JP2006073895A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 光が照射される照射領域を有する光学素子を冷却する冷却装置であって、
   輻射部材と、
   前記輻射部材を冷却する冷却機構と、
   前記照射領域に凹面を向けた凹面鏡とを有し、
   前記輻射部材は、前記凹面の焦点位置またはその近傍に配置されている、ことを特徴とする冷却装置。
2. 光が照射される照射領域を有する光学素子を冷却する冷却装置であって、
   輻射部材と、
   前記輻射部材を冷却する冷却機構と、
   前記照射領域に凹面を向けた凹面鏡とを有し、
   前記凹面鏡は、前記照射領域から発する輻射熱の少なくとも一部を前記輻射部材に導く、
   ことを特徴とする冷却装置。
3. 光が照射される照射領域を有する光学素子を冷却する冷却装置であって、
   輻射部材と、
   前記輻射部材を冷却する冷却機構と、
   前記照射領域に凹面を向けた凹面鏡とを有し、
   前記照射領域上の第１の点と前記凹面鏡上の第２の点とを結ぶ直線と、前記第２の点と前記輻射部材上の第３の点とを結ぶ直線とがなす角度の２等分線が、前記第２の点における前記凹面鏡の法線と実質的に一致する、
   ことを特徴とする冷却装置。
4. 前記凹面鏡の温度を調整する温度調整機構、
   をさらに有することを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の冷却装置。
5. 前記凹面鏡は、前記輻射部材からの見込み角が１６０度以上である、
   ことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の冷却装置。
6. 前記輻射部材は、前記光学素子とは反対側の領域の輻射率が０．２以下であり、かつ前記光学素子と対向する領域の輻射率が０．６以上である、
   ことを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の冷却装置。
7. 前記凹面鏡は、前記照射領域から発する輻射熱に対する反射率が０．７以上である、
   ことを特徴とする請求項１乃至６いずれかに記載の冷却装置。
8. 前記輻射部材および前記凹面鏡は、前記光学素子に入射して反射する光の光路の外に配置されている、
   ことを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の冷却装置。
9. 前記照射領域と前記輻射部材との間に挿脱可能なシャッターを更に有する、
   ことを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載の冷却装置。
10. 前記照射領域とは反対側の前記光学素子の面からの輻射熱を受ける輻射板と、
    前記輻射板を冷却する冷却機構と、
    をさらに有することを特徴とする請求項１乃至９いずれかに記載の冷却装置。
11. 請求項１乃至１０いずれか記載の冷却装置と、
    前記冷却装置により冷却される光学素子と、
    を有し、
    レチクルと、前記冷却装置により冷却された光学素子とを介して被処理体を露光する、
    ことを特徴とする露光装置。
12. 前記冷却装置は、前記光学素子に対して複数配置されている、
    ことを特徴とする請求項１１記載の露光装置。
13. 請求項１１又は１２記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
    前記ステップにおいて露光された被処理体を現像するステップと、
    を有することを特徴とするデバイス製造方法。