗する冶具プレート上には2つの丸形棚板位置決め用突起14a、14bが設けられ、位置合せ穴1つの場合に比べ高精度、かつ確実な位置合せを可能とする。
図10(B)も2つの丸形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の上下に有するが、一方の位置合せ穴17bが長穴で、図10(A)に比べ棚板セッティング作業の容易化を図ったものである。またこの位置合せ穴17a、17bに対抗する冶具プレート上には2つの丸形棚板位置決め突起14a、14bが設けられる。
図10(C)は2つの角形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の上下に有し、位置合せ穴17a、17bに対抗する冶具プレート上に2つの角形棚板位置決め用突起14a、14bが設けられ高精度、かつ確実な位置合せを可能としている。
図10(D)は2つの丸形位置合せ穴17a、17bを棚板取付ボルト穴18の左右方向に設け、対抗する冶具プレート上にも2つの丸形棚板位置決め用突起14a、14bが設けられ高精度、かつ確実な位置合せを可能としている。
以上図10(A)〜(D)の4種類の棚板位置合せ穴の変形例を示したが、これらはいずれも位置合せ穴1つの場合に比べ高精度、かつ確実な位置合せが可能である。なお、上記以外にも様々な変形が可能であるが、図10と同一機能、同一目的とする変形は本発明の範疇である。
次に第3の変形例である棚板位置合せ勘合部の変形例について説明する。
プロファイル材料の高さ方向両端部付近に設けられた位置決め用凹部と勘合させ位置合わせする冶具プレートの上下両端部に設けた突起、或いは、冶具プレートの棚板位置決め用突起と勘合させる棚板に設けられた位置決め用穴に於いて、突起と穴の関係は逆転する関係にあっても何ら問題ない。図11はこの関係を棚板11と冶具プレート20の場合を例に説明したものである。図11(A)では棚板11に穴が設けられ、冶具プレート20に突出部が設けられる。図11(B)では逆に棚板11に突出部が設けられ、冶具プレート20に穴が設けられるが、これらは(A)、(B)何れであってもよい。
第4の変形例である棚板設置の変形例について説明する。
図5において、棚板はストッカ骨組構造体垂直方向の柱を構成するプロファイル材に冶具プレートを介し直接取り付けるが、例えば図12に示す棚板支持部材24を用いることで、棚板をプロファイル材に直接ボルト締結しないで、棚の組立が可能となる。即ち、棚板支持部材24は位置決め穴25で冶具プレートの突起部に位置決めし、取付ボルト穴26にボルトを貫通させ、プロファイル材溝に挿入されている専用ナットにネジ止めする。冶具プレートには図4と同じ冶具プレートを使用する。棚板支持部材24には柱取付部39から水平方向に直角に曲げられたハの字形状の棚板受け部38a、38bが設けられている。棚板をストッカ骨組構造体の水平方向同一高さ位置にネジ止めされた複数の棚板支持部材24の棚板受け部38a、38b上に載置し棚装置を組み立てる。
この方法によれば棚板は棚板支持部材24に載置し、必要に応じて簡単な固定を施すだけで、棚組立を完了させることができる。
汎用部材であるプロファイル材を骨組構造体として使用し、高い寸法精度の要求される棚等の構造物を作業性よく制作する技術分野に適用可能である。
ストッカの上方斜視図である。 アルミニュームプロファイル材の断面構造図である。 アルミニュームプロファイル材への専用ナット取り付け図である。 冶具プレートの構造図である。 冶具プレートを用いた棚板のプロファイル材への締結方法である。 冶具プレートを用いた棚板とプロファイル材の締結の様子を示す断面図である。 ストッカ用棚構造である。 パンチプレートの凸部形状の変形例である。 落下防止爪の変形例である。 棚板位置合せ穴の変形例である。 棚板位置合わせ勘合部の変形例である。 棚板支持部材である。 従来技術による棚構造正面図である。 従来技術による棚構造側面図である。
符号の説明
1. ストッカ棚
10.プロファイル材
11.棚板
12.専用ナット
13.ボルト
14.棚板位置決め用突起
15.パンチング穴
16.折り曲げ爪
17.棚板位置決め穴
18.棚板取付穴
20.冶具プレート
21.端部位置決め突起
22.冶具プレート位置決め穴
29.溝
30.板材

Claims (4)

  1. アルミニュームプロファイル材を柱として組立てられた棚用骨組構造体に、所定間隔で複数段の略同一形状の棚板が垂直方向に、ボルトナットなどの締結手段により結合一体化されてなる棚装置に於いて、前記締結作業を高精度かつ容易ならしめる結合補助手段であって、
    前記結合補助手段は垂直方向柱のアルミニュームプロファイル材と略同一長さ、略同一幅の金属材料からなる板材で、
    前記アルミニュームプロファイル材と前記棚板の中間に重ねて締結されて使用され、
    少なくとも高さ方向両端部付近の前記アルミニュームプロファイル材料との対抗面に前記アルミニュームプロファイル材料に対する位置決め手段を有し、
    少なくとも所定間隔で複数段に取り付けられる前記棚板との対抗面に、前記棚板に対する位置決め手段を有し、
    少なくとも締結用ボルト貫通穴と、締結用ナット保持部位とを有する結合補助手段を有することを特徴とする棚装置。
  2. 請求項1に記載の結合補助部材であって、前記アルミニュームプロファイル材料に対する位置決め手段と、前記棚板に対する位置決め手段と、前記締結用ボルト貫通穴と、前記締結用ナット保持部位に加え、前記締結用ボルト貫通穴を兼用する締結用ナット挿入穴を有する結合補助手段を有することを特徴とする棚装置。
  3. 請求項1に記載の結合補助部材であって、結合補助部材のボルト貫通穴位置を板金加工などで一辺を残し所定の形状に切断打ち抜き、打ち抜き部位の切断されない辺で直角に折り曲げることにより形成される穴を、場合により前記ナット挿入用として兼用する前記締結用ボルト貫通穴とし、直角に折り曲げられ形成される部位をナット保持部位とし、前記ナット保持部位が前記アルミニュームプロファイル材溝内に侵入するよう前記結合補助部材を、前記アルミニュームプロファイル材に重ねることを特徴とする棚装置。
  4. 請求項1に記載のアルミニュームプロファイル材料と結合補助部材との対抗面に形成される位置決め手段、もしくは棚板と結合補助部材との対抗面に形成される位置決め手段であって、対抗する何れか一方の部材面の所定位置に1以上の穴又は窪みを設け、残る一方の部材面の所定位置に前記穴又は窪みと勘合する突起を設け、前記穴又は窪みと前記突起との勘合により位置決めすることを特徴とする棚装置。



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