JP2006075958A - 駆動システムおよび加工システム - Google Patents

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Abstract


【課題】 可動部が移動しても、その反動によって本体が撓んだりすることがなく、しかも、比較的簡単な構成で、可動部を異なる二方向へ高速で移動させることが可能な駆動システムおよび加工システムを提供する。
【解決手段】 工具保持手段25をX,Y、Z軸方向へ移動させる駆動機構12X,12Y,12Zを備えた駆動システム。構造体30と、駆動機構を支持した支持プレート40と、支持プレート40を、構造体に対して吊り下げ支持する吊下手段51とを備える。
【選択図】 図1

Description

本発明は、駆動システムおよびこれを用いた加工システムに関する。たとえば、工具やワークを互いに直交する二方向へ移動させる駆動システムおよびこの駆動システムを用いた加工システムに関する。
工作機械や測定装置では、ワークに対して工具や測定子などを移動させながら、加工や測定を行う。
従来、工具や測定子などを移動させる機構としては、ボールねじを用いた送り機構が多用されてきたが、最近では、高精度、高速化の要請から、固定子と可動子とからなるリニアモータが採用されるようになってきた。
送り機構としてリニアモータを用いる場合、通常、固定子はベースなどに固定され、可動子は工具や測定子などが取り付けられる可動部材側に取り付けられる。可動子を加速させると、その反力がベースに加わる。高速化の要請から、可動子を急激に加減速させると、ベースに加わる反動も大きくなるので、ベースを含む機械本体が撓んだり傾く。このような現象は、精度面からは無視できない問題であるため、機械本体の剛性を高くする方法が採られる。しかし、これでは、機械本体が重く大きくなってしまう。
機械本体の剛性を高くすることなく、機械本体の撓みや傾きを抑えるものとして、直線駆動装置(特許文献1参照)が提案されている。これは、ベースと、このベースに搭載されたステータと、このステータにより駆動されて移動するスライダとを備えた直線駆動装置において、ベースに対してステータが直線方向に移動可能に支持され、かつ、スライダがステータに対して前記直線方向と同一方向に移動可能に支持された構造である。
この構成の場合、スライダが加速すると、その反力を受けてステータが逆方向に加速される。ステータはベースに対して直線方向へ移動可能に支持されているから、ステータがベースに対して逆方向へ移動される。従って、スライダの駆動による反動で移動したステータからベースに力が伝えられない。つまり、スライダの加速によっても、ベースには影響が及ばないので、機械本体を重く大きくしなくてもすむ。
特開2002−283174号公報
ところが、特許文献1に記載の直線駆動装置では、スライダの移動方向が一方向のみであるため、比較的コンパクトに構成できるが、スライダが二次元あるいは三次元方向へ移動する場合、上述した直線駆動装置を各軸毎(たとえば、X,Y,Z軸毎)に構成するとともに、これらを順次積み重ねなければならないため、構造が複雑化するという課題が生じる。
本発明の目的は、可動部が移動しても、その反動によって本体が撓んだりすることがなく、しかも、比較的簡単な構成で、可動部を異なる二方向へ高速で移動させることが可能な駆動システムおよび加工システムを提供することにある。
本発明の駆動システムは、可動部を少なくとも異なる二方向へ移動させる直線駆動機構を備えた駆動システムであって、前記直線駆動機構を支持した支持プレートと、前記支持プレートを支持する本体と、前記支持プレートを、前記本体に対して、少なくとも前記可動部が移動される異なる二方向を含む方向へ移動可能に支持する支持手段とを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、直線駆動機構によって可動部が移動されると、その反力として反対方向の力が支持プレートに加わる。すると、支持プレートは、可動部の移動方向とは反対方向へ移動される。このとき、支持プレートは、本体に対して、少なくとも可動部が移動される異なる二方向を含む方向へ移動可能に支持されているので、可動部が直線駆動機構によって異なる二方向へ移動されても、可動部の移動とは反対方向の反力の全てが支持プレートの移動によって吸収される。つまり、可動部の移動に伴う反力が、支持プレートの移動によって吸収、減衰されるので、可動部が移動しても、その反動によって本体が撓んだりすることがなく、しかも、比較的簡単な構成で、可動部を異なる二方向へ高速で移動させることができる。
本発明の駆動システムにおいて、前記本体は、上部に吊下部材を有する構造体によって構成され、前記支持手段は、前記構造体の吊下部材に前記支持プレートを吊り下げ支持する吊下手段によって構成されていることが好ましい。
ここで、構造体は、少なくとも支持プレートおよびその上に搭載される直線駆動機構などの重量を支持できる剛性を備える構造であれば、どのような構造であってもよく、例えば、箱形構造体や門型構造体などでもよい。
この発明によれば、支持プレートが、構造体の吊下部材に吊り下げ支持された構成であるため、可動部が直線駆動機構によって異なる二方向へ移動されると、その可動部の移動方向に対して反対方向に支持プレートが揺動される。つまり、可動部の移動とは反対方向の反力の全てが支持プレートの揺動によって吸収、減衰されるので、可動部が移動しても、その反動によって構造体が撓んだりすることがなく、しかも、比較的簡単な構成で、可動部を異なる二方向へ高速で移動させることができる。
本発明の駆動システムにおいて、前記吊下手段は、前記構造体に前記支持プレートを吊り下げ支持する複数本の吊下ワイヤと、この吊下ワイヤの途中または端部に設けられたショックアブゾーバとを含んで構成されていることが好ましい。
この発明によれば、可動部が垂直方向へ移動される場合でも、その可動部の移動に伴う反力が各吊下ワイヤの途中または端部に設けられたショックアブゾーバによって吸収されるから、可動部が垂直方向へ移動する場合でも、構造体が撓んだりすることなく、可動部を高速で移動させることができる。
本発明の駆動システムにおいて、前記本体は、前記支持プレートを支持するベッドを有し、前記支持手段は、前記ベッドの上面に設けられ前記支持プレートを前記ベッド上面と平行面内で任意の方向へ移動可能に支持するボールベアリング手段によって構成されていることが好ましい。
この発明によれば、支持プレートが、ベッドの上面にボールベアリング手段を介してベッド上面と平行面内で任意の方向へ移動可能に支持された構成であるため、可動部が直線駆動機構によって異なる二方向へ移動されると、その可動部の移動方向に対して反対方向に支持プレートが移動される。つまり、可動部の移動に伴う全ての方向の反力が支持プレートの移動によって吸収、減衰されるので、可動部が移動しても、その反動によってベッドが撓んだり振動することがない。
本発明の駆動システムにおいて、前記本体は、前記支持プレートを支持するベッドを有し、前記支持手段は、前記ベッドおよび前記支持プレートの一方に設けられ他方に対してエアーを噴出して前記ベッドと支持プレートとの間に空気層を形成するエアーベアリング手段によって構成されていることが好ましい。
この発明によれば、支持プレートが、ベッドの上面にエアーベアリング手段を介してベッド上面と平行面内で任意の方向へ移動可能に支持された構成であるため、可動部が直線駆動機構によって異なる二方向へ移動されると、その可動部の移動方向に対して反対方向に支持プレートが移動される。つまり、可動部の移動に伴う全ての方向の反力が支持プレートの移動によって吸収、減数されるので、可動部が移動しても、その反動によってベッドが撓んだり振動することがない。
本発明の駆動システムにおいて、前記ベッド上面と平行面内でかつ異なる二方向に沿った前記支持プレートの振動を抑制するダンピング手段を備えていることが好ましい。
この発明によれば、支持プレートがベッド上面と平行面内でかつ異なる二方向に移動しても、その移動に際して発生する振動も、ダンピング手段によって抑制されるから、可動部を所定位置に正確に位置決めできる。よって、高精度な位置決めが可能である。
本発明の駆動システムにおいて、前記直線駆動機構は、前記可動部を互いに直交する三軸方向へ移動させる3つの直線駆動機構を備え、各直線駆動機構はリニアモータによって構成されていることが好ましい。
この発明によれば、可動部を互いに直交する三軸方向へ移動させる3つの直線駆動機構を備え、各直線駆動機構がリニアモータによって構成されているから、可動部を三次元方向へ高速化で移動させることができる。
本発明の加工システムは、上述したいずれかの駆動システムを備えたことを特徴とする。
このような加工システムによれば、上述した効果を備えた加工システムを提供することができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
<第1実施形態>
図1には、本発明の駆動システムを適用した第1実施形態の加工システムが示されている。第1実施形態の加工システムは、本体としての構造体30と、この構造体30に支持手段50を介して支持された支持プレート40と、この支持プレート40の上面に搭載されたワーク保持手段60と、支持プレート40の上面に搭載されワークを加工する工具を三次元方向へ移動させる直線駆動機構としての三次元駆動機構10とを備える。
構造体30は、一対の側壁体31,32と、後壁体33と、天井壁体34とを備え、前面に開口35を有する箱形形状に形成され、全体が鋳鉄などの金属(あるいは金属に限らない)によって高い剛性を備えた構造に形成さている。つまり、支持プレート40、その支持プレート40上に搭載される三次元駆動機構10およびワーク保持手段60などの重量を支持できる剛性を備えた構造に形成されている。
支持プレート40は、ワーク保持手段60および三次元駆動機構10を載置できる大きさの矩形板状に形成され、四隅に支柱41を備えている。
支持手段50は、構造体30に対して、支持プレート40を少なくとも可動部(後述するZ軸スライダ11や工具保持手段25)が移動される異なる二方向を含む方向へ移動可能に支持するもので、ここでは、構造体30の吊下部材(天井壁体34)に、支持プレート40を吊り下げ支持する吊下手段51によって構成されている。吊下手段51は、構造体30の天井壁体34に支持プレート40を吊り下げ支持する複数本の吊下ワイヤ52と、この吊下ワイヤ52の途中(あるいは端部)に設けられたショックアブゾーバ53とを含んで構成されている。各吊下ワイヤ52は、構造体30の天井壁体34に設けられたフック54と、支持プレート40の支柱41の上端面に設けられたフック55とに両端が引っ掛けられている。
ワーク保持手段60は、ワークを保持するためのもので、取付プレート61と、この取付プレート61上に設けられたワークを保持するワークチャック機構62とを備えている。
三次元駆動機構10は、工具を保持する工具保持手段を少なくとも異なる二方向へ移動させる直線駆動機構を備えている。ここでは、図2に示すように、ワーク保持手段60に対して、Z軸スライダ11(工具保持手段25が取り付けられる部材)を互いに直交する三軸方向(X軸方向、Y軸方向およびZ軸方向)へ移動させる3つの直線駆動機構を備えて構成されている。つまり、X軸駆動機構12X、Y軸駆動機構12YおよびZ軸駆動機構12Zを備えて構成されている。
Y軸駆動機構12Yは、前後方向に沿って配置された左右一対のガイドレール13と、このガイドレール13間に掛け渡されたY軸ビーム14と、このY軸ビーム14をガイドレール13に沿って前後方向(Y軸方向)へ移動させるリニアモータ15とから構成されている。一方のガイドレール13とY軸ビーム14の一端側との間には、Y軸ビーム14のY軸方向の位置(移動変位量)を検出する変位検出器16が設けられている。変位検出器16は、一方のガイドレール13に沿って配設されたスケール17と、Y軸ビーム14の一端側にスケール17に対して僅かなギャップを介して対向配置された検出ヘッド18とから構成されている。
X軸駆動機構12Xは、Y軸ビーム14上に移動可能に設けられたX軸スライダ19と、このX軸スライダ19をY軸ビーム14に沿って左右方向(X軸方向)へ移動させるリニアモータ20とから構成されている。X軸スライダ19とY軸ビーム14との間には、X軸スライダ19のX軸方向の位置(移動変位量)を検出する変位検出器(図示省略)が設けられている。この変位検出器は、変位検出器16と同じ構成であるため、説明を省略する。
Z軸駆動機構12Zは、X軸スライダ19に取り付けられ上下方向に沿って伸びるZ軸ガイドプレート21と、このZ軸ガイドプレート21に沿って移動可能に設けられたZ軸スライダ11と、このZ軸スライダ11をZ軸ガイドプレート21に沿って上下方向へ移動させるリニアモータ22とから構成されている。Z軸スライダ11とZ軸ガイドプレート21との間には、Z軸スライダ11のZ軸方向の位置(移動変位量)を検出する変位検出器(図示省略)が設けられている。この変位検出器も、変位検出器16と同じ構成であるため、説明を省略する。
Z軸スライダ11には、工具を交換可能に取り付けるための工具保持手段25が設けられている。工具保持手段25には、工具を回転させる主軸装置26が保持されている。
また、三次元駆動機構10のY軸ビーム14の重量およびそれよりも上方部材の重量の総和に対して、そのY軸ビーム14のガイドレール13の重量およびこれより下方部材の重量の総和が十分大きくなるように、支持プレート40の重量が設定されている。
なお、リニアモータ15,20,22は、公知のリニアモータと同じ構造で、静止部材側に固定される固定子と、可動部材側に固定される可動子とを備え、固定子の磁石と、可動子側のコイルに電流を流したときに生じる磁界との間で発生する力で、可動部側を駆動させる構造である。
次に、本実施形態の作用を説明する。
三次元駆動機構10の工具保持手段25に工具を有する主軸装置26取り付けるとともに、ワーク保持手段60にワークを取り付けたのち、加工を行う。
加工は、三次元駆動機構10を三次元方向(X軸、Y軸、Z軸方向)へ移動させ、工具保持手段25に保持された工具をワーク保持手段60に保持されたワークを対して相対移動させながら、加工を行う。
加工終了後、必要に応じて、測定を行う。測定では、工具保持手段25に測定機器を取り付け、この状態において、三次元駆動機構10を三次元方向(X軸、Y軸、Z軸方向)へ移動させ、工具保持手段25に保持された測定機器をワークに対して相対移動させながら、測定を行う。
これらの加工または測定において、Y軸ビーム14がY軸方向へ、X軸スライダ19がX軸方向へ、Z軸スライダ11がZ軸方向へ移動すると、その反力が支持プレート40に加わる。
たとえば、Y軸ビーム14がY+方向(ここでは、図1中右上方向)へ移動すると、その反力がガイドレール13に加わる。すると、ガイドレール13と一体となった支持プレート40が、Y−方向(図1中左下方向)へ揺動される。つまり、Y軸ビーム14の移動に伴う反力が支持プレート40の揺動によって吸収、減衰されるから、構造体30への影響を低減できる。
また、X軸スライダ19がX+方向(ここでは、図1中右下方向)へ移動すると、その反力がガイドレール13に加わる。すると、ガイドレール13と一体となった支持プレート40が、X−方向(図1中左上方向)へ揺動される。つまり、X軸スライダ19の移動に伴う反力が支持プレート40の揺動によって吸収、減衰されるから、構造体30への影響を低減できる。
また、Z軸スライダ11がZ+方向(図1中上方)へ移動すると、その反力がY軸ビーム14を介してガイドレール13に加わる。すると、ショックアブゾーバ53によって、ガイドレール13と一体となった支持プレート40が、Z−方向(図1中下方向)へ移動される。つまり、Z軸スライダ11の移動に伴う反力が支持プレート40の下降によって吸収、減衰されるから、構造体30への影響を低減できる。
第1実施形態によれば、次の作用効果が期待できる。
(1)各駆動機構12X,12Yによって工具保持手段25が移動されると、その反力として反対方向の力が支持プレート40に加わる。支持プレート40は、構造体30の天井壁体34に吊下手段51を介して吊下支持された構成であるため、工具保持手段25が駆動機構12X,12YによってX軸方向およびY軸方向へ移動されると、その移動方向に対して反対方向に支持プレート40が揺動される。つまり、工具保持手段25の移動に伴う反力が、支持プレート40の揺動によって吸収、減衰されるから、工具保持手段25が移動しても、その反動によって構造体30が撓んだりすることがない。しかも、比較的簡単な構成で、工具保持手段25をX軸方向およびY軸方向へ高速で移動させることができる。
(2)吊下手段51は、構造体30に支持プレート40を吊り下げ支持する複数本の吊下ワイヤ52と、この吊下ワイヤ52の途中または端部に設けられたショックアブゾーバ53とを含んで構成されているから、工具保持手段25が垂直方向へ移動される場合でも、その工具保持手段25の移動に伴う反力が各吊下ワイヤ52の途中または端部に設けられたショックアブゾーバ53によって吸収されるから、工具保持手段25が垂直方向へ移動する場合でも、工具保持手段25を高速で移動させることができる。
(3)三次元駆動機構10のY軸ビーム14の重量およびそれよりも上方部材の重量の総和に対して、そのY軸ビーム14のガイドレール13の重量およびこれより下方部材の重量の総和が十分大きくなるように、支持プレート40の重量が設定されているから、Y軸ビーム14、X軸スライダ19およびZ軸スライダ11の移動量に対して、支持プレート40の揺動量を小さくできる。
つまり、Y軸ビーム14より上の重量総和とガイドレール13より下の重量総和との割合に応じて、支持プレート40の揺動量を小さくできる。
<第2実施形態>
図3には、本発明の第2実施形態の加工システムが示されている。第2実施形態の加工システムは、第1実施形態の加工システムに対し、支持プレート40が吊下手段51を介して構造体30に支持されているのではなく、ボールベアリング手段70を介して本体としてのベッド71に支持されている点、および、支持プレート40の振動を抑制するダンピング手段80が付加されている点が異なる。
ボールベアリング手段70は、ベッド71の上面に一定ピッチ間隔で設けられた回転可能な複数のボールベアリング72によって構成され、支持プレート40をベッド71の上面と平行面内で任意の方向へ移動可能に支持している。
ダンピング手段80は、ベッド71の上面において、X軸およびY軸方向に沿ってかつ支持プレート40を挟んだ両側にそれぞれ2箇所設けられている。各ダンピング手段80は、ベッド71の上面に回転可能に設けられたプーリ81と、このプーリ81に巻回され一端を支持プレート40に固定するとともに他端をベッド71に固定したワイヤ82と、このワイヤ82の途中に設けられたスプリング83とから構成されている。
第2実施形態によれば、次の効果が期待できる。
(4)支持プレート40が、ベッド71の上面にボールベアリング手段80を介してベッド71の上面と平行面内で任意の方向へ移動可能に支持された構成であるため、工具保持手段25がX,Y軸方向へ移動されると、その工具保持手段25の移動方向に対して反対方向に支持プレート40が移動される。つまり、工具保持手段25の移動に伴う反力が支持プレート40の移動によって吸収、減衰されるから、ベッド71への影響を低減できる。従って、工具保持手段25が移動しても、その反動によってベッド71が撓んだり振動することがない。
(5)ベッド71の上面にボールベアリング手段80を設けた構成であるから、簡単に構成できる。
(6)支持プレート40の振動を抑制するダンピング手段80が付加されているから、支持プレート40がX、Y軸方向に移動しても、その移動に際して発生する振動も、ダンピング手段80によって抑制されるから、工具保持手段25を所定位置に正確に位置決めできる。よって、高精度な位置決めが可能である。また、工具保持手段25の移動に伴う反力が支持プレート40の移動によって吸収されたのち、つまり、工具保持手段25の移動が停止されたのちは、ダンピング手段80のスプリング83によって支持プレート40は元の位置に復帰される。
<第3実施形態>
図4には、本発明の第3実施形態の加工システムが示されている。第3実施形態の加工システムは、第2実施形態の加工システムに対し、支持プレート40がボールベアリング手段70を介して本体としてのベッド71に支持されているのではなく、エアーベアリング手段90を介して支持されている点が異なる。
エアーベアリング手段90は、図5に示すように、支持プレート40の内部に形成されたエアー供給流路91と、このエアー供給流路91にエアーを供給するエアー供給配管92と、エアー供給流路91から支持プレート40の底面に開口されたエアー噴出孔93とを含んで構成されている。
従って、エアー供給配管92を通じてエアー供給流路91にエアーを供給すると、エアーは、エアー噴出孔93からベッド71の上面に向けて噴出される。これにより、ベッド71と支持プレート40との間に空気層が形成され、つまり、支持プレート40がベッド71の上面から浮上した状態に保たれるため、支持プレート40はベッド71の上面内の任意の方向へ自由に移動できる状態になるから、第2実施形態と同様な作用を奏することができる。
第3実施形態によれば、次の作用効果が期待できる。
(7)支持プレート40が、ベッド71の上面にエアーベアリング手段90を介してベッド上面と平行面内で任意の方向へ移動可能に支持された構成であるため、工具保持手段25がX、Y軸方向へ移動されると、その工具保持手段25の移動方向に対して反対方向に支持プレート40が移動される。つまり、工具保持手段25の移動に伴う反力が支持プレート40の移動によって吸収、減衰されるから、工具保持手段25が移動しても、その反動によってベッド71が撓んだり振動することがない。
なお、上記第3実施形態において、エアー供給流路91、エアー供給配管92、エアー噴出孔93を、ベッド71側に設けるようにしてもよい。
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、第1実施形態では、支持プレート40を4本の吊下ワイヤ52で構造体30に吊り下げ支持したが、3本、あるいは、5本以上の吊下ワイヤ52で吊り下げ支持してもよい。
また、第1実施形態では、構造体30を箱形構造体としたが、これに限られず、門型構造体でもよい。要は、支持プレート40およびこれに搭載される駆動機構10を支持できる構造であれば、他の構造でもよく、また、クレーンなどの構造でもよい。
また、第2実施形態では、ベッド71の上面に多数のボールを配置したボールベアリング手段80を、また、第3実施形態では、ベッド71の上面にエアーベアリング手段90をそれぞれ設けたが、ベッド71の上面に対して、支持プレート40を磁気によって浮上させるようにしてもよい。
本発明は、工作機械の直線駆動システムとして利用できるほか、測定装置、組立装置、各種製造装置の直線駆動システムに利用できる。
本発明の第1実施形態に係る加工システムを示す斜視図。 同上実施形態の三次元駆動機構およびテーブル手段を示す斜視図。 本発明の第2実施形態に係る加工システムを示す斜視図。 本発明の第3実施形態に係る加工システムを示す斜視図。 同上実施形態のエアーベアリング手段を示す図。
符号の説明
10…三次元駆動機構
11…Z軸スライダ(可動部)
12X,12Y,12Z…X,Y,Z軸駆動機構
22…リニアモータ
25…工具保持手段
30…構造体
34…天井壁体(吊下部材)
40…支持プレート
50…支持手段
51…吊下手段
52…吊下ワイヤ
53…ショックアブゾーバ
60…ワーク保持手段
70…ボールベアリング手段
80…ダンピング手段
90…エアーベアリング手段

Claims (8)

  1. 可動部を少なくとも異なる二方向へ移動させる直線駆動機構を備えた駆動システムであって、
    前記直線駆動機構を支持した支持プレートと、
    前記支持プレートを支持する本体と、
    前記支持プレートを、前記本体に対して、少なくとも前記可動部が移動される異なる二方向を含む方向へ移動可能に支持する支持手段とを備えたことを特徴とする駆動システム。
  2. 請求項1に記載の駆動システムにおいて、
    前記本体は、上部に吊下部材を有する構造体によって構成され、
    前記支持手段は、前記構造体の吊下部材に前記支持プレートを吊り下げ支持する吊下手段によって構成されていることを特徴とする駆動システム。
  3. 請求項2に記載の駆動システムにおいて、
    前記吊下手段は、前記構造体に前記支持プレートを吊り下げ支持する複数本の吊下ワイヤと、この吊下ワイヤの途中または端部に設けられたショックアブゾーバとを含んで構成されていることを特徴とする駆動システム。
  4. 請求項1に記載の駆動システムにおいて、
    前記本体は、前記支持プレートを支持するベッドを有し、
    前記支持手段は、前記ベッドの上面に設けられ前記支持プレートを前記ベッド上面と平行面内で任意の方向へ移動可能に支持するボールベアリング手段によって構成されていることを特徴とする駆動システム。
  5. 請求項1に記載の駆動システムにおいて、
    前記本体は、前記支持プレートを支持するベッドを有し、
    前記支持手段は、前記ベッドおよび前記支持プレートの一方に設けられ他方に対してエアーを噴出して前記ベッドと支持プレートとの間に空気層を形成するエアーベアリング手段によって構成されていることを特徴とする駆動システム。
  6. 請求項4または請求項5に記載の駆動システムにおいて、
    前記ベッド上面と平行面内でかつ異なる二方向に沿った前記支持プレートの振動を抑制するダンピング手段を備えていることを特徴とする駆動システム。
  7. 請求項1〜請求項6のいずれかに記載の駆動システムにおいて、
    前記直線駆動機構は、前記可動部を互いに直交する三軸方向へ移動させる3つの直線駆動機構を備え、各直線駆動機構はリニアモータによって構成されていることを特徴とする駆動システム。
  8. 請求項1〜請求項7のいずれかに記載の駆動システムを備えたことを特徴とする加工システム。
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